JP4159137B2

JP4159137B2 - 薄膜グリーンシート成形用離型フィルム

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Publication number: JP4159137B2
Application number: JP13489698A
Authority: JP
Inventors: 公裕井崎; 慶英尾崎; 昌司稲垣
Original assignee: Mitsubishi Plastics Inc
Current assignee: Mitsubishi Plastics Inc
Priority date: 1998-05-18
Filing date: 1998-05-18
Publication date: 2008-10-01
Anticipated expiration: 2018-05-18
Also published as: JPH11320764A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は離型フィルムに関し、詳しくはセラミック積層コンデンサー用の薄膜グリーンシート成形用離型フィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、セラミック積層コンデンサー用にグリーンシート成形用キャリアフィルムとしてポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムが使用されている。
近年、セラミック積層コンデンサーの小型化・大容量化が進むに伴い、グリーンシート自体の厚みも益々薄膜化する傾向にある。
【０００３】
グリーンシートの更なる薄膜化に伴い、特に厚みが５μｍ以下のグリーンシートを成形しようとした場合、離型層表面の表面粗度が高い離型フィルムでは対応困難な状況にある。
また、離型フィルムの離型層表面の表面粗度が高い場合には、セラミックスラリー塗工時にスラリーのはじきあるいはピンホールの発生、グリーンシート剥離時にはグリーンシートの破断等の不具合を生じる場合がある。
【０００４】
上記不具合を解決するために表面粗度の低いポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムを使用すると、離型フィルムをロール状に巻き取った際にブロッキングあるいはシワ等が発生する等の不具合を生じる場合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、離型層表面が平坦な離型フィルムをロール状に巻き取ってもブロッキング等の発生がなく、薄膜グリーンシート成形用に対応可能な離型フィルムを提供することを解決課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記実状に鑑み、鋭意検討した結果、特定の離型層を設けることで上述の課題を容易に解決できることを知見し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明の要旨は、少なくとも２層が共押出により積層されたポリエステルフィルムの片面に離型層が塗設されてなる離型フィルムであって、離型層表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が３０ｎｍ以下であり、離型層表面の突起高さ（Ｘ）と突起数（Ｙ）との関係を表す分布曲線が突起高さ０．０５〜０．３μｍの範囲で下記式▲１▼を満足し、かつ離型層表面の突起高さ０．４μｍ以上の突起数が３５個／ｍｍ² 以下であることを特徴とする薄膜グリーンシート成形用離型フィルム。
【０００７】
【数３】
ｌｏｇＹ≧−５Ｘ ………▲１▼
（上記式中、Ｘは離型層表面の突起高さ（μｍ）、Ｙは離型層表面の突起数（個／ｍｍ² ）を表す）
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明にいう離型フィルムを構成する積層ポリエステルフィルムとはそれぞれの層を構成する樹脂が押出機から共溶融押出しされる、いわゆる共押出法により押し出されたものを、延伸および熱処理して得られる。以下、積層ポリエステルフィルムとして、共押出２層または３層フィルムについて説明するが、本発明の要旨を越えない限り、これらに限定されず、４層またはそれ以上の多層であってもよい。
【０００９】
本発明における積層ポリエステルフィルムについて、離型層を塗設する面をＡ面、これを構成する層をＡ層、その反対面をＢ面、Ｂ面を構成する層をＢ層、これら以外の層をＣ層として、以下説明する。この場合、厚み方向の積層構成はＡ／ＢあるいはＡ／Ｃ／Ｂ等の構成が挙げられる。
