JP4169802B2 - 管路内を流れる流動媒体の質量を測定するための測定装置 - Google Patents

Description

背景技術
本発明は、請求項１の上位概念部に記載の形式の、管路内を流れる流動媒体の質量を測定するための測定装置から出発する。既にドイツ連邦共和国特許第４４０７２０９号明細書に基づき、流れ通路が測定モジュールに組み込まれているような測定装置が公知である。流れ通路は測定素子を収容していて、流入開口を起点として流れ方向で徐々に先細りになっている。先細りになった区分には、Ｓ字形に形成された変向通路が続いており、この変向通路は方形の横断面プロファイルを有している。この測定モジュールは差込み可能な構成部分として形成されている。この測定モジュールの支持部分は、測定したい管路の壁に密に挿入可能であって、電子評価回路を収容している。
測定素子としては、たとえばドイツ連邦共和国特許出願公開第４３３８８９１号明細書に基づき公知であるような特にマイクロメカニズム構造の構成素子が適している。ドイツ連邦共和国特許出願公開第４３３８８９１号明細書に基づき公知の測定素子では、感熱性の２つの抵抗が組み込まれている。両抵抗は、たとえば酸化ケイ素または窒化ケイ素から成っていてよく、小さな熱伝導率および小さな固有熱容量を有している。両感熱性の抵抗はシリコンフレームによって互いに熱絶縁されている。一方の感熱性の抵抗は固有の測定センサとして動作するのに対して、第２の感熱性の抵抗は流動媒体の温度のためのセンサとして働く。
ドイツ連邦共和国特許第３６２７４６５号明細書に基づき、吸気通路内の空気量を測定するために測定素子を流れ方向に対して所定の角度だけ傾け、これにより測定素子における懸濁された粒子の付着を減少させることが知られている。さらに上記ドイツ連邦共和国特許第３６２７４６５号明細書に基づき、測定素子の、空気流に面した方の上流側の端面と、空気流に面していない方の下流側の端面とに楔形の突出部を設け、これにより同じく、空気流の懸濁された粒子の付着を減少させることが知られている。ドイツ連邦共和国特許第３９４１３３０号明細書に基づき、感熱性の測定素子の表面を、測定したい流動媒体の流れ方向に対して所定の角度だけ傾けることが知られている。測定素子が流れ方向に対して僅かにしか傾けられていない場合または極端な事例では測定素子が流れ方向に対して平行に向けられている場合には、測定特性の角度依存性が比較的大きくなるのに対して、測定素子の測定表面と流動媒体の流れ方向との間の傾斜角度が大きくなるにつれて、測定特性の角度依存性は徐々に小さくなるので、上記ドイツ連邦共和国特許第３９４１３３０号明細書の記載によれば、流動媒体の流れ方向と測定素子の測定表面との間の角度が２０〜６０°の範囲にある場合に、比較的信頼性の良い再現可能な測定結果が得られる。
しかし、これらの公知の測定装置には次のような欠点がある。すなわち、流動媒体中で搬送された汚染粒子、特にダスト粒子が測定素子に衝突すると、測定素子がこの汚染粒子によって破壊される恐れがある。特にたとえばドイツ連邦共和国特許出願公開第４３３８８９１号明細書に記載されているようなマイクロメカニズム構造の構成部分が測定素子として使用される場合には、汚染粒子が、比較的薄く形成されたダイヤフラムに衝突して、このダイヤフラムを永続的に損傷させる恐れがある。したがって、測定素子の高められた摩耗や、早期故障が生じ得る。さらに、オイル含有または脂肪含有の汚染粒子が、測定素子の特にダイヤフラムに沈着する恐れもある。このような汚染粒子は固体粒子、たとえばダストまたは砂粒のためのいわば付着助剤として働いて、測定素子を永続的に汚染する。このような汚染により、測定素子と流動媒体との間の熱結合が妨げられているので、測定特性線のずれが生じ、このことは必然的に測定誤差を招く。測定装置が内燃機関の吸気通路内の吸込空気を検出するために使用される場合には、たとえば燃料噴射弁の誤制御や、ひいては燃料・空気混合物の最適ではない調節が生じ得るので、内燃機関の排ガス値は測定素子の汚染度が増大するにつれて悪化する。
