JP4115484B2 - 液晶パネル用検査装置 - Google Patents

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Description

本発明は、液晶パネル用アレイガラスにプリントされた導電パターンのショート状態、オープン状態、TFTの特性、および画素の特性を検査する液晶パネル用検査装置に関する。
一般的な液晶パネル用検査装置は、第8図に示すように、プローブブロック1のプローブ2を液晶パネル用アレイガラス3の端子用導電パターン4に当接させると共に、端子用導電パターン4からの信号をプローブ2、プローブ2に一端側を接続するフレキシブル基板5、およびフレキシブル基板5の他端側に接続する中継基板6を介してテスター本体7で読み取ることによってTFT(Thin Film Transistor)および画素の特性検査を行うように構成されている。
このときフレキシブル基板5は、端子用導電パターン4の内、奇数番目の導電体に対応するフレキシブル基板5aと、偶数番目の導電体に対応するフレキシブル基板5bとから構成されている。また、前記中継基板6は、フレキシブル基板5aが接続する奇数対応基板6aと、フレキシブル基板5bが接続する偶数対応基板6bとから構成されている。さらに、前記テスター本体7は、奇数対応基板6aからの信号が入力する奇数アドレステスター7aと、偶数対応基板6bからの信号が入力する偶数アドレステスター7bとから構成されている。
なお、第8図中、符号22および24は、奇数および偶数アドレステスター7aおよび7bに、それぞれ接続する奇数側および偶数側アドレス変換基板であり、符号21および23は、奇数対応基板6aと奇数側アドレス変換基板22、および偶数対応基板6bと偶数側アドレス変換基板24をそれぞれ接続するフレキシブル基板である。さらに、符号25は、プローブブロック1を支持する支持枠である。
前記液晶パネル用アレイガラス3を構成するTFTアレイ基板の特性検査の場合には、パネル点灯駆動用LSIとしてのTAB(Tape Automated Bonding)およびPCB(Print Circuit Board:実装プリント基板)を結合する前工程で、液晶パネル用アレイガラス3の画素信号端子用導電パターン4の一本ずつに電圧を印加して特性検査を行っている。
この検査は、画素信号端子用導電パターン数と同数のプローブ2を用いるため、複数のプローブ2を有するプローブブロック1を、液晶パネル用アレイガラス3の端子用導電パターン4が設けられた辺に沿って並べてセットする。そして検査では、奇数番目画素端子と偶数番目画素端子とに分けて画素検査信号を送るようにしている。
このようなプローブブロックとして、第9図に示すプローブブロック1が提案されている(例えば、特開平8−222299号公報(第3頁、第4頁、第1図)参照)。
このプローブブロック1は、液晶パネル用アレイガラス3の画素に配設された複数の端子用導電パターン4の1本ずつに接触させるための複数のプローブ2を板状の絶縁体を積層した本体20により支持することにより大略構成されている。
このときプローブ2は、第9図に示すように、端子用導電パターン4の奇数番目と偶数番目とにそれぞれ対応する2ラインL1、L2に分けられ(第10図参照)、さらに各ラインL1、L2毎に千鳥状に配設されている。その上、プローブ2は、上側に突出する複数の導電性針状体の奇数番目の導電性針状体11aを、偶数番目の導電性針状体11bよりも上側に突出するように長くしており、両者間で突出方向に段違いになっている。プローブ2は、上側の導電性針状体11a、11bの各々と下側の導電性針状体10とを導電性コイルばね14を介して連結することにより構成されている。検査の際は、導電性針状体10の各々が、液晶パネル用アレイガラス3の画素に配設された複数の端子用導電パターン4の1本ずつに接触することになる。
そして、第9図に示すように、長い方である奇数番目の導電性針状体11aが、上側絶縁板12の下面に貼着されたフレキシブル基板5aの奇数番目用信号伝送用導電パターン8に接触し、短い方である偶数番目の導電性針状体11bが、下側絶縁板13の下面に貼着されたフレキシブル基板5bの偶数番目用信号伝送用導電パターン9に接触するように、下側絶縁板13の上に上側絶縁板12が一体に重ね合わされる。
また、第9図に示すような長短の導電性針状体を用いる代わりに、第13図に示すように、プローブとして、本体20の挿入孔(図示せず)内に挿入される同一長さの一対の導電性針状体10、11とそれを弾発付勢する導電性コイルバネとが同軸的に受容されるようにしてもよい。
このようにして構成されたプローブブロック1を使用して液晶パネル用検査装置を構成するには、プローブ2を端子用導電パターン4と同数になるように設けるべく、例えばTABと略同一幅の大きさ(1ブロック)に小ユニット化されたプローブブロック1を、支持枠25(第8図参照)に並列に必要数並べてセットし、かつ各プローブブロック1に連結されたフレキシブル基板5aおよび5bを、奇数番目と偶数番目とに振り分けるべく中継基板6の奇数および偶数対応基板6aおよび6bにそれぞれ接続すると共に、この中継基板6を介してテスター本体7に接続することにより全体構成される。