本発明において積層ポリエステルフィルムに使用するポリエステルはホモポリエステルであっても共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステルとしては、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものを用いればよい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥＮ）等が例示される。一方、共重合ポリエステルとしては、通常３０モル％以下の第三成分を含有した共重合体を用いることができる。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、および、オキシカルボン酸（例えば、Ｐ−オキシ安息香酸など）の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。
【００１０】
本発明における積層ポリエステルフィルムの厚み方向の積層構成比はＡ層の厚み／（Ｂ層あるいはＢ＋Ｃ層の厚み）の値が０．１以上、さらには０．２以上が好ましい。厚み構成比が０．１未満の場合、Ｂ層あるいはＣ層中に含まれる粒子の影響によりＡ層の表面粗度が高くなる場合がある。また、Ｂ層の厚みは１μｍ以上であることが好ましく、１μｍ未満の場合、Ｂ層から粒子が脱落する等の不具合を生じる場合がある。
【００１１】
本発明の離型フィルムにおいては、離型フィルムの離型層表面の表面粗度を特定の範囲内に抑える必要がある。
かかる観点から、本発明の離型フィルムを構成する積層ポリエステルフィルムのＡ面の中心線平均粗さは特に限定されるものではないが、５〜５０ｎｍの範囲とすることが好ましい。
【００１２】
一方、積層ポリエステルフィルムＢ面の中心線平均粗さも特に限定されるものではないが、１５〜４０ｎｍの範囲とすることによりフィルム取り扱い時の作業性が良好となり好ましい。
本発明において、積層ポリエステルフィルム中に、シリカ、炭酸カルシウム、カオリン、酸化チタン、酸化アルミニウム等の粒子を配合することが好ましい。この場合、使用する粒子の平均粒径および添加量は特に限定されるわけではないが、特に離型層と接するポリエステル層中に含有される粒子の平均粒径および添加量については、平均粒径が０．１〜１．０μｍのものが好ましく、その添加量は０．１〜１重量％、さらには０．３〜１重量％の範囲が好ましい。
【００１３】
ポリエステル中に粒子を配合する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用し得る。例えば、ポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後重縮合反応開始前の段階でエチレングリコール等に分散させたスラリーとして添加し、重縮合反応を進めてもよい。またベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行われる。
【００１４】
本発明の積層ポリエステルフィルムは、フィルムとして製膜できる厚さであればよく、通常、フィルム総厚みは９〜３５０μｍ、さらには１２〜２５０μｍの範囲から選択される。
次に、本発明の離型フィルムを構成する積層ポリエステルフィルムの製造方法について具体的に説明するが、本発明の積層ポリエステルフィルムは以下の製造例に何ら限定されるものではない。
【００１５】
すなわち、先に述べたポリエステル原料を使用し、２または３台以上の押出機、２または３層以上のマルチマニホールドまたはフィードブロックを用いて積層し、スリット状のダイから溶融シートとして押し出す。次にダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密着法および／または液体塗布密着法が好ましく採用される。本発明においては必要に応じ両者を併用してもよい。
【００１６】
次いで、得られた未延伸フィルムは二軸方向に延伸して二軸配向される。すなわち、まず前記の未延伸シートを一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１０℃であり、延伸倍率は、通常２．５〜７倍、好ましくは３．０〜６倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸を行う。延伸温度は、通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１５℃であり、延伸倍率は、通常３．０〜７倍、好ましくは３．５〜６倍である。そして、引き続き、１３０〜２５０℃の範囲の温度で３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸延伸フィルムを得る。
【００１７】
上記延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆるインラインコ−ティングを施すことができる。それは、以下に限定するものではないが、例えば、１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前に、帯電防止性、滑り性、接着性等の改良、二次加工性改良等の目的で、水溶液、水系エマルジョン、水系スラリー等の該コ−ティング処理を施すことができる。