公知の測定装置のさらに別の欠点は、測定したい管路内に脈動流が生じた場合の測定精度がまだ最適であるとは云えないことにある。
発明の利点
請求項１の特徴部に記載の特徴を有する、管路内を流れる流動媒体の質量を測定するための本発明による測定装置には、従来のものに比べて次のような利点がある。すなわち、管路内を流れる流動媒体中に連行された汚染粒子により測定素子が負荷されることが十分に回避されるか、あるいは少なくとも減じられる。特に、マイクロメカニズム構造の構成部分として形成された測定素子のダイヤフラムは、本発明による手段により、管路内を流れる流動媒体中に連行された汚染粒子との衝突に対して十分に保護されるので、測定素子の寿命は著しく延長される。流れ通路が、測定素子を収容する方の測定通路と、測定素子を迂回する方の迂回通路とに分割されることに基づき、汚染粒子のほとんどが迂回通路を通って導出され、比較的僅かにしか汚染されていない流動媒体だけが測定通路を通って測定素子の傍らを案内されることが達成される。これにより、測定素子、特に測定素子の薄くて敏感なダイヤフラムと汚染粒子との衝突の危険は著しく減じられる。さらにオイル含有または脂肪含有の汚染粒子が測定素子に衝突することも減じられるので、測定素子におけるダストおよび別の固体粒子の付着による汚染も十分に阻止される。こうして、特性線の変化が阻止され、得られた測定結果の信頼性も高められる。したがって、本発明による測定装置が内燃機関の吸込空気質量を検出するために使用された場合でも、内燃機関の排ガス値は永続的に悪化されなくなる。
請求項２以下に記載の構成により、請求項１に記載の測定装置の有利な改良が可能となる。
流れ通路が、流入開口と、流れ通路を測定通路と迂回通路とに分岐させる分離個所との間に、湾曲させられた区分を有しており、測定通路が、湾曲させられた区分の相対的に小さな曲率半径を有する方の内側の範囲に続いており、迂回通路が、湾曲させられた区分の相対的に大きな曲率半径を有する方の外側の範囲に続いていると、特に有利である。湾曲させられた区分内で汚染粒子に作用する遠心力に基づき、汚染粒子は外方に向かって押しのけられて、外周の範囲もしくは外側の範囲に導入されるので、湾曲させられた区分の外側の範囲は比較的大量の汚染粒子で負荷されており、内側の範囲は比較的少量の汚染粒子でしか負荷されていない。したがって、多くの汚染粒子は、測定素子の傍らを通る迂回通路に流入し、測定通路には流入しない。測定素子を取り囲むように流過する流動媒体の汚染は著しく減じられている。
これに対して択一的に、測定通路を、測定したい管路の長手方向軸線に関して流入開口に対して半径方向にずらすことも可能である。これにより、測定通路は、管路の長手方向軸線に対してほぼ平行に延び、ひいては管路の長手方向軸線に対して平行に流入開口を投影した場合の投影図により規定されている汚染粒子の飛翔軌道もしくは移動軌道の十分に外側に位置するようになる。
測定通路と迂回通路との間には、隔壁が設けられていてよい。この場合、迂回通路と測定通路とが測定素子の下流側で再び合流して、１つの共通の流出開口で管路に開口しているか、または測定通路と迂回通路とが引き続き測定装置内で互いに別個の流出開口を備えた互いに別個の通路として案内されていてもよい。特に、測定通路と迂回通路とが測定素子の下流側で再び合流して、１つの共通の流れ通路、たとえばＳ字形の変向通路を形成している場合には、隔壁を横断面流線形に加工成形し、これにより流れ剥離を回避し、かつ流動媒体に対してできるだけ小さな流れ抵抗を付与することが有利である。
測定通路および迂回通路の流出開口は、測定装置の流出側に配置されていると有利である。この流出側は測定装置の流入側に配置された流入開口とは反対の側に位置している。
