JP4148220B2 - 弾性表面波デバイス、複合デバイス、発振回路およびモジュール - Google Patents
弾性表面波デバイス、複合デバイス、発振回路およびモジュール Download PDFInfo
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Description
本発明によれば、圧電基板上にIDTを形成し励振波をSH波としたSAWデバイスにおいて、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−65°≦θ≦−51°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板を圧電基板に用い、前記IDTをTa又はTaを主成分とする合金で形成することにより、広帯域で且つ優れた周波数温度特性を実現できる。
本発明によれば、励振するSAWの波長をλとした時、前記IDTの波長で基準化した電極膜厚H/λをH/λ≧0.01とすることにより、STカット水晶基板上にAl膜を形成した従来品よりも電気機械結合係数k 2 が大きくなるので、広帯域な特性を実現できる。
本発明によれば、前記IDTを構成する電極指のライン占有率mrを電極指幅/(電極指幅+電極指間スペース)とした時に、前記電極膜厚H/λとライン占有率mrの積H/λ・mrを0.004≦H/λ・mr<0.019とすることにより、従来品より2次温度係数を小さくでき、頂点温度を常温付近に容易に設定できる。
本発明によれば、前記SAWデバイスをモジュール装置、又は発振回路に用いることにより、高性能なモジュール装置、又は発振回路を提供することができる。
2 IDT
3a、3b グレーティング反射器
4a、4b 入出力用パッド
5a、5b 金属ワイヤ
6 パッケージ
Claims (5)
- 圧電基板と、該圧電基板上に形成したIDTとを備え、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、
前記圧電基板は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−65°≦θ≦−51°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、前記IDTがTa又はTaを主成分とする合金にて形成されており、
前記IDTを構成する電極指のライン占有率mrを電極指幅/(電極指幅+電極指間スペース)とし、励振する弾性表面波の波長をλとして前記IDTの波長で基準化した電極膜厚をH/λとした時に、電極膜厚H/λとライン占有率mrの積H/λ・mrを0.004≦H/λ・mr<0.019とすることを特徴とした弾性表面波デバイス。 - 前記電極膜厚H/λをH/λ≧0.01とすることを特徴とした請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
- 請求項1または2に記載の弾性表面波デバイスを用いた複合デバイス。
- 請求項1または2に記載の弾性表面波デバイスを用いた発振回路。
- 請求項1または2に記載の弾性表面波デバイスを用いたモジュール。
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