JP6293036B2 - 磁気センサのための距離測定方法及びセンサ - Google Patents

Description

本発明は、測定対象及び／又は発生素子と共同作用及び／又は相互作用し、渦電流原理、いわゆるエディカレント原理に基づくセンサのための距離測定方法に関する。本発明はさらに、センサコイルの近傍に配置された測定対象の距離検出に関するものである。ここで、センサ及び割り当てられた測定対象は、互いに相対的に移動可能である。本発明は、更に距離測定用のセンサに関する。

距離測定のために誘導的に動作するセンサは、実務上、様々な実施形態において知られている。特に無接触の距離測定システムが知られており、これらのシステムは、変化する磁界強度に基づいて、割り当てられた測定対象又は専用の発生素子の動きに関する情報を与える。

ここで、知られている構成のものは、例えば、円筒状のコイルと共に動作し、このコイルの中に、測定対象が出入りをするような動きをする。測定対象は、少なくとも、幾何学的に不規則な形状を有しており、この不規則な形状がコイルを通って通過する際、磁界に影響を与える。

さらに、いわゆる終端スイッチとして適用されるための誘導性の距離測定センサが知られており、これらのセンサにおいては、測定対象が誘導性センサの方向に移動され、これらのセンサの前方で、又はこれらのセンサによって停止され、その際、発生する磁界強度の変化が検出され、測定信号に処理される。

標準化された測定信号を生成することができるようにするため、誘導性測定センサを電子ユニットと組み合わせることが知られており、この測定信号をその後に続く制御装置において処理することができる。

さらに、いわゆる渦電流の原理が知られている。渦電流とは、時間的に変化する磁界内に延伸された電気導体内に誘導される電流、又は時間的に一定であるが、そのため空間的には均質ではない磁界内で運動する導体内に誘導される電流をいう。渦電流の検査は、特に非破壊材料検査及び材料特定化に用いられ、渦電流の振幅と位相の測定に基づくものである。

これらのセンサは、特に機能的な条件により線形的な動きをしなければならないような伝達装置において、必要とされる。

これには、車両及び機関における伝達装置のような、往復運動をする機械の部材が含まれる。しばしば、特定の構成部材の位置の確定が必要となるが、それは、その位置を識別し、かつ、それに付属している制御により、次の作業行程を開始できるようにするためである。

このような課題は、特にシフトトランスミッション、液圧式バルブ及び液圧式シリンダ、クラッチ、並びに、例えば、足で操作するペダルのような、様々な操作エレメントにおいてみられるものである。

ここで、主たる適用分野は、オートマチック・トランスミッションにおけるシフトレバーのシフト位置の検出である。

上記の使用事例において、これらのセンサは、同時に、相当な湿気、汚れ、オイル、油脂及び機械的負荷による負担を受けている。したがって、このような付加的な負担による機能の停止を回避するための予防手段を講じる必要がある。

同じように、センサにより検出された測定値を、それに付属している評価及び制御ユニットに確実に伝達することが必要である。こでも外部的な影響が、信号に誤りを生じないようにしなければならない。

したがって、本発明の課題は、測定対象及び／又は発生素子と共同作用及び相互作用をするセンサのための距離測定方法を提案することである。本発明の更なる課題は、無接触で動作する距離測定用のセンサの構成を、容易、かつ、簡単に製造することが可能なものとし、測定対象が単純な機械構成部材であることも可能なものとし、誘導性センサが厳しい外部的な条件の下でも動作することが可能なものにすることである。さらに、位置決めの公差は避けられるべきである。

さらに、標準的な電子回路を使用することができることが望ましい。

距離測定方法についての課題は、請求項１の構成を備えた本発明により解決される。距離測定センサについての課題は、請求項５の構成により解決される。従属する請求項は、距離測定方法及び距離測定用センサの実施形態に関するものである。

以下、明細書、実施例及び特許請求の範囲において、次のような意味内容を備えた次に掲げる用語が使用される。

距離測定方法とは、測定対象及び／又は発生素子の軸方向における位置変化を検出し、センサにより電気的な信号に変換することに適した測定方法をいう。以下、分かりやすくするために、測定対象／発生素子について、又は更に分かりやすくするために測定対象について説明する。

