JP4175815B2 - 薄膜形成装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、有機LED素子の発光層に用いられる有機薄膜を蒸着によって形成するための薄膜形成装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、フルカラーフラットパネルディスプレイ用の素子として、有機LED素子が注目されている。有機LED素子は、蛍光性有機化合物を電気的に励起して発光させる自発光型素子で、高輝度、高視野角、面発光、薄型で多色発光が可能であり、しかも数Vという低電圧の直流印加で発光する全固体素子で、かつ低温においてもその特性の変化が少ないという特徴を有している。
【0003】
図6は、従来の有機LED素子を作成するための薄膜形成装置の概略構成図である。
図6に示すように、この薄膜形成装置101にあっては、真空槽102の下部に蒸発源103が配設されるとともに、この蒸発源103の上方に成膜対象物である基板104が配置されている。そして、蒸発源103から蒸発される有機材料の蒸気を、マスク105を介して基板104に蒸着させることによって所定パターンの有機薄膜を形成するようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、マスクのピッチのファイン化や基板の大型化に伴い、従来の技術では均一な膜厚分布を得ることが困難になりつつある。
【0005】
特に、従来の有機薄膜装置では、成膜の際、蒸発源からの熱によってマスクが変形し、蒸着領域のずれが生じてしまうという問題があった。
【0006】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、蒸発源からマスクへの熱の影響を防止して正確な領域に膜を形成しうる薄膜形成装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた請求項1記載の発明は、所定の成膜対象物に対して薄膜を形成するための真空槽と、前記真空槽内に配設され所定の蒸発材料を蒸発させる複数の蒸発源を含む蒸発部と、前記成膜対象物の近傍に配設され前記薄膜を所定のパターンで形成するためのマスクと、前記マスクと前記蒸発部との間に配設され移動可能な成膜制御用シャッターとを備え、前記シャッターには、前記複数の蒸発源に対応する複数のスリット状の開口部が形成されるとともに、前記複数の開口部の周囲を巡って所定の冷媒を循環させるように構成された冷却機構が設けられ、前記シャッターは、閉じた状態において前記蒸発源から蒸発した蒸発材料を遮る一方で、前記閉じた状態から前記シャッターを移動させて前記複数の開口部が前記蒸発源の直上にそれぞれ位置したときには前記複数の蒸発源から蒸発した前記蒸着材料が前記複数の開口部を通過して前記成膜対象物に到達するように構成されていることを特徴とする薄膜形成装置である。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記成膜制御用シャッターの冷却機構は、シャッター本体の内部を前記所定の冷媒が循環するように構成されていることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2のいずれか1項記載の発明において、前記成膜制御用シャッターの冷却機構は、水が循環するように構成されていることを特徴とする。
【0008】
本発明にあっては、所定の冷却機構を有する成膜制御用シャッターが成膜対象物と蒸発部との間に配設されていることから、蒸発源からの熱がマスクに伝わりにくく、これによりマスクの変形に起因する蒸着領域のずれを防止することが可能になる。
【0009】
その結果、本発明によれば、成膜対象物に対し正確な領域に膜を形成することが可能になる。
【0010】
また、本発明においては、成膜制御用シャッターの冷却機構を、所定の冷媒を循環させるように構成すること、特に、シャッター本体の内部を水が循環するように構成することによって、簡素な構成で効率良く成膜制御用シャッターの冷却を行うことが可能になる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明に係る薄膜形成装置の好ましい実施の形態の正面側断面図であり、有機LED素子の有機薄膜を形成するためのものである。
【0012】
また、図2(a)は、同薄膜形成装置の蒸発部の断面図、図2(b)は、同蒸発部のシャッターの外観構成を示す平面図である。
【0013】
