JPH11320524A - 薄膜グリーンシート成形用離型フィルム - Google Patents
薄膜グリーンシート成形用離型フィルムInfo
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- JPH11320524A JPH11320524A JP12720798A JP12720798A JPH11320524A JP H11320524 A JPH11320524 A JP H11320524A JP 12720798 A JP12720798 A JP 12720798A JP 12720798 A JP12720798 A JP 12720798A JP H11320524 A JPH11320524 A JP H11320524A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 離型層表面が平坦な離型フィルムをロール状
に巻き取ってもブロッキング等の発生がなく、薄膜グリ
ーンシート成形用に対応可能な離型フィルムを提供す
る。 【解決手段】 ポリエステルフィルムの片面に離型層が
塗設されてなる離型フィルムであって、離型層表面の中
心線平均粗さ（Ｒａ）が３０ｎｍ以下であり、離型層表
面の突起高さ（Ｘ）と突起数（Ｙ）との関係を表す分布
曲線が突起高さ０．０５〜０．３μｍの範囲で下記式
を満足し、かつ離型層表面の突起高さ０．４μｍ以上の
突起数が３５個／ｍｍ2 以下であることを特徴とする薄
膜グリーンシート成形用離型フィルム。 【数１】ｌｏｇＹ≧−５Ｘ ……… （上記式中、Ｘは離型層表面の突起高さ（μｍ）、Ｙは
離型層表面の突起数（個／ｍｍ2 ）を表す）
に巻き取ってもブロッキング等の発生がなく、薄膜グリ
ーンシート成形用に対応可能な離型フィルムを提供す
る。 【解決手段】 ポリエステルフィルムの片面に離型層が
塗設されてなる離型フィルムであって、離型層表面の中
心線平均粗さ（Ｒａ）が３０ｎｍ以下であり、離型層表
面の突起高さ（Ｘ）と突起数（Ｙ）との関係を表す分布
曲線が突起高さ０．０５〜０．３μｍの範囲で下記式
を満足し、かつ離型層表面の突起高さ０．４μｍ以上の
突起数が３５個／ｍｍ2 以下であることを特徴とする薄
膜グリーンシート成形用離型フィルム。 【数１】ｌｏｇＹ≧−５Ｘ ……… （上記式中、Ｘは離型層表面の突起高さ（μｍ）、Ｙは
離型層表面の突起数（個／ｍｍ2 ）を表す）
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は離型フィルムに関
し、詳しくはセラミック積層コンデンサー用の薄膜グリ
ーンシート成形用離型フィルムに関する。
し、詳しくはセラミック積層コンデンサー用の薄膜グリ
ーンシート成形用離型フィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、セラミック積層コンデンサー用に
グリーンシート成形用キャリアフィルムとしてポリエス
テルフィルムを基材とする離型フィルムが使用されてい
る。近年、セラミック積層コンデンサーの小型化・大容
量化が進むに伴い、グリーンシート自体の厚みも益々薄
膜化する傾向にある。
グリーンシート成形用キャリアフィルムとしてポリエス
テルフィルムを基材とする離型フィルムが使用されてい
る。近年、セラミック積層コンデンサーの小型化・大容
量化が進むに伴い、グリーンシート自体の厚みも益々薄
膜化する傾向にある。
【０００３】グリーンシートの更なる薄膜化に伴い、特
に厚みが５μｍ以下のグリーンシートを成形しようとし
た場合、離型層表面の表面粗度が高い離型フィルムでは
対応困難な状況にある。また、離型フィルムの離型層表
面の表面粗度が高い場合には、セラミックスラリー塗工
時にスラリーのはじきあるいはピンホールの発生、グリ
ーンシート剥離時にはグリーンシートの破断等の不具合
を生じる場合がある。
に厚みが５μｍ以下のグリーンシートを成形しようとし
た場合、離型層表面の表面粗度が高い離型フィルムでは
対応困難な状況にある。また、離型フィルムの離型層表
面の表面粗度が高い場合には、セラミックスラリー塗工
時にスラリーのはじきあるいはピンホールの発生、グリ
ーンシート剥離時にはグリーンシートの破断等の不具合
を生じる場合がある。
【０００４】上記不具合を解決するために表面粗度の低
いポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムを使
用すると、離型フィルムをロール状に巻き取った際にブ
ロッキングあるいはシワ等が発生する等の不具合を生じ
る場合がある。
いポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムを使
用すると、離型フィルムをロール状に巻き取った際にブ
ロッキングあるいはシワ等が発生する等の不具合を生じ
る場合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、離型層表面
が平坦な離型フィルムをロール状に巻き取ってもブロッ
キング等の発生がなく、薄膜グリーンシート成形用に対
応可能な離型フィルムを提供することを解決課題とする
ものである。
が平坦な離型フィルムをロール状に巻き取ってもブロッ
キング等の発生がなく、薄膜グリーンシート成形用に対
応可能な離型フィルムを提供することを解決課題とする
ものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記実状に
鑑み、鋭意検討した結果、特定の離型層を設けることで
上述の課題を容易に解決できることを知見し、本発明を
完成するに至った。すなわち、本発明の要旨は、ポリエ
ステルフィルムの片面に離型層が塗設されてなる離型フ
ィルムであって、離型層表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）
が３０ｎｍ以下であり、離型層表面の突起高さ（Ｘ）と
突起数（Ｙ）との関係を表す分布曲線が突起高さ０．０
５〜０．３μｍの範囲で下記式を満足し、かつ離型層
表面の突起高さ０．４μｍ以上の突起数が３５個／ｍｍ
2 以下であることを特徴とする薄膜グリーンシート成形
用離型フィルムに存する。
鑑み、鋭意検討した結果、特定の離型層を設けることで
上述の課題を容易に解決できることを知見し、本発明を
完成するに至った。すなわち、本発明の要旨は、ポリエ
ステルフィルムの片面に離型層が塗設されてなる離型フ
ィルムであって、離型層表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）
が３０ｎｍ以下であり、離型層表面の突起高さ（Ｘ）と
突起数（Ｙ）との関係を表す分布曲線が突起高さ０．０
５〜０．３μｍの範囲で下記式を満足し、かつ離型層
表面の突起高さ０．４μｍ以上の突起数が３５個／ｍｍ
2 以下であることを特徴とする薄膜グリーンシート成形
用離型フィルムに存する。
【０００７】
【数３】ｌｏｇＹ≧−５Ｘ ……… （上記式中、Ｘは離型層表面の突起高さ（μｍ）、Ｙは
離型層表面の突起数（個／ｍｍ2 ）を表す）
離型層表面の突起数（個／ｍｍ2 ）を表す）
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明をさらに詳細に説明
する。本発明において、ポリエステルフィルムの原料と
して使用するポリエステルはホモポリエステルであって
も共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステ
ルとしては、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールと
を重縮合させて得られるものが使用できる。芳香族ジカ
ルボン酸としては、テレフタル酸、２，６−ナフタレン
ジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとして
は、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，
４−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表
的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカ
ルボキシレート（ＰＥＮ）等が例示される。一方、共重
合ポリエステルの場合は、通常３０モル％以下の第三成
分を含有した共重合体を使用することができる。共重合
ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル
酸、フタル酸テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカル
ボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オキシカルボン酸
（例えば、Ｐ−オキシ安息香酸など）の一種または二種
以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリ
コール、ジエチレングリコール、プロピレングリコー
ル、ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノ
ール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上
が挙げられる。
する。本発明において、ポリエステルフィルムの原料と
して使用するポリエステルはホモポリエステルであって
も共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステ
ルとしては、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールと
を重縮合させて得られるものが使用できる。芳香族ジカ
ルボン酸としては、テレフタル酸、２，６−ナフタレン
ジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとして
は、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，
４−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表
的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカ
ルボキシレート（ＰＥＮ）等が例示される。一方、共重
合ポリエステルの場合は、通常３０モル％以下の第三成
分を含有した共重合体を使用することができる。共重合
ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル
酸、フタル酸テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカル
ボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オキシカルボン酸
（例えば、Ｐ−オキシ安息香酸など）の一種または二種
以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリ
コール、ジエチレングリコール、プロピレングリコー
ル、ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノ
ール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上
が挙げられる。
【０００９】本発明において、ポリエステル中に、シリ
カ、炭酸カルシウム、カオリン、酸化チタン、酸化アル
ミニウム等の粒子を配合することが好ましい。使用する
粒子の平均粒径および添加量は特に限定されるわけでは
ないが、平均粒径が０．１〜１．０μｍのものが好まし
く、添加量は０．１〜１重量％、さらには０．３〜１重
量％の範囲が好ましい。
カ、炭酸カルシウム、カオリン、酸化チタン、酸化アル
ミニウム等の粒子を配合することが好ましい。使用する
粒子の平均粒径および添加量は特に限定されるわけでは
ないが、平均粒径が０．１〜１．０μｍのものが好まし
く、添加量は０．１〜１重量％、さらには０．３〜１重
量％の範囲が好ましい。
【００１０】本発明において、離型フィルムを構成する
ポリエステルフィルム面の中心線平均粗さは、１０〜４
０ｎｍの範囲が好ましい。本発明において、ポリエステ
ル中に粒子を配合する方法としては、特に限定されるも
のではなく、従来公知の方法を採用し得る。例えば、ポ
リエステルを製造する任意の段階において添加すること
ができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエ
ステル交換反応終了後、重縮合反応開始前の段階でエチ
レングリコール等に分散させたスラリーとして添加し、
重縮合反応を進めてもよい。またベント付き混練押出機
を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた
粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方
法、または混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエ
ステル原料とをブレンドする方法などによって行われ
る。
ポリエステルフィルム面の中心線平均粗さは、１０〜４
０ｎｍの範囲が好ましい。本発明において、ポリエステ
ル中に粒子を配合する方法としては、特に限定されるも
のではなく、従来公知の方法を採用し得る。例えば、ポ
リエステルを製造する任意の段階において添加すること
ができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエ
ステル交換反応終了後、重縮合反応開始前の段階でエチ
レングリコール等に分散させたスラリーとして添加し、
重縮合反応を進めてもよい。またベント付き混練押出機
を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた
粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方
法、または混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエ
ステル原料とをブレンドする方法などによって行われ
る。
【００１１】本発明において、ポリエステルフィルムの
厚さはフィルムとして製膜できる厚さであれば特に限定
されるわけではないが、通常９〜３５０μｍ、好ましく
は１２〜２５０μｍの範囲が用途上好適である。次に本
発明において、離型フィルムを構成するポリエステルフ
ィルムの製造方法について具体的に説明するが、本発明
のポリエステルフィルムは以下の製造例に何ら限定され
るものではない。
厚さはフィルムとして製膜できる厚さであれば特に限定
されるわけではないが、通常９〜３５０μｍ、好ましく