このとき、液晶パネルは、品種が異なると端子用導電パターン4も異なるため、プローブブロック1内のプローブ2の配列や、フレキシブル基板5や中継基板6の配線本数や配線位置は、被検査体としての液晶パネル用アレイガラス3の端子用導電パターン4に合致するように設計される。
すなわち、第11図(a)〜(d)は、液晶パネル用アレイガラス3にプリントされる1ブロック当たりの端子用導電パターンを示している。そして、例えばA品種の液晶パネルの端子用導電パターン4Aは、384本の信号線Sと、この信号線Sの両側部分に配設された4本の機能線F、Fとで構成されている(第11図(a)参照)。また、例えばB品種の液晶パネルの端子用導電パターン4Bは、384本の信号線Sと、この信号線Sの両側部分に配設された2本の機能線F、Fとで構成されている(第11図(b)参照)。また、例えばC品種の液晶パネルの端子用導電パターン4Cは、384本の信号線Sと、この信号線Sの両側部分に配設された8本の機能線F、Fとで構成されている(第11図(c)参照)。さらに、例えばD品種の液晶パネルの端子用導電パターン4Dは、384本の信号線Sと、この信号線Sの両側部に配設された、2本ずつ離間させた4本の機能線F、Fとで構成されている(第11図(d)参照)。
また、第11図中、符号L1、L2は、前述したように、端子用導電パターン4A(4B、4C、4D)の奇数番目と偶数番目とにそれぞれ対応するプローブブロック1内のプローブ2の2ラインを示しており、それぞれ液晶セルの品種によって2ラインL1、L2を構成するプローブ2の配置および本数が異なる専用のプローブブロックが適用されている。
すなわち、A品種(端子用導電パターン4A)に対してはプローブブロック1Aが、B品種(端子用導電パターン4B)に対してはプローブブロック1Bが、C品種(端子用導電パターン4C)に対してはプローブブロック1Cが、D品種(端子用導電パターン4D)に対してはプローブブロック1Dが、それぞれ適用されている。
また、第12図(a)、(b)は、液晶パネル用アレイガラスにプリントされる1ブロック当たりの端子用導電パターン4と、プローブ2と、フレキシブル基板5と、中継基板6との接続状態を示している。
すなわち、第12図(a)は、前述したA品種の液晶パネルについての接続状態を示しており、端子用導電パターン4Aに対して、プローブ2およびフレキシブル基板5は1対1で接続すると共に、フレキシブル基板5と中継基板6も1対1で接続している。
また、第12図(b)は、前述したB品種の液晶パネルについての接続状態を示しており、端子用導電パターン4Bに対して、プローブ2およびフレキシブル基板5は1対1で接続すると共に、フレキシブル基板5と中継基板6も1対1で接続している。なお、第12図(a)、(b)中、フレキシブル基板5および中継基板6の部分で示している実線は、フレキシブル基板5および中継基板6の各配線を示している。
このようにフレキシブル基板5および中継基板6においても、それぞれ液晶パネルの品種によって配線の配置および本数が異なる専用のフレキシブル基板および中継基板が適用されている。すなわち、A品種(端子用導電パターン4A)に対しては196本の配線を有する奇数(偶数)対応フレキシブル基板5a(5b)および奇数(偶数)対応基板6a(6b)が、B品種(端子用導電パターン4B)に対しては194本の配線を有する奇数(偶数)対応フレキシブル基板5a(5b)および奇数(偶数)対応基板6a(6b)が、それぞれ適用されている。
このように構成された従来の液晶パネル用検査装置においては、プローブ2を、端子用導電パターン4の奇数番目と偶数番目とにそれぞれ対応する2ラインL1、L2に分け、さらに各ラインL1、L2毎に千鳥状に配設したので、端子用導電パターンの狭ピッチ化に充分対応することができるが、プローブブロック1内のプローブ2の本数や配設位置、およびフレキシブル基板5や中継基板6の配線本数や配線位置は、被検査体としての液晶パネル用アレイガラス3の端子用導電パターン4に合致するように設計されるものであるから、ある品種の液晶パネル用として設計されたプローブブロック、フレキシブル基板、および中継基板は、他の品種の液晶パネルには適用できない。
このため従来の液晶パネル用検査装置は、プローブブロック、フレキシブル基板、および中継基板を量産することができず、その都度、これらを被検査体としての液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンに合致させて新規に製作する必要があるので、コスト高を招くばかりでなく、製作時間も長く掛かって納期内の製作過程の煩雑化を招いている、という課題を有している。
