JP4244739B2 - Tftアレイ基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、TFTアレイ基板の主面における要部の一構成例を示した平面図である。このTFTアレイ基板は、アクティブマトリクス型液晶ディスプレイを構成する半導体基板であり、基板の主面上には、多数の画素がマトリクス状に配置されている。基板上には、画素ごとに画素電極1、ドレイン電極4及びソース電極3がそれぞれ設けられている。各ソース電極3は、ソースライン5に接続され、ソースライン5に直交してゲートライン2が設けられている。
実施の形態1では、チャネル部Cの高さDをTFTアレイ基板11上のパネル部12内の測定点A1〜A5にて測定する場合の例について説明した。これに対して、本実施の形態では、配線パターンと同一パターンの擬似パターンについて高さを測定する場合について説明する。
2 ゲートライン
3 ソース電極
4 ドレイン電極
4a 金属膜
5 ソースライン
6 絶縁性基板
7 パッシベーション絶縁膜
8,9 半導体層
8a,9a 半導体膜
10 絶縁膜
11 TFTアレイ基板
12 パネル部
A1〜A5 測定点
A6〜A8 擬似パターン
B 画素電極部
C チャネル部
E 感光材
E1 半透過部
E2 遮断部
Claims (3)
- 画素電極部及びチャネル部が形成された絶縁性基板において、
感光材塗布前に画素電極部に対するチャネル部の高さを測定する高さ測定ステップと、
この高さの測定結果から感光材の塗布条件を定める塗布条件決定ステップと、
この塗布条件に基づいて上記画素電極部及びチャネル部が形成された絶縁性基板に感光材を塗布する感光材塗布ステップと、
上記チャネル部をハーフトーン露光した後に現像を行うハーフトーン露光現像処理ステップと、からなり、
上記塗布条件決定ステップは、
感光材塗布前の画素電極部に対するチャネル部の高さをハーフトーン露光現像処理後のチャネル部における感光材膜厚に対応づけた感光材膜厚の高さ特性テーブル、及び、感光材膜厚を塗布条件に対応づけた感光材膜厚の塗布特性テーブルに基づいて、塗布条件を定めるステップであり、
上記高さ特性テーブルは、感光材が塗布される前の画素電極部に対するチャネル部の高さごとに、ハーフトーン露光現像後のチャネル部における感光材膜厚を測定することを異なる基板を用いて繰り返すことにより作成されたものであることを特徴とするTFTアレイ基板の製造方法。 - 上記塗布特性テーブルは、感光材がスピンコーティングにより塗布され、このスピンコーティングにおける単位時間当たりの異なる回転数に対応付けて感光材膜厚が記録されたテーブルであることを特徴とする請求項1に記載のTFTアレイ基板の製造方法。
- 画素電極部及びチャネル部からなる配線パターンと同一パターンの擬似パターンを当該画素電極部及びチャネル部が設けられる絶縁性基板上に形成する擬似パターン形成ステップを有し、
上記塗布条件決定ステップにおいて、上記擬似パターンにおける画素電極部に対するチャネル部の高さが測定されることを特徴とする請求項1に記載のTFTアレイ基板の製造方法。
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