流れ通路が第２の分離個所を有していて、この第２の分離個所で流れ通路が主流れ方向とは反対の方向で測定通路と第２の迂回通路とに分岐されていると、特に有利である。特に、主流れ方向とは反対の方向の逆流成分が生じるような脈動流が発生する場合には、このような手段が有利となる。なぜならば、この場合、逆流方向においても、測定素子の傍らを通って流れる流動媒体から汚染粒子が除去されるからである。このためには、流出開口と第２の分離個所との間に、湾曲させられた第２の区分が設けられていると有利である。湾曲させられた第１の区分と、湾曲させられた第２の区分とは、互いに対称的に形成されていると有利である。これにより、後方に向かって著しく脈動する流れが発生した場合でも、比較的僅かな測定誤差しか生じなくなる。この場合、湾曲させられた両区分と、同じく湾曲させられた測定通路とが互いに補い合って、約３６０°の角度を成すループを形成していると有利である。
図面
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
第１図は本発明による測定装置の第１実施例を示す断面図であり、
第２図は本発明による測定装置の第２実施例を示す断面図であり、
第３図は本発明による測定装置の第３実施例を示す断面図であり、
第４図は本発明による測定装置の第４実施例を示す断面図である。
実施例の説明
第１図には、流動媒体の質量、特に内燃機関の吸込空気質量を測定するために働く本発明による測定装置１を側方から見た断面図が示されている。
測定装置１は、管路２内を流れる流動媒体の質量を検出する。管路２は単に概略的にしか図示されていないが、少なくとも測定装置１の範囲では長手方向軸線３に沿って延びている。管路２は、たとえば内燃機関の吸気導管であってよい。その場合、この吸気導管を介して内燃機関は周辺から空気を吸い込むことができる。図示の実施例では、流動媒体、たとえば吸込空気が、図面で見て右側から左側に向かって管路２を通って流れる。管路２内の流れ方向は矢印４で示されている（以降、「主流れ方向４」と呼ぶ）。
測定装置１は有利には、管路２内で半径方向に延びる縦長の形状を有していて、有利には管路２の壁５から切り欠かれた開口内に、たとえば差込み式に導入され得る。測定装置１が、管路２の壁５に差込み可能な差込みモジュールとして形成されていることにより、特に簡単な組付けおよび保守が可能となる。有利な構成では、測定装置１内に電子評価回路６が、たとえばインサートモールディングにより組み込まれていてよい。また、電子評価回路を壁５の外側に収納することも考えられる。管路２の壁５から突出した差込み区分７には、測定装置１への電流供給および測定装置１により得られた測定信号の取出しのための相応する複数の接点８が設けられていてよい。これらの接点８は接続線路９を介して電子評価回路６に接続されている。
測定装置１は、たとえばプラスチックからプラスチック射出成形体として一体に製造されていてよい。測定装置１は流れ通路１０を有しており、この流れ通路１０は一種のバイパス導管の形で管路２の主流れ横断面１１に対して並列に配置されている。流れ通路１０は流入開口１２から１つまたは複数の流出開口にまで延びている。第１図に示した実施例では、第１の流出開口１３と第２の流出開口１４とが設けられている。流入開口１２における主流れ方向は矢印１６で示されており、流出開口１３，１４における主流れ方向は矢印１７；１８でそれぞれ示されている。流れ通路１０内部での主流れ方向は矢印１９で示されている。
本発明の構成では、流れ通路１０が分離個所１５において、測定素子２１が配置されている方の測定通路２０と、測定素子２１を迂回する方の迂回通路２２とに分岐されている。
測定素子２１は接続線路２３を介して電子評価回路６に接続されていて、有利にはたとえばドイツ連邦共和国特許出願公開第４３３８８９１号明細書において提案されているようなマイクロメカニカル構造の構成部分として形成されている。測定素子２１は自体公知の形式で、少なくとも１つ、しかし有利には２つの感熱性の抵抗素子を有しており、これらの抵抗素子は、たとえば酸化ケイ素または窒化ケイ素から成る誘電ダイヤフラム上に形成されている。誘電ダイヤフラムはこの場合、熱容量が極めて低くかつ熱伝導率も比較的低いので、測定素子の応答特性が比較的短くなるという利点を有している。
