JP4159952B2 - 金属異物検出装置及び検出方法 - Google Patents

Description

本願発明は、磁性酸化物、セラミックス、樹脂（プラスチック）等の電気電子材料、小麦粉等の食品材料、その他工業材料等の非導電材料の粉体に混在する金属異物を検出する装置及び検出する方法に関する。

従来工業材料や食品等の粉体に混在する金属異物の検出には、Ｘ線検出法や電磁誘導検出法等が使用されている。Ｘ線検出法は、マイクロフォーカス装置を使用すると、寸法が０．１ｍｍ程度の金属異物を検出できるが、装置が高価である。一方電磁誘導検出法は、寸法が０．５ｍｍ程度の金属異物を検出できる。

図９により従来の電磁誘導型の金属異物検出装置を説明する。
図９（ａ）は、従来の電磁誘導型の金属異物検出装置の概要を示し、図９（ｂ）は、制御部の構成を示す。（例えば特許文献１参照。）
励磁コイル（送信コイル）ＴＣと検出コイル（受信コイル）ＲＣ１，ＲＣ２は、対向するように配置しある。励磁コイルＴＣは、励磁電源１０によって励磁される。被検査体１１は、励磁コイルＴＣと検出コイルＲＣ１，ＲＣ２の間をコンベア等（図示せず）によって移動する。
検出コイルＲＣ１，ＲＣ２は、巻き方向が逆で、直列に接続され、可変抵抗器１２に接続している。検出コイルＲＣ１，ＲＣ２は、被検査体１１に金属異物が混在するとき信号を誘起する。その信号は、同期検波器１３１，１３２で検波し、Ａ／Ｄ変換回路１４１，１４２でデジタル信号に変換して、マイクロコンピュータ等からなる制御部１５へ送る。制御部１５は、リサージュ波形を形成し、そのリサージュ波形を基準のリサージュ波形と比較して金属異物有無を判別し、金属異物が混在するときは異物検出信号を発生する。表示装置１６は、金属異物が検出されたことを表示する。
制御部１５は、デジタル信号取入れ部１５１、リサージュ波形形成部１５２、基準リサージュ波形蓄積部１５３、リサージュ波形比較部１５４、金属異物検出信号発生部１５５等からなる。

特開２００１−９１６６２号公報

従来の電磁誘導型の異物検出装置は、励磁コイルと検出コイルが対向するように配置し、被検査体に金属異物が混在するとき検出コイルに信号を誘起するように構成してあるから、外部雑音の影響を受け易く、誤検出信号を発生することがある。また図１０の場合、可変抵抗器の信号取出し位置が正確に設定されていないと２つの検出コイルの出力のバランスが崩れて雑音を発生する。またリサージュ波形は、混在する金属異物が磁性体と非磁性体とで相違し、金属異物の大きさによっても相違するため、リサージュ波形の比較は容易でない。

電子機器や電子部品は、小型化、高機能化に伴い、それらを作製する電気電子材料は、高純度のものが要求され、かつ電気電子材料に混在する金属異物の許容寸法は、極小化する傾向にある。例えば、ＩＣ等の半導体素子を装着したセラミックス基板をパッケージに収容して樹脂を充填する場合、微細間隔の配線や端子の短絡を防止するため、セラミックスや樹脂の粉体中の金属異物の寸法は、配線間隔や端子間隔よりも小さくしなければならず、最近は０．１ｍｍ〜７０μｍ程度にする必要がある。また最近のトランスは、寸法が１．２×１．４ｍｍ程度のもの、或いはそれ以下のものが磁性酸化物を成形加工して作られているが、磁性酸化物粉体中の金属異物の許容寸法は、前記と同様０．１ｍｍ〜７０μｍ程度である。ところが現在セラミックス、樹脂、磁性酸化物等の非導電材料の粉体に混在する金属異物の検出可能な寸法は、Ｘ線検出法で０．１ｍｍ程度、電磁誘導検出法で０．５ｍｍ程度が限度である。

本願発明は、前記問題点に鑑み、従来の電磁誘導型の異物検出装置のように雑音の影響を受けることなく、リサージュ波形形成の必要もなく、かつ従来の金属異物検出装置よりも小さい寸法の金属異物を検出できる金属異物検出装置と検出方法を提供することを目的とする。