そこで、本発明は、品種の相違する液晶パネルの検査に適用される検査装置間で、プローブブロック、フレキシブル基板、および中継基板の共通化を図ることができ、以てこれら部材の量産化により、製作容易で、コストの低減および納期短縮を共に図ることができる液晶パネル用検査装置を提供することを目的としている。
本発明の目的は、少なくとも上述の課題を解決するものである。
本発明の液晶パネル用検査装置は、プローブブロックのプローブを、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンに当接させると共に、前記端子用導電パターンからの信号を前記プローブ、前記プローブに一端側を接続するフレキシブル基板、および前記フレキシブル基板の他端側に接続する中継基板を介してテスター本体で読み取ることによって前記端子用導電パターンのショート状態、オープン状態、TFTの特性、および画素の特性の検査を行う液晶パネル用検査装置において、前記プローブブロックは、前記液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線および信号線から基本端子用導電パターンを構成したときに全体の各配線に対応するように、前記プローブを挿入する複数の挿入孔を形成すると共に、前記複数の挿入孔の内、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンを構成する各配線に合致する挿入孔に前記プローブを挿入することによって構成されていることを特徴とする。
このため、本発明では、プローブブロックの複数の挿入孔は、基本端子用導電パターンを想定して、このパターンの各配線に対応するものとして形成される。このとき基本端子用導電パターンは、液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線および信号線から構成されるので、プローブブロックは、最大個数の挿入孔を有しており、その最大個数の挿入孔の内、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンを構成する各線に合致する挿入孔にのみプローブを挿入することによって構成される。プローブが挿入されない挿入孔は、空孔のまま残される。これによりプローブブロックは、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができる。
以上述べたことと、本発明のその他の目的、特徴、利点を、以下の発明の詳細な説明から明らかにする。
第1図は、本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの1ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第2図は、A品種の液晶パネルに適用したときの本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの1ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第3図は、B品種の液晶パネルに適用したときの本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの1ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第4図は、C品種の液晶パネルに適用したときの本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの1ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第5図は、D品種の液晶パネルに適用したときの本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの1ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第6図は、本発明の液晶パネル用検査装置の、片面基板からなる中継基板上の電気的接続状態を説明する平面図である。第7図は、本発明の液晶パネル用検査装置の、両面基板あるいは多層基板からなる中継基板上の電気的接続状態を説明する平面図である。第8図は、液晶パネル用検査装置の全体の電気接続系統を説明するための概略説明図である。第9図は、従来の液晶パネル用検査装置の要部断面図である。第10図は、従来の液晶パネル用検査装置の端子用導電パターンへのプローブの当接状態を説明するための説明図である。第11図は、(a)、(b)、(c)、(d)は、品種の異なる液晶パネルの端子用導電パターンの1ブロック当たりの平面図である。第12図は、(a)、(b)は、品種の異なる液晶パネルに適用したときの従来の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの1ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第13図は、他の液晶パネル用検査装置の斜視図である。
