JP4244196B2 - 導電性ボールの搭載装置 - Google Patents
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Description
2)ブラシの先端部をマスク表面に当接し、しならせながら摺動させ導電性ボールを充填する場合、位置決め開口部にブラシ先端が入る等でしなりが戻ると、その反発力で一旦位置決め開口部に挿入された導電性ボールが掻き出されてしまう。これは何回操作を行なっても同じことが生じるので、導電性ボールの搭載率を上げることが困難である。
本態様の導電性ボールの搭載装置は、マスクを用いた振込み式の搭載装置であり、複数個の半導体部品又は基板が形成された大型の基板の大きさに対応した大判のマスクを用い、大型の基板に一括して接続バンプを形成し、その後個々に切出して半導体部品又は基板を製造する場合に好適なものである。なお、本発明が対象とする被配列体は、このような大型の基板や個片の基板に限定されることなく、電子部品や電子部品に導電性ボールを搭載する装置に組込まれ導電性ボールが搭載される部材なども含まれる。また、導電性で非磁性の半田ボールを基板の電極に搭載する例で説明するが、Sn又はCu、Au、Ag、W、Ni、Mo、Alなど金属を主体とした導電性ボールは本発明に含まれる。また、ポリプロピレン又はポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、酢酸セルロース、ポリエステル系などの樹脂を主体としたボールの表面に半田などの導電性金属をコーティングした導電性ボールは本発明に含まれる。
〔振込部〕
図1に示すように、振込部10は、磁性材からなる太さが数十μmから数百μm程度の多数の線状部材11が、長手をほぼ水平方向に揃えた状態で、その両端部が一対の保持部材12で固定され、線状部材11の上方には、両保持部材12に挟まれるように磁性材からなるバックヨーク13が配設されている。保持部材12とバックヨーク13は基体14(図7参照)に取り付けられて一体化されており、基体14は移動手段(図示せず)に取り付けられ、手動或いは自動で矢印方向に移動させることができる。なお、バックヨーク13は、線状部材11の上方に固定された状態で配設されていてもよい。
装着部20は、前述したように、基板7が載置されるプレート21と、プレートの下方に設けられた磁力発生手段120を有している。プレート21は非磁性材からなり、上面に基板7の反電極面が密接した状態で位置決めされる。プレート21は、位置決めされた基板7を固定する固定手段を有することが好ましく、例えば、基板7の下面を減圧吸引するため上面に開口した流体通路が形成されているとよい。マスク22は、その位置決め開口部223が電極71に対応するように基板7の上面に重ねて位置決めされる。すなわち、位置決め開口部223が電極71と平面的にほぼ一致するように位置合わせされるとともにマスク22の下面が基板7の電極面と相対する状態となるように位置決めされる。なお、この時のマスク22の下面と電極面との位置関係は、マスク下面が電極面に接触した状態で位置決めされてもよいし、間隔を保持する状態で位置決めされてもよい。
71:電極、74:導電性ボール、
10:振込部、11:線状部材、12:支持部材、13:バックヨーク
20:装着部、21:プレート、120:磁力発生手段、
40、41、43、44:永久磁石。
Claims (7)
- 所定のパターンで導電性ボールを被配列体に搭載する搭載装置において、
前記パターンに対応し導電性ボールを挿通可能な位置決め開口部を有するマスクと、前記マスクの上面の導電性ボールを前記位置決め開口部に装入する振込部と、前記被配列体及び前記マスクがセットされる装着部とを備え、
前記振込部は、長手方向が略水平に配された軟磁性を有する複数の線状部材と、前記線状部材の上方に配設した軟磁性体とを備え、
前記装着部は、前記被配列体の下方に設けられた磁力発生手段を備えている搭載装置。 - 前記線状部材は、前記マスクの上面に対して相対的に水平移動される請求項1に記載の搭載装置。
- 前記線状部材は、該線状部材の移動方向に対し、長手方向が45度から135度の間の角度で交差する状態に配設されている請求項2に記載の搭載装置。
- 前記磁力発生手段は、前記線状部材の移動に伴い移動される請求項2に記載の搭載装置。
- 前記軟磁性体は、前記線状部材と同時に移動可能に配設されている請求項2乃至4のいずれかに記載の搭載装置。
- 前記磁力発生手段は複数の磁区を有するとともに隣接した磁区は異なる極性に配されている請求項1乃至5のいずれかに記載の搭載装置。
- 前記磁区は、前記線状部材の長手方向に沿って交互に異なる極性になるように配されている請求項6に記載の搭載装置。
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