センサとは、測定コイルを配置することにより、例えば、測定対象の移動により発生する磁界強度の変化を検出することができる、構成ユニットをいう。

測定対象とは、長手方向へ移動することができ、その際、距離測定センサが有する磁界に作用する構成部材をいい、好ましくは機械工学の技術に係る装置の構成部材をいう。

発生素子とは、位置に依存する物理量を生じさせる素子をいい、この物理量が電気的、磁気的又は誘導的な発生信号となる。

金属ターゲットとは、金属材料、例えば、スチール、ニッケル、銅、アルミニウムから成る金属性の測定対象か、又はこれらの金属材料を有する測定対象、例えば、金属層が被覆されたプラスチック材料をいう。

センサコイルとは、複数の部分巻線から形成された構成部材であり、測定目的のために必要な磁界を、好ましくは発振器と共同して、発生させる構成部材をいう。センサコイルは、好ましくは銅から成る。

平坦とは、コイルが、平たく、平らであり、好ましくは、平面で、まっすぐ、均一で、波打たないようなものであることをいう。

マイクロコントローラとは、実質的に、発振回路を励振するための発振器、電圧制御器、評価回路並びに出力及び保護回路の機能を統合した電子回路をいう。

渦電流の検査（あるいは、いわゆるエディカレント法）は、測定対象又は発生素子を検査するための電気的な方法である。この検査においては、コイルによって交番磁界が生成され、この交番磁界が検査される材料において渦電流を誘導する。測定の際には、好ましくは、センサにより、好ましくは励磁コイルも含んだセンサにより、渦電流の密度が、渦電流により生成された磁界を通して検出される。測定されたパラメータは、励起信号に対する振幅及び位相のずれでもよい。渦電流の検査は、特に金属部材と共同作用するセンサコイルによって生成される既知の磁界に基づいて行われる。磁界と金属ターゲットとの間の相互作用が変化し、渦電流が金属ターゲット内に生成され、これにより、更に、磁界を生成する回路内におけるエネルギー損失を生じさせる。このエネルギー損失は測定することが可能であり、エネルギー損失は相互作用の高まりと共に増加し、これにより渦電流を上昇させることから、励振回路をも制御するマイクロコントローラは、エネルギー損失値を近似値に変換する。

本発明において提案されているセンサのための距離測定方法において、センサコイルは幾つかの個別の巻線を含んだ形態を有し、これらの個別の巻線が更にセンサコイルに対し共に接続されている。

センサによる検出は、好ましくは、完全に無接触で行われる。

さらに、本発明における距離測定センサは、複数の平坦なコイルから成るセンサコイルを備えている。

コイルが中央部に孔状の空隙を有することが好ましい。このコイルは、これを通るシャフトを有する。このシャフトは、好ましくはチューブ状の形状を有する。このような形状により、測定対象までの距離が大きくても、検出することができる。他方、これにより、センサの構造的な大きさも、従来技術と比較して小さくすることができる。このことは、製造における費用的な利点を伴う。

特に好ましいこの形態においては、測定対象が多様な幾何的な形状を有することができ、それでもなお、好ましくはコイル内での測定対象の長手方向の動きにより、測定対象が完全に検出される。コイルを通る測定対象の動きは電気的な信号に変換され、この電気的な信号は、マイクロプロセッサにより、要求されるプロフィールに応じて、更に処理される。

必要な磁界は、それに対応する数の個別の平坦なコイルを選択することにより生成され、これらの個別の平坦なコイルは、必要なだけ、適切な方法により、共に接続される。

しばしば、１つの測定対象に対し、１つのコイルが設けられる。

複数のコイルは、例えば、市販の絶縁材料により、好ましくは互いに絶縁されており、この絶縁材料としては、使用目的に応じて、ユーザにより、製品専用ものを、例えば、エポキシガラス繊維布を選択することができる。

ここで、コイルは、多層の導体路板（いわゆるプリント回路基板＝ＰＣＢ）を形成する。様々な層が重なり合わされたコイルは、好ましくは直列に接続される。導体路板は例えば２層を有し、これらの層は上下に配置されている。それ以外に更なる層を従来の方法により設けることができる。

センサのための距離測定方法においては、センサ素子が、発振器と関連して、共振周波数に、又は所定の発振周波数に同調されており、ここでは、センサコイルにより生成されるインダクタンスが、複数の個別の巻線を共に接続することにより、発生する。

個別の巻線は、通常のコイルの巻線より小さな間隔を有する。更に、個々のコイルを１つのスパイラル形状に設けることもでき、これにより、それらのインダクタンスを上げることができる。

距離測定方法は、センサを使用して、測定対象／発生素子がセンサのコイルの中央に配置され、その箇所でコイルの軸の方向に動くことができるようにして、実施される。

距離測定方法は金属性の対象物の発振回路への影響に関することから、発振パラメータは、センサが強磁性の材料ではなく、他の金属性の材料に反応することができるように選択される。したがって、強磁性材料を、特にコイルについて、省略してもよい。

距離測定方法の一実施形態は、センサにスイッチ機能を備えるものである。すなわち、センサは、測定対象／発生素子が所定の位置に達すると、ある信号値を出力する。

距離測定方法の更なる一実施形態においては、測定対象／発生素子が、幾何学的な不規則性を有するか、連続的に変化する断面となる部分を有するか、又は両者を有するものである。距離測定方法に係るこの実施形態により、測定対象／発生素子の位置の連続的な変化を、同様に連続的に変化する発振パラメータを介して、検出し、評価することができる。

さらに、幾何学的な不規則性が存在する場合には、跳躍的な変化も検出し、評価することができる。

本発明の距離測定方法について使用されるセンサの構成は、そのセンサが、測定対象／発生素子と共同作用及び／又は相互作用するセンサコイルを備えるものであり、測定値を検出し処理するための電子ユニットと、電気的な接続部と、共通のケーシングとを有するものであり、更に、必須ではないが、好ましくは、開口部が、測定対象／発生素子の通過のためにセンサコイルの中央に設けられる。

さらに、センサコイルは、複数の平坦に作られたコイルから、好ましくは共に接続することにより、形成される。驚くべきことに、平坦に作られたコイルを使用することにより、強磁性コイルを省略することができ、位置決め公差を除去することができ、好ましくは、標準的な電子回路を使用することができ、特にアプリケーション専用の集積回路、いわゆるＡＳＩＣを省略することができることが判明した。

ここで、それぞれの平坦なコイルは、空間のある内部領域を備えるように構成される。すなわち、測定対象又は発生素子は、平坦なコイルの中央において、出入りをするような動きをすることができる。

平坦なコイルは、導体路板の技術により、適切な方法で形成される。ここでは、例えば、両面が被層された導体路板の両側に、平坦なコイルのそれぞれ１つを互いに同軸に配置することができる。

センサコイルについての好ましい一実施形態においては、このような多数の平坦なコイルが多層の導体路板の作成により構成される。これにより可能となる個々のコイルのカスケードにより、必要なコイルのインダクタンスを得ることができる。

センサコイルについての上述の構成方法の利点は、コイル自体を、巻付け工程により、別個に作成されるべき絶縁性の巻線リール上に形成する必要がないことである。

多層の導体路板は、センサコイルについて、幾何形状及び必要な保護、並びに固定及び絶縁のために必要とされる手段も含めて、同時に提供するものであり、これらは、異なるコイルの形態であれば、後から取り付けなければならないものであろう。

センサコイルは、マイクロコントローラの構成部材である発振器と関連して動作し、これにより、発生する発振回路は励振を受け、それぞれの使用事例に応じて選択されるべき周波数において発振する。

発振周波数を十分に安定して維持するために、マイクロコントローラは、付加的に、電圧制御器及び温度を補完するための回路を備えることができる。

測定対象／発生素子により発生する磁界強度の変化は、同時に、発振回路が動作する共振周波数の変化を生じさせる。同様にマイクロコントローラの構成部材である評価回路により、目標とする周波数からの偏差を検出し、対応する測定値及び情報を本来のマイクロコントローラの構成素子に伝達することができる。このマイクロコントローラ構成素子は、固定的に記憶されたプログラムにより、評価ユニットの測定値を検出し、評価し、出力回路を介して、これを出力することができる。

接続部により、センサの供給電圧を得ることができる。同様に、同じ接続部を介して、マイクロコントローラの出力信号を更に伝達することができる。

測定対象／発生素子は、不規則な幾何形状を有することができ、溝、孔、金属製リング又は同様なものであれば、既に識別のために十分である。

好ましい一実施形態においては、発生素子も、所定の長手領域にわたり、円錐形に、又は他の方法で連続的に直径が変化するように構成することができ、これにより、マイクロコントローラの機械プログラムに応じて、測定対象／発生素子の複数の位置を、連続的に移行するときも、検出することもできる。

距離測定センサのための上述の配置は、異なる方法により更に構成することができる。

測定対象／発生素子は、圧縮バネの中間的な状態により、一方の端部において支えることができ、これにより、検出すべき構成部材との関係において、測定対象の遊びのない動きが可能である。