図1に示すように、本実施の形態の薄膜形成装置1は、図示しない真空排気系に接続された真空槽2を有し、この真空槽2の下方には後述する蒸発部3が配設されている。
【0014】
そして、この蒸発部3の上方近傍には、蒸発部3から蒸発する蒸気を制御するための成膜制御用シャッター(以下「シャッター」という。)7が設けられている。
【0015】
一方、真空槽2の上部には、基板ホルダー4が設けられ、この基板ホルダー4に、蒸着膜を形成すべき基板(成膜対象物)5が固定されている。そして、基板5の下方近傍にはマスク6が設けられている。
【0016】
図2(a)(b)に示すように、本実施の形態の蒸発部3は、複数の蒸発源から構成されている。
【0017】
本実施の形態の場合は、ホスト材料を蒸発させるためのホスト蒸発源30と、ドーパント材料を蒸発させるためのドーパント蒸発源31とを有している。
【0018】
これらホスト蒸発源30とドーパント蒸発源31は、それぞれ細長の円筒形状の蒸発容器32、33を有している。
【0019】
ここで、各ホスト蒸発源30の蒸発容器32の内部には、所定の有機系の蒸発材料(例えばAlq3)40が収容され、この蒸発材料40は、図示しないヒータによって加熱されるようになっている。
【0020】
ここで、各ホスト蒸発源30は、所定のピッチをおいて平行に配列されている。
そして、各ホスト蒸発源30の蒸発容器32の上部の中央部には、その長手方向に沿って所定の間隔で複数の蒸発口34が直線的に設けられている。
【0021】
一方、ドーパント蒸発源31は、ホスト蒸発源30と隣接する位置に配設され、上記同様のピッチをおいて平行に配列されている。そして、各ドーパント蒸発源31の蒸発容器33の内部には、所定の有機系の蒸発材料(例えばDCJTB(4-dicyanomethylene-6-cp-julolidinostyryl-2-tert-butyl-4H-pyran))41が収容され、この蒸発材料41は、図示しないヒータによって加熱されるようになっている。
【0022】
さらに、各ドーパント蒸発源31の蒸発容器33の上部の中央部には、その長手方向に沿って所定の間隔で複数の蒸発口35が直線的に設けられている。
【0023】
一方、シャッター7は、例えば、ステンレス、銅等の金属材料からなるもので、蒸発部3を覆う大きさの平板状のシャッター本体70を有している。
【0024】
このシャッター本体70には、各ホスト蒸発源30及びドーパント蒸発源31に対応する複数のスリット状の開口部70aが平行に形成されている。
【0025】
そして、このシャッター7は、図示しない駆動機構に連結され、開口部70aの幅方向に移動して開閉動作を行うように構成されている。
【0026】
図2(a)(b)に示すように、本実施の形態のシャッター7においては、シャッター本体70の内部に、所定の冷媒80を循環させてシャッターの温度を制御するためのパイプライン(冷却機構)71が配設されている。
【0027】
本実施の形態の場合、パイプライン71は、開口部70aの長手方向に沿って開口部70aの周囲を巡るように設けられている。
【0028】
図1に示すように、このパイプライン71は、真空槽2の外部に設けた冷媒源8に連結されている。そして、この冷媒源8から所定の冷媒80を導入管81を介してパイプライン71内に導入し、さらに、この冷媒80を排出管82から排出して冷媒源8に戻すように構成されている。
【0029】
この冷媒源8は、冷媒80を所定の温度に冷却する機能を有し、シャッター本体70から排出され温度上昇した冷媒80を冷却するようになっている。
【0030】
本発明の場合、冷媒80の種類は特に限定されることはないが、コストを抑える観点からは、冷却水を用いることが好ましい。
【0031】
また、冷却水の温度も特に限定されることはないが、有機材料を用いる本実施の形態においては、20℃以下に制御することが好ましい。
【0032】
このような構成を有する本実施の形態において基板5上に成膜を行う場合には、真空槽2内を所定の圧力に調整した後、冷媒源8を動作させてシャッター7における冷媒80の循環を開始する。
【0033】
そして、図3に示すように、シャッター7を閉じた状態で、蒸発部3のホスト蒸発源30及びドーパント蒸発源31内の蒸発材料40、41の加熱を開始する。
【0034】
これにより、各ホスト蒸発源30及びドーパント蒸発源31の蒸発口34、35から蒸発材料40、41の蒸気が放出される。この時点では、蒸発材料40、41の蒸気はシャッター7によって遮られるため、基板5には到達しない。