測定素子２１は図示の有利な実施例では、エッチング加工により形成された、極めて小さな厚さしか有しないダイヤフラム形のセンサ範囲を備えた、シリコンを主体としたプレート状の支持体と、同じくエッチング加工により形成された複数の抵抗層とを有している。これらの抵抗層は温度に依存した少なくとも１つの測定抵抗と、たとえば１つの加熱抵抗とを形成する。ダイヤフラムの中央部に加熱抵抗が位置していると有利である。この加熱抵抗は温度フィーラを用いて過剰温度に関してコントロールされる。加熱抵抗により形成された加熱範囲の上流側と下流側には、この加熱範囲に対して対称的に配置された２つの測定抵抗が設けられている。測定素子２１の支持体は、たとえば金属から成る収容部に設けられた切欠き内に、この切欠きと同一平面内で収納されていて、たとえば接着により保持されている。この収容部は測定通路２０に突入しているので、測定素子２１は測定装置１の測定通路２０を通って流れる流動媒体によって取り囲まれるように流過される。
第１図に示した実施例では、流入開口１２と分離個所１５との間に、湾曲させられた第１の区分２４が設けられている。この第１の区分２４は図示の実施例では主流れ方向１９で図面で見て右側に向かって湾曲させられている。これにより、管路２内に存在しかつ流入開口１２を介して流れ通路１０内に侵入した汚染粒子はその慣性質量に基づき遠心力によって外側に向かって押しのけられて、湾曲させられた第１の区分２４の外側の範囲２５に導入される。この場合、汚染粒子は液滴、たとえば水滴または油滴であってもよいし、固形粒子、たとえばダストであってもよい。それに対して、湾曲させられた第１の区分２４の内側の範囲２６は、遠心力による押しのけに基づき、汚染粒子によって比較的僅かにしか汚染されていない。
測定通路２０が、湾曲させられた第１の区分２４の内側の範囲２６に続いていて、それに対して測定素子２１を迂回する方の迂回通路２２が、主流れ方向１９で、湾曲させられた第１の区分２４の外側の範囲２５に続いていることに基づき、湾曲させられた第１の区分２４の外側の範囲２５の、特に汚染粒子で汚染された流動媒体が、第２の流出開口１４を介して管路２内に戻されることが達成され、しかもこの場合、汚染粒子が測定素子２１に衝突して、この測定素子２１を損傷させるという危険は全く生じない。このことは、測定素子２１が、前で説明したように汚染粒子の衝突に関して特に敏感であるダイヤフラム形のセンサ範囲を備えたマイクロメカニズム構造の構成部分として形成されている場合には特に重要となる。本発明による手段により、いわば、流動媒体の汚染粒子を含んでいる固相または液相が、実際に測定したい気相から分離されるわけである。汚染された流動媒体が第２の流出開口１４を介して導出されることに基づき、迂回通路２２または湾曲させられた第１の区分２４の外側の範囲２５に汚染粒子が付着し得ないことが確保され、ひいては自己浄化効果が与えられていることが確保される。
第１図に示した実施例では、測定通路２０と迂回通路２２とが、リップ状の薄い隔壁２７によって分離されている。測定通路２０と迂回通路２２とは、互いに十分に平行に延びており、測定通路２０を通流する流動媒体と、迂回通路２２を通流する流動媒体とは、互いに別個の、ただし互いに隣接した流出開口１３，１４から流出する。この場合、流出開口１３，１４は、管路２の主流れ方向４に面していない下流側の流出側２８に配置されている。この流出側２８は管路２の主流れ方向４に面した上流側の流入側２９とは反対の側に位置しており、この流入側２９には流入開口１２が配置されている。流出側２８および流入側２９の第１図で見て下側の範囲は、第１図に示した実施例では、流れ特性に適合された円弧状の横断面定数（Ｑｕｅｒｓｃｈｎｉｔｔｓｋｏｎｓｔａｎｔｅ）を有している。リップ状の隔壁２７は製造技術的に比較的簡単に製造され得る。この隔壁２７は場合によってはあとから流れ通路１０の加工成形後に流れ通路１０内に挿入することもできる。