距離測定センサの共通のケーシングは、スリーブにより、測定対象／発生素子の領域において、両側で拡張することができ、測定対象／発生素子は、このスリーブ内を軸方向に案内される。スリーブ内に配置された圧縮バネと結合させて、遊びがないようにされる。測定対象／発生素子の他方の端部に配置された案内用の軸受けは、正確な同軸的な案内に用いられる。

必要なときは、マイクロコントローラを支持する導体路板を、センサコイルを形成する多層の導体路板と同一のものとするか、又はこの導体路板を、ケーシングの付加的な拡張部において、別個の導体路板として、組み込むことができる。

距離測定センサは、好ましい一実施形態においては、上記の個別の部材と共に小型の構成ユニットとして共通のケーシング内に収容される。

特に好ましくは、コイルは、プラスチックケーシング内にカプセル化され、センサシャフトは、使用時において、又はセンサの一部として、閉鎖され、さらに好ましくは密閉されるが、このことは、例えば、オイルを測定対象の周囲に流すことが、センサシャフトが使用されるとき、又はシャフトにより検出若しくは測定がされるときの両方の使用においても可能であることを意味する。それが意味することは、両方の使用時に、ＰＣＢ、電子回路、コイルが、プラスチックケーシングの内部に密閉され、閉鎖されたシステムとされるということである。

システムが測定対象を正しい形状、位置又は材料で用意することができない別の一実施形態においては、ケーシング、特にプラスチックカプセルのケーシングの延長を、管状の部分において延長することにより、弾性負荷された測定対象を、組み込まれたスライド可能な対象物としてセンサのケーシング内に収容し、包囲することができるが、このとき、この対象物は、管状のエレメントの両側に配置することのできるエレメントにより、案内される。測定対象はカプセル化されたＰＣＢ領域の外側に配置されたままであり、この領域は、電子回路部分について、閉鎖された、特に密閉されたシステムを生じさせる。圧縮バネは、例えば、タペット又はカムとすることができるシステムによって、操作機構との常時的な接触を確保する。

以下、本発明を、複数の実施例と図面に基づいて、詳細に説明する。

センサの基本構造を示す側面図である。 センサの裏面を示す図である。 スリーブ内を案内される測定対象／発生素子を備えるセンサの一実施形態を示す図である。 図３に示したセンサの別の一実施形態を示す図である。 センサのブロック回路図である。

本発明の距離測定方法は、距離測定センサ１を使用して実施され、この距離測定センサ１は、測定対象／発生素子２と共同作用及び／又は相互作用をする。

ここで、センサは、少なくとも、センサコイル３と共同作用する電子ユニットと、供給電圧の供給及び信号の更なる伝達に用いられる電気的な接続部４とから構成される。前記の構成部材は、共通のケーシング１６内にまとめられる。ケーシング１６は、通常の方法により、構成することができる。

距離測定方法の実施は、まず、作動電圧の印加により、センサ内に配置された電子ユニットが作動されることによる。電子ユニット内に存在する発振器１１が、センサコイル３との共同作用で発振を励振するが、そのとき、発振器１１とセンサコイル３のパラメータに依存して所定の周波数の発振が発生し、センサコイル３は磁界を生成する。

測定対象／発生素子２は、センサコイル３の近傍にあり、移動されることにより、磁界強度がコイル１０の領域において変化し、同時に、センサコイル３と発振器１１から成る発振回路の周波数が変化する。評価回路１４によって、これらの変化が検出され、更なる処理に適した電気的な測定量に変換される。得られた情報は、評価回路１４からマイクロコントローラ１３に更に伝達される。マイクロコントローラは、得られた情報を、特に、記憶されたプログラムの操作の適用により処理し、そこから制御信号を形成し、この制御信号は、外部の装置で更に処理することができる。障害なく動作できるようにするために、電子ユニットには、出力及び保護回路１５が配置されている。

安定した動作を確保し、必要な測定条件を維持するために、電子ユニットには、更に電圧制御器１２が配設されている。

さらに、この距離測定方法の特色は、センサコイル３が、複数の平坦に構成されたコイルからなることにある。

この距離測定方法は、測定対象／発生素子２の実際の位置との関係において、距離測定が連続的に行われるように、構成することができる。

距離測定方法の別の一実施形態においては、発振器１１とセンサコイル３とからなる発振回路において所定のパラメータに達することによる、所定のパラメータに達した際における、いわゆる閾値スイッチの特性によるスイッチ機能を設けることができる。

特に好ましくは、本発明のセンサを備える距離測定方法において、測定対象／発生素子２が幾何学的な不規則性を有することである。すなわち、測定対象／発生素子２はセンサコイル３の領域内に存在するが、その位置は変化することができ、それにより、同時にその断面も変化するということである。

このような断面変化についての好ましい実施形態は、リング溝、孔、片側での平坦化、又は材料の変化である。

距離測定方法の更なる一実施形態においては、構成部材が、おおむね、センサコイル３の近傍におかれる。

特に好ましい、測定方法の位置実施形態は、測定対象／発生素子２が、小さな直径から大きな直径へ連続的に移行する領域を有しており、このようにして、準アナログ的な位置検出が可能にされる。

さらに、測定対象／発生素子２は、測定すべき構成部材に接触するか、又は接続された構成部材５を有することができる。

本発明の距離測定方法により、様々な測定における課題を達成することができる。例えば、スライド可能なロッド、ピン、シャフト又はケーシング部材の位置検出に使用することができる。

特に好ましくは、オートマチックトランスミッションにおける使用、又はクラッチ構成部材の位置検出のための使用である。

更なる好ましい使用は、液圧式シリンダ、歯付きラック、線形駆動部及び他の構成部材の位置検出であるが、それは、その位置／箇所が距離測定により検出可能な限りにおいてである。

センサは、既に上述したように、少なくとも、センサコイル３、電子ユニット及びケーシング１６から作成される。

センサコイル３は、本発明によれば、複数の平坦に構成されたコイルから組み立てられ、この平坦なコイルはそれぞれ１つの担体上に設けられる。

このようにして、対応する数のそのような平坦に構成されたコイルを選択することにより、センサコイル３のインダクタンスを更なる領域で設定することができ、これにより、電子ユニット内に配置された発振器１１との共同作用により、可能な動作周波数を更なる領域で調整することもできる。

個別の平坦なコイルは、個々のエレメントとして、可能な限り大きなインダクタンスを有するように、構成することができる。これにより、互いに組み合わせるべき平坦なコイルの数を小さく維持することができる。

好ましい一実施形態においては、両側導体路板の両側に、それぞれ１つの平坦なコイルが配置される。

センサコイル３の更なる好ましい一実施形態においては、平坦なコイルが、いわゆる多層の導体路板に集積され、これにより２個を超える平坦なコイルを共に接続することができる。

センサコイル３のインダクタンスを調整することができるほか、本発明のこの実施形態により、安定して構成されたセンサコイル３が得られる。このセンサコイルは、保護のための付加的な措置を必要としない。

本発明の距離測定センサ１は、様々な使用条件に対応し、更に改良することができる。例えば、一実施形態においては、測定対象／発生素子２を、スリーブ８内に配置することができる。これにより環境からの影響に対し、十分に保護される。

測定対象／発生素子２に、圧縮バネ７を配設することができ、この圧縮バネにより、構成部材５と検出すべき構成部材との常時的な接触を確保する。

構成部材５は、案内部６により、軸方向に案内することができる。

別の一実施形態においては、システムが測定対象２を適正な形状、位置又は材料において提供することできないとき、特にプラスチックカプセルのケーシング１６を、管状の部分８により、延長することにより、弾性負荷７された測定対象２を、組み込まれたスライド可能な対象物として、センサケーシング１６内に収容し、包囲することができ、このとき、この対象物は、部材６によって案内され、その部材６は、管状の部材８の両側に図３に示すように配置される。測定対象２は、カプセル化されたＰＣＢ領域の外側に配置されたままであり、したがって、この領域は、電子回路部分について、閉鎖された、特に密閉されたシステムを生じさせる。圧縮バネ７は、例えば、タペット又はカムに関するシステムにより、操作機構との常時的な接触を確保する。

電子ユニットをセンサコイルの導体路板上に配置することが不可能な場合においては、付加的な導体路板９が、この電子ユニットを支持し、センサコイル３と接続することができる。

したがって、本発明は、複数の平坦な個別コイルから成るセンサコイルを有するセンサを使用して、距離測定方法を実施することを可能にすることができるという利点を有し、センサは更なるパラメータ領域において使用することができ、同時に、コスト的に有利に製造することができ、堅牢である。

１ 距離測定センサ
２ 測定対象／発生素子
３ センサコイル
４ 接続器
５ 構成部材
６ 案内部
７ 圧縮バネ
８ スリーブ
９ 導体路板
１０ コイル
１１ 発振器
１２ 電圧制御器
１３ マイクロコントローラ
１４ 評価回路
１５ 出力及び保護回路
１６ ケーシング

Claims (9)