【００１８】
上記の延伸においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を用いることもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。また、前記の未延伸シートを面積倍率が１０〜４０倍になるように同時二軸延伸を行うことも可能である。さらに、必要に応じて熱処理を行う前または後に再度縦および／または横方向に延伸してもよい。
【００１９】
また、積層ポリエステルフィルムには、各種安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、顔料、酸化防止剤および可塑剤などが添加されてもよい。
本発明において、離型層を構成する材料は離型性を有するものであれば特に限定されるものではなく、硬化型シリコーン樹脂を主成分とするタイプでもよいし、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーンタイプ等を使用してもよい。それらの中でも、硬化型シリコーン樹脂を主成分とするものが離型性が良好な点で良い。
【００２０】
硬化型シリコーン樹脂の種類としては溶剤付加型・溶剤縮合型・溶剤紫外線硬化型、無溶剤付加型、無溶剤縮合型、無溶剤紫外線硬化型、無溶剤電子線硬化型等いずれの硬化反応タイプでも用いることができる。
具体例を挙げると、信越化学工業社製ＫＳ−７７４、ＫＳ−７７５、ＫＳ−７７８、ＫＳ−７７９Ｈ、ＫＳ−８５６、Ｘ−６２−２４２２、Ｘ−６２−２４６１、ＫＮＳ−３０５、ＫＮＳ−３０００、Ｘ−６２−１２５６、ダウ・コーニング・アジア社製ＤＫＱ３−２０２、ＤＫＱ３−２０３、ＤＫＱ３−２０４、ＤＫＱ３−２０５、ＤＫＱ３−２１０、東芝シリコーン社製ＹＳＲ−３０２２、ＴＰＲ−６７００、ＴＰＲ−６７２０、ＴＰＲ−６７２１等、東レ・ダウコーニング・シリコーン社製ＳＤ７２２３、ＳＤ７２２６、ＳＤ７２２９、ＳＲＸ−２１０等が挙げられる。
【００２１】
本発明において、積層ポリエステルフィルムのＡ面に離型層を塗設する方法として、リバースロールコート、グラビアコート、バーコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。
離型層の塗工量は積層ポリエステルフィルムへの塗工性の点から、０．０１〜５ｇ／ｍ² が好ましい。塗工量が０．０１ｇ／ｍ² 未満の場合、塗工性の安定性に欠ける傾向があり、一方、５ｇ／ｍ² を超えて厚塗りにすると、硬化性の点で問題が生じることがある。
【００２２】
さらに本発明において、離型層中には離型層表面のブロッキング防止、滑り性改良等を目的として、粒子が添加されてもよい。使用する粒子の種類としては有機系粒子・無機系粒子の何れでもよく、特に限定されるものではない。
本発明の離型フィルムにおいて、積層ポリエステルフィルムのＡ面と離型層との間、あるいは離型層が設けられていない面には帯電防止層、接着層等の塗布層を設けてもよい。また、積層ポリエステルフィルムにはコロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。
【００２３】
塗布層中には必要に応じて有機系粒子、無機系粒子、消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、有機系潤滑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、発泡剤、染料等が含有されてもよい。
塗布層の塗工量は特に限定されるものではないが、０．０１〜５ｇ／ｍ² の範囲が好ましい。当該範囲を外れた場合、上述の離型層の場合と同様の問題が生じることがある。
【００２４】
本発明の離型フィルムの離型層表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）は３０ｎｍ以下を満足する必要があり、２０ｎｍ、さらには１５ｎｍ以下とすることにより、厚みが５μｍ以下の薄膜グリーンシートの成形用に十分対応させることができる。
離型層表面のＲａが３０ｎｍを超える場合には、セラミックスラリー塗工時にスラリーがはじく等の不具合を生じるようになる。
【００２５】
なお、離型層表面のＲａの下限については、離型フィルム取り扱い時の作業性を考慮して、５ｎｍを下限とするのが好ましい。
本発明において離型フィルムの離型層表面のＲａを３０ｎｍ以下の範囲にするための方法として、例えばポリエステルフィルム上に予め塗布層を設けて、フィルム表面を平坦化させた後、離型層を塗設する方法等が挙げられる。
【００２６】
本発明の離型フィルムは、離型層表面の突起高さ（Ｘ）と突起数（Ｙ）との関係を表す分布曲線が突起高さ０．０５〜０．３μｍの範囲で下記式▲１▼を満足する必要がある。
【００２７】
【数４】
ｌｏｇＹ≧−５Ｘ ………▲１▼