第２図には、本発明による測定装置１の第２実施例が示されている。既に説明した構成部分または同じ構成部分には、同一の符号が付与されている。
第２図に示した第２実施例は、第１図に示した第１実施例とは、第１に次の点で異なっている。すなわち、第２実施例では測定素子２１を収容する方の測定通路２０と、測定素子２１を迂回する方の迂回通路２２とが、隔壁２７の下流側もしくは測定素子２１の下流側において再び合流して、Ｓ字形の変向通路４０の形の１つの共通の流れ通路を形成している。この変向通路４０の流出開口３０は、管路２の主流れ方向４に関して陰にされた、斜めに面取りされた区分４１に設けられている。流れが著しく脈動した場合に比較的大きな逆流成分が発生した場合でも、変向通路４０により、極めて小さな測定誤差しか生じない。
第２図に示した第２実施例はさらに次の点でも第１図に示した第１実施例とは異なっている。すなわち、汚染粒子で著しく汚染された流動媒体の、迂回通路２２への導入および僅かにしか汚染粒子で汚染されていない流動媒体の、測定通路２０への導入が、湾曲させられた第１の区分２４によって行われるのではなく、測定通路２０が管路２の長手方向軸線３に関して流入開口１２に対して半径方向にずらされていることにより行われる。汚染粒子の移動軌道は管路２の長手方向軸線３に対してほぼ平行に向けられているので、流入開口１２を管路２の長手方向軸線３に対して平行に投影した場合の投影図の外に分離個所１５が位置していると、測定通路２０には比較的僅かな汚染粒子しか侵入しない。隔壁２７はこの第２実施例では流線形に加工成形されており、これにより流れ剥離が回避されると共に、流動媒体に対してできるだけ小さな流れ抵抗しか加えられなくなる。
第３図には、本発明による測定装置１の第３実施例が示されている。第３図においても、既に説明した構成部分と同じ構成部分には、対応関係を明瞭にする目的で同一の符号が付与されている。
第１図に示した第１実施例の場合と同様に、第３実施例においても、流れ通路１０は主流れ方向１９で、測定素子２１が配置されている方の測定通路２０と、迂回通路２２とに分岐されている。測定通路２０と第１の迂回通路２２とは主流れ方向１９で分離個所１５の上流側で互いに逆向きに湾曲させられているので、迂回通路２２は比較的短い距離で、測定装置１の流出側２８に設けられた第２の流出開口１４に通じている。既に説明したように、測定通路２０は湾曲させられた第１の区分２４の内側の範囲２６に、迂回通路２２は外側の範囲２５にそれぞれ続いているので、汚染粒子に作用する遠心力に基づき、汚染粒子は専ら迂回通路２２に侵入し、測定素子２１には到達しない。湾曲させられた第１の区分２４の湾曲は測定通路２０に続いていて、この測定通路２０は湾曲させられた第１の区分２４と共に、流入開口１２から第１の流出開口１３にまで延びるループを形成している。このループは約３６０°の角度を成している。
測定素子２１はこの実施例では、管路２内の主流れ方向４とは反対の方向で流過され、測定通路２０は引き続き変向されて、流出開口１３において、流入開口１２に対してほぼ同じ軸方向位置で、ただし流れ通路１０の幅に相応して側方にずらされて、管路２に戻し案内されている。これにより、測定通路２０のほぼ対称的な構成が生じ、これにより、本発明による測定装置１により検出された、流動媒体の質量は、流れ方向とは十分に無関係となる、つまり流れ方向の影響をほとんど受けなくなる。このことは特に、たとえば内燃機関の吸気管路内で生じるような、比較的大きな逆流成分を有する、著しく脈動する流れにおいて重要となる。しかし、センサ近傍で場合によって生じる流れ現象（Ｓｔｒｏｅｍｕｎｇｓｐｈａｅｎｏｍｅｎ）に基づき、大きな逆流成分の場合の利点を失うことなく測定通路２０の構成を意図的に非対称的に形成することも考えられる。