は１２〜２５０μｍの範囲が用途上好適である。次に本
発明において、離型フィルムを構成するポリエステルフ
ィルムの製造方法について具体的に説明するが、本発明
のポリエステルフィルムは以下の製造例に何ら限定され
るものではない。
【００１２】すなわち、先に述べたポリエステル原料を
使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロール
で冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。こ
の場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転
冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密
着法および／または液体塗布密着法が好ましく採用され
る。
使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロール
で冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。こ
の場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転
冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密
着法および／または液体塗布密着法が好ましく採用され
る。
【００１３】次いで、得られた未延伸フィルムは二軸方
向に延伸して二軸配向される。すなわち、まず、前記の
未延伸シートを一方向にロールまたは、テンター方式の
延伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０〜１２０
℃、好ましくは８０〜１１０℃であり、延伸倍率は、通
常２．５〜７倍、好ましくは３．０〜６倍である。次い
で、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸を行う。延
伸温度は、通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１
５℃であり、延伸倍率は、通常３．０〜７倍、好ましく
は３．５〜６倍である。そして、引き続き、１３０〜２
５０℃の範囲の温度で３０％以内の弛緩下で熱処理を行
い、二軸延伸フィルムを得る。
向に延伸して二軸配向される。すなわち、まず、前記の
未延伸シートを一方向にロールまたは、テンター方式の
延伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０〜１２０
℃、好ましくは８０〜１１０℃であり、延伸倍率は、通
常２．５〜７倍、好ましくは３．０〜６倍である。次い
で、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸を行う。延
伸温度は、通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１
５℃であり、延伸倍率は、通常３．０〜７倍、好ましく
は３．５〜６倍である。そして、引き続き、１３０〜２
５０℃の範囲の温度で３０％以内の弛緩下で熱処理を行
い、二軸延伸フィルムを得る。
【００１４】延伸工程中にフィルム表面を処理する、い
わゆるインラインコーティングを施すこともできる。例
えば、１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前に、帯
電防止性、滑り性、接着性等の改良、二次加工性改良等
の目的で、水溶液、水系エマルジョン、水系スラリー等
によるコーティング処理を施すことができる。上記の延
伸においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を
用いることもできる。その場合、最終的に二方向の延伸
倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うことが好まし
い。また、前記の未延伸シートを面積倍率が１０〜４０
倍になるように同時二軸延伸を行うことも可能である。
さらに、必要に応じて熱処理を行う前または後に再度縦
および／または横方向に延伸してもよい。
わゆるインラインコーティングを施すこともできる。例
えば、１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前に、帯
電防止性、滑り性、接着性等の改良、二次加工性改良等
の目的で、水溶液、水系エマルジョン、水系スラリー等
によるコーティング処理を施すことができる。上記の延
伸においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を
用いることもできる。その場合、最終的に二方向の延伸
倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うことが好まし
い。また、前記の未延伸シートを面積倍率が１０〜４０
倍になるように同時二軸延伸を行うことも可能である。
さらに、必要に応じて熱処理を行う前または後に再度縦
および／または横方向に延伸してもよい。
【００１５】また、ポリエステルフィルムには、各種安
定剤、紫外線吸収剤、滑剤、顔料、酸化防止剤および可
塑剤などが添加されてもよい。本発明において離型層を
構成する材料は離型性を有するものであれば特に限定さ
れるものではなく、硬化型シリコーン樹脂を主成分とす
るタイプでもよいし、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ア
ルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変
性シリコーンタイプ等を使用してもよい。それらの中で
も硬化型シリコーン樹脂を主成分とするものが離型性が
良好な点で良い。
定剤、紫外線吸収剤、滑剤、顔料、酸化防止剤および可
塑剤などが添加されてもよい。本発明において離型層を
構成する材料は離型性を有するものであれば特に限定さ
れるものではなく、硬化型シリコーン樹脂を主成分とす
るタイプでもよいし、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ア
ルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変
性シリコーンタイプ等を使用してもよい。それらの中で
も硬化型シリコーン樹脂を主成分とするものが離型性が
良好な点で良い。
【００１６】硬化型シリコーン樹脂の種類としては溶剤
付加型・溶剤縮合型・溶剤紫外線硬化型、無溶剤付加
型、無溶剤縮合型、無溶剤紫外線硬化型、無溶剤電子線
硬化型等いずれの硬化反応タイプでも用いることができ
る。具体例を挙げると、信越化学工業社製のＫＳ−７７
４、ＫＳ−７７５、ＫＳ−７７８、ＫＳ−７７９Ｈ、Ｋ
Ｓ−８５６、Ｘ−６２−２４２２、Ｘ−６２−２４６
１、ＫＮＳ−３０５、ＫＮＳ−３０００、Ｘ−６２−１
２５６、ダウ・コーニング・アジア社製のＤＫＱ３−２
０２、ＤＫＱ３−２０３、ＤＫＱ３−２０４、ＤＫＱ３
−２０５、ＤＫＱ３−２１０、東芝シリコーン社製のＹ
ＳＲ−３０２２、ＴＰＲ−６７００、ＴＰＲ−６７２
０、ＴＰＲ−６７２１等、東レ・ダウコーニング・シリ
コーン社製のＳＤ７２２３、ＳＤ７２２６、ＳＤ７２２
９、ＳＲＸ−２１０等が挙げられる。
付加型・溶剤縮合型・溶剤紫外線硬化型、無溶剤付加