本願発明は、その目的を達成するため、請求項１に記載の金属異物検出装置は、高周波磁束発生用コイル、ヨーク、２個の磁極からなり、ヨーク、磁極、被検査体、磁極、ヨークの磁路を形成して高周波磁束を発生する磁化器と、その高周波磁束の磁路の磁極と磁極の間に非導電材料粉体の成形体の被検査体を保持する搬送用ガラス管と、その被検査体の温度分布を搬送用ガラス管の外から測定する赤外線カメラを備えていることを特徴とする。
請求項２に記載の金属異物検出装置は、請求項１に記載の金属異物検出装置において、前記非導電材料粉体は、セラミックス、樹脂、磁性酸化物等の電気電子材料粉体であることを特徴とする。

請求項３に記載の金属異物検出方法は、高周波磁束発生用コイル、ヨーク、２個の磁極からなり、ヨーク、磁極、被検査体、磁極、ヨークの磁路を形成する磁化器を用い、磁路の磁極と磁極の間に搬送用ガラス管を配置し、磁化器の発生する磁束によって搬送用ガラス管内に保持した非導電材料粉体の成形体の被検査体中の金属異物を誘導加熱し、その被検査体の温度分布を搬送用ガラス管の外から赤外線カメラにより測定して前記金属異物を検出することを特徴とする。
請求項４に記載の金属異物検出方法は、請求項３に記載の金属異物検出方法において、前記非導電材料粉体は、セラミックス、樹脂、磁性酸化物等の電気電子材料粉体であることを特徴とする。

本願発明の金属異物検出装置は、従来の電磁誘導型の金属異物検出装置のように、検出コイルを設け、その検出コイルに誘起する信号を取出す必要がなく、磁化器のコイルは、被検査体４に混在する金属異物の加熱にのみ使用し、金属異物の検出は、赤外線カメラの温度分布測定手段によって行うから、被検査体４の周囲の雑音が金属異物の検出に影響することはない。即ち本願発明の金属異物検出装置は、雑音の影響を受けない。また本願発明の磁化器は、検出コイルを設けないから構造が簡単になる。そして磁化器のコイルと赤外線カメラの温度分布測定手段は、電気的に結合していないから、従来の電磁誘導型の金属異物検出装置のように、励磁コイルと検出コイルの位置関係の調整が必要でないから、金属異物検出装置の取扱いが容易になる。また本願発明の金属異物検出装置は、従来の電磁誘導型の金属異物検出装置のように、リサージュ波形を形成する必要もない。
本願発明の金属異物検出装置は、従来の電磁誘導型の金属異物検出装置等では検出できなかった微小寸法（５０μｍ程度）の金属異物も検出できる。
本願発明の磁化器は、磁束がヨーク、磁極、被検査体、磁極、ヨークの磁路を還流し、磁極の先端の寸法を磁束が被検査体に集中するように設定することができる。
本願発明は、搬送用ガラス管内に被検査体を保持し、被検査体の温度分布の測定に赤外線カメラを用いるから、被検査体の撮影は、ガラス管の外から行うことができる。
本願発明の被検査体は、成形体であるから、成形体１個毎に検査でき、金属異物が混入している成形体は不良品として取出すことができる。

本願発明の実施の形態は、誘導加熱手段と赤外線カメラ、放射温度計等の温度測定手段とによって粉体の被検査体中の金属異物を検出している。
図１〜図９により本願発明の実施の形態を説明する。なお各図に共通の部分は、同じ符号を用いている。
図１は、本願発明の実施の形態に係る金属異物検出装置のブロック図である。
図１において、２１は赤外線カメラ、３はコンベア、４は粉体の被検査体、Ｍは磁化器、２２は撮影制御回路、２３はモニタ、２４は異物検出回路、５５は磁化電源回路である。磁化器Ｍは、コイルＣ、ヨークＹ、磁極Ｐ１，Ｐ２からなる。

被検査体４は、コンベア３に保持され、コンベア３とともに磁極Ｐ１と磁極Ｐ２の間を、紙面と直交する方向へ移動する。コイルＣは、加熱コイル（誘導子）で、磁化電源回路５５から高周波電流（２５〜７０ｋＨｚ）が供給されると、高周波磁束を発生する。高周波磁束は、ヨークＹ、磁極Ｐ１、被検査体４、磁極Ｐ２、ヨークＹの磁路を還流する。被検査体４は、その磁路内に保持されているから、被検査体４に金属異物が混在すると、その金属異物に渦電流が誘起し、ジュール熱を発生する。即ち被検査体４に混在する金属異物は、いわゆる誘電加熱によって発熱する。その結果被検査体４は、金属異物が混在する部分が局所的に高温になる。