以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。
本発明の液晶検査装置を添付する図面とともに示す以下の実施形態に基づき説明する。
以下、この発明の実施の形態を図面に基づき説明する。なお、第8図〜第13図に示すものと同一部材および同一機能を奏する部材は、同一符号を付してある。
本発明に係る液晶パネル用検査装置は、構成部材の構造を異にするだけで、全体の接続系統は従来装置と同一に構成されている。
すなわち、本発明に適用できる一般的な液晶パネル用検査装置の全体の接続系統は、第8図に示すように、プローブブロック1のプローブ2を液晶パネル用アレイガラス3の端子用導電パターン4に当接させると共に、端子用導電パターン4からの信号をプローブ2、プローブ2に一端側を接続するフレキシブル基板5、およびフレキシブル基板5の他端側に接続する中継基板6を介してテスター本体7で読み取ることによって端子用導電パターン4のショート状態、オープン状態、TFTの特性、および画素の特性の検査を行うように構成されている。
このとき、プローブ2とフレキシブル基板5との接続は、フレキシブル基板5の導電部にプローブ2の先端を直接当接させる直接接続の他、プローブブロック1に固設したプリント基板を介して接続する間接接続も採用されている。この間接接続は、例えば、プリント基板の一端側にプローブ2の先端を当接させると共に、他端側に、例えばコネクタ、異方性接着剤、ハンダ等によりフレキシブル基板5を接続させることによって行われる。
第1図は、本発明に係る液晶パネル用検査装置の、プローブブロック1から中継基板6までの、単位ブロック当たりの各構成部材の構造および構成部材間の接続状態を説明する模式図である。
まず、プローブブロック1は、液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線Fおよび信号線Sから基本端子用導電パターン4Sを構成したときに全体の各線に対応するように、プローブ2を挿入する複数の挿入孔16(第9図参照)を形成すると共に、複数の挿入孔16の内、供試液晶パネルの端子用導電パターンを構成する各線に合致する挿入孔16にプローブ2を挿入することによって構成されている。第1図中、基本端子用導電パターン4S上の白丸は、プローブ2の挿入されていない挿入孔16を示し、黒丸はプローブ2の挿入している挿入孔16を示している。
ここで、前記液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線Fの数は20未満である。
この基本端子用導電パターン4Sは、液晶パネルを駆動するドライバーICのアウト数によって決まる信号線Sと、各ユーザの要求仕様で異なる機能線Fとからなる経験則から求められる仮想パターンで、例えば中央に配設される信号線Sを240〜480本の配線で構成すると共に、この信号線Sの両側部分に配設される各機能線Fを3〜20本の配線で構成することによって全体構成される。
プローブブロック1は、基本端子用導電パターン4Sの各線に対応する複数の挿入孔16を有して構成されるもので、例えば232〜520個の挿入孔16を設けて構成される。このときプローブブロック1内のプローブ2の2ラインL1、L2に、それぞれ116〜260個の挿入孔16が設けられる。
前記挿入孔16が232本の場合は、信号線Sが192本を想定し、機能線Fの数を20本とした場合である。また、前記挿入孔16が520本の場合は、信号線Sが480本を想定し、機能線の数を20本とした場合である。
このようにプローブブロック1の複数の挿入孔16は、基本端子用導電パターン4Sを想定して、このパターン4Sの各線に対応するものとして形成される。このとき基本端子用導電パターン4Sは、経験則により液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線Fおよび信号線Sから構成されるので、プローブブロック1は、経験則より求められる最大個数の挿入孔16を有しており、その最大個数の挿入孔16の内、供試液晶パネル用アレイガラス3の端子用導電パターンを構成する各線に合致する挿入孔16にのみプローブ2を挿入することによって構成される。プローブ2が挿入されない挿入孔16は、空孔のまま残される。これによりプローブブロック1は、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができる。
この結果、まとめて量産化することができ、事前に在庫管理することができる。その結果、納品に時間を要することがないので、液晶パネル用検査装置の低コスト化に寄与することができる。