型、無溶剤縮合型、無溶剤紫外線硬化型、無溶剤電子線
硬化型等いずれの硬化反応タイプでも用いることができ
る。具体例を挙げると、信越化学工業社製のＫＳ−７７
４、ＫＳ−７７５、ＫＳ−７７８、ＫＳ−７７９Ｈ、Ｋ
Ｓ−８５６、Ｘ−６２−２４２２、Ｘ−６２−２４６
１、ＫＮＳ−３０５、ＫＮＳ−３０００、Ｘ−６２−１
２５６、ダウ・コーニング・アジア社製のＤＫＱ３−２
０２、ＤＫＱ３−２０３、ＤＫＱ３−２０４、ＤＫＱ３
−２０５、ＤＫＱ３−２１０、東芝シリコーン社製のＹ
ＳＲ−３０２２、ＴＰＲ−６７００、ＴＰＲ−６７２
０、ＴＰＲ−６７２１等、東レ・ダウコーニング・シリ
コーン社製のＳＤ７２２３、ＳＤ７２２６、ＳＤ７２２
９、ＳＲＸ−２１０等が挙げられる。
【００１７】本発明において、ポリエステルフィルムに
離型層を塗設する方法として、リバースロールコート、
グラビアコート、バーコート等、従来公知の塗工方式を
用いることができる。離型層の塗工量はポリエステルフ
ィルムへの塗工性の点から、０．０１〜５ｇ／ｍ2 の範
囲が好ましい。当該範囲が０．０１ｇ／ｍ2 未満の場
合、塗工性の面で安定性に欠ける傾向があり、均一な塗
膜を得るのが困難となる場合がある。一方、５ｇ／ｍ2
を超えて厚塗りにすると、硬化性の点で劣る傾向があ
る。
離型層を塗設する方法として、リバースロールコート、
グラビアコート、バーコート等、従来公知の塗工方式を
用いることができる。離型層の塗工量はポリエステルフ
ィルムへの塗工性の点から、０．０１〜５ｇ／ｍ2 の範
囲が好ましい。当該範囲が０．０１ｇ／ｍ2 未満の場
合、塗工性の面で安定性に欠ける傾向があり、均一な塗
膜を得るのが困難となる場合がある。一方、５ｇ／ｍ2
を超えて厚塗りにすると、硬化性の点で劣る傾向があ
る。
【００１８】さらに本発明において、離型層表面のブロ
ッキング防止、滑り性改良等を目的として、粒子が添加
されてもよい。使用する粒子の種類としては有機系粒子
・無機系粒子の何れでもよく、特にこれらに限定される
ものではない。本発明の離型フィルムにおいて、ポリエ
ステルフィルムと離型層との間、あるいは離型層が設け
られていない面に、帯電防止層、接着層等の塗布層を設
けてもよい。また、ポリエステルフィルムには予めコロ
ナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。
ッキング防止、滑り性改良等を目的として、粒子が添加
されてもよい。使用する粒子の種類としては有機系粒子
・無機系粒子の何れでもよく、特にこれらに限定される
ものではない。本発明の離型フィルムにおいて、ポリエ
ステルフィルムと離型層との間、あるいは離型層が設け
られていない面に、帯電防止層、接着層等の塗布層を設
けてもよい。また、ポリエステルフィルムには予めコロ
ナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。
【００１９】塗布層にはさらに必要に応じて、有機系粒
子、無機系粒子、消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、有機
系潤滑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、発泡剤、染料等
が含有されてもよい。塗布層の塗工量は特に限定される
ものではないが、０．０１〜５ｇ／ｍ2 の範囲が好まし
い。当該範囲を外れた場合、上述の離型層の場合と同様
の問題が生じることがある。
子、無機系粒子、消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、有機
系潤滑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、発泡剤、染料等
が含有されてもよい。塗布層の塗工量は特に限定される
ものではないが、０．０１〜５ｇ／ｍ2 の範囲が好まし
い。当該範囲を外れた場合、上述の離型層の場合と同様
の問題が生じることがある。
【００２０】本発明の離型フィルムの離型層表面の中心
線平均粗さ（以下、Ｒａ（Ａ）と略記する）は３０ｎｍ
以下を満足する必要があり、２０ｎｍ、さらには１５ｎ
ｍ以下とすることにより、厚みが５μｍ以下の薄膜グリ
ーンシートの成形用に十分対応させることができる。Ｒ
ａ（Ａ）が３０ｎｍを超える場合には、セラミックスラ
リー塗工時にスラリーがはじく等の不具合を生じるよう
になる。なお、Ｒａ（Ａ）の下限については、離型フィ
ルム取り扱い時の作業性を考慮して、５ｎｍを下限とす
るのが好ましい。
線平均粗さ（以下、Ｒａ（Ａ）と略記する）は３０ｎｍ
以下を満足する必要があり、２０ｎｍ、さらには１５ｎ
ｍ以下とすることにより、厚みが５μｍ以下の薄膜グリ
ーンシートの成形用に十分対応させることができる。Ｒ
ａ（Ａ）が３０ｎｍを超える場合には、セラミックスラ
リー塗工時にスラリーがはじく等の不具合を生じるよう
になる。なお、Ｒａ（Ａ）の下限については、離型フィ
ルム取り扱い時の作業性を考慮して、５ｎｍを下限とす
るのが好ましい。
【００２１】本発明において、Ｒａ（Ａ）を３０ｎｍ以
下の範囲にするための方法として、例えばポリエステル
フィルム上に予め塗布層を設けて、フィルム表面を平坦
化させた後、離型層を塗設する方法等が挙げられる。本
発明の離型フィルムは、離型層表面の突起高さ（Ｘ）と
突起数（Ｙ）との関係を表す分布曲線が突起高さ０．０
５〜０．３μｍの範囲で下記式を満足する必要があ
る。
下の範囲にするための方法として、例えばポリエステル
フィルム上に予め塗布層を設けて、フィルム表面を平坦
化させた後、離型層を塗設する方法等が挙げられる。本
発明の離型フィルムは、離型層表面の突起高さ（Ｘ）と
突起数（Ｙ）との関係を表す分布曲線が突起高さ０．０
５〜０．３μｍの範囲で下記式を満足する必要があ
る。
【００２２】
【数４】ｌｏｇＹ≧−５Ｘ ……… （上記式中、Ｘは離型層表面の突起高さ（μｍ）、Ｙは
離型層表面の突起数（個／ｍｍ2 ）を表す）
離型層表面の突起数（個／ｍｍ2 ）を表す）
【００２３】本発明の離型フィルムは、さらにｌｏｇＹ
≧−６Ｘを満足することが好ましい。ｌｏｇＹ＜−５Ｘ
となる場合、Ｒａが３０ｎｍ以下を満足していても、極
希に存在する高い表面突起により、スラリー塗工時にス
ラリーをはじく、あるいはグリーンシート剥離時に破断
する等の不具合を生じ、好ましくない。上記式を満足
することにより、高い表面突起が存在しない離型面を得
ることができる。さらに本発明の離型フィルムは、離型
層表面の突起高さ０．４μｍ以上の突起数が３５個／ｍ
ｍ2 以下であることが必要であり、さらに好ましくは３
０個／ｍｍ2 以下である。当該突起数が３５個／ｍｍ2
を超える場合、極希に存在する粗大突起により、セラミ
ックスラリー塗工時にスラリーをはじく等の不具合を生
じるようになる。
≧−６Ｘを満足することが好ましい。ｌｏｇＹ＜−５Ｘ
となる場合、Ｒａが３０ｎｍ以下を満足していても、極
希に存在する高い表面突起により、スラリー塗工時にス
ラリーをはじく、あるいはグリーンシート剥離時に破断
する等の不具合を生じ、好ましくない。上記式を満足
することにより、高い表面突起が存在しない離型面を得
ることができる。さらに本発明の離型フィルムは、離型
層表面の突起高さ０．４μｍ以上の突起数が３５個／ｍ
ｍ2 以下であることが必要であり、さらに好ましくは３
０個／ｍｍ2 以下である。当該突起数が３５個／ｍｍ2
を超える場合、極希に存在する粗大突起により、セラミ
ックスラリー塗工時にスラリーをはじく等の不具合を生
じるようになる。
