JP4239750B2 - マイクロレンズ及びマイクロレンズの製造方法、光学装置、光伝送装置、レーザプリンタ用ヘッド、並びにレーザプリンタ - Google Patents
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Description
また、近年ではプリンタなどに用いられている液滴吐出法を用い、微細パターンであるマイクロレンズを形成するといった提案もなされている(例えば、特許文献2参照)。
また、単に液滴吐出法を採用するだけでは、マイクロレンズを任意の位置に形成するのは容易であるものの、その形状を所望する形状に制御するのが困難であった。
凸部の離脱防止手段としては、これらに限らず凸部が凹凸形状を有する、また凸部がテーパ状の形状でかつその一部が親液性を有するなど、レンズ部材の凸部からの離脱を防止できる形状、表面処理などが可能である。
このようなマイクロレンズの製造方法によれば、マイクロレンズを任意の位置に、大きさや形状を適宜に形成でき、液滴吐出法のドット数で適宜に調整でき、レンズ部材と土台部材とが剥がれにくいなどの本発明の効果が得られるマイクロレンズを容易にかつ低コストで製造することが可能となる。
この光学装置によれば、前述したように大きさや形状が良好に制御されたマイクロレンズを前記面発光レーザの出射側に配設しているので、このマイクロレンズによって発光レーザからの出射光の集光等を良好に行うことが可能になり、したがって、良好な発光特性(光学特性)を有するものとなる。
この光伝送装置によれば、前述したように良好な発光特性(光学特性)を有する光学装置を備えているので、伝送特性が良好な光伝送装置となる。
このレーザプリンタ用ヘッドによれば、前述したように良好な発光特性(光学特性)を有する光学装置を備えているので、描画特性が良好なレーザプリンタ用ヘッドとなる。
このレーザプリンタによれば、前述したように描画特性が良好なレーザプリンタ用ヘッドを備えているので、このレーザプリンタ自体が描画特性に優れたものとなる。
[マイクロレンズ]
図1は本発明の実施形態のマイクロレンズであり、種々の形状のレンズ部材8aの要部を示す断面図である。図1(a)〜(c)に示したレンズ部材の種々の形状、すなわち平べったい形状(図1(a))から側面が半球に近い形状(図1(b))、さらに側面が球に近い形状(図1(c))を示している。
図1(a)〜(c)において基体3は、土台部材4bを形成できる面を有するものであり、具体的にはガラス基板や半導体基板、さらにはこれらに各種の機能性薄膜や機能性要素を形成したものである。また、土台部材4bを形成できる面については、平面であっても曲面であってもよく、さらに基体3自体の形状についても特に限定されることなく種々の形状のものが採用可能である。本実施例では、図1(a)に示すようにGaAs基板1を用い、このGaAs基板1に多数の面発光レーザ2を形成したものを基体3とする。
また、密閉容器中に土台部材4bを形成した基体3とフッ化アルキルシランを入れ、120℃で2時間加熱処理して土台部材4b上にフッ化アルキルシラン膜を形成しても良い。
γS=γSL+γL・cosθ
レンズ部材8aとなるレンズ材料7は、その曲率が前記の式によって決定される接触角θにより制限を受ける。すなわち、レンズ材料7を硬化させた後に得られるレンズの曲率は、最終的なレンズ部材8aの形状を決定する要素の一つである。したがって、本発明において得られるレンズ部材8aの形状がより球状に近くなるよう、撥液処理によって土台部材材料層4とレンズ材料7との間の界面張力γSLを大きくすることで、前記接触角θを大きく、すなわち20°以上とするのが好ましいのである。
この状態からさらにレンズ材料7の吐出を続けると、後から吐出されたレンズ材料7は当然先に吐出されたレンズ材料7に対する密着性が高いことから、図1(b)に示すように土台部材4bからこぼれ落ちることなく一体化する。すると、この一体化されたレンズ材料7はその体積が大きくなって盛り上がり、これによって土台部材4bの上面に対する接触角θ’が大きくなり、図1(b)に示すようについには直角を越えるようになる。
さらにこの状態からレンズ材料7の吐出を続けると、特にインクジェット法で吐出していることからドットごとは大きな量とならないことにより、土台部材4b上で全体としてのバランスが保たれ、結果として図1(c)に示すように接触角θ’が大きな鈍角となって球に近い状態になる。
図1(a)〜(c)のそれぞれの吐出量の状態で例えば放射線照射硬化してレンズ部材8aが形成されている。
また、逆に面発光レーザ2などの発光源からの光が放射性を有することなく、直進性を有する場合、レンズ部材8aを透過させることでこの透過光に放射性を持たせることができる。
次に、本発明のマイクロレンズの製造方法について説明する。本発明のマイクロレンズの製造方法は、基体上にその上面が凹凸形状を有する土台部材を形成する工程と、土台部材の上面の少なくとも一部を撥液処理する工程と、土台部材の上面に液滴吐出法によってレンズ材料を複数ドット吐出し、前記土台部材上にレンズ部材を形成する工程と、を備えている。
図7(a)〜(e)は基体3上に土台部材4bを形成する工程を示し、図8(a)〜(e)は図7の工程で形成した土台部材4b上に凸部9bを形成する工程を示し、図9(a)および(b)は土台部材4b上にレンズ部材8aを形成する工程を示している。
その後、図7(e)に示すようにレジストパターン5aを除去し、さらに約350℃で熱処理を行うことにより、土台部材パターン4aを十分に硬化させて土台部材4bとする。次いで、この土台部材4bの上面に前述のような方法にて撥液処理を実施する。
次に、レジストパターン11aを除去し、熱処理を実施して図8(e)の凸部9bが形成されることになる。