1. 測定対象及び／又は発生素子（２）の位置に依存する値を与える渦電流の原理に基づくセンサと測定対象及び／又は発生素子（２）との間の共同作用及び／又は相互作用による距離測定方法であり、
   前記センサは、電子ユニットと、電気的接続器（４）と、センサコイル（３）とを含み、
   その実施は、次のような動作の行程により、すなわち、
   作動電圧の印加により、前記電子ユニットが作動され、
   前記電子ユニット内にある発振器（１１）が、前記センサコイル（３）との共同作用で磁界を生成し、
   測定対象及び／又は発生素子（２）が、前記センサコイル（３）の近傍領域において前記センサコイル（３）の孔状の空隙を通じて軸方向に運動され、これにより磁界強度が、コイル（１０）の領域において、及び／又は前記センサコイル（３）と前記発振器（１１）との間で変化し、発生した変化が評価回路（１４）によって検出され、マイクロコントローラ（１３）にさらに伝送され、
   前記マイクロコントローラ（１３）が、その内部プログラミングを利用して、前記評価回路（１４）の信号を処理し、上位の情報処理システムに対して互換性のある信号を形成し、当該信号を、出力及び保護回路（１５）を経て前記システムに提供する
   ことによりなされる距離測定方法において、
   前記センサコイル（３）は、複数の平坦に構成されたコイルから成ること、
   前記センサは測定対象及び／又は発生素子（２）を収容するものであること、
   前記測定対象／発生素子（２）は、幾何学的な不規則性を有するか、及び／又は連続的に変化する断面となる部分を有すること、並びに、
   前記センサコイル（３）は、多層の導体路板により提供される複数の平坦に構成されたコイルからなり、個々のコイルのカスケードを可能とすることを特徴とする距離測定方法。
2. 距離測定は、継続的に、前記測定対象及び／若しくは発生素子（２）の位置との関係において、又は発振回路における所定のパラメータに到達することに依存するスイッチ機能として行われることを特徴とする、請求項１に記載の距離測定方法。
3. 測定対象及び／又は発生素子（２）の位置に依存する値を与える渦電流の原理に基づくセンサと測定対象／発生素子（２）との間の共同作用及び／又は相互作用をし、センサコイル（３）と、電子ユニットと、電気的な接続部（４）とを備える距離測定用センサであって、
   前記センサコイル（３）の孔状の空隙を通じて、前記測定対象及び／又は発生素子（２）が軸方向に運動され、
   前記センサは、前記測定対象及び／又は発生素子（２）を収容しており、
   前記測定対象及び／又は発生素子（２）は、幾何学的な不規則性を有するか、及び／又は連続的に変化する断面となる部分を有し、
   前記センサコイル（３）は、多層の導体路板により提供される複数の平坦に構成されたコイルからなり、個々のコイルのカスケードを可能とし、
   そのコイルは前記電子ユニットにより作動可能であり、そのコイルの磁界が前記測定対象及び／又は発生素子（２）によって影響を受けるものであり、
   前記磁界への影響が前記電子ユニットにより検出可能かつ評価可能であり、前記電子ユニット及び／又は前記センサコイル（３）の出力信号が前記電気的な接続部から取り出し可能である、距離測定用センサ。
4. 前記センサはケーシング（１６）を含み、そのケーシングは、前記センサコイル（３）、電子ユニット及び電気的接続器（４）を包囲することを特徴とする、請求項３に記載の距離測定用センサ。
5. 前記センサコイル（３）の平坦に構成されたコイルが、それぞれ１つの担体上に配置されていることを特徴とする、請求項３又は４に記載の距離測定用センサ。
6. 前記センサコイル（３）の平坦に構成されたコイルは、多層の導体路板に集積されていることを特徴とする請求項３から５までのいずれか１項に記載の距離測定用センサ。
7. 前記電子ユニットは、前記センサコイル（３）と発振回路を形成する発振器（１１）を含むことを特徴とする、請求項３から６までのいずれか１項に記載の距離測定用センサ。
8. 前記電子ユニットは、前記発振回路のパラメータを検出するための評価回路を含むことを特徴とする、請求項３から７までのいずれか１項に記載の距離測定用センサ。
9. 前記電子ユニットはマイクロコントローラ（１３）を含み、そのマイクロコントローラによって、記憶されたプログラムを使用して、前記評価回路（１４）の値を処理し、出力及び保護回路（１５）に出力することができることを特徴とする、請求項３から８までのいずれか１項に記載の距離測定用センサ。