第４図には、本発明による測定装置１の第４実施例が示されている。この場合にも、既に説明した構成部分と同じ構成部分には、同一の符号が付与されているので、これらの構成部分に関しては詳しい説明を省略する。
第４図に示した第４実施例は、既に第３図につき説明した第３実施例にほぼ相当している。第４実施例の特徴は、流れ通路１０を主流れ方向１９で測定通路２０と、流出開口１４に開口する、測定素子２１を迂回する第１の迂回通路２２とに分岐させる唯一つの第１の分離個所１５しか設けられていないのではなく、測定素子２１と第１の流出開口１３との間に第２の分離個所５０が設けられている点にある。この第２の分岐個所５０では、流れ通路１０が主流れ方向１９とは反対の方向で、測定素子２１が配置されている方の測定通路２０と、測定素子２１を迂回する第２の迂回通路５１とに分岐されている。図示の第４実施例では、第２の迂回通路５１は、測定装置１の、管路２の長手方向軸線３に対してほぼ平行に配置された側面において第３の流出開口５２を介して管路２に開口している。したがって、第２の迂回通路５１はやはり比較的短い距離で、対応する流出開口５２にまで案内されている。両迂回通路２２，５１の短い距離は汚染粒子の付着を阻止する。
さらに、第４図に示した第４実施例では、湾曲させられた第２の区分５３が設けられている。この第２の区分５３は第１の流出開口１３と第２の分離個所５０との間に配置されている。測定通路２０はこの場合、主流れ方向１９とは反対の方向で、湾曲させられた第２の区分５３の相対的に小さな曲率半径を有する方の内側の範囲５４に続いており、それに対して第２の迂回通路５１は、主流れ方向１９とは反対の方向で、湾曲させられた第２の区分５３の相対的に大きな曲率半径を有する方の外側の範囲５５に続いている。
第２の分離個所５０および第２の迂回通路５１の目的は、主流れ方向１９とは反対の方向の比較的大きな逆流成分を有する、著しく脈動する流れが生じた場合でも、第１の分離個所１５におけると同様に、逆流時に第２の流出開口１３を通じて流入した汚染粒子が遠心力に基づき測定通路２０ではなく第２の迂回通路５１に侵入して、測定素子２１を迂回して第３の流出開口５２から流出することを保証することにある。こうして、逆流時に短時間、主流れ方向１９とは反対の方向に流れる汚染粒子も測定素子２１から確実に離隔される。
流れ通路１０の湾曲させられた第１の区分２４と、湾曲させられた第２の区分５３とは、互いにほぼ対称的に形成されていると有利である。さらに、湾曲させられた第１の区分２４と、測定通路２０と、湾曲させられた第２の区分５３とが互いに補い合って、約３６０°の角度を成すループを形成していると有利である。
本発明は図示の実施例に限定されるものではない。対応する使用事例にとって有効となるのであれば、測定通路２０および迂回通路２２，５２の構成を変えることもできる。場合によっては、第３の流出開口５２をも測定装置１の流出側２８に設けて、第２の迂回通路５１を相応して延長することも有利になり得る。本発明による測定装置は、ガス状の流動媒体の質量を測定するためにも、液状の流動媒体の質量を測定するためにも適している。

Claims (13)

1. 管路（２）内を流れる流動媒体の質量、特に内燃機関の吸込空気質量を測定するための測定装置（１）であって、流動媒体によって取り囲まれるように流過される測定素子（２１）が設けられていて、該測定素子（２１）が、当該測定装置（１）の、管路（２）内に設けられた流れ通路（１０）内に配置されており、該流れ通路（１０）が、管路（２）に連通された流入開口（１２）と、該流入開口（１２）の下流側で管路（２）に開口した少なくとも１つの流出開口（１３；３０）との間で、主流れ方向（１９）に沿って延びている形式のものにおいて、流れ通路（１０）が、流入開口（１２）と測定素子（２１）との間に配置された第１の分離個所（１５）で、測定素子（２１）が配置されている方の測定通路（２０）と、測定素子（２１）を主流れ方向（１９）で迂回する第