赤外線カメラ２１は、撮影制御回路２２によって制御され、被検査体４から放射する赤外線を捕えて電気信号に変換する。被検査体４が放射する赤外線の量は、被検査体４の各部分の温度に対応している。したがって赤外線カメラ２１の出力は、被検査体４の温度分布に対応し、金属異物の存在する部分において大きくなる。撮影制御回路２２は、赤外線カメラ２１の撮影信号を、モニタ２３と異物検出回路２４へ送出する。モニタ２３は、被検査体４の温度分布波形又は温度分布画像を画面上に表示する。その温度分布波形又は温度分布画像から、被検査体４の温度分布を視認でき、金属異物の混在有無を判別できる。また異物検出回路２４は、被検査体４の撮影信号（温度分布波形）と、金属異物が混在しない被検査体の撮影信号（温度分布波形）とを比較して金属異物の混在有無を判別し、金属異物が混在するときは、異物検出信号を発生する。

本実施の形態の金属異物検出装置は、従来の電磁誘導型の金属異物検出装置のように、検出コイルを設け、その検出コイルに電磁誘導によって誘起する信号を検出する必要がない。即ち、コイルＣは、被検査体４に混在する金属異物の加熱にのみ使用し、金属異物の検出は、赤外線カメラ２１で行うから、被検査体４の周囲の雑音が金属異物の検出に影響することはない。したがって本実施の形態の金属異物検出装置は、雑音の影響を受けない。またコイルＣと赤外線カメラ２１は、電気的に結合していないから、従来の電磁誘導型の金属異物検出装置のように、励磁コイルと検出コイルの位置関係を調整する必要がないから、金属異物検出装置の取扱いが容易になる。また本実施の形態の金属異物検出装置は、従来電磁誘導型の金属異物検出装置のように、リサージュ波形を形成する必要もない。
本実施の形態の金属異物検出装置は、被検査体４をコンベア３で移動するから、連続して金属異物を検出できる。

被検査体４の温度分布の測定は、赤外線カメラに限らず、放射温度計等でもよい。また金属異物の検出は、被検査体４に混在する金属異物の有無を判別できればよいから、その判別は、赤外線カメラ２１の撮影信号（温度分布波形）を直接比較してもよいが、撮影信号をコンピュータで画像処理し、いわゆるサーモグラフィー法を用いてもよい。

本実施の形態の金属異物検出装置は、セラミックス、樹脂（プラスチック）、磁性酸化物等の非導電材料、特に電気電子材料の粉体に混在する金属異物の検出に適用できるが、その他、小麦粉等の食品材料や食品の粉体、工業材料の粉体に混在する金属異物の検出にも適用できる。なお被検査体４が磁性酸化物粉体の場合、磁性酸化物にも渦電流は発生するが、磁性酸化物は、抵抗率が高く渦電流が小さいから金属異物検出の支障にならない。
被検査体の粉体は、粉体そのものでもよいし、後述する粉体をペレット状等に成形した粉体でもよい。したがって本願は、粉体をペレット状等に成形したものを含めて粉体と呼ぶ。

図２は、被検査体の粉体を容器（粉体の入物）に収容し、その容器をコンベアで搬送する例を示す。
図２(ａ)は平面図、図２（ｂ）は図２(ａ)のＸ２−Ｘ２部分の矢印方向の断面図である。
容器４１に収納した粉体の被検査体４Ｈは、磁極Ｐ１、Ｐ２の間をコンベア３１によりコンベア３１の長手方向（図２(ｂ)において紙面と直角の方向）へ移動する。コイルＣ１，Ｃ２によって発生した磁束は、ヨークＹ、磁極Ｐ１、被検査体４Ｈ、磁極Ｐ２、ヨークＹの磁路を還流する。
被検査体４Ｈに金属異物４Ｋが混在すると、磁束により金属異物４Ｋに渦電流が誘起し、ジュール熱を発生する。赤外線カメラによって被検査体４Ｈの温度分布を撮影する。赤外線カメラの撮影は、被検査体４Ｈの上方（図２(ａ)において紙面と直角の方向）から行う。
なお粉体を収容する容器は、プラスチック等の袋状のものであってもよい。