【００２４】本発明における離型フィルムにおいて離型
層が設けられていない面の中心線平均粗さ（以下、Ｒａ
（Ｂ）と略記する）は下記式を満足することが、離型
フィルムのブロッキング防止、あるいは離型フィルムの
搬送性が良好となる点で好ましい。
層が設けられていない面の中心線平均粗さ（以下、Ｒａ
（Ｂ）と略記する）は下記式を満足することが、離型
フィルムのブロッキング防止、あるいは離型フィルムの
搬送性が良好となる点で好ましい。
【００２５】
【数５】１５≦Ｒａ（Ｂ）≦４０（ｎｍ） ………
【００２６】Ｒａ（Ｂ）が１５ｎｍ未満の場合、離型フ
ィルムをロール状に巻き取った際にブロッキング等の不
具合を生じる場合があり、一方、４０ｎｍを超える場
合、離型フィルムの離型層が設けられていない面による
離型層表面あるいはグリーンシート表面への傷付き、粗
度転写等の不具合を生じる場合がある。
ィルムをロール状に巻き取った際にブロッキング等の不
具合を生じる場合があり、一方、４０ｎｍを超える場
合、離型フィルムの離型層が設けられていない面による
離型層表面あるいはグリーンシート表面への傷付き、粗
度転写等の不具合を生じる場合がある。
【００２７】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明
するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例および比較例中「部」とあるのは固形
分としての「重量部」を示す。また、本発明で用いた評
価方法は次のとおりである。
するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例および比較例中「部」とあるのは固形
分としての「重量部」を示す。また、本発明で用いた評
価方法は次のとおりである。
【００２８】（１）平均粒径（ｄ50：μｍ）の測定 遠心沈降式粒度分布測定装置（株式会社島津製作所社製
ＳＡ−ＣＰ３型）を使用して測定した等価球形分布にお
ける積算（重量基準）５０％の値を平均粒径とした。 （２）表面粗さ（Ｒａ）の評価 小坂研究所社製表面粗さ測定機（ＳＥ−３Ｆ）を用い、
ＪＩＳ−Ｂ−０６０１−１９８２に準じて測定した。た
だし、カットオフ値８０μｍ、測定長２．５ｍｍとし
た。
ＳＡ−ＣＰ３型）を使用して測定した等価球形分布にお
ける積算（重量基準）５０％の値を平均粒径とした。 （２）表面粗さ（Ｒａ）の評価 小坂研究所社製表面粗さ測定機（ＳＥ−３Ｆ）を用い、
ＪＩＳ−Ｂ−０６０１−１９８２に準じて測定した。た
だし、カットオフ値８０μｍ、測定長２．５ｍｍとし
た。
【００２９】（３）離型フィルムの離型層表面の分布曲
線および突起高さ０．４μｍ以上の突起数の測定 小坂研究所社製三次元表面粗さ測定機（ＳＥ−３ＡＫ）
を用い、触針の先端半径５μｍ、針圧３０ｍｇ、測定長
０．５ｍｍ、サンプリングピッチ１．０μｍ、カットオ
フ０．２５ｍｍ、縦倍率５万倍、横倍率２００倍、操作
本数５００本の条件で突起高さと突起個数を測定した。
本発明で言う突起高さ（Ｘ、（μｍ））は突起個数が最
大になる面の高さを０レベルとして、このレベルからの
高さをもって突起高さとし、各突起高さにおける突起数
の関係を図式化し、分布曲線として表した。突起高さ
０．４μｍ以上の突起数は上記方法による突起高さ０．
４μｍを超えた突起に対応する突起数の総数をもって表
した。
線および突起高さ０．４μｍ以上の突起数の測定 小坂研究所社製三次元表面粗さ測定機（ＳＥ−３ＡＫ）
を用い、触針の先端半径５μｍ、針圧３０ｍｇ、測定長
０．５ｍｍ、サンプリングピッチ１．０μｍ、カットオ
フ０．２５ｍｍ、縦倍率５万倍、横倍率２００倍、操作
本数５００本の条件で突起高さと突起個数を測定した。
本発明で言う突起高さ（Ｘ、（μｍ））は突起個数が最
大になる面の高さを０レベルとして、このレベルからの
高さをもって突起高さとし、各突起高さにおける突起数
の関係を図式化し、分布曲線として表した。突起高さ
０．４μｍ以上の突起数は上記方法による突起高さ０．
４μｍを超えた突起に対応する突起数の総数をもって表
した。
【００３０】（４）セラミックスラリーの塗工性評価 下記組成からなるセラミックスラリーを湿潤状態で５μ
ｍになるように試料サンプルの離型面上に塗布し、その
際のスラリー塗工性を下記判定基準にて判定を行った。
ｍになるように試料サンプルの離型面上に塗布し、その
際のスラリー塗工性を下記判定基準にて判定を行った。
【００３１】 《セラミックスラリー組成》 セラミック粉体（チタン酸バリウム） １００部 結合剤（ポリビニルブチラール樹脂） ５部 可塑剤（フタル酸ジオクチル） １部 トルエン／ＭＥＫ混合溶媒（１：１の配合比率） １０部 《判定基準》 ○：スラリー塗工性良好 △：微少なはじきが見られる ×：スラリーをはじく ○は実用上問題ないレベルである。
【００３２】（５）グリーンシートの剥離性評価 （４）で使用したセラミックスラリーを用いて、グリー
ンシートのシート厚みが３μｍ（乾燥後）になるように
シート成形した後、離型フィルムとグリーンシートとの
剥離性を下記判定基準にて判定を行った。 《判定基準》 ○：スムーズに剥離可能 △：若干剥離感が重い ×：剥離し難いあるいは剥離が軽すぎる △以上は実用上問題ないレベルである。
ンシートのシート厚みが３μｍ（乾燥後）になるように
シート成形した後、離型フィルムとグリーンシートとの
剥離性を下記判定基準にて判定を行った。 《判定基準》 ○：スムーズに剥離可能 △：若干剥離感が重い ×：剥離し難いあるいは剥離が軽すぎる △以上は実用上問題ないレベルである。
【００３３】（６）離型フィルムのブロッキング性評価 試料サンプルを１０ｃｍ角に断裁した後、離型面と離型
層が設けられていない面が合わさるように１０枚重ね、
１００℃、１時間、１０ｋｇ／ｃｍ2 の条件下でプレス
した後、ブロッキング発生の有無を確認した。 《判定基準》 ○：ブロッキングが発生していない ×：ブロッキングが発生している ○は実用上問題ないレベルである。
層が設けられていない面が合わさるように１０枚重ね、
１００℃、１時間、１０ｋｇ／ｃｍ2 の条件下でプレス
した後、ブロッキング発生の有無を確認した。 《判定基準》 ○：ブロッキングが発生していない ×：ブロッキングが発生している ○は実用上問題ないレベルである。
【００３４】〈原料ポリエステルの製造〉 製造例１（ポリエステルＡ） ジメチルテレフタレート１００部、エチレングリコール
６０部および酢酸マグネシウム・４水塩０．０９部を反
応器にとり、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、
エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して
２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了し
た。次いで、平均粒径０．６μｍの炭酸カルシウム粒子
０．５部、燐酸０．０４部、三酸化アンチモン０．０４
部を添加した後、１００分で温度を２８０℃、圧力を１
５ｍｍＨｇに達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ最終的
に０．０５ｍｍＨｇとした。４時間後、系内を常圧に戻
しポリエステルＡを得た。ポリエステルＡの炭酸カルシ
ウム粒子含有量は０．５重量％であった。
６０部および酢酸マグネシウム・４水塩０．０９部を反
応器にとり、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、
エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して
２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了し
た。次いで、平均粒径０．６μｍの炭酸カルシウム粒子
０．５部、燐酸０．０４部、三酸化アンチモン０．０４
部を添加した後、１００分で温度を２８０℃、圧力を１
５ｍｍＨｇに達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ最終的
に０．０５ｍｍＨｇとした。４時間後、系内を常圧に戻
しポリエステルＡを得た。ポリエステルＡの炭酸カルシ
ウム粒子含有量は０．５重量％であった。
【００３５】製造例２（ポリエステルＢ） 製造例１において得られたポリエステルＡにおいて、平
均粒径０．６μｍの炭酸カルシウム粒子を０．５部添加
する代わりに、平均粒径０．７μｍの酸化チタン粒子を
０．３部添加する以外は同様にして製造し、ポリエステ
ルＢを得た。ポリエステルＢの平均粒径０．７μｍの酸
化チタン粒子の含有量は０．３重量％であった。
均粒径０．６μｍの炭酸カルシウム粒子を０．５部添加
する代わりに、平均粒径０．７μｍの酸化チタン粒子を
０．３部添加する以外は同様にして製造し、ポリエステ
ルＢを得た。ポリエステルＢの平均粒径０．７μｍの酸
化チタン粒子の含有量は０．３重量％であった。
【００３６】製造例３（ポリエステルＣ） 製造例１において得られたポリエステルＡにおいて、平
均粒径０．６μｍの炭酸カルシウム粒子を０．５部添加
する代わりに、平均粒径２．４μｍの球状シリカ粒子を
０．１部添加する以外は製造例１と同様にして製造し、
ポリエステルＣを得た。ポリエステルＣの平均粒径２．
４μｍの球状シリカ粒子の含有量は０．１重量％であっ
た。
均粒径０．６μｍの炭酸カルシウム粒子を０．５部添加
する代わりに、平均粒径２．４μｍの球状シリカ粒子を
０．１部添加する以外は製造例１と同様にして製造し、
ポリエステルＣを得た。ポリエステルＣの平均粒径２．
４μｍの球状シリカ粒子の含有量は０．１重量％であっ
た。
【００３７】〈ポリエステルフィルムの製造〉 製造例５（ポリエステルフィルムＦ１） 製造例１で製造したポリエステルＡを１８０℃で４時間
不活性ガス雰囲気中で乾燥し、溶融押出機により２９０
℃で溶融し、口金から押出し、静電印加密着法を用いて
表面温度を４０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化し
て未延伸シートを得た。得られたシートを８５℃で３．
４倍縦方向に延伸した後、下記組成からなる帯電防止層
を塗布し、テンターに導き、１００℃で３．６倍横方向
に延伸した後、２３０℃にて熱固定を行い、塗工量（乾
燥後）が０．１ｇ／ｍ2 の帯電防止層が塗設された、厚
さ３８μｍのポリエステルフィルムＦ１を得た。
不活性ガス雰囲気中で乾燥し、溶融押出機により２９０
℃で溶融し、口金から押出し、静電印加密着法を用いて
表面温度を４０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化し
て未延伸シートを得た。得られたシートを８５℃で３．
４倍縦方向に延伸した後、下記組成からなる帯電防止層
を塗布し、テンターに導き、１００℃で３．６倍横方向
に延伸した後、２３０℃にて熱固定を行い、塗工量（乾
燥後）が０．１ｇ／ｍ2 の帯電防止層が塗設された、厚
さ３８μｍのポリエステルフィルムＦ１を得た。
【００３８】帯電防止層の組成は、帯電防止剤（三菱化
学社製「ＳＴ−１０００」）４０重量％、メトキシメチ
ルメラミン６０重量％である。 製造例６（ポリエステルフィルムＦ２） 製造例５において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＢを使用する以外は製造例５と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ２を得た。
学社製「ＳＴ−１０００」）４０重量％、メトキシメチ
ルメラミン６０重量％である。 製造例６（ポリエステルフィルムＦ２） 製造例５において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＢを使用する以外は製造例５と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ２を得た。
【００３９】製造例７（ポリエステルフィルムＦ３） 製造例５において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＣを使用する以外は製造例５と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ３を得た。 製造例８（ポリエステルフィルムＦ２） 製造例７において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＢを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ２を得た。
テルＣを使用する以外は製造例５と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ３を得た。 製造例８（ポリエステルフィルムＦ２） 製造例７において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＢを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ２を得た。
【００４０】製造例９（ポリエステルフィルムＦ３） 製造例７において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＣを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ３を得た。 製造例１０（ポリエステルフィルムＦ４） 製造例７において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＤを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ４を得た。
テルＣを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ３を得た。 製造例１０（ポリエステルフィルムＦ４） 製造例７において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＤを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ４を得た。
【００４１】製造例１１（ポリエステルフィルムＦ５） 製造例７において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＥを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ５を得た。 製造例１２（ポリエステルフィルムＦ６） 製造例７において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＦを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ６を得た。