そして、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13は元の形状に戻る。よって、キャビティ15も元の容積に戻ることから、キャビティ15内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル18から液状体の液滴22が吐出される。
また、このようにして製造されたレンズ部材8aと、基体3に予め形成した前記面発光レーザ2とから、本発明の一実施形態となる光学装置が得られる。
次いで、図11(d)に示すように土台部材4aをレジストパターン11aをマスクとしてエッチングする。このエッチングする際には、土台部材4aの厚さ方向に対して全てをエッチングせずに、所望する凸部の高さに応じてその高さと同じ土台部材4aの厚さをエッチングする。そして、図11(d)のように凸部パターン9aを形成し、土台部材4aは厚さが減少しているが基体3上に残っている。この状態で土台部材4aの上面の撥液処理を実施する。
次に、レジストパターン11aを除去した後、図11(e)で熱処理を実施し土台部材4bおよび凸部9bが形成される。ここで、土台部材4aの上面を撥液処理する際に、凸部9aの表面はレジストパターン11aに覆われており、したがって凸部パターン9aの上面は親液性を有している。一方、土台部材4aの上面および凸部9aの側面は撥液処理が行われた状態となっている。
また、土台部材4bや凸部9bの形成方法についても、前述したフォトリソグラフィー法やポリイミド系樹脂の硬化方法によるものに限定されることなく、他の形成方法、例えば選択成長法や転写法等を採用することができる。また、土台部材4bの表面をエッチングなどで荒らして凹凸部を形成する方法であっても良い。
また、本発明においては、前記の面発光レーザ2とレンズ部材8aを含むマイクロレンズとからなる光学装置に加えて、この光学装置からの出射光を伝送する光ファイバや光導波路等からなる光伝送手段と、この光伝送手段で伝送された光を受光する受光素子とを備えることにより、光伝送装置として機能させることができる。
このような光伝送装置にあっては、前述したように良好な発光特性(光学特性)を有する光学装置を備えているので、この光伝送装置も良好な伝送特性を有するものとなる。
本発明のレーザプリンタ用ヘッドは、前記光学装置を備えてなるものである。すなわち、このレーザプリンタ用ヘッドに用いられた光学装置は、図12に示すように多数の面発光レーザ2を直線的に配してなる面発光レーザアレイ2aと、この面発光レーザアレイ2aを構成する個々の面発光レーザ2に対して配設されたレンズ部材8aと、を備えてなるものである。なお、面発光レーザ2に対してはTFT等の駆動素子(図示せず)が設けられており、また、このレーザプリンタ用ヘッドには温度補償回路(図示せず)が設けられている。
さらに、このような構成のレーザプリンタ用ヘッドを備えることにより、本発明のレーザプリンタが構成される。
また、このレーザプリンタ用ヘッドを備えたレーザプリンタにあっても、前述したように描画特性が良好なレーザプリンタ用ヘッドを備えているので、このレーザプリンタ自体が描画特性に優れたものとなる。
Claims (10)
- 液滴吐出法によって形成されたレンズ部材を備えるマイクロレンズであって、
基体上に形成された土台部材と、
前記土台部材の上面に液滴吐出法によりレンズ材料が複数ドット吐出されて前記土台部材の前記上面に形成された前記レンズ部材とを備え、
前記土台部材の前記上面が凹凸形状を有し、前記土台部材の前記上面の少なくとも一部が撥液処理されており、
前記土台部材の前記上面に凸部が設けられ、前記凸部に、前記レンズ部材の前記凸部からの離脱を防止する離脱防止手段が設けられていることを特徴とするマイクロレンズ。 - 前記離脱防止手段が、前記凸部の最小横断面積の部位と、前記土台部材の前記上面に対して前記最小横断面積の部位の上方で前記最小横断面積より大きい横断面積の前記凸部の部位と、で形成される前記凸部の形状であることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズ。
- 前記離脱防止手段が、前記土台部材の前記凸部の少なくとも一部に形成された親液性部位であることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズ。
- 前記土台部材の前記上面の形状が円形あるいは楕円形、もしくは多角形であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載のマイクロレンズ。
- 前記土台部材が透光性を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載のマイクロレンズ。
- 液滴吐出法によって形成されたレンズ部材を備えるマイクロレンズの製造方法であって、
基体上にその上面が凹凸形状を有する土台部材を形成する工程と、
前記土台部材の前記上面の少なくとも一部を撥液処理する工程と、
前記土台部材の前記上面に離脱防止手段を有する凸部を形成する工程と、
前記土台部材の前記上面に液滴吐出法によりレンズ材料を複数ドット吐出し前記土台部材の前記上面にレンズ部材を形成する工程と、
を備えたことを特徴とするマイクロレンズの製造方法。 - 面発光レーザと、請求項1〜5のいずれか一項に記載のマイクロレンズとを備え、前記マイクロレンズを前記面発光レーザの出射側に配設したことを特徴とする光学装置。
- 請求項7記載の光学装置と、受光素子と、前記光学装置からの出射光を前記受光素子に伝送する光伝送手段とを備えたことを特徴とする光伝送装置。
- 請求項7記載の光学装置を備えたことを特徴とするレーザプリンタ用ヘッド。
- 請求項9記載のレーザプリンタ用ヘッドを備えたことを特徴とするレーザプリンタ。
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