１の迂回通路（２２）とに分岐されており、流れ通路（１０）が、少なくとも流入開口（１２）と第１の分離個所（１５）との間に、湾曲させられた第１の区分（２４）を有しており、測定通路（２０）が、湾曲させられた第１の区分（２４）の相対的に小さな曲率半径を有する方の内側の範囲（２６）に主流れ方向（１９）で続いており、第１の迂回通路（２２）が、湾曲させられた第１の区分（２４）の相対的に大きな曲率半径を有する方の外側の範囲（２５）に主流れ方向（１９）で続いていることを特徴とする、管路内を流れる流動媒体の質量を測定するための測定装置。
2. 測定通路（２０）が、管路（２）の長手方向軸線（３）に関して流入開口（１２）に対して半径方向にずらされている、請求項１記載の測定装置。
3. 主流れ方向（１９）で第１の分離個所（１５）の下流側で、測定通路（２０）と第１の迂回通路（２２）との間に隔壁（２７）が配置されている、請求項１または２記載の測定装置。
4. 測定通路（２０）と第１の迂回通路（２２）とが、主流れ方向（１９）で測定素子（２１）の下流側で再び合流している、請求項３記載の測定装置。
5. 前記隔壁（２７）が、横断面流線形に加工成形されている、請求項４記載の測定装置。
6. 測定通路（２０）と第１の迂回通路（２２）とが、主流れ方向（１９）で第１の分離個所（１５）の下流側で互いにほぼ平行に延びていて、１つの共通の流出開口または２つの隣接し合う流出開口（１３，１４）で管路（２）に開口している、請求項１から５までのいずれか１項記載の測定装置。
7. 測定通路（２０）と第１の迂回通路（２２）とが、主流れ方向（１９）で第１の分離個所（１５）の下流側の範囲で、互いに逆向きに湾曲させられて延びていて、空間的に互いに分離された流出開口（１３，１４）で管路（２）に開口している、請求項１から６までのいずれか１項記載の測定装置。
8. 流入開口（１２）が、当該測定装置（１）の流入側（２９）に配置されており、測定通路（２０）および第１の迂回通路（２２）の流出開口（１３，１４）が、当該測定装置（１）の前記流入側（２９）とは反対の側に位置する流出側（２８）に配置されている、請求項６または７記載の測定装置。
9. 流れ通路（１０）が、１つの流出開口（１３）と測定素子（２１）との間に配置された第２の分離個所（５０）で、測定素子（２１）を有する測定通路（２０）と、主流れ方向（１９）とは反対の方向で測定素子（２１）を迂回する第２の迂回通路（５１）とに分岐されている、請求項１から８までのいずれか１項記載の測定装置。
10. 流れ通路（１０）が、前記流出開口（１３）と前記第２の分離個所（５０）との間に、湾曲させられた第２の区分（５３）を有しており、測定通路（２０）が、湾曲させられた第２の区分（５３）の相対的に小さな曲率半径を有する方の内側の範囲（５４）に主流れ方向（１９）とは反対の方向で続いており、前記第２の迂回通路（５１）が、湾曲させられた第２の区分（５３）の相対的に大きな曲率半径を有する方の外側の範囲（５５）に主流れ方向（１９）とは反対の方向で続いている、請求項９記載の測定装置。
11. 流れ通路（１０）に設けられた、湾曲させられた第１の区分（２４）と、湾曲させられた第２の区分（５３）とが、互いにほぼ対称的に形成されている、請求項１０記載の測定装置。
12. 測定通路（２０）が少なくとも所定の区分で湾曲させられて形成されており、流れ通路（１０）の湾曲させられた第１の区分（２４）と、湾曲させられた第２の区分（５３）とが、湾曲させられた測定通路（２０）と補い合って、約３６０°の角度を成すループを形成している、請求項１０または１１記載の測定装置。
13. 前記第２の迂回通路（５１）が、当該測定装置（１）の、管路（２）の長手方向軸線（３）に対してほぼ平行に配置された側面で、管路（２）に開口している、請求項１０から１２までのいずれか１項記載の測定装置。

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