図３は、被検査体の粉体を円柱状のペレットに成形し、そのペレットをコンベアで搬送する例を示す。図３(ａ)は平面図、図３（ｂ）は図３(ａ)のＸ３−Ｘ３部分の矢印方向の断面図である。
粉体をペレット状に成形した被検査体４Ｐは、その長手方向が移動方向と直交するように磁極Ｐ１、Ｐ２の間に配置し、コンベア３１により搬送する。その際コンベア３１に被検査体４Ｐを載置する凹部を形成すると、被検査体４Ｐが安定した状態で搬送できる。
この例は、被検査体４Ｐが磁性酸化物の場合、被検査体４Ｐが磁路を形成するから、磁極Ｐ１、Ｐ２の間隔（磁気ギャップ）が大きいときにも磁束の損出が小さい。したがってこの例は、被検査体４Ｐが長い磁性酸化物の場合にも金属異物の検出が可能である。
ペレット状の被検査体４Ｐは、粉体を水、アルコール、溶剤等によって混練し、成形して形成する。被検査体４Ｈの形状は、円柱状に限らず、円筒状、グリーンシート、板状、棒状、粒状等であってもよい。以下各図において同様である。

図４は、被検査体の粉体を円柱状のペレットに成形し、そのペレットを保持部材に載置してコンベアで搬送する例を示す。
図４(ａ)は平面図、図４（ｂ）は図４(ａ)のＸ４−Ｘ４部分の矢印方向の断面図である。
ペレット状に成形した被検査体４Ｐは、その長手方向が移動方向と平行するように磁極Ｐ１、Ｐ２の間に配置し、保持部材３２に載置してコンベア３１により搬送する。
この例は、磁極Ｐ１、Ｐ２の間隔を小さくできるから、被検査体４Ｐがセラミックス等の非磁性体のときにも磁束の損出を小さくできる。

図５は、被検査体がソレノイドコイル内を移動する例を示す。
図５(ａ)は平面図、図５（ｂ）は図５(ａ)のＸ５１−Ｘ５１部分の矢印方向の断面図であり、図５（ｃ）は図５(ａ)のＸ５２−Ｘ５２部分の矢印方向の断面図である。
ペレット状に成形した被検査体４Ｐは、保持部材３２に載置してコンベア３１とともに、ソレノイドコイルＣ３内を移動する。ソレノイドコイルＣ３によって発生した磁束は、被検査体４Ｐを含めて磁路を形成する。赤外線カメラによる被検査体４Ｐの撮影は、被検査体４ＰがソレノイドコイルＣ３を通過した位置で行う。
被検査体４Ｐは、ソレノイドコイルＣ３内の磁路内に置かれるから、ソレノイドコイルＣ３によって発生した磁束は効率よく被検査体４Ｐに集中する。

図６は、本願発明の実施の形態に係る金属異物検出装置の具体例を示す。
被検査体シュータ５０は、ペレット状の被検査体を１個ずつ挿入口部５２１へ供給する。押出装置５１は、挿入口部５２１の被検査体を搬送用ガラス管３３へ１個ずつ押出す。被検査体シュータ５０と押出装置５１は、駆動制御部５３によって作動する。被検査体が挿入口部５２１から押出されると、その都度スイッチ（後述する）が作動して被検査体確認部５４へ信号を送出する。被検査体確認部５４は、被検査体が挿入口部５２１から押出され、挿入口部５２１が空になったこと確認すると、駆動制御部５３と磁化制御部５７へ信号を送出する。