また、好ましくは、本装置におけるフレキシブル基板5は、基本端子用導電パターン4Sの機能線Fおよび信号線Sの内、奇数番目および偶数番目の機能線Fおよび信号線Sにそれぞれ合致する本数および配置の導電体17aおよび17bを有してそれぞれ形成される奇数対応基板5aおよび偶数対応基板5bから構成される。奇数対応基板5aおよび偶数対応基板5bは、例えば125〜260本の導電体17aおよび17bでそれぞれ構成される。
このフレキシブル基板5は、奇数対応基板5aおよび偶数対応基板5bを各1個ずつ有して構成されるばかりでなく、端子用導電パターンの配線数が増加して狭ピッチ化が高度に進む場合は、奇数対応基板5aおよび偶数対応基板5bを各2個(あるいはそれ以上)ずつ有して構成する場合もある。
この構成では、フレキシブル基板5、基本端子用導電パターン4Sの全機能線Fおよび信号線Sが対象で、奇数番目の全機能線Fおよび信号線Sに合致する本数および配置の導電体17aを有する奇数対応フレキシブル基板5aと、偶数番目の全機能線Fおよび信号線Sに合致する本数および配置の導電体17bを有する偶数対応フレキシブル基板5bとから構成されているので、プローブ2が挿入された挿入孔16がプローブブロック1の全挿入孔16のいずれであってもプローブ2との接続が図れる。このときプローブ2の挿入されない挿入孔16(図中、白丸で示す)に対応する導電体17a(17b)は、不接続導電体としてそのまま残る。これによりフレキシブル基板5は、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができる。
さらに好ましくは、本装置における中継基板6は、基本端子用導電パターン4Sを構成する機能線Fおよび信号線Sにそれぞれ対応する機能部18および信号部19を備えていると共に、機能部18を奇数対応フレキシブル基板5aおよび偶数対応フレキシブル基板5bにそれぞれ対応する奇数対応機能部18aおよび偶数対応機能部18bで構成し、信号部19を奇数対応フレキシブル基板5aおよび偶数対応フレキシブル基板5bにそれぞれ合致する本数および配置の導電体26および27を有してそれぞれ形成される奇数対応信号部19aおよび偶数対応信号部19bで構成し、奇数対応機能部18aおよび奇数対応信号部19aで奇数対応基板6aを構成すると共に偶数対応機能部18bおよび偶数対応信号部19bで偶数対応基板6bを構成することにより全体構成されている。
このとき奇数対応フレキシブル基板5aと奇数対応機能部18aおよび偶数対応フレキシブル基板5bと偶数対応機能部18bがそれぞれジャンパー線28を介して接続されると共に、奇数対応フレキシブル基板5aと奇数対応信号部19aおよび偶数対応フレキシブル基板5bと偶数対応信号部19bが、挿入孔16に挿入されたプローブ2に対応する導電体26/17aおよび27/17b同士の接続により接続される。この導電体同士の接続には、通常コネクタが用いられる。
この構成では、中継基板6は、基本端子用導電パターン4Sを構成する機能線Fおよび信号線Sにそれぞれ対応する機能部18および信号部19を備えているので、機能部18および信号部19は、液晶パネル用アレイガラス3の要求仕様に基づく最大本数の機能線Fおよび信号線Sに対応することができる。このとき機能部18を構成する奇数対応機能部18aおよび偶数対応機能部18bは、それぞれ奇数対応フレキシブル基板5aおよび偶数対応フレキシブル基板5bにジャンパー線28を介して接続するようにしたので必要箇所を的確に接続することができると共に、接続に関与しない他の奇数対応機能部18aおよび偶数対応機能部18bは、不接続機能部としてそのまま残される。
このジャンパー線28による接続は、具体的には次のようにして行う。すなわち、第6図および第7図に示すように、中継基板6は、適宜離隔させて固設された2個のコネクタC1、C2と、この2個のコネクタC1、C2の間を電気的に接続して配線される信号線Sと、2個のコネクタC1、C2に両端を電気的に接続すると共に中間部分を分断して配線される機能線Fと、この機能線Fの前記分断部分の両端にそれぞれ接続されると共に露出させて配置される一対の端子部f1、f2とを有して構成されており、一対の端子部f1、f2間をジャンパー線28で接続することにより行われる。このとき2個のコネクタC1、C2の内、一方のコネクタC1には、奇数(偶数)対応フレキシブル基板5a(5b)が接続し、他方のコネクタC2には、テスター本体7に接続するフレキシブル基板21(23)が接続される。
なお、第6図は、中継基板6を片面基板で構成した例であり、第7図は、中継基板6を両面基板または多層基板で構成した例である。第7図中、符号hは、基板の上面及び下面にそれぞれ設けられる配線同士を電気的に接続するスルーホールである。
また、第1図に示すように、信号部19を構成する奇数対応信号部19aおよび偶数対応信号部19bは、それぞれ奇数対応フレキシブル基板5aおよび偶数対応フレキシブル基板5bに、挿入孔16に挿入されたプローブ2に対応する導電体26/17aおよび27/17b同士の接続により接続されると共に、接続に関与しない他の奇数対応信号部19aおよび偶数対応信号部19bは、不接続信号部としてそのまま残される。これにより中継基板6は、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができる。
具体的には、導電体26(27)は、奇数(偶数)対応フレキシブル基板5a(5b)に接続する前記一方のコネクタと、テスター本体7に接続する前記他方のコネクタとの間を接続するように中継基板6上に配線されて構成されている。
以下、第2図〜第5図に示す具体例について述べる。第2図〜第5図中、2ラインL1、L2に対応する黒丸はプローブ2が挿入されている挿入孔16を示し、2ラインL1、L2に対応する白丸はプローブ2の挿入されていない挿入孔16を示している。
この具体例に適用される本装置は、2ラインL1、L2にそれぞれ200個の挿入孔16を設けたプローブブロック1と、200本の導電体17aを備える奇数対応フレキシブル基板5aおよび200本の導電体17bを備える偶数対応フレキシブル基板5bからなるフレキシブル基板5と、奇数対応基板6aおよび偶数対応基板6bからなる中継基板6とを備えて構成されている。
さらに詳しくは、中継基板6は、奇数対応信号部19aおよび偶数対応信号部19bの各導電体26、27の合計が384本で構成されると共に、この奇数対応信号部19aとその両側部分に設けられる3個の端子F1、F2、F3からなる奇数対応機能部18a、18aとからなる奇数対応基板6aと、前記偶数対応信号部19bとその両側部分に設けられる3個の端子F1、F2、F3からなる偶数対応機能部18b、18bとからなる偶数対応基板6bとから構成されている。この奇数対応機能部18aおよび偶数対応機能部18bを構成する3個の端子F1、F2、F3は、テスター仕様による。
第2図は、端子用導電パターン4Aを有するA品種の液晶パネルへの適用例で、本装置は、端子用導電パターン4Aの全配線に対応する挿入孔16にプローブ2を挿入することによって、端子用導電パターン4Aに対応するプローブブロック1を構成することができる。プローブブロック1の全プローブ2は、対応するフレキシブル基板5の導電体17a、17bに接続している。端子用導電パターン4Aは、384本の信号線と、この信号線の両側部分に形成される4本の機能線とから構成されている。
さらに、中継基板6は、その奇数対応基板6aに設けられた奇数対応機能部18a、18aの各端子F1、F2が奇数対応フレキシブル基板5aの導電体17aに、および偶数対応基板6bに設けられた偶数対応機能部18b、18bの各端子F1、F2が偶数対応フレキシブル基板5bの導電体17bにそれぞれジャンパー線28を介して接続されており、かつ奇数対応フレキシブル基板5aと奇数対応信号部19aおよび偶数対応フレキシブル基板5bと偶数対応信号部19bが、挿入孔16に挿入されたプローブ2に対応する導電体26/17aおよび27/17b同士の接続により接続されている。
第3図は、端子用導電パターン4Bを有するB品種の液晶パネルへの適用例で、本装置は、A品種の液晶パネルに適用したのと同一のプローブブロック1、フレキシブル基板5、および中継基板6を用いて構成されている。端子用導電パターン4Bは、384本の信号線と、この信号線の両側部分に形成される2本の機能線とから構成されている。
このときプローブブロック1は、端子用導電パターン4Bの全配線に対応する挿入孔16にプローブ2を挿入することによって構成されている。そしてプローブブロック1内の全プローブ2は、フレキシブル基板5の奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bのいずれかの一端に接続しており、かつ奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bの他端は、それぞれ中継基板6の奇数および偶数対応基板6aおよび6bに接続している。このとき機能部18は、奇数および偶数対応機能部18aおよび18bの端子F1がジャンパー線28を介して奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bにそれぞれ接続されており、信号部19は、奇数および偶数対応信号部19aおよび19bと奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bとが、挿入孔16に挿入されたプローブ2に対応する導電体同士の接続により接続されている。
第4図は、端子用導電パターン4Cを有するC品種の液晶パネルへの適用例で、本装置は、A品種の液晶パネルに適用したのと同一のプローブブロック1、フレキシブル基板5、および中継基板6を用いて構成されている。端子用導電パターン4Cは、384本の信号線と、この信号線の両側部分に形成される8本の機能線とから構成されている。
