JP4093712B2 - 絶縁ゲート型半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は絶縁ゲート型半導体装置の製造方法に係り、特にマスクを削減し、オン抵抗の低減を実現する絶縁ゲート型半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
携帯端末の普及に伴い小型で大容量のリチュウムイオン電池が求められるようになってきた。このリチュウムイオン電池の充放電のバッテリーマネージメントを行う保護回路は携帯端末の軽量化のニーズにより、より小型で負荷ショートにも十分に耐えうるものでなくてはならない。かかる保護回路はリチュウムイオン電池の容器内に内蔵されるために小型化が求められ、チップ部品を多用したCOB(Chip on Board)技術が駆使され、小型化の要求に応えてきた。しかし一方ではリチュウムイオン電池に直列にパワーMOSFETを接続するのでこのパワーMOSFETのオン抵抗も極めて小さくするニーズがあり、これが携帯電話では通話時間や待機時間を長くするために不可欠の要素である。
【0003】
このためにチップを製造する上で微細加工によりセル密度を上げる開発が進められてきた。具体的には、チャネルが半導体基板表面に形成されるプレーナー構造ではセル密度は740万個/平方インチであったが、チャネルをトレンチの側面に形成するトレンチ構造の第1世代ではセル密度は2500万個/平方インチと大幅に向上した。さらにトレンチ構造の第2世代では、微細化によりセル密度は7200万個/平方インチまで向上できた。
【0004】
図8から図14を参照して、従来のトレンチ構造のパワーMOSFETの製造工程を示す。
【0005】
図8では、N+型シリコン半導体基板21にN-型のエピタキシャル層を積層してドレイン領域22を形成する。表面に酸化膜23を形成した後、予定のチャネル層24の部分の酸化膜23をエッチングする。この酸化膜23をマスクとして全面にボロンを注入した後、拡散してP型のチャネル層24を形成する。
【0006】
図9では、全面にCVD法によりNSG(Non−doped Silicate Glass)のCVD酸化膜25を生成する。
【0007】
レジスト膜によるマスクをトレンチ開口部となる部分を除いてかけて、CVD酸化膜25をドライエッチングして部分的に除去し、チャネル領域24が露出したトレンチ開口部を形成する。
【0008】
CVD酸化膜25をマスクとしてトレンチ開口部のシリコン半導体基板をCF系およびHBr系ガスにより異方性ドライエッチングし、チャネル層24を貫通してドレイン領域22まで達するトレンチ27を形成する。
【0009】
図10ではダミー酸化をしてトレンチ27内壁とチャネル層24表面に酸化膜(図示せず)を形成し、その後、酸化膜とCVD酸化膜25をエッチングにより除去する。このダミー酸化を行う理由は、ドライエッチングの際のエッチングダメージを除去し、後のゲート酸化膜を安定に形成するためである。また、高温で熱酸化することによりトレンチ開口部に丸みをつけ、トレンチ開口部での電界集中を避ける効果もある。これにより、トレンチ27が形成される。
【0010】
図11では、全面を熱酸化してゲート酸化膜31を形成する。その後、トレンチ27に埋設されるゲート電極33を形成する。すなわち、全面にノンドープのポリシリコン層32を付着し、リンを高濃度に注入・拡散して高導電率化を図り、ゲート電極33を形成する。その後全面に付着したポリシリコン層32をマスクなしでドライエッチして、トレンチ27に埋設したゲート電極33を残す。
【0011】
図12ではレジスト膜PRによるマスクにより選択的にボロンをイオン注入し、P+型のボディ領域34を形成した後、レジスト膜PRを除去する。
【0012】
図13では、新たなレジスト膜PRで予定のソース領域35およびゲート電極33を露出する様にマスクして、砒素をイオン注入し、N+型のソース領域35をトレンチ27に隣接するチャネル層24表面に形成した後、レジスト膜PRを除去する。
【0013】
図14では、全面にBPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)層をCVD法により付着して、層間絶縁膜36を形成する。その後、レジスト膜をマスクにして少なくともゲート電極33上に層間絶縁膜36を残す。その後アルミニウムをスパッタ装置で全面に付着して、ソース領域35およびボディ領域34にコンタクトするソース電極37を形成する。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
かかる従来のMOSFETでは各製造工程でさまざまなマスクを使用しており、例えばソース領域もレジストによるマスクを用いて形成している。このためトレンチを微細化するほどマスクの合わせ余裕度も少なくなり、マスクずれによる不良が避けられない問題がある。また、マスクはコストもかかるので、各工程でのマスクの削減が望まれている。
【0015】