磁化制御部５７は、通電スイッチ５８を作動し、通電スイッチ５８は、磁化電源回路５５と撮影開始信号回路５６を作動する。磁化電源回路５５は、磁化器ＭのコイルＣへ励磁電流を供給する。また撮影開始信号回路５６は、撮影制御回路２２を作動する。撮影制御回路２２は、所定時間後赤外線カメラ２１の撮影を開始する。その所定時間は、コイルＣが磁束を発生し、被検査体の金属異物が加熱されるまでの時間を考慮して決める。
一方駆動制御部５３は、挿入口部５２１の被検査体が押出され、挿入口部５２１が空になったことを確認すると、赤外線カメラ２１の撮影時間やコイルＣの励磁時間を考慮して所定時間後、被検査体シュータ５０と押出装置５１を作動し、次の被検査体の供給と押出工程へ移行する。
モニタ２３は、撮影制御回路２２からの撮影信号に基づいて被検査体の温度分布波形又は温度分布画像を表示する。また異物検出回路２４は、被検査体に混在する金属異物の有無を判別し、金属異物が混在するときは異物検出信号を排出部５２２へ送出する。排出部５２２は、シャッター（後述する）が開いて金属異物が混在する被検査体を排除する。

ここで被検査体は、フェライト粉体に鉄粉が混在するペレット状のものを用いた。被検査体は、粒径６〜２０μｍのフェライト粉体と大きさ５０μｍ程度の鉄粉を、水を主成分とする液体を用いて混練し、直径１３ｍｍ、長さ２０ｍｍのペレット状に成形して乾燥したものを用いた。磁化器Ｍは、断面が３０ｍｍ角のフェライト製ヨークＹと、直径２ｍｍのホルマール線を６００回巻いたコイル２個からなるものを用いた。搬送用ガラス管３３は、外径１６ｍｍで、内径１４ｍｍの中空部を有するものを用いた。中空部の内径は、被検査体の直径の＋５〜８％程度が望ましい。コイルＣに供給する励磁電流は、２５〜７０ｋＨｚの高周波電流で、１回の励磁時間は、１〜２０秒に設定した。本金属異物検出装置により鉄粉の混在を検出することができた。

図７は、図６の磁化器Ｍと搬送用ガラス管３３の詳細を示す。
図７(ａ)は側面図、図７（ｂ）は図７(ａ)のＸ７−Ｘ７部分の矢印方向の断面図である。
図６のコイルＣは、２つのコイルＣ１、Ｃ２からなる。磁極Ｐ１，Ｐ２の先端の寸法は、コイルＣ１、Ｃ２により発生する磁束が被検査体４Ｐに集中するように被検査体４Ｐの直径を考慮して設定する。
搬送用ガラス管３３は、透光性を有するから、赤外線カメラ２１による被検査体４Ｐの撮影は、搬送用ガラス管３３の外から行うことができる。

図８は、図６の被検査体シュータ５０、押出装置５１、挿入口部５２１、排出部５２２の詳細を示す。
図８(ａ)は側面図、図８（ｂ）は図８(ａ)のＸ８１−Ｘ８１部分の矢印方向の断面図である。また図８(ａ)の被検査体シュータ５０、挿入部５１部分は、図８(ｂ)のＸ８２−Ｘ８２部分の矢印方向の断面図である。
図８は、被検査体ＳＰ１〜ＳＰ７の内、ＳＰ５〜ＳＰ７は被検査体シュータ５０にあり、ＳＰ４は挿入口部５２１にあり、ＳＰ１〜ＳＰ３は搬送用ガラス管３３にある例で、被検査体ＳＰ２が磁化器Ｍの磁路内に置かれ、赤外線カメラ２１により撮影されている状態を示す。

被検査体ＳＰ２の撮影が終わると、被検査体ＳＰ１〜ＳＰ４は、図８(ａ)において左へ１個ずつ移動し、被検査体ＳＰ５〜ＳＰ７は、１個ずつ落下する。
まず駆動制御部５３（図６）によって押出装置５１のアーム５１１が作動し、アーム５１１は、バネ（図示せず）に抗して被検査体ＳＰ４を被検査体ＳＰ３の位置まで押出す。アーム５１１は、被検査体ＳＰ４を被検査体ＳＰ３の位置まで押出すと、バネにより図の位置へ戻る。その押出に伴って被検査体ＳＰ１〜ＳＰ３は、左へ１個ずつ移動する。その際、挿入口部５２１の出口に設けた光源ＬＴと受光素子ＬＴからなるスイッチは、被検査体ＳＰ４の通過と通過終了を検出する。
次に駆動制御部５３は、前記スイッチからの信号によってシャッターＳ１とシャッターＳ２を作動する。まずシャッターＳ１が開いて被検査体ＳＰ５が挿入口部５２１へ落下する。そのときシャッターＳ２は、図の位置にあって、被検査体ＳＰ６が落下するのを阻止している。シャッターＳ１が図の位置へ戻ると、シャッターＳ２が開いて被検査体ＳＰ６がシャッターＳ１の上へ落下する。被検査体ＳＰ６がシャッターＳ１へ落下すると、シャッターＳ２は、図の位置へ戻り、被検査体ＳＰ６と被検査体ＳＰ７の間に入る。そして押出装置５１は、次の押出工程へ移行する。

被検査体ＳＰ１〜ＳＰ３が１個ずつ左へ移動すると、被検査体ＳＰ１は、シャッターＳ３の上へ移動する。ここで前回の赤外線カメラ２１の撮影により、被検査体ＳＰ１の金属異物が検出されたときは、異物検出回路２４（図６）の異物検出信号によってシャッターＳ３が開き、被検査体ＳＰ１は、不良品回収部５２２１へ落下する。一方被検査体ＳＰ１に金属異物が混在しないときは、次の移動工程のとき良品回収部５２２２へ落下する。

本願発明の実施の形態に係る金属異物検出装置のブロック図である。 本願発明の実施の形態に係る被検査体の粉体を容器に収容し、その容器をコンベアで搬送する例を示す図である。 本願発明の実施の形態に係る被検査体の粉体を円柱状のペレットに成形し、そのペレットをコンベアで搬送する例を示す図である。 本願発明の実施の形態に係る被検査体の粉体を円柱状のペレットに成形し、そのペレットを保持部材に載置してコンベアで搬送する例を示す図である。 そのペレットを保持部材に載置してコンベアで搬送する例を示す図である。 本願発明の実施の形態に係る金属異物検出装置の具体例を示す図である。 図６の磁化器Ｍと搬送用ガラス管３３の詳細を示す図である。 図８は、図６の被検査体シュータ５０、押出装置５１、挿入口部５２１、排出部５２２の詳細を示す図である。 従来の電磁誘導型の金属異物検出装置のブロック図である。

符号の説明

２１ 赤外線カメラ
２２ 撮影制御回路
２３ モニタ
２４ 異物検出回路
３，３１ コンベア
３２ 保持部材
３３ 搬送用ガラス管
５０ 被検査体シュータ
５１ 押出装置
５１１ アーム
５２１ 挿入口部
５２２ 排出部
５２２１ 不良品回収部
５２２２ 良品回収部
５３ 駆動制御部
５４ 被検査体確認部
５５ 磁化電源回路
５６ 撮影開始信号回路
５７ 磁化制御部
５８ 通電スイッチ回路
４，４Ｈ，４Ｐ 被検査体
４Ｐ１〜４Ｐ７ 被検査体
４Ｋ 金属異物
Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３ コイル
Ｍ 磁化器
Ｐ１，Ｐ２ 磁極
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３ シャッター
Ｙ ヨーク

Claims (4)

1. 高周波磁束発生用コイル、ヨーク、２個の磁極からなり、ヨーク、磁極、被検査体、磁極、ヨークの磁路を形成して高周波磁束を発生する磁化器と、その高周波磁束の磁路の磁極と磁極の間に非導電材料粉体の成形体の被検査体を保持する搬送用ガラス管と、その被検査体の温度分布を搬送用ガラス管の外から測定する赤外線カメラを備えていることを特徴とする金属異物検出装置。
2. 請求項１に記載の金属異物検出装置において、前記非導電材料粉体は、セラミックス、樹脂、磁性酸化物等の電気電子材料粉体であることを特徴とする金属異物検出装置。
3. 高周波磁束発生用コイル、ヨーク、２個の磁極からなり、ヨーク、磁極、被検査体、磁極、ヨークの磁路を形成する磁化器を用い、磁路の磁極と磁極の間に搬送用ガラス管を配置し、磁化器の発生する磁束によって搬送用ガラス管内に保持した非導電材料粉体の成形体の被検査体中の金属異物を誘導加熱し、その被検査体の温度分布を搬送用ガラス管の外から赤外線カメラにより測定して前記金属異物を検出することを特徴とする金属異物検出方法。
4. 請求項３に記載の金属異物検出方法において、前記非導電材料粉体は、セラミックス、樹脂、磁性酸化物等の電気電子材料粉体であることを特徴とする金属異物検出方法。

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