JP4243540B2 - 加熱エレメントにより取り囲まれたセンサエレメントを備えたセンサ構成素子 - Google Patents
加熱エレメントにより取り囲まれたセンサエレメントを備えたセンサ構成素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4243540B2 JP4243540B2 JP2003531157A JP2003531157A JP4243540B2 JP 4243540 B2 JP4243540 B2 JP 4243540B2 JP 2003531157 A JP2003531157 A JP 2003531157A JP 2003531157 A JP2003531157 A JP 2003531157A JP 4243540 B2 JP4243540 B2 JP 4243540B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating
- sensor
- temperature
- sensor component
- heating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/18—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
Claims (10)
- 支持体(2,3)を備えたセンサ構成素子(1)であって、前記支持体(2,3)に、加熱エレメント(4)とセンサエレメント(10)とが取り付けられており、前記加熱エレメント(4)が、支持体(2,3)の温度を調節するために使用可能になっており、センサエレメント(10)が、支持体(2,3)の温度を検出するために使用可能になっている形式のものにおいて、加熱エレメント(4)が、センサエレメント(10)をほぼ完全に取り囲んでおり、加熱エレメント(4)が、2つの加熱構造部(14,15)の形で形成されていることを特徴とする、支持体(2,3)を備えたセンサ構成素子(1)。
- 2つの加熱構造部(14,15)の出力が、別々に制御可能になっている、請求項1記載のセンサ構成素子。
- それぞれの加熱構造部(14,15)に、温度センサ(17,18)が対応配置されている、請求項1又は2記載のセンサ構成素子。
- センサエレメント(10)が、加熱エレメントの形で形成されている、請求項1から3までのいずれか1項記載のセンサ構成素子。
- 加熱エレメント(4)が、少なくともほぼ部分環状構造の形で、有利には環状構造の形で形成されている、請求項1から4までのいずれか1項記載のセンサ構成素子。
- 加熱エレメント(4)が、ほぼ長方形構造の形で形成されている、請求項1から4までのいずれか1項記載のセンサ構成素子。
- 長方形構造部のそれぞれ1つの側が、加熱構造部(14,15)により形成されている、請求項6記載のセンサ構成素子。
- 支持体が、2つの層(12,13)を有しており、第1の層(12)に、加熱エレメント(14)が配置されており、第2の層(13)にセンサエレメント(10)が配置されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のセンサ構成素子。
- 支持体が、ダイアフラム(3)とダイアフラム保持部(2)とを有しており、加熱エレメント(4)とセンサエレメント(10)とが、前記ダイアフラム(3)に配置されている、請求項1から8までのいずれか1項記載のセンサ構成素子。
- 請求項7に記載のセンサ構成素子によりガスの熱伝導率を測定する方法において、2つの加熱構造部(14,15)によって、所定の温度、又は前記加熱構造部(14,15)によって生ぜしめられる加熱出力を調節し、センサエレメント(10)によって、温度若しくは、加熱構造部(14,15)に形成された温度を調節するために必要な、センサエレメント(10)の加熱能力を検出し、前記温度若しくは加熱出力から、ガスの熱伝導率に関する評価を行い、2つの加熱構造部(14,15)の加熱出力を互いに独立して制御することを特徴とする、請求項7に記載のセンサ構成素子によりガスの熱伝導率を測定する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10146321A DE10146321B4 (de) | 2001-09-20 | 2001-09-20 | Sensorbaustein mit einem Sensorelement, das von einem Heizelement umgeben ist |
PCT/DE2002/003129 WO2003027654A2 (de) | 2001-09-20 | 2002-08-27 | Sensorbaustein mit einem sensorelement, das von einem heizelement umgeben ist |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005504291A JP2005504291A (ja) | 2005-02-10 |
JP4243540B2 true JP4243540B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=7699645
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003531157A Expired - Fee Related JP4243540B2 (ja) | 2001-09-20 | 2002-08-27 | 加熱エレメントにより取り囲まれたセンサエレメントを備えたセンサ構成素子 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7165441B2 (ja) |
EP (1) | EP1430293A2 (ja) |
JP (1) | JP4243540B2 (ja) |
DE (1) | DE10146321B4 (ja) |
WO (1) | WO2003027654A2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3898174B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2007-03-28 | 本田技研工業株式会社 | 水素検出装置 |
US8858071B2 (en) * | 2004-12-16 | 2014-10-14 | C-Therm Technologies Ltd. | Method and apparatus for monitoring materials |
GB0605683D0 (en) * | 2006-03-21 | 2006-05-03 | Servomex Group Ltd | Thermal conductivity sensor |
EP2015046A1 (en) * | 2007-06-06 | 2009-01-14 | Infineon Technologies SensoNor AS | Vacuum Sensor |
US8877365B2 (en) | 2009-05-28 | 2014-11-04 | Deeya Energy, Inc. | Redox flow cell rebalancing |
US20110079074A1 (en) * | 2009-05-28 | 2011-04-07 | Saroj Kumar Sahu | Hydrogen chlorine level detector |
JP5055349B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2012-10-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式ガスセンサ |
DE102012108350B3 (de) * | 2012-09-07 | 2013-07-18 | Pierburg Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Rekalibrierung eines Abgasmassenstromsensors |