また、トレンチ形成後のエッチングダメージを除去したり、トレンチ開口部に丸みをつけてトレンチ開口部での電界集中によるゲート−ソース間のショート防止するために、高温でダミー酸化を行っているが、エッチングでトレンチ幅を微細化できても、その後の高温のダミー酸化によりトレンチ幅が広がり、仕上がりはトレンチエッチング時のおよそ1.5倍程度に広がってしまう問題があった。
【0016】
さらに、従来は基板上を覆う層間絶縁膜のために、マスクを用いて金属電極とソース領域およびボディコンタクト領域とのコンタクト孔を設ける必要があり、マスクずれによりゲート電極が露出するのを防ぐためにゲート電極上の層間絶縁膜に余裕を持たせてマスクをかけていた。このためソース領域上に層間絶縁膜およびゲート酸化膜が残ることになり、ソース領域と金属電極との接触面積が少なくなるためにオン抵抗の低減にも限界があった。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明はかかる課題に鑑みてなされ、一導電型の半導体基板にトレンチを形成し、該トレンチ周辺に逆導電型のチャネル層を形成する工程と、全面にポリシリコン層を成膜し、高濃度の一導電型不純物を導入後、全面をエッチングして前記トレンチ開口部のチャネル層表面にのみ前記ポリシリコン層を残存させる工程と、前記ポリシリコン中の前記一導電型不純物を前記チャネル層に拡散してソース領域を形成する工程とを具備することを特徴とするもので、ソース領域をセルフアラインで形成できるためマスクが削減できる。
【0018】
さらに全面エッチバックでトレンチ開口部にサイドウォール状の丸みがつけられるために、高温でダミー酸化をする必要がなくなる。これによりシリコン中のエッチングダメージ除去のためのダミー酸化量を低減できるので、トレンチの仕上がり幅を狭くできるものである。
【0019】
さらに、層間絶縁膜をゲート電極上に埋め込むことにより、ソース領域と金属電極との接触面積を増やし、オン抵抗を低減できるものである。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図1から図7を参照してトレンチ型パワーMOSFETのNチャネル型を例に説明する。
【0021】
トレンチ型パワーMOSFETは、一導電型の半導体基板にトレンチを形成後、全面に絶縁膜を形成し、トレンチの周辺に逆導電型のチャネル層を形成する工程と、絶縁膜を除去後全面にポリシリコン層を成膜し、高濃度の一導電型不純物を導入後、全面をエッチバックしてトレンチ開口部のチャネル層表面にのみポリシリコン層を残存させる工程と、ポリシリコン層中の前記一導電型不純物をチャネル層に拡散してソース領域を形成する工程と、少なくともトレンチ内壁にゲート酸化膜を形成し、トレンチに埋設され且つトレンチ開口部を露出した半導体材料からなるゲート電極を形成する工程と、全面に層間絶縁膜を形成し、層間絶縁膜をエッチバック後全面に金属電極を形成する工程とから構成される。
【0022】
本発明の第1の工程は、図1に示す如く、一導電型の半導体基板にトレンチを形成後、全面に酸化膜を形成し、トレンチの周辺に逆導電型のチャネル層を形成することにある。
【0023】
N+型シリコン半導体基板1にN-型のエピタキシャル層を積層してドレイン領域2を設ける。トレンチ3をエッチングにより形成し、全面に酸化膜4を設け、ボロンをイオン注入する。注入条件は50KeVで3〜4×1013cm-2とする。その後イオンをドレイン領域に拡散してトレンチ3周辺にP型のチャネル層5を形成する。
【0024】
本発明の第2の工程は、図2および図3に示す如く、酸化膜を除去後全面にポリシリコン層を成膜し、高濃度の一導電型不純物を導入後、全面をエッチバックしてトレンチ開口部のチャネル層表面にのみポリシリコンを残存させることにある。
【0025】
本工程は本発明の特徴とする工程であり、図2では、チャネル層5のイオン注入の保護膜とした酸化膜4を除去してポリシリコン6をCVD法により1000Å程度堆積し、高濃度のヒ素を全面にイオン注入する。
【0026】
その後、全面を約1.0μmエッチバックして、トレンチ開口部にポリシリコン6を残存させる。
【0027】
図3はエッチバック後の状態を示す。半導体基板表面とトレンチ3底部が同時にエッチングされ、トレンチ開口部7のポリシリコン6がサイドウォール状になり、丸みが形成される。また、トレンチ開口部7のみに高濃度の不純物を含むポリシリコン6が残存することになる。
【0028】
ここで、第1の工程でトレンチ3形成後にチャネル層5を形成しているため、全面を例えば1μmエッチバックして更に深い位置にトレンチ3が形成されても、その周辺にはチャネル層5が残存する。
【0029】
また、ポリシリコン6の全面エッチングによりトレンチ開口部7にはサイドウォール状に丸みがつき、トレンチ開口部7の電界の集中が緩和できる。これによりトレンチ開口部7のゲート酸化膜破壊によるゲート−ソース間のショートを低減できる。
【0030】
本発明の第3の工程は、図4に示す如く、ポリシリコン中の一導電型不純物をチャネル層に拡散してソース領域を形成することにある。
【0031】