テルＥを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ５を得た。 製造例１２（ポリエステルフィルムＦ６） 製造例７において、ポリエステルＡの代わりにポリエス
テルＦを使用する以外は製造例７と同様にして、厚さ３
８μｍのポリエステルフィルムＦ６を得た。
【００４２】実施例１ 製造例５より得られたポリエステルフィルムＦ１に下記
組成の離型剤を塗工量（乾燥後）が０．１ｇ／ｍ2 にな
るように、帯電防止層が塗設された面に離型層を塗設し
て離型フィルムを得た。得られたフィルムの特性を下記
表１に示す。離型剤の組成は硬化型シリコーン樹脂（信
越化学社製「ＫＳ−７７９Ｈ」）１００部、硬化剤（信
越化学社製「ＣＡＴ−ＰＬ−８」）１部、シリカ粒子
（平均粒径０．０２μｍ）０．０２部、メチルエチルケ
トン（ＭＥＫ）／トルエン混合溶媒系２２００部であ
る。
組成の離型剤を塗工量（乾燥後）が０．１ｇ／ｍ2 にな
るように、帯電防止層が塗設された面に離型層を塗設し
て離型フィルムを得た。得られたフィルムの特性を下記
表１に示す。離型剤の組成は硬化型シリコーン樹脂（信
越化学社製「ＫＳ−７７９Ｈ」）１００部、硬化剤（信
越化学社製「ＣＡＴ−ＰＬ−８」）１部、シリカ粒子
（平均粒径０．０２μｍ）０．０２部、メチルエチルケ
トン（ＭＥＫ）／トルエン混合溶媒系２２００部であ
る。
【００４３】実施例２ 製造例６より得られたポリエステルフィルムＦ２（３８
μｍ）を用い、かつ帯電防止層が塗設された面に離型層
を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フィル
ムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。 比較例１ 製造例７により得られたポリエステルフィルムＦ３（３
８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面とは反対
側の面に実施例１と同様の離型層を塗設して離型フィル
ムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。
μｍ）を用い、かつ帯電防止層が塗設された面に離型層
を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フィル
ムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。 比較例１ 製造例７により得られたポリエステルフィルムＦ３（３
８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面とは反対
側の面に実施例１と同様の離型層を塗設して離型フィル
ムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。
【００４４】比較例２ 製造例７により得られたポリエステルフィルムＦ３（３
８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面に離型層
を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フィル
ムを得た。得られたフィルム特性を表１に示す。 比較例３ 製造例１０により得られたポリエステルフィルムＦ４
（３８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面に離
型層を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フ
ィルムを得た。得られたフィルム特性を下記表２に示
す。
８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面に離型層
を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フィル
ムを得た。得られたフィルム特性を表１に示す。 比較例３ 製造例１０により得られたポリエステルフィルムＦ４
（３８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面に離
型層を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フ
ィルムを得た。得られたフィルム特性を下記表２に示
す。
【００４５】比較例４ 製造例１１により得られたポリエステルフィルムＦ５
（３８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面に離
型層を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フ
ィルムを得た。得られたフィルム特性を表２に示す。 比較例５ 製造例１２により得られたポリエステルフィルムＦ６
（３８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面に離
型層を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フ
ィルムを得た。得られたフィルム特性を表２に示す。
（３８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面に離
型層を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フ
ィルムを得た。得られたフィルム特性を表２に示す。 比較例５ 製造例１２により得られたポリエステルフィルムＦ６
（３８μｍ）を用いて、帯電防止層が塗設された面に離
型層を塗設する以外は実施例１と同様に製造し、離型フ
ィルムを得た。得られたフィルム特性を表２に示す。
【００４６】
【表１】
【００４７】
【表２】
【００４８】
【発明の効果】本発明の離型フィルムはセラミック積層
コンデンサー用として、特に５μｍ以下の薄膜グリーン
シート成形用に用いた場合、離型フィルムをロール状に
巻き取ってもブロッキング等の発生がなく、その工業的
価値は高い。
コンデンサー用として、特に５μｍ以下の薄膜グリーン
シート成形用に用いた場合、離型フィルムをロール状に
巻き取ってもブロッキング等の発生がなく、その工業的
価値は高い。
Claims (3)
- 【請求項１】 ポリエステルフィルムの片面に離型層が
塗設されてなる離型フィルムであって、離型層表面の中
心線平均粗さ（Ｒａ）が３０ｎｍ以下であり、離型層表
面の突起高さ（Ｘ）と突起数（Ｙ）との関係を表す分布
曲線が突起高さ０．０５〜０．３μｍの範囲で下記式
を満足し、かつ離型層表面の突起高さ０．４μｍ以上の
突起数が３５個／ｍｍ2 以下であることを特徴とする薄
膜グリーンシート成形用離型フィルム。 【数１】ｌｏｇＹ≧−５Ｘ ……… （上記式中、Ｘは離型層表面の突起高さ（μｍ）、Ｙは
離型層表面の突起数（個／ｍｍ2 ）を表す） - 【請求項２】 下記式を満足することを特徴とする請
求項１記載の離型フィルム。 【数２】１５≦Ｒａ（Ｂ）≦４０（ｎｍ） ……… （上記式中、Ｒａ（Ｂ）は離型層が設けられていない面
の中心線平均粗さを表す） - 【請求項３】 離型層が硬化型シリコーン樹脂を含有す
る請求項１または２記載の離型フィルム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12720798A JPH11320524A (ja) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | 薄膜グリーンシート成形用離型フィルム |