【0035】
そして、蒸発材料40、41の蒸発速度が所定の値に到達した時点でシャッター7を移動させ、その開口部70aを各ホスト蒸発源30及びドーパント蒸発源31の蒸発口34、35の直上に位置させる。
【0036】
これにより、図4に示すように、シャッター7の開口部70aを介して蒸発材料40、41の蒸気が基板5に向かうようになる。
【0037】
そして、この状態を維持して成膜を行い、所定の膜厚が得られた時点でシャッター7を閉じて成膜を終了するとともに冷却水の循環を終了する。
【0038】
以上述べたように本実施の形態にあっては、所定の冷却機構を有するシャッター7が基板5と蒸発部3との間に配設されていることから、蒸発部3からの熱がマスク6に伝わりにくく、これによりマスク6の変形に起因する蒸着領域のずれを防止することができ、基板5の正確な領域に膜を形成することができる。
【0039】
また、本実施の形態においては、シャッター本体70の内部を冷媒80が循環するように構成されていることから、簡素な構成で効率良くシャッター7の冷却を行うことができる。
【0040】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施の形態においては、シャッター本体70の内部にパイプライン71を設けて冷媒80を循環させるようにしたが、本発明はこれに限られず、例えば、図5(a)(b)に示すように、シャッター本体70の外部(基板5側又は蒸発部3側)にパイプライン72を設けて冷媒80を循環させることも可能である。
【0041】
このような構成によれば、シャッター本体70の構成の簡素化を図ることが可能になる。
【0042】
また、冷媒80の循環経路についても、プロセスの条件や装置構成に応じて適宜変更することができる。
【0043】
さらに、本発明は有機LED素子の有機薄膜を形成するための装置に限られず、種々の蒸着装置に適用することができる。ただし、本発明は有機材料を用いて有機LED素子の有機薄膜を形成する場合に特に有効なものである。
【0044】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、マスクの変形に起因する蒸着領域のずれを防止して成膜対象物の正確な領域に膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る薄膜形成装置の好ましい実施の形態の正面側断面図
【図2】(a):同薄膜形成装置の蒸発部の断面図
(b):同蒸発部のシャッターの外観構成を示す平面図
【図3】同薄膜形成装置の成膜工程を示す説明図
【図4】同薄膜形成装置の成膜工程を示す説明図
【図5】(a)(b):本発明の他の実施の形態の要部を示す構成図
【図6】従来の有機LED素子を作成するための薄膜形成装置の概略構成図
【符号の説明】
1…薄膜形成装置 2…真空槽 3…蒸発部 5…基板(成膜対象物) 7…成膜制御用シャッター 71…パイプライン(冷却機構)
Claims (3)
- 所定の成膜対象物に対して薄膜を形成するための真空槽と、
前記真空槽内に配設され所定の蒸発材料を蒸発させる複数の蒸発源を含む蒸発部と、
前記成膜対象物の近傍に配設され前記薄膜を所定のパターンで形成するためのマスクと、
前記マスクと前記蒸発部との間に配設され移動可能な成膜制御用シャッターとを備え、
前記シャッターには、前記複数の蒸発源に対応する複数のスリット状の開口部が形成されるとともに、前記複数の開口部の周囲を巡って所定の冷媒を循環させるように構成された冷却機構が設けられ、
前記シャッターは、閉じた状態において前記蒸発源から蒸発した蒸発材料を遮る一方で、前記閉じた状態から前記シャッターを移動させて前記複数の開口部が前記蒸発源の直上にそれぞれ位置したときには前記複数の蒸発源から蒸発した前記蒸着材料が前記複数の開口部を通過して前記成膜対象物に到達するように構成されていることを特徴とする薄膜形成装置。 - 前記成膜制御用シャッターの冷却機構は、シャッター本体の内部を前記所定の冷媒が循環するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の薄膜形成装置。
- 前記成膜制御用シャッターの冷却機構は、水が循環するように構成されていることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項記載の薄膜形成装置。
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