US9121773B2 (en) * | 2013-03-13 | 2015-09-01 | Bascom-Turner Instruments | Gas sensors and methods of calibrating same |
JP6012515B2 (ja) | 2013-03-15 | 2016-10-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ |
JP6499566B2 (ja) * | 2015-11-27 | 2019-04-10 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 気体センサ装置及び気体センサ装置の加熱電流制御方法 |
CN106017713B (zh) * | 2016-06-28 | 2020-04-24 | 中航电测仪器股份有限公司 | 一种测温电阻 |
DE102017100433A1 (de) * | 2017-01-04 | 2018-07-05 | Bundesrepublik Deutschland, Vertreten Durch Das Bundesministerium Für Wirtschaft Und Energie, Dieses Vertreten Durch Den Präsidenten Der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Thermosensor zur Messung einer thermischen Transportgröße und Verfahren zum Messen einer thermischen Transportgröße |
US11181545B2 (en) | 2017-08-17 | 2021-11-23 | Rosemount Aerospace Inc. | Angle of attack sensor with thermal enhancement |
DE102018108723A1 (de) * | 2018-04-12 | 2019-10-17 | Tdk Corporation | Sensorvorrichtung, Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung und elektronische Baugruppe, die eine Sensorvorrichtung aufweist |
US11567025B2 (en) * | 2018-08-10 | 2023-01-31 | Tdk Corporation | Gas sensor |
US11486785B2 (en) * | 2019-03-28 | 2022-11-01 | Rosemount Aerospace Inc. | Thermal management system for air data sensor module |
US11073415B2 (en) | 2019-10-21 | 2021-07-27 | Flusso Limited | Thermal fluid flow sensor having a dielectric membrane comprising discontinuities between the heating element and an edge |
US11649057B2 (en) | 2019-12-13 | 2023-05-16 | Rosemount Aerospace Inc. | Static plate heating arrangement |
CN117546013A (zh) * | 2021-06-22 | 2024-02-09 | 弗卢斯索有限公司 | 热流体传感器 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4332157A (en) * | 1980-08-29 | 1982-06-01 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Pyroelectric anemometer |
US4966037A (en) * | 1983-09-12 | 1990-10-30 | Honeywell Inc. | Cantilever semiconductor device |
EP0193015A3 (de) * | 1985-02-26 | 1990-05-09 | Novasina AG | Sensor zur Messung der elektrischen Leitfähigkeit |
US4682503A (en) * | 1986-05-16 | 1987-07-28 | Honeywell Inc. | Microscopic size, thermal conductivity type, air or gas absolute pressure sensor |
US4928513A (en) * | 1986-07-29 | 1990-05-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Sensor |
JPH0810231B2 (ja) * | 1987-03-31 | 1996-01-31 | シャープ株式会社 | フローセンサ |
DE3711511C1 (de) * | 1987-04-04 | 1988-06-30 | Hartmann & Braun Ag | Verfahren zur Bestimmung der Gaskonzentrationen in einem Gasgemisch und Sensor zur Messung der Waermeleitfaehigkeit |
US5038304A (en) * | 1988-06-24 | 1991-08-06 | Honeywell Inc. | Calibration of thermal conductivity and specific heat devices |
US4944035A (en) * | 1988-06-24 | 1990-07-24 | Honeywell Inc. | Measurement of thermal conductivity and specific heat |
JPH02234032A (ja) * | 1989-03-08 | 1990-09-17 | Snow Brand Milk Prod Co Ltd | 流体の状態を知るための計測用センサー及びそのセンサーを用いる測定方法 |
DE3923595C1 (ja) * | 1989-07-17 | 1990-12-20 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De | |
US5303167A (en) * | 1991-03-08 | 1994-04-12 | Honeywell Inc. | Absolute pressure sensor and method |
JP2992848B2 (ja) * | 1991-08-21 | 1999-12-20 | 株式会社山武 | 熱伝導率検出器 |
JP2789286B2 (ja) * | 1992-09-14 | 1998-08-20 | 山武ハネウエル株式会社 | 熱伝導率測定装置 |
US5464966A (en) * | 1992-10-26 | 1995-11-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Micro-hotplate devices and methods for their fabrication |
EP0660096B1 (de) * | 1993-12-23 | 1999-03-17 | Heimann Optoelectronics GmbH | Mikrovakuumsensor |
US5515714A (en) * | 1994-11-17 | 1996-05-14 | General Motors Corporation | Vapor composition and flow sensor |
JP3114139B2 (ja) * | 1995-01-24 | 2000-12-04 | 株式会社山武 | 熱伝導率計 |
DE19624683C1 (de) * | 1996-06-20 | 1997-10-16 | Siemens Ag | Wärmeleitfähigkeitsdetektor |
DE19634690C2 (de) * | 1996-08-10 | 2002-10-24 | Entec Umweltmestechnik Gmbh | Mikro-Wärmeleitfähigkeitsdetektor für Gasanalysen |
US6290388B1 (en) * | 1998-03-06 | 2001-09-18 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Multi-purpose integrated intensive variable sensor |
JP3513041B2 (ja) * | 1999-01-25 | 2004-03-31 | 三菱電機株式会社 | 流量センサ |
DE19910444C2 (de) * | 1999-03-10 | 2001-01-25 | Bosch Gmbh Robert | Temperaturfühler |
DE29907566U1 (de) * | 1999-04-28 | 1999-08-26 | Honsberg & Co Kg | Strömungssensor |
SE516026C2 (sv) | 1999-05-14 | 2001-11-12 | Hot Disk Ab | Metod för mätning av termiska egenskaper hos material med riktningsberoende egenskaper |
DE19963966A1 (de) * | 1999-12-31 | 2001-07-19 | Abb Patent Gmbh | Anemometer mit einem Heizwiderstand und einem Temperaturfühlerwiderstand |
JP3658321B2 (ja) * | 2000-12-28 | 2005-06-08 | オムロン株式会社 | フローセンサ及びその製造方法 |
-
2001
- 2001-09-20 DE DE10146321A patent/DE10146321B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-08-27 EP EP02758160A patent/EP1430293A2/de not_active Withdrawn
- 2002-08-27 WO PCT/DE2002/003129 patent/WO2003027654A2/de not_active Application Discontinuation
- 2002-08-27 JP JP2003531157A patent/JP4243540B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-27 US US10/489,904 patent/US7165441B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10146321A1 (de) | 2003-04-24 |
JP2005504291A (ja) | 2005-02-10 |
US20050028580A1 (en) | 2005-02-10 |
EP1430293A2 (de) | 2004-06-23 |
WO2003027654A2 (de) | 2003-04-03 |
US7165441B2 (en) | 2007-01-23 |
DE10146321B4 (de) | 2008-08-14 |
WO2003027654A3 (de) | 2003-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4243540B2 (ja) | 加熱エレメントにより取り囲まれたセンサエレメントを備えたセンサ構成素子 | |
US8698037B2 (en) | Methods of and apparatuses for maintenance, diagnosis, and optimization of processes | |
EP2290357B1 (en) | Thermal humidity sensor | |
KR100507716B1 (ko) | 서모파일 센서 및 서모파일 센서가 구비된 복사 온도계 | |
US6508585B2 (en) | Differential scanning calorimeter | |
US7525092B2 (en) | Infrared sensor having thermo couple | |
US10794738B2 (en) | Sensor device with integrated calibration system and calibration method | |
EP2015046A1 (en) | Vacuum Sensor | |
TW201504603A (zh) | 用以量測熱通量之方法及系統 | |
JP2006258520A (ja) | 電子体温計用プローブ | |
KR101252909B1 (ko) | 가열 가능한 적외선 센서와 이 적외선 센서를 구비하는 적외선 온도계 | |
US11448532B2 (en) | Sensor device, method for operating a sensor device and electronic assembly comprising a sensor device | |
JP6355600B2 (ja) | 熱分析装置用センサユニットおよび熱分析装置 | |
US20200049647A1 (en) | Sensor Device and Electronic Assembly | |
US4812801A (en) | Solid state gas pressure sensor | |
US11268839B2 (en) | Resistive flow sensor | |
JPH0688802A (ja) | 雰囲気センサ | |
JP3345695B2 (ja) | 加速度センサ | |
JP2000193531A (ja) | 温度計測装置および温度計測要素およびこれらの製造方法ならびに床暖房装置の温度検出用温度計測装置 | |
JP2018141664A (ja) | フローセンサ | |
JPS62231148A (ja) | 熱分析装置 | |
CN117761109A (zh) | 用于差示扫描量热仪的传感器组件 | |
JPH0812097B2 (ja) | 流速センサ | |
HU201404B (en) | Process and device for determining power engineering quantities characteristic of energy transport |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080514 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080729 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081205 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090105 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4243540 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |