JP4148216B2 - 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 - Google Patents
弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4148216B2 JP4148216B2 JP2004351012A JP2004351012A JP4148216B2 JP 4148216 B2 JP4148216 B2 JP 4148216B2 JP 2004351012 A JP2004351012 A JP 2004351012A JP 2004351012 A JP2004351012 A JP 2004351012A JP 4148216 B2 JP4148216 B2 JP 4148216B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- saw
- idt
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
適用例8の発明は、請求項1乃至6のいずれかに記載の弾性表面波デバイスを用いることを特徴とした発振回路である。
Tp=−50(℃):H/λ≒−1.02586×10−4×θ3 −1.73238×10−2×θ2−0.977607×θ−18.3420
Tp=0(℃):H/λ≒−9.87591×10−5×θ3−1.70304×10−2×θ2−0.981173×θ−18.7946
Tp=+70(℃):H/λ≒−1.44605×10−4×θ3−2.50690×10−2×θ2−1.45086×θ−27.9464
Tp=+125(℃):H/λ≒−1.34082×10−4×θ3−2.34969×10−2×θ2−1.37506×θ−26.7895
2 IDT
3a、3b グレーティング反射器
4a、4b 入出力用パッド
5a、5b 金属ワイヤ
6 パッケージ
31 圧電基板
32、33 IDT
34a、34b グレーティング反射器
41 圧電基板
42 SAW共振子
51 圧電基板
52 IDT
61 圧電基板
62 1ポートSAW共振子
71 圧電基板
72 入力用IDT
73 出力用IDT
74 シールド電極
75 吸音材
82、83 一方向性電極
Claims (8)
- 圧電基板と、該圧電基板上に形成されAl又はAlを主成分とする合金からなるIDTとを備え、前記IDTの両側にグレーティング反射器を有し、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、
前記圧電基板は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、
励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記IDTの波長で基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12とし、
前記IDTを構成する電極指のライン占有率mrを電極指幅/(電極指幅+電極指間スペース)とした時に、前記ライン占有率mrを0.53≦mr≦0.65とすることを特徴とした弾性表面波デバイス。 - 圧電基板と、該圧電基板上に形成されAl又はAlを主成分とする合金からなるIDTとを備え、前記IDTの両側にグレーティング反射器を有し、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、
前記圧電基板は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、
励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記IDTの波長で基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12とし、
前記IDTを構成する電極指のライン占有率mrを電極指幅/(電極指幅+電極指間スペース)とした時に、前記ライン占有率mrを0.55≦mr≦0.68とすることを特徴とした弾性表面波デバイス。 - 圧電基板と、該圧電基板上に形成されAl又はAlを主成分とする合金からなるIDTとを備え、前記IDTの両側にグレーティング反射器を有し、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、
前記圧電基板は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、
励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記IDTの波長で基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12とし、
前記IDTを構成する電極指のライン占有率mrを電極指幅/(電極指幅+電極指間スペース)とした時に、前記ライン占有率mrを0.55≦mr≦0.65とすることを特徴とした弾性表面波デバイス。 - 前記カット角θが−61.4°<θ<−51.1°の範囲に設定されていることを特徴とした請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
- 前記電極膜厚H/λが0.05<H/λ<0.10の範囲に設定されていることを特徴とした請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
- 前記電極膜厚H/λが0.04≦H/λ≦0.08の範囲に設定されていることを特徴とした請求項1乃至4のいずれかに記載の弾性表面波デバイス。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の弾性表面波デバイスを用いることを特徴としたモジュール装置。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の弾性表面波デバイスを用いることを特徴とした発振回路。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004351012A JP4148216B2 (ja) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 |
EP08004562.8A EP1926210A3 (en) | 2004-12-03 | 2005-12-02 | Surface acoustic wave device |
EP05026327A EP1675260A3 (en) | 2004-12-03 | 2005-12-02 | Surface acoustic wave device |
US11/291,910 US7382217B2 (en) | 2004-12-03 | 2005-12-02 | Surface acoustic wave device |
US11/987,375 US20080084134A1 (en) | 2004-12-03 | 2007-11-29 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004351012A JP4148216B2 (ja) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008004113A Division JP4582150B2 (ja) | 2008-01-11 | 2008-01-11 | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006165746A JP2006165746A (ja) | 2006-06-22 |
JP4148216B2 true JP4148216B2 (ja) | 2008-09-10 |
Family
ID=36667293
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004351012A Expired - Fee Related JP4148216B2 (ja) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4148216B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008099339A (ja) * | 2008-01-11 | 2008-04-24 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006295311A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 |
JP4645957B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 |
JPWO2008065834A1 (ja) | 2006-11-29 | 2010-03-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波共振子及び弾性表面波装置 |
-
2004
- 2004-12-03 JP JP2004351012A patent/JP4148216B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008099339A (ja) * | 2008-01-11 | 2008-04-24 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 |
JP4582150B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2010-11-17 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006165746A (ja) | 2006-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4148294B2 (ja) | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 | |
US7382217B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
JP5163746B2 (ja) | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 | |
JP2006203408A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JPWO2006137464A1 (ja) | 弾性表面波デバイス、モジュール、及び発振器 | |
US20140285063A1 (en) | Surface acoustic wave device, electronic apparatus, and sensor apparatus | |
JP4645957B2 (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 | |
JP4049195B2 (ja) | 弾性表面波デバイスの製造方法 | |
JP2006295311A (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 | |
JP4148220B2 (ja) | 弾性表面波デバイス、複合デバイス、発振回路およびモジュール | |
JP4582150B2 (ja) | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 | |
JP4356773B2 (ja) | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 | |
JPWO2007004661A1 (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP2007019975A (ja) | 弾性表面波デバイス、モジュール装置、発振回路 | |
JP4148216B2 (ja) | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 | |
JP2010103720A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP5158104B2 (ja) | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 | |
JP2007019976A (ja) | 縦結合多重モードsawフィルタ、モジュール装置 | |
JP2007013682A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP2007088952A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP5488680B2 (ja) | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 | |
JP4356675B2 (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP3597483B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2007325084A (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス | |
JP3597454B2 (ja) | 弾性表面波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080603 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080616 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4148216 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130704 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |