JP4191567B2 - 導電性接着剤による接続構造体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
ここで、二つの電気構造物を接合する技術であって、各々に電極を有し、各々の電極に接続する部分A(A部)と当該A部の間の中間部B(B部)とで構成し、接続強度不足の対策としてA部は「剛接続」、B部は「柔接続」とする発明が考えられている。特開2002−271005号公報に記載されたものでは、A部の「剛接続」の方法として電極と導電性フィラーを「合金化」させて剛接続とし、B部の「柔接続」は「導電性粒子(導電性フィラー)を含む導電性接着剤」を用いている。しかし、このものにおける「合金化」方式は、酸化被膜で被覆した導電性フィラー(導電性粒子)を「合金化」して剛接続させるために、超音波振動や加圧、加熱などの専用工程が必要であり、加熱の場合は加熱温度が高いためデバイスや基板にダメージを与える恐れがあるという問題がある。
上記課題を解決するための解決手段1は、第一の電気構造物と第二の電気構造物が、導電性接着剤により接続された接続構造体において、その第一の電気構造物と第二の電気構造物との接続に金属微粒子の融着現象、即ち、前記導電性接着剤の加熱硬化温度以下の温度で起こる金属微粒子の融着現象を利用し、前記第一の電気構造物に設けられた第一の電極と前記第二の電気構造物に設けられた第二の電極の少なくとも一方の電極と、前記導電性接着剤中の導電性フィラーとの導通が、金属微粒子の融着による剛接続により確保されている電極接続部と、前記第一の電極と第二の電極の間の中間部における導通が、前記導電性接着剤による柔接続により確保されている中間接続部とから成り、前記金属微粒子は前記導電性接着剤の熱硬化温度以下で融着が起こる金属微粒子であり、前記導電性接着剤は該導電性接着剤の熱硬化温度以下では融着が起こらない粒径の導電性フィラーを含む導電性接着剤であることである。
第一の電極又は第二の電極と導電性接着剤の接続部に金属微粒子が存在しており、この状態で導電性接着剤を熱硬化させると、前記金属微粒子が前記導電性接着剤の熱硬化温度以下で融着するから、この加熱処理によって、前記第一の電極又は第二の電極と前記導電性接着剤中の導電性フィラーとの接触部分が融着接合されるので、前記電極と導電性接着剤との電極接続部が「剛接続」される。前記「剛接続」部の間の中間部では、前記導電性接着剤は熱硬化されて導電性フィラーが結合され導通状態になるが、導電性フィラー同士が融着することはないので該中間部は「柔接続」である。
実施態様1は、解決手段1による接続構造体おいて、電極接続部の金属微粒子が界面活性剤被膜又は酸化被膜等により被覆され、融着現象が制御されていることである。
〔作用〕
金属微粒子を被覆する界面活性剤等の被膜の特性を変えることにより、融着現象が起こる温度を制御することができる。
実施態様2は、上記解決手段1又は実施態様1の接続構造体において、その中間接続部の導電性接着剤中の導電性フィラーが一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーであることである。
〔作用〕
中間接続部の導電性フィラーを一軸方向に伸びた針形状のものにすることにより、導電性フィラーは3次元的な網目構造で相互接触が可能であり、導電性フィラーの配合比を低くしても安定した低抵抗を確保することができる。
実施態様3は、上記解決手段1、実施態様1、又は実施態様2の接続構造体において、その中間接続部の導電性接着剤がシリコーン樹脂であることである。
〔作用〕
シリコーン樹脂は弾性特性に優れており、応力緩和機能を更に向上することができる。
実施態様4は、上記解決手段1、又は実施態様1〜実施態様3のいずれかの接続構造体において、第一の電極又は第二の電極のうち、一方の電極に対して金属微粒子の融着を利用して接続を行い、他方の電極に対して導電性接着剤の接着力により接続を行うことである。
〔作用〕
一方の電極のみに金属微粒子による融着接続を行い、他方の電極に界面剥離が可能な接続を行っているので、せん断力を加えることにより任意の電極界面で剥離することができる。このため、リペアする際に電極上の再生処理が不要であり、再接続を容易に行うことができる。
