JP4162567B2 - ウェハノッチの鏡面加工装置 - Google Patents
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Description
11 基台
2 主軸台
21 スピンドル
211 研磨工具
22 スピンドル駆動源
3 テーブル支持枠
312 支持枠テーブル
4 横送り装置
41 横スライド装置
411 ガイドウェイ
412 主軸テーブル
42 横送り駆動装置
421 ピストンシリンダー機構
5 縦送り装置
51 縦スライド装置
511 ガイドウェイ
52 縦送り駆動装置
521 サーボモータ
522 送りねじ
6 ウェハチャックテーブル
61 傾動枠
611 傾動軸
612 セグメントウォームホィール
613 ウォーム
614 ステッピングモータ
621 揺動軸
63 ピストンシリンダー機構
7 ヒゲ除去工具
71 谷
9 スラリー供給装置
M ヒゲ状体
N ノッチ
P 領域
W 半導体ウェハー
Claims (11)
- 基台と、
半導体ウェハーのノッチの端面と上下傾斜面を鏡面加工するための研磨工具が取り付けられて回転するスピンドルと、
上記基台に支持されており、上記スピンドルを回転可能に支持する主軸台と、
上記スピンドルを回転駆動するためのスピンドル駆動源と、
上記半導体ウェハーを支持するためのウェハ支持面を備えたウェハチャックテーブルと、
上記基台に支持され、上記ウェハチャックテーブルを支持するテーブル支持枠と、
上記ウェハチャックテーブルと上記主軸台とが上記スピンドルの回転軸方向と直交する方向に沿った相対的移動が可能なように、上記テーブル支持枠又は上記主軸台を案内するための横スライド装置と、
上記研磨工具と上記ウェハチャックテーブルに支持された上記半導体ウェハーとを接近離間する方向に送るとともに互いに押し合う方向に付勢するために、上記横スライド手段を駆動するための横送り駆動装置と、
上記テーブル支持枠に設けられ、上記ウェハチャックテーブルを上記スピンドルの回転軸と平行な軸を中心として傾動させるためのテーブル傾動駆動装置と、
上記研磨工具が上記半導体ウェハーのノッチを研磨している箇所にスラリーを供給するためのスラリー供給装置と、
を備えたウェハ鏡面加工装置において、
上記ウェハチャックテーブルの上記ウェハ支持面の反対側には、このウェハチャックテーブルが研磨作業時に傾動する範囲よりも大きいヒゲ除去角に傾動させられたときに、上記ノッチによって掻き取られた上記研磨工具の繊維の一部が分離しないために発生するヒゲ状体を除去することができるヒゲ除去工具であって、内側表面に多数のダイヤモンドを配したV字状谷を有するブロック状体であり、このV字状谷は上記研磨工具の2つの傾斜面の断面輪郭直線のなす角と同じかこれよりもわずかに小さいV字角を有しているヒゲ除去工具が設けられていること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項1に記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記ウェハチャックテーブルは、上記支持されている半導体ウェハーの垂直軸を中心としてこの半導体ウェハーを揺動させることが可能であること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項1又は請求項2のいずれかに記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記ウェハチャックテーブルと上記主軸台とが上記スピンドルの回転軸方向に沿った相対的移動が可能なように、上記テーブル支持枠又は上記主軸台の少なくとも一方を案内するための縦スライド装置と、
上記縦スライド装置を駆動するための縦送り駆動装置と
が備えられていること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項3に記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
研磨工具整形工具が上記ヒゲ除去工具と並んで備えられていること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれかに記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記横スライド装置及び上記横送り駆動装置は、上記主軸台を横方向に案内駆動するものであること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれかに記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記横スライド装置及び横送り駆動装置は、上記テーブル支持枠を横方向に案内駆動するものであること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項3又は請求項4のいずれかに記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記縦スライド装置及び上記縦送り駆動装置は、上記テーブル支持枠を縦方向に案内駆動するものであること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項7に記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記縦送り駆動装置は、上記スピンドルの軸に沿って縦方向に、上記支持されている半導体ウェハーを揺動させるものであること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項3又は請求項4のいずれかに記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記縦スライド装置及び上記縦送り駆動装置は、上記主軸台を縦方向に案内駆動するものであること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項3から請求項9までのいずれかに記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記スピンドルには、上記研磨工具を軸方向に離間して複数個取り付けることが可能であること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。 - 請求項9に記載されたウェハノッチの鏡面加工装置において、
上記縦送り駆動装置は、上記スピンドルの軸に沿って縦方向に、上記スピンドルに取り付けられている研磨工具を揺動させるものであること
を特徴とするウェハノッチの鏡面加工装置。
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JP2003353901A JP4162567B2 (ja) | 2003-10-14 | 2003-10-14 | ウェハノッチの鏡面加工装置 |
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