| KR1019990016478A KR100597896B1 (ko) | 1998-05-11 | 1999-05-08 | 그린 시트 성형용 이형 필름 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12720798A JPH11320524A (ja) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | 薄膜グリーンシート成形用離型フィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11320524A true JPH11320524A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=14954381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12720798A Pending JPH11320524A (ja) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | 薄膜グリーンシート成形用離型フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11320524A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001310313A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-06 | Toyobo Co Ltd | 離型ポリエステルフィルム |
| JP2001323079A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-20 | Toyobo Co Ltd | 離型ポリエステルフィルム |
| JP2002331614A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-19 | Teijin Ltd | 離形フイルム |
| WO2003099556A1 (fr) * | 2002-05-27 | 2003-12-04 | Teijin Dupont Films Japan Limited | Film detachable |
| JP2009143091A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | グリーンシート成形用離型フィルムおよびその製造方法 |
| KR20150008077A (ko) * | 2012-04-23 | 2015-01-21 | 린텍 코포레이션 | 그린 시트 제조용 박리 필름 |
| CN104835644A (zh) * | 2014-02-07 | 2015-08-12 | 株式会社村田制作所 | 脱模薄膜以及使用了其的层叠陶瓷电子部件的制造方法 |
| JP2015164797A (ja) * | 2014-02-07 | 2015-09-17 | 株式会社村田製作所 | 離型フィルムおよびそれを用いた積層セラミック電子部品の製造方法 |
| WO2018079596A1 (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-03 | 三菱ケミカル株式会社 | 離型フィルム |
| JP2021024175A (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | 東洋紡株式会社 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
-
1998
- 1998-05-11 JP JP12720798A patent/JPH11320524A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4649702B2 (ja) * | 2000-04-28 | 2011-03-16 | 東洋紡績株式会社 | 離型ポリエステルフィルム |
| JP2001323079A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-20 | Toyobo Co Ltd | 離型ポリエステルフィルム |
| JP2002331614A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-19 | Teijin Ltd | 離形フイルム |
| JP4495880B2 (ja) * | 2001-05-09 | 2010-07-07 | 帝人株式会社 | 離形フイルム |
| WO2003099556A1 (fr) * | 2002-05-27 | 2003-12-04 | Teijin Dupont Films Japan Limited | Film detachable |
| CN100379553C (zh) * | 2002-05-27 | 2008-04-09 | 帝人杜邦菲林日本株式会社 | 剥离膜 |
| JP2009143091A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Teijin Dupont Films Japan Ltd | グリーンシート成形用離型フィルムおよびその製造方法 |
| KR20150008077A (ko) * | 2012-04-23 | 2015-01-21 | 린텍 코포레이션 | 그린 시트 제조용 박리 필름 |
| CN104835644A (zh) * | 2014-02-07 | 2015-08-12 | 株式会社村田制作所 | 脱模薄膜以及使用了其的层叠陶瓷电子部件的制造方法 |
| JP2015164797A (ja) * | 2014-02-07 | 2015-09-17 | 株式会社村田製作所 | 離型フィルムおよびそれを用いた積層セラミック電子部品の製造方法 |
| CN109920645A (zh) * | 2014-02-07 | 2019-06-21 | 株式会社村田制作所 | 脱模薄膜以及使用了其的层叠陶瓷电子部件的制造方法 |
| WO2018079596A1 (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-03 | 三菱ケミカル株式会社 | 離型フィルム |
| CN109789678A (zh) * | 2016-10-25 | 2019-05-21 | 三菱化学株式会社 | 脱模膜 |
| JPWO2018079596A1 (ja) * | 2016-10-25 | 2019-09-19 | 三菱ケミカル株式会社 | 離型フィルム |
| CN109789678B (zh) * | 2016-10-25 | 2021-06-22 | 三菱化学株式会社 | 脱模膜 |
| JP2021024175A (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | 東洋紡株式会社 | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム |
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