（上記式中、Ｘは離型層表面の突起高さ（μｍ）、Ｙは離型層表面の突起数（個／ｍｍ² ）を表す）
【００２８】
本発明の離型フィルムは、さらにｌｏｇＹ≧−６Ｘを満足することが好ましい。
ｌｏｇＹ＜−５Ｘとなる場合、Ｒａが３０ｎｍ以下を満足していても、極希に存在する高い表面突起により、スラリー塗工時にスラリーをはじく、あるいはグリーンシート剥離時に破断する等の不具合を生じ、好ましくない。上記▲１▼式を満足することにより、高い表面突起が存在しない離型面を得ることができる。
さらに本発明の離型フィルムは、離型層表面の突起高さ０．４μｍ以上の突起数が３５個／ｍｍ² 以下であることが必要であり、さらに好ましくは３０個／ｍｍ² 以下である。当該突起数が３５個／ｍｍ² を超える場合、極希に存在する粗大突起により、セラミックスラリー塗工時にスラリーをはじく等の不具合を生じるようになる。
【００２９】
本発明における離型フィルムにおいて離型層が設けられていない面の中心線平均粗さ（Ｒａ（Ｂ））は下記式▲２▼を満足することが、離型フィルムのブロッキング防止、あるいは離型フィルムの搬送性が良好となる点で好ましい。
【００３０】
【数５】
１５≦Ｒａ（Ｂ）≦４０（ｎｍ） ………▲２▼
【００３１】
Ｒａ（Ｂ）が１５ｎｍ未満の場合、離型フィルムをロール状に巻き取った際にブロッキング等の不具合を生じる場合があり、一方、４０ｎｍを超える場合、離型フィルムの離型層が設けられていない面による離型層表面あるいはグリーンシート表面への傷付き、粗度転写等の不具合を生じる場合がある。
【００３２】
【実施例】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、実施例および比較例中「部」とあるのは固形分としての「重量部」を示す。また、本発明で用いた評価方法は次のとおりである。
【００３３】
（１）平均粒径（ｄ₅₀：μｍ）の測定
遠心沈降式粒度分布測定装置（株式会社島津製作所社製ＳＡ−ＣＰ３型）を使用して測定した等価球形分布における積算（重量基準）５０％の値を平均粒径とした。
（２）表面粗さ（Ｒａ）の評価
小坂研究所社製表面粗さ測定機（ＳＥ−３Ｆ）を用い、ＪＩＳ−Ｂ−０６０１−１９８２に準じて測定した。ただし、カットオフ値８０μｍ、測定長２．５ｍｍとした。
【００３４】
（３）離型フィルムの離型層表面の分布曲線および突起高さ０．４μｍ以上の突起数の測定
小坂研究所社製三次元表面粗さ測定機（ＳＥ−３ＡＫ）を用い、触針の先端半径５μｍ、針圧３０ｍｇ、測定長０．５ｍｍ、サンプリングピッチ１．０μｍ、カットオフ０．２５ｍｍ、縦倍率５万倍、横倍率２００倍、操作本数５００本の条件で突起高さと突起個数を測定した。
本発明で言う突起高さ（Ｘ、（μｍ））は突起個数が最大になる面の高さを０レベルとして、このレベルからの高さをもって突起高さとし、各突起高さにおける突起数の関係を図式化し、分布曲線として表した。
突起高さ０．４μｍ以上の突起数は上記方法による突起高さ０．４μｍを超えた突起に対応する突起数の総数をもって表した。
【００３５】
（４）セラミックスラリーの塗工性評価
下記組成からなるセラミックスラリーを湿潤状態で５μｍになるように試料サンプルの離型面上に塗布し、その際のスラリー塗工性を下記判定基準にて判定を行った。
【００３６】
《セラミックスラリー組成》
セラミック粉体（チタン酸バリウム）１００部
結合剤（ポリビニルブチラール樹脂）５部
可塑剤（フタル酸ジオクチル）１部
トルエン／ＭＥＫ混合溶媒（１：１の配合比率）１０部
《判定基準》
○：スラリー塗工性良好
△：微少なはじきが見られる
×：スラリーをはじく
○は実用上問題ないレベルである。
【００３７】
（５）グリーンシートの剥離性評価
（４）で使用したセラミックスラリーを用いて、グリーンシートのシート厚みが３μｍ（乾燥後）になるようにシート成形した後、離型フィルムとグリーンシートとの剥離性を下記判定基準にて判定を行った。
《判定基準》
○：スムーズに剥離可能
△：若干剥離感が重い
×：剥離し難いあるいは剥離が軽すぎる
△以上は実用上問題ないレベルである。
【００３８】
（６）離型フィルムのブロッキング性評価
試料サンプルを１０ｃｍ角に断裁した後、離型面と離型層が設けられていない面が合わさるように１０枚重ね、１００℃、１時間、１０ｋｇ／ｃｍ² の条件下でプレスした後、ブロッキング発生の有無を確認した。
《判定基準》
○：ブロッキングが発生していない
×：ブロッキングが発生している
○は実用上問題ないレベルである。
【００３９】
製造例１（ポリエステルＡ）
ジメチルテレフタレート１００部、エチレングリコール６０部および酢酸マグネシウム・４水塩０．０９部を反応器にとり、加熱昇温するとともにメタノールを留去し、エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了した。次いで、平均粒径０．１μｍのシリカ粒子０．１部、燐酸０．０４部、三酸化アンチモン０．０４部を添加した後１００分で温度を２８０℃、圧力を１５ｍｍＨｇに達せしめ以後も徐々に圧力を減じ最終的に０．０５ｍｍＨｇとした。４時間後、系内を常圧に戻してポリエステルＡを得た。ポリエステルＡのシリカ粒子含有量は０．１重量％であった。