このときプローブブロック1は、端子用導電パターン4Cの全配線に対応する挿入孔16にプローブ2を挿入することによって構成されている。そしてプローブブロック1内の全プローブ2は、フレキシブル基板5の奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bのいずれかの一端に接続しており、かつ奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bの他端は、それぞれ中継基板6の奇数および偶数対応基板6aおよび6bに接続している。このとき機能部18は、奇数および偶数対応機能部18aおよび18bの端子F1、F2、F3がジャンパー線28を介して奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bにそれぞれ接続されており(このとき端子F2は2本のジャンパー線28で接続されている)、信号部19は、奇数および偶数対応信号部19aおよび19bと奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bとが、挿入孔16に挿入されたプローブ2に対応する導電体同士の接続により接続されている。
第5図は、端子用導電パターン4Dを有するD品種の液晶パネルへの適用例で、本装置は、A品種の液晶パネルに適用したのと同一のプローブブロック1、フレキシブル基板5、および中継基板6を用いて構成されている。端子用導電パターン4Dは、384本の信号線と、この信号線の両側部分に形成される2本ずつ離隔させた4本の機能線とから構成されている。
このときプローブブロック1は、端子用導電パターン4Dの全配線に対応する挿入孔16にプローブ2を挿入することによって構成されている。そしてプローブブロック1内の全プローブ2は、フレキシブル基板5の奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bのいずれかの一端に接続しており、かつ奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bの他端は、それぞれ中継基板6の奇数および偶数対応基板6aおよび6bに接続している。このとき機能部18は、奇数および偶数対応機能部18aおよび18bの端子F1、F2が交差する2本のジャンパー線28を介して奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bにそれぞれ接続されており、信号部19は、奇数および偶数対応信号部19aおよび19bと奇数および偶数対応フレキシブル基板5aおよび5bとが、挿入孔16に挿入されたプローブ2に対応する導電体同士の接続により接続されている。
このように、第2図〜第5図に各々示したA〜D品種の液晶パネルに適用される液晶パネル用検査装置は、液晶パネル用アレイガラス3の端子用導電パターンが品種により異なるにも拘わらず、プローブ2の挿入されていないプローブブロック1、フレキシブル基板5、および中継基板6を共通にして構成することができる。
以上の具体的な説明においては、信号線として具体的に384本の場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば420本、480本等の信号線に適用することができることはいうまでもない。
以上説明してきたように、本発明によれば、プローブを挿入する挿入孔は、経験則により液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線および信号線から構成される基本端子用導電パターンを想定して、このパターンの各配線に対応するものとして形成されるので、プローブブロックは、各品種の供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの配線の本数を充分上回る個数の前記挿入孔を有して構成される。このためプローブブロックは、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの各配線に合致する挿入孔にのみプローブを挿入して構成することができるので、プローブの挿入されていないプローブブロックを、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができ、以て前記プローブブロックの量産化により、製作容易で、コストの低減および納期短縮を共に図ることができる液晶パネル用検査装置を提供することができる。
また、本発明によれば、フレキシブル基板は、基本端子用導電パターンの全機能線および信号線が対象で、奇数番目の全機能線および信号線に合致する本数および配置の導電体を有する奇数対応フレキシブル基板と、偶数番目の全機能線および信号線に合致する本数および配置の導電体を有する偶数対応フレキシブル基板とから構成されているので、プローブを挿入する挿入孔がプローブブロックの全挿入孔のいずれであっても前記プローブとの接続を図ることができ、これにより前記発明の効果に加えて、フレキシブル基板を、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができ、以てフレキシブル基板の量産化により、製作容易で、コストの低減および納期短縮を共に図ることができる。
さらに、本発明によれば、中継基板は、基本端子用導電パターンを構成する機能線および信号線にそれぞれ対応する機能部および信号部を備えており、前記機能部を構成する奇数対応機能部および偶数対応機能部が、それぞれ奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板にジャンパー線を介して接続すると共に、前記信号部を構成する奇数対応信号部および偶数対応信号部が、それぞれ奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板に、挿入孔に挿入されたプローブに対応する導電体同士の接続により接続することができるので、前記発明の効果に加えて、中継基板を、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができ、以て中継基板の量産化により、製作容易で、コストの低減および納期短縮を共に図ることができる。
以上のように、本発明にかかる液晶検査装置は、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの各配線に合致する挿入孔にのみプローブを挿入して構成することができるので、プローブの挿入されていないプローブブロックを、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができ、コストの低減および納期短縮を共に図ることができ、品種の相違する液晶パネルの検査に適用される検査装置間でプローブブロックの共通化を図ることができ、液晶パネル用アレイガラスにプリントされた導電パターンのショート状態、オープン状態、TFTの特性、および画素の特性を検査するものに用いて好適である。

Claims (1)

  1. プローブブロックのプローブを、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンに当接させると共に、前記端子用導電パターンからの信号を前記プローブ、前記プローブに一端側を接続するフレキシブル基板、および前記フレキシブル基板の他端側に接続する中継基板を介してテスター本体で読み取ることによって前記端子用導電パターンのショート状態、オープン状態、TFTの特性、および画素の特性の検査を行う液晶パネル用検査装置において、
    前記プローブブロックは、前記液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線および信号線から基本端子用導電パターンを構成したときに全体の各配線に対応するように、前記プローブを挿入する複数の挿入孔を形成すると共に、前記複数の挿入孔の内、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンを構成する各配線に合致する挿入孔に前記プローブを挿入することによって構成されていると共に、
    前記フレキシブル基板は、前記基本端子用導電パターンの機能線および信号線の内、奇数番目および偶数番目の機能線および信号線にそれぞれ合致する本数および配置の導電体を有してそれぞれ形成される奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板から構成されてなり、
    前記中継基板は、前記基本端子用導電パターンを構成する機能線および信号線にそれぞれ対応する機能部および信号部を備えていると共に、前記機能部を前記奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板にそれぞれ対応する奇数対応機能部および偶数対応機能部で構成し、前記信号部を前記奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板にそれぞれ合致する本数および配置の導電体を有してそれぞれ形成される奇数対応信号部および偶数対応信号部で構成し、前記奇数対応機能部および奇数対応信号部で奇数対応基板を構成すると共に前記偶数対応機能部および偶数対応信号部で偶数対応基板を構成することにより全体構成されており、かつ前記奇数対応フレキシブル基板と前記奇数対応機能部および前記偶数対応フレキシブル基板と前記偶数対応機能部がそれぞれジャンパー線を介して接続されると共に、前記奇数対応フレキシブル基板と前記奇数対応信号部および前記偶数対応フレキシブル基板と前記偶数対応信号部が、前記挿入孔に挿入されたプローブに対応する導電体同士の接続により接続されていることを特徴とする液晶パネル用検査装置。
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