JP6499566B2 - 気体センサ装置及び気体センサ装置の加熱電流制御方法 - Google Patents
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Description
Q1=λ・S1・(Th1−Th2)
Q2=λ・S2・(Th2−Ta)
尚、λは空気の熱伝導率に依存したパラメータであり、湿度により変化する。S1は検出ヒータの放熱面積、S2は温度補償ヒータの放熱面積である。
Rh’=Rh+r17+r18
である。ここで、Rh:検出ヒータ3の抵抗値、r17:温度依存抵抗17の抵抗値、r18:温度依存抵抗18の抵抗値である。尚、検出ヒータ3の抵抗値Rhは、温度補償ヒータ4に囲まれた領域の抵抗値である。
(r17+r18)/(Rh)>(r19+r20)/(Rs)
の関係を有するように、温度依存抵抗17、18と温度依存抵抗19、20の抵抗値を設定すれば良いものである。
Claims (9)
- 基板の一部に形成した薄膜部と、前記薄膜部に形成した検出ヒータと、前記検出ヒータを取り囲むように前記薄膜部に形成した温度補償ヒータと、前記検出ヒータの加熱温度を制御する検出ヒータ加熱制御回路と、前記検出ヒータの加熱温度より低い加熱温度に前記温度補償ヒータの加熱温度を制御する温度補償ヒータ加熱制御回路と、前記検出ヒータの放熱量に基づいて気体の物理量を計測する気体センサ装置において、
前記基板の温度の上昇に対応して、前記検出ヒータ加熱制御回路と前記温度補償ヒータ加熱制御回路は、前記検出ヒータの加熱温度と前記温度補償ヒータの加熱温度の間の温度差を縮小させるように夫々の加熱電流を制御することを特徴とする気体センサ装置。 - 請求項1に記載の気体センサ装置において、
前記検出ヒータ加熱制御回路と前記温度補償ヒータ加熱制御回路は、前記基板の温度の上昇に対応して加熱電流を低減して前記検出ヒータと前記温度補償ヒータの温度を低下し、この時の加熱電流は前記検出ヒータの温度が前記温度補償ヒータの温度よりも大きく低下するように低減することを特徴とする気体センサ装置。 - 請求項2記載の気体センサ装置において、
前記検出ヒータ加熱制御回路は、前記検出ヒータと温度依存抵抗が接続された第1辺と、前記第1に直列接続された固定抵抗よりなる第2辺と、固定抵抗からなる第3辺と、前記第3辺に直列接続された固定抵抗からなる第4辺からなるブリッジ回路から構成され、
前記温度補償ヒータ加熱制御回路は、前記温度補償ヒータと温度依存抵抗が接続された第1辺と、前記第1に直列接続された固定抵抗よりなる第2辺と、固定抵抗からなる第3辺と、前記第3辺に直列接続された固定抵抗からなる第4辺からなるブリッジ回路から構成され、
前記検出ヒータ加熱制御回路の前記第1辺を構成する前記温度依存抵抗の抵抗値が、前記温度補償ヒータ加熱制御回路の前記第1辺を構成する前記温度依存抵抗の抵抗値より大きいことを特徴とする気体センサ装置。 - 請求項3記載の気体センサ装置において、
前記検出ヒータ加熱制御回路の前記第1辺を構成する前記検出ヒータと前記温度依存抵抗は、前記基板上に同じ材料で形成され、
前記温度補償ヒータ加熱制御回路の前記第1辺を構成する前記温度補償ヒータと前記温度依存抵抗は、前記基板上に前記検出ヒータと同じ材料で形成され、
前記検出ヒータ加熱制御回路の前記温度依存抵抗を構成する配線の幅が、前記温度補償ヒータ加熱制御回路の前記温度依存抵抗を構成する配線の幅より短いことを特徴とする気体センサ装置。 - 請求項4記載の気体センサ装置において、
前記温度補償ヒータ加熱制御回路の前記温度依存抵抗と前記温度補償ヒータの抵抗値の比に対して、前記検出ヒータ加熱制御回路の前記温度依存抵抗と前記検出ヒータの抵抗値の比の方が大きいことを特徴とする気体センサ装置。 - 請求項5記載の気体センサ装置において、
前記検出ヒータ加熱制御回路の前記温度依存抵抗は、前記薄膜部に形成された配線と、薄膜部以外に形成された配線とからなり、前記薄膜部に形成された配線の抵抗値をr1、薄膜部以外に形成され電極まで延びる配線の抵抗値をr2とし、
前記温度補償ヒータ加熱制御回路の前記温度依存抵抗は、前記薄膜部に形成された配線と、薄膜部以外に形成された配線とからなり、前記薄膜部に形成された配線の抵抗値をr3、薄膜部以外に形成され電極まで延びる配線の抵抗値をr4とし、
更に前記検出ヒータの抵抗値をRh、前記温度補償ヒータの抵抗値をRsとしたとき、
(r1+r2)/(Rh)>(r3+r4)/(Rs)
の関係を有していることを特徴とする気体センサ装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか1つに記載の気体センサ装置において、
前記気体センサ装置は、内燃機関の吸気通路内に配置されて吸入空気の湿度を計測することを特徴とする気体センサ装置。 - 基板の一部に形成した薄膜部と、前記薄膜部に形成した検出ヒータと、前記検出ヒータを取り囲むように前記薄膜部に形成した温度補償ヒータと、前記検出ヒータの加熱温度を制御する検出ヒータ加熱制御回路と、前記検出ヒータの加熱温度より低い加熱温度に前記温度補償ヒータの加熱温度を制御する温度補償ヒータ加熱制御回路と、前記検出ヒータの放熱量に基づいて気体の物理量を計測する気体センサ装置の加熱電流制御方法において、
前記検出ヒータ加熱制御回路と前記温度補償ヒータ加熱制御回路は、前記基板の温度の上昇に対応して前記検出ヒータの加熱温度と前記温度補償ヒータの加熱温度の間の温度差を縮小させるように夫々の加熱電流を制御することを特徴とする気体センサ装置の加熱電流制御方法。 - 請求項8記載の気体センサ装置の加熱電流制御方法において、
前記検出ヒータ加熱制御回路と前記温度補償ヒータ加熱制御回路は、前記基板の温度の上昇に対応して加熱電流を低減して前記検出ヒータと前記温度補償ヒータの温度を低下し、この時の加熱電流は前記検出ヒータの温度が前記温度補償ヒータの温度よりも大きく低下するように低減されることを特徴とする気体センサ装置の加熱電流制御方法。
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