【００４０】
製造例２（ポリエステルＡ１）〜製造例９（ポリエステルＢ２）
製造例１において、使用する粒子種、平均粒径、ポリエステル中の粒子添加量の組み合わせが異なる以外は製造例１と同様にして、各種ポリエステルを得た。各ポリエステルの構成については下記表１に示すとおりである。
【００４１】
〈積層ポリエステルフィルムの製造〉
製造例１０（積層ポリエステルフィルムＦ１）
ポリエステルＡおよびポリエステルＢ１とを別々に１８０℃で４時間不活性ガス雰囲気中で乾燥し、別個の溶融押出機により２９０℃で溶融し、口金から押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を４０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して積層未延伸シートを得た。得られたシートを８５℃で３．４倍縦方向に延伸した。次いでフィルムをテンターに導き１００℃で３．６倍横方向に延伸した後、２３０℃にて熱固定を行い、厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ１を得た。層構成はＡ／Ｂ１であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
【００４２】
製造例１１（積層ポリエステルフィルムＦ２）
製造例１０において、ポリエステルＡの代わりにポリエステルＡ１を使用する以外は製造例１０と同様にして厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ２を得た。層構成はＡ１／Ｂ１であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
製造例１２（積層ポリエステルフィルムＦ３）
製造例１１において得られた積層ポリエステルフィルムＦ２に、さらにポリエステルＡ１面に塗工量が０．２ｇ／ｍ² の帯電防止層を積層した厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ３を得た。帯電防止層の組成は、帯電防止剤（三菱化学製「ＳＴ−１０００」）４０重量％、メトキシメチルメラミン６０重量％である。
層構成はＡ１／Ｂ１であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
【００４３】
製造例１３（積層ポリエステルフィルムＦ４）
製造例１０において、ポリエステルＡの代わりにポリエステルＡ２を使用する以外は製造例１０と同様にし、厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ４を得た。層構成はＡ２／Ｂ１であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
製造例１４（ポリエステルフィルムＦ５）
製造例１０において、ポリエステルＡの代わりにポリエステルＢ１を使用する以外は製造例１０と同様にし、厚さ３８μｍのポリエステルフィルムＦ５を得た。
【００４４】
製造例１５（積層ポリエステルフィルムＦ６）
製造例１０において、ポリエステルＡの代わりにポリエステルＡ３を使用する以外は製造例１０と同様にし、厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ６を得た。層構成はＡ３／Ｂ１であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
製造例１６（積層ポリエステルフィルムＦ７）
製造例１０において、ポリエステルＢ１の代わりにポリエステルＢ２を使用する以外は製造例１０と同様にし、厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ７を得た。層構成はＡ／Ｂ２であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
【００４５】
製造例１７（ポリエステルフィルムＦ８）
製造例１０において、ポリエステルＢ１を用いずにポリエステルＡのみを使用して、厚さ３８μｍの単層のポリエステルフィルムＦ８を得た。
製造例１８（積層ポリエステルフィルムＦ９）
製造例１０において、ポリエステルＡの代わりにポリエステルＡ４を使用する以外は製造例１０と同様にし、厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ９を得た。層構成はＡ４／Ｂ１であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
【００４６】
製造例１９（積層ポリエステルフィルムＦ１０）
製造例１０において、ポリエステルＡの代わりにポリエステルＡ５を使用する以外は製造例１０と同様にし、厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ１０を得た。層構成はＡ５／Ｂ１であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
製造例２０（積層ポリエステルフィルムＦ１１）
製造例１０において、ポリエステルＡの代わりにポリエステルＡ６を使用する以外は製造例１０と同様にし、厚さ３８μｍの積層ポリエステルフィルムＦ１１を得た。層構成はＡ６／Ｂ１であり、各層の厚さは１０／２８（μｍ）であった。
【００４７】
実施例１
製造例１０より得られた積層ポリエステルフィルムＦ１のＡ面に下記組成の離型剤を塗工量が０．１ｇ／ｍ² になるように塗布して離型フィルムを得た。
離型剤の組成は硬化型シリコーン樹脂（信越化学製「ＫＳ−７７９Ｈ」）１００部、硬化剤（信越化学製「ＣＡＴ−ＰＬ−８」）１部、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）／トルエン混合溶媒系２２００部である。このフィルムの特性を下記表３に示す。
【００４８】
実施例２
製造例１１より得られた積層ポリエステルフィルムＦ２（３８μｍ）を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルムの特性を表３に示す。
実施例３
製造例１２により得られた積層ポリエステルフィルムＦ３（３８μｍ）の帯電防止層が塗設された面の上に実施例１と同様の離型層を塗設して離型フィルムを得た。このフィルムの特性を表３に示す。
【００４９】
実施例４
製造例１３より得られた積層ポリエステルフィルムＦ４（３８μｍ）を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルムの特性を表３に示す。
実施例５
製造例１６により得られた積層ポリエステルフィルムＦ７（３８μｍ）を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルム特性を表３に示す。
【００５０】
比較例１
製造例１４より得られたポリエステルフィルムＦ５（３８μｍ）を用いる以は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルムの特性を表３に示す。
比較例２
製造例１５により得られた積層ポリエステルフィルムＦ６（３８μｍ）を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルム特性を表３に示す。
【００５１】
比較例３
製造例１７により得られたポリエステルフィルムＦ８（３８μｍ）を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルム特性を表３に示す。
比較例４
製造例１８により得られた積層ポリエステルフィルムＦ９（３８μｍ）を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルム特性を表３に示す。
【００５２】
比較例５
製造例１９により得られた積層ポリエステルフィルムＦ１０（３８μｍ）を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルム特性を表３に示す。
比較例６
製造例２０により得られた積層ポリエステルフィルムＦ１１（３８μｍ）を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。このフィルム特性を表３に示す。
【００５３】
【表１】

【００５４】
【表２】

【００５５】
【表３】

【００５６】
【発明の効果】
本発明の離型フィルムはセラミック積層コンデンサー用として、特に厚みが５μｍ以下の薄膜グリーンシート成形用に用いた場合、離型フィルムをロール状に巻き取ってもブロッキング等の発生がなく、その工業的価値は高い。

Claims

少なくとも２層が共押出により積層されたポリエステルフィルムの片面に離型層が塗設されてなる離型フィルムであって、離型層表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が３０ｎｍ以下であり、離型層表面の突起高さ（Ｘ）と突起数（Ｙ）との関係を表す分布曲線が突起高さ０．０５〜０．３μｍの範囲で下記式▲１▼を満足し、かつ離型層表面の突起高さ０．４μｍ以上の突起数が３５個／ｍｍ² 以下であることを特徴とする薄膜グリーンシート成形用離型フィルム。

（上記式中、Ｘは離型層表面の突起高さ（μｍ）、Ｙは離型層表面の突起数（個／ｍｍ² ）を表す）
下記式▲２▼を満足することを特徴とする請求項１記載の離型フィルム。

（上記式中、Ｒａ（Ｂ）は離型層が設けられていない面の中心線平均粗さを表す）
離型層が硬化型シリコーン樹脂を含有する請求項１または２記載の離型フィルム。