実施態様5は、上記解決手段1、又は実施態様1〜実施態様4のいずれかの接続構造体において、電極接続部が、導電性接着剤の熱硬化温度以下で融着が起こる金属微粒子と、導電性接着剤の熱硬化温度以下では融着が起こらない粒径の導電性フィラーと、接着剤とから成る導電性接着剤によって接続されていることである。
〔作用〕
金属微粒子により電極と導電性フィラーとの間、及び導電性フィラー同士が融着するため、界面での接着力が向上する。
実施態様6は、上記実施態様5の接続構造体において、その電極接続部の導電性フィラーが一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーであることである。
〔作用〕
導電性フィラーとして針形状の導電性フィラーを用いることにより、従来のフレーク状又は球状フィラーに比べると、樹脂中での可動能力が高く相対的に応力緩和機能を有している。
実施態様7は、上記実施態様5の接続構造体において、その電極接続部の導電性フィラーが導電性接着剤の熱硬化温度以下で融着が起こる金属微粒子を表面に付けた一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーであることである。
〔作用〕
針形状の導電性フィラー表面に金属微粒子を付着させた状態で接着剤中に混練し接続しているため、金属微粒子による電極と針形状の導電性フィラーとの融着、及び針形状の導電性フィラー同士の融着が促進される。
実施態様8は、上記実施態様5〜実施態様7の接続構造体において、その電極接続部の導電性接着剤の弾性率が中間接続部の導電性接着剤の弾性率より高いことである。
〔作用〕
導電性接着剤による接続界面での接着力の向上が図れると共に、導電性フィラー接触導通部での応力緩和機能が確保される。
実施態様9は、上記実施態様5〜実施態様8のいずれかにおいて、その中間接続部の導電性接着剤が針形状の導電性フィラーを含んでいることである。
〔作用〕
針形状の導電性フィラーを含むことにより、中間接続部において応力緩和機能を向上することができる。
実施態様10は、上記実施態様5〜実施態様9のいずれかの接続構造体において、その電極接続部の導電性フィラーの接着剤に対する配合比が、中間接続部の導電性フィラーの接着剤に対する配合比よりも大きいことである。
〔作用〕
電極接続部において、導電性フィラーの配合比が大きいので、金属微粒子による電極と導電性フィラーの融着、及び導電性フィラー同士の融着が多くなる。
実施態様11は、解決手段1又は実施態様1〜実施態様4のいずれかの接続構造体において、その電極接続部が金属微粒子の融着層を介して導電性接着剤により接続されていることである。
〔作用〕
電極接続部の接続界面において、金属微粒子による融着により電極表面上に微細な凹凸形状が形成されるため、接着剤のアンカー効果により接着強度が高められる。
実施態様12は、解決手段1又は実施態様1〜実施態様11のいずれかの接続構造体において、第一の電極と第二の電極の少なくとも一方がベアチップ上のバンプであることである。
〔作用〕
ベアチップ上のバンプと導電性接着剤中の導電性フィラーとが金属微粒子により融着するため、接続面積が小さくても接続強度を大きくできる。
実施態様13は、実施態様2、実施態様3、実施態様6、又は実施態様7の接続構造体において、電極接続部の一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーと、中間接続部の一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーが、ウイスカー表面に金属を被覆したものであることである。
〔作用〕
一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーとして、ウイスカー表面に金属被覆したフィラーを用いることにより、小径でアスペクト比の高い針形状の導電性フィラーを低コストで利用することができる。また、小径化することで狭ピッチ接続が可能となるとともに、アスペクト比が高いので3次元的な網目構造での接触が得られ、所定の導電率を得るための導電性フィラー配合比を低く抑えることができる。
上記課題を解決するための解決手段2は、上記解決手段1、実施態様1〜実施態様3、又は実施態様11のいずれかの接続構造体を製造する方法であって、第一の電極又は第二の電極の少なくとも一方の電極上に、金属微粒子を付着した後、導電性接着剤により前記両電極を加熱接続する際、金属微粒子の融着と導電性接着剤の硬化とを同時に行うことである。
実施態様14は、上記解決手段2の接続構造体を製造する方法において、電極上に金属微粒子を含むコロイド溶液を供給し、前記溶液中の溶媒を揮発させて乾燥状態とすることによって、前記電極上に金属微粒子を付着することである。
(1) 請求項1及び請求項2に係る発明
接着剤の熱硬化温度以下で融着が起こる金属微粒子の融着を利用して電極接続部を接続するので、導電性接着剤の加熱硬化による接続時に、同時に電極接続部が融着される。したがって、電極接続部の融着接続のために特殊な工程を必要とせず、また、電子デバイスにダメージを与える恐れのない低温プロセスにも拘わらず、電極接続部において十分な接続強度を確保することができる。
また、中間接続部は、接着剤の熱硬化温度以下では融着が起こらない粒径の導電性フィラーの接触により導通するよう構成されるので、応力緩和特性に優れた接続が可能となる。
中間接続部の導電性フィラーが針形状の導電性フィラーであるので、接着剤中で3次元的な網目構造で相互接触が可能であり、導電性フィラー配合比を低くしても安定した低抵抗を確保することができる。これにより、導電性接着剤としては弾性率を低く抑えることができ、熱歪等に対する応力緩和機能と接続信頼性とを向上させることができる。
(3) 請求項4に係る発明
中間接続部の接着剤をシリコーン樹脂としたものであるから、中間接続部が弾性特性に優れ、このため応力緩和特性に優れた接続がなされる。
一方の電極のみに金属微粒子による融着接続を行い、他方の電極に界面剥離が可能な接続を行うことにより、せん断力を加えることにより任意の電極界面で剥離することができる。このため、リペアする際に電極上の再生処理が不要である。
また、このような接続により導電性接着剤部での応力緩和特性が極めて優れているため、熱歪等により接続界面に加わる応力を低減することができる。
(5) 請求項6に係る発明
電極接続部が、金属微粒子と導電性フィラーと接着剤を含む導電性接着剤により接続されており、電極と導電性フィラーとの間、及び導電性フィラー同士が金属微粒子により融着しているため、接続界面での接着力が向上する。
導電性フィラーとして針形状の導電性フィラーを用いることにより、従来のフレーク状あるいは球状フィラーに比べて、樹脂中での可動能力が高く相対的には応力緩和機能を有しているため、熱歪等に対する接続信頼性が更に向上する。
(7) 請求項8に係る発明
針形状の導電性フィラー表面に金属微粒子を付着させた状態で接着剤中に混練して接続しているため、金属微粒子による電極と針形状の導電性フィラーとの融着、及び針形状の導電性フィラー同士の融着が促進され、接続強度の向上と電気抵抗の低減が図られる。
電極接続部の導電性接着剤を弾性率が高いものとし、中間接続部の導電性接着剤を弾性率の低いものとしているので、接着剤による接続界面での接着力向上を図ることができ、且つ導電性フィラー接触導通部での応力緩和機能が向上する。
(9) 請求項10に係る発明
中間接続部の導電性接着剤が針形状の導電性フィラーを含むことにより、該導電性フィラーの接触により導通を確保している中間接続部において、応力緩和機能を向上することができる。
電極接続部の導電性接着剤中の導電性フィラーの配合比を中間接続部の導電性接着剤中の導電性フィラーの配合比よりも高くすることにより、電極接続部での電極と導電性フィラー、及び導電性フィラー同士の金属微粒子による融着を多くすることができるので、接着強度を大きくすることができ、また、中間接続部での応力緩和機能を高めることができる。
(11) 請求項12に係る発明
電極接続部が金属微粒子の融着層を介して導電性接着剤により接続されているので、電極接続部の接続界面において、金属微粒子による融着により電極表面上に微細な凹凸形状が形成されるため、接着剤のアンカー効果を活用することができ、これにより、接着強度を高めることができる。
ベアチップ上のバンプと導電性接着剤中の導電性フィラーとが金属微粒子により融着しているため、接続面積が小さくても接続強度を大きくすることができ、その結果、膨張差が大きい基板上へもベアチップを実装することができる。
(13) 請求項14に係る発明
一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーとして、ウイスカー表面に金属被覆したフィラーを用いることにより、小径でアスペクト比の高い針形状の導電性フィラーを低コストで利用することができる。また、小径化することで狭ピッチ接続が可能となり、アスペクト比が高いので3次元的な網目構造での接触が得られ、その結果、所定の導電率を得るための導電性フィラー配合比を低く抑えることができる。これにより、導電性接着剤としての応力緩和特性を向上できると共に、接着剤による接着力を高めることができる。
電極上に金属微粒子を付着した後、導電性接着剤により両電極を接続する際、金属微粒子の融着と導電性接着剤の硬化を同時に行うことにより接続を完了することが可能であり、非常に簡便なプロセスで、電極接続構造を作製することができる。
また、電極上に金属微粒子を含むコロイド溶液を供給し、その溶媒を揮発させることにより、電極上へ金属微粒子を付着することができる。
金属粒子径が100nm以下、特に、10nmレベルになると粒子の表面エネルギーが急激に高くなり、融点よりも低い温度で融着現象を含めた凝集が起こる。例えば、Agの融点は961℃であるが、数nmのAg微粒子は常温においても融着現象を起こす。この金属微粒子の融着現象を利用するときの金属微粒子の構造としては、次の2種類がある。
本発明は導電性接着剤により接続するとき、上記金属微粒子の低温での融着現象を利用して、電極と導電性接着剤中の導電性フィラーを接合することによって、電極界面の接着強度を向上させるものである。
実施例1は、基板1(第一の電気構造物)の電極11に対して電子デバイス2(第二の電気構造物)の電極21を導電性接着剤3によって接続するものである。前記導電性接着剤3は、接着剤32の中に導電性フィラー31が混入されたものであり、この導電性フィラー31は金属微粒子融着接合部5において、電極11及び電極21に接合されている。このように基板1に対して電子デバイス2を接続するとき、先ず、それぞれの電極11,21の表面に金属微粒子を付着させた後、少なくとも一方の電極に導電性接着剤3を塗布し、基板1に電子デバイス2を搭載する。そして、150℃程度に加熱することにより、金属微粒子を融着して各電極11,21と導電性フィラー31を接合する。
このような実施例1の構成によれば、導電性接着剤中の接着剤硬化と金属微粒子の融着を150℃程度の低温プロセスにより同時に行うことができると共に、加圧工程が不要であり、電子デバイスにダメージを与えることのない低温プロセスによって接続を完了することができる。
なお、以下において「金属微粒子」は、150℃程度の低温プロセスで融着現象を生じる金属微粒子を意味する。
この実施例2の導電性接着剤3は、第一の電極と第二の電極の間の中間部であり、導電性フィラーの接触により導通を確保する部位の導電性フィラーとして、一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラー33を用いるものである。この場合、全てが針形状の導電性フィラーであっても他形状の導電性フィラーが含まれていてもよい。
この針形状導電性フィラー33は、接着剤32中で3次元的な網目構造で相互接触が可能であり、導電性フィラー配合比を低くしても安定した低抵抗を確保することができる。これにより、導電性接着剤としては弾性率を低く抑えることができ、熱歪等に対する応力緩和機能と接続信頼性とを向上させることができる。
上記実施例2について、具体的な例を説明する。
シリコーン樹脂としてTSE3250を用い、導電性フィラーとしてはセラミックスウイスカーにAg被覆した針形状の導電性フィラーを採用し、針形状の導電性フィラーの配合比を15〜25容量%として、導電性接着剤の試作を行った。ここで使用したセラミックスウイスカーは、径が約0.5μm、平均長さが10〜20μmのものを使用した。結果として弾性率は0.4〜1.0MPaが得られており、従来のシリコーン樹脂系導電性接着剤、例えばDA6523(東レダウコーニング)の19.6MPaに比べて、1桁以上の低弾性率を達成することができた。この場合は、弾性変形特性にも優れており、接続部の応力緩和能力が極めて高くなっている。
この実施例3は、基板1に対して電子デバイス2を接続する場合、シリコーン樹脂中に針形状の導電性フィラーを主とした導電性フィラーを混練した導電性接着剤3により接続するものであるが、一方(電子デバイス2側)の電極21とは金属微粒子の融着を利用した接続を行い、他方(基板1側)の電極11とは導電性接着剤3の接着力により接続を行っている。
シリコーン樹脂中に針形状の導電性フィラーを混練した導電性接着剤3は、導電性フィラーの配合比が低くても安定した低抵抗が得られ、機械的特性もシリコーン樹脂特性と同様な弾性特性を示す。また、機械的な強度においても、シリコーン樹脂の材料内破壊強度が接着強度よりも大きいときは、前記導電性接着剤3においても同様の特性を示すから、強制的なせん断力を加えると電極界面(接着面)で剥離することができる。
これに対して一般的な導電性接着剤による接続部にせん断力を加えると、材料内での凝集破壊を起こし、電極上に残さが残ってしまうため、リペア等を行う際は電極の再生処理を行った後に接続する必要がある。
この実施例4においては、電極11,21の接続界面は、少なくとも接着剤32、金属微粒子、及び導電性フィラーを含む導電性接着剤6により接続されており、前記金属微粒子により電極11,21と導電性フィラーとの間、及び導電性フィラー同士が融着されている。これにより、接続界面での接着力が向上する。ここで、導電性フィラーとして針形状導電性フィラー33を活用することにより、針形状導電性フィラー33同士も金属微粒子により融着されるが、従来のフレーク状あるいは球状フィラーに比べると、樹脂(接着剤)中での可動能力が高く相対的には応力緩和機能を有しているため、熱歪等に対する接続信頼性が更に向上する。
また、少なくとも接着剤32、金属微粒子、及び針形状導電性フィラー33を含有する導電性接着剤6について、針形状導電性フィラーの表面に金属微粒子を付着させた状態で(図5参照)接着剤中に混練することにより、金属微粒子による電極と針形状導電性フィラーとの融着、及び針形状導電性フィラー同士の融着を促進することができ、接続強度の向上と更なる低抵抗化が可能である。
金属微粒子が針形状導電性フィラーとともに混入された導電性接着剤について、具体的な例を説明する。
遊星式(自転公転型)撹拌器を用いて、Agコロイド溶液2容量%と、Ag被覆針形状導電性フィラー20容量%とを撹拌し、この撹拌中に溶媒を揮発させる。その後、シリコーン樹脂TSE3221を78容量%を加え、遊星式撹拌器にて混練する。その結果、同一の配合比にてAg被覆針形状導電性フィラーとシリコーン樹脂との混練後に、Agコロイド溶液を加えた場合に比して、導電性フィラー間の融着を促進することができ、硬化物の弾性率を高めることができる。
本発明では、電極と導電性フィラーとを金属微粒子の融着により接合して接着強度を向上させるものであるが、接続部の信頼性を向上するためには、接着強度の向上だけではなく、接続部での熱歪に対する応力緩和機能が求められている。そこで、この実施例5においては、電極11と導電性フィラー33とを金属微粒子の融着により接合する接続部において、導電性接着剤6の接着剤特性を弾性率の高いものとするのに対し、導電性フィラーの接触により導通を確保している中間接続部において、導電性接着剤3の接着剤特性を弾性率の低いものにしている。これにより、導電性接着剤による接続界面での接着強度は高められると共に、導電性フィラー接触導通部での応力緩和機能が確保される。
上記実施例5の具体的な例について説明する。
電極接続用の導電性接着剤6の構成を、
(1) シリコーン樹脂TSE3221:JIS−A硬さ28(GE東芝シリコーン製)を78容量%
(2) Ag金属微粒子:平均粒径10〜20nmを2容量%
(3) Ag被覆針形状導電性フィラー:径0.5μm、長さ10〜20μmを20容量%とし、
導電性フィラー接触接続用の導電性接着剤3の構成を、
(4) シリコーン樹脂TSE3250:JIS−A硬さ9(GE東芝シリコーン製)を80容量%
(5) Ag被覆針形状導電性フィラー:径0.5μm、長さ10〜20μmを20容量%として、接続を行った。
これについて、せん断力を加え破壊試験を実施した結果、破壊モードは導電性フィラー接触接続用の導電性接着剤3の凝集破壊であった。また、この導電性接着剤3による接続構造は弾性変形能力が極めて高いため、電極との接着強度向上と応力緩和機能の両特性が優れた接続構造である。
この実施例6は、電極11,21上の金属微粒子の融着層8を介して、導電性接着剤3により接続しているものである。電極11,21上の金属微粒子は、導電性接着剤3中の導電性フィラー33が接触していない部位においても前記電極上で融着している。また、この金属微粒子の融着により、電極11,21と導電性フィラー33とを融着接合している。
前記金属微粒子の電極11,21上での融着は、これらの電極と導電性フィラー33との融着による接続強度の強化だけでなく、前記導電性フィラー33が接触していない電極11,21上においても金属微粒子の融着が起こっており、前記電極上に微小な凹凸や空孔が形成されるため、接着剤のアンカー効果により接続強度が更に向上される。
この実施例7は、ベアチップ4の電極41上にバンプ42が形成されており、このバンプ42と導電性接着剤3中の導電性フィラーとを金属微粒子により融着接合させている。このバンプ界面との接続部9においては、金属微粒子のみ、金属微粒子と針形状の導電性フィラーの混合状態、又は金属微粒子と針形状の導電性フィラーと接着剤を混合した状態のいずれかによって接続されてもよい。
また、導電性フィラーの接触によって導通が確保されている中間接続部においては、応力緩和機能の向上のために、針形状の導電性フィラーを活用した導電性接着剤3であることが望ましいが、フレーク状又は球状導電性フィラーを含む導電性接着剤3でもよい。そして、金属微粒子の融着による接続は、両接続界面に存在する場合に限らず、一方の接続界面のみに存在していてもかまわない。ただし、ベアチップ4のバンプ42側に金属微粒子の融着を利用することが望ましい。
上記実施例7の具体的な例について説明する。
原稿読み取り用のCCDラインセンサは長尺チップであるが、この長尺CCDベアチップを白板ガラス基板上に実装し、温度サイクル試験を行った。
長尺CCDチップサイズは75×1.3mmサイズである。このCCDベアチップの電極上にバンプを形成し、このバンプ上に転写方式によって、Ag微粒子、Ag被覆針形状導電性フィラー及びシリコーン樹脂を混練した導電性接着剤を供給する。一方、ガラス基板上には、Ag被覆針形状導電性フィラー及びシリコーン樹脂を混練した導電性接着剤をスクリーン印刷によって供給し、前記CCDベアチップをマウントした後、加熱硬化処理により接続を完了する。
パッケージングなしの状態で、温度サイクル試験(温度範囲:−25℃⇔100℃、サイクル回数:1000回)において正常動作することを確認した。この結果から、Siベアチップと白板ガラスの線膨張差に起因する大きな熱歪を接続部により応力緩和して、接続界面においても十分な強度を有していることが確認できた。
実施例8は、一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラー(図2、図4、図5等を参照)として、ウイスカー表面に金属被覆したフィラーを用いたものである。導電性フィラーのコア材としてウイスカーを用いることにより、小径でアスペクト比の高い針形状導電性フィラーを低コストで得ることができる。金属被覆方法としては、無電解めっき等を採用することができる。
この針形状の導電性フィラーは、接着剤中で3次元的な網目構造で相互接触しており、小径化できるので狭ピッチ接続が可能であると共に、アスペクト比が高いことから3次元的な網目構造での接触が得られるので、所定の導電率を得るための導電性フィラーの配合比を低く抑えることができる。これにより、導電性接着剤としての応力緩和特性を向上することができると共に、接着剤による接着力も大きくすることができる。
2:電子デバイス
3:導電性接着剤
4:ベアチップ
5:金属微粒子融着接合部
6:導電性接着剤
7:金属微粒子
8:電極上の融着層
9:バンプ界面の接続部
11:電極
21:電極
31:導電性フィラー
32:接着剤
33:針形状導電性フィラー
41:電極
42:バンプ
Claims (16)
- 第一の電気構造物と第二の電気構造物とが、導電性接着剤により接続された接続構造体であって、
前記第一の電気構造物に設けられた第一の電極と前記第二の電気構造物に設けられた第二の電極の少なくとも一方の電極と、前記導電性接着剤中の導電性フィラーとの導通が、金属微粒子の融着による剛接続により確保されている電極接続部と、
前記第一の電極と第二の電極の間の中間部における導通が、前記導電性接着剤による柔接続により確保されている中間接続部とから成り、
前記金属微粒子は、前記導電性接着剤の熱硬化温度以下で融着が起こる金属微粒子であり、
前記導電性接着剤は、該導電性接着剤の熱硬化温度以下では融着が起こらない粒径の導電性フィラーを含む導電性接着剤であること、
を特徴とする接続構造体。 - 上記電極接続部の金属微粒子が界面活性剤被膜又は酸化被膜等により被覆され、融着現象が制御されていることを特徴とする請求項1に記載の接続構造体。
- 上記中間接続部の導電性接着剤中の導電性フィラーが一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の接続構造体。
- 上記中間接続部の導電性接着剤がシリコーン樹脂であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の接続構造体。
- 上記第一の電極又は第二の電極のうち、一方の電極に対して金属微粒子の融着を利用して接続を行い、他方の電極に対して導電性接着剤の接着力により接続を行うことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の接続構造体。
- 上記電極接続部が、導電性接着剤の熱硬化温度以下で融着が起こる金属微粒子と、導電性接着剤の熱硬化温度以下では融着が起こらない粒径の導電性フィラーと、接着剤とから成る導電性接着剤によって接続されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の接続構造体。
- 上記電極接続部の導電性フィラーが、一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーであることを特徴とする請求項6に記載の接続構造体。
- 上記電極接続部の導電性フィラーが、導電性接着剤の熱硬化温度以下で融着が起こる金属微粒子を表面に付けた一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーであることを特徴とする請求項6に記載の接続構造体。
- 上記電極接続部の導電性接着剤の弾性率が、上記中間接続部の導電性接着剤の弾性率より高いことを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれかに記載の接続構造体。
- 上記中間接続部の導電性接着剤が針形状の導電性フィラーを含んでいることを特徴とする請求項6〜請求項9のいずれかに記載の接続構造体。
- 上記電極接続部の導電性フィラーの接着剤に対する配合比が、上記中間接続部の導電性フィラーの接着剤に対する配合比よりも大きいことを特徴とする請求項6〜請求項10のいずれかに記載の接続構造体。
- 上記電極接続部が金属微粒子の融着層を介して導電性接着剤により接続されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の接続構造体。
- 上記第一の電極と上記第二の電極の少なくとも一方がベアチップ上のバンプであることを特徴とする請求項1〜請求項12のいずれかに記載の接続構造体。
- 上記電極接続部の一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーと、上記中間接続部の一軸方向に伸びた針形状の導電性フィラーが、ウイスカー表面に金属を被覆したものであることを特徴とする請求項3、請求項4、請求項7、又は請求項8に記載の接続構造体。
- 上記第一の電極又は第二の電極の少なくとも一方の電極上に、上記金属微粒子を付着した後、導電性接着剤により前記両電極を加熱接続する際、金属微粒子の融着と導電性接着剤の硬化とを同時に行うことを特徴とする請求項1〜請求項4、又は請求項12のいずれかに記載の接続構造体の製造方法。
- 上記電極上に金属微粒子を含むコロイド溶液を供給し、前記溶液中の溶媒を揮発させて乾燥状態とすることによって、前記電極上に金属微粒子を付着することを特徴とする請求項15に記載の接続構造体の製造方法。
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