800〜900℃で30分ほど熱処理を施してポリシリコン6中のN+型イオンをチャネル層5に拡散してソース領域8を形成する。これによりセルフアラインでソース領域8が形成される。
【0032】
つまり、マスク無しでソース領域8が形成できるため、従来のようにマスク合わせ余裕度が少ない上に、微細化することによるマスク合わせずれが起こり不良が発生するなどの問題が回避でき、マスク削減によるコスト削減も実現できる。
【0033】
本発明の第4の工程は、図5に示す如く、少なくともトレンチ内壁にゲート酸化膜を形成し、トレンチに埋設され且つトレンチ開口部を露出した半導体材料からなるゲート電極を形成することにある。
【0034】
全面を800〜900℃程度の低温でダミー酸化し、生成された1000Å程度の酸化膜を除去する(図示せず)。その後800〜900℃程度で熱酸化し、全面にゲート酸化膜9を形成する。
【0035】
このときのダミー酸化はエッチングによるトレンチ3および半導体基板表面のダメージを取り除くために施すものである。従来は前記の目的の他に、トレンチ開口部に丸みをつける目的もあったので高温で熱処理を施していたが、本発明の実施の形態では、前記の第2の工程のエッチバックによりトレンチ開口部7はサイドウォール状に丸みが形成されるので、従来にくらべて低温でのダミー酸化が可能となる。
【0036】
これによりゲート酸化膜内にエッチングダメージが残らず、ゲート−ソース破壊耐圧の劣化を抑制でき、ダミー酸化量を低減できるため、トレンチ3の幅を縮小、もしくは広がりを抑制できる。
【0037】
例えば本発明の実施の形態では、第1の工程でトレンチ形成後、ポリシリコンを堆積し、エッチングすると一時トレンチ幅は形成時の1/2程度まで縮小する。その後、ダミー酸化を施し、ゲート酸化膜を形成したトレンチ3の仕上がり幅は、従来のトレンチ27の仕上がり幅のおよそ1/2に縮小できる。
【0038】
更にポリシリコンを全面に堆積し、エッチバックをして不純物を拡散し、トレンチに埋設されたゲート電極10を形成する。このとき、トレンチ開口部7が露出し、半導体基板表面よりも低い位置にゲート電極10の上面が位置するようにオーバーエッチする。
【0039】
本発明の第5の工程は、図6および図7に示す如く、全面に層間絶縁膜を形成し、層間絶縁膜をエッチバック後全面に金属電極を形成することにある。
【0040】
図6は、フォトレジストでチャネル層5表面の隣接するソース領域8の間を露出させ、P+型のイオンを注入後拡散して、ボディコンタクト領域11を形成する。その後、全面にNSGを2000Å堆積し、層間絶縁膜12を形成する。このとき第4の工程でゲート電極10を半導体基板表面よりも低くなるように埋設してあり、トレンチ幅が狭いので、ゲート電極10上部に層間絶縁膜12が埋め込まれる。
【0041】
図7は金属電極の形成を示す。全面の層間絶縁膜12をエッチバックして、トレンチ3を除く半導体基板を露出させ、全面に金属をスパッタなどにより蒸着して金属電極13を形成する。これにより平坦な金属電極13が形成できる。
【0042】
ここで、本発明では層間絶縁膜12がゲート電極10上に埋め込まれており、ソース領域8およびボディコンタクト領域11が金属電極13と密着しているため、従来必要であった金属電極とソース領域およびボディコンタクト領域とのコンタクト孔を形成する必要がない。
【0043】
また、従来のようにソース領域上に層間絶縁膜およびゲート酸化膜が残らないので、形成されたソース領域8がすべて金属電極13と密着するため、ソース領域8と金属電極13との密着する幅(図7、X)が従来に比べておよそ2倍に増加する。従ってソース領域8と金属電極13の接触面積が増加するので、オン抵抗の低減に大きく寄与できる。
【0044】
また、各トランジスタに均一な厚みで埋め込まれた層間絶縁膜12により、ゲート電極10とソース領域8に均一なエクステンションを形成できるため、ゲート−ソース間のショートを低減できる。
【0045】
さらに、金属配線が平坦にできるため、ボイドを抑制でき、熱によるボイドの膨張でゲート酸化膜を破壊したり、ソース領域との接触不良などによる信頼性の低下を抑制できる。
【0046】
【発明の効果】
本発明の製造方法に依れば、第1にソース領域がセルフアラインで形成でき、マスクの削減が実現でき、コストの大幅な削減が可能となる。
【0047】
第2に、全面をエッチバックしてトレンチ開口部のポリシリコンを形成するので、トレンチ開口部にサイドウォール状の丸みができ、トレンチ開口部での電界の集中を緩和できる。これによりゲート酸化膜の破壊を防ぎ、ゲート−ソース間のショートを抑制できる。
【0048】
第3にトレンチ開口部の丸みを形成するための高温のダミー酸化を必要とせず、低温のダミー酸化ができる。これによりゲート酸化膜内にエッチングダメージが残らず、ゲート−ソース破壊耐圧の劣化を抑制できるのでダミー酸化量を低減でき、トレンチの仕上がり幅を縮小または、広がりを抑制できる。
【0049】
第4に、層間絶縁膜がゲート電極上に埋め込まれているため、従来必要であった金属電極とソース領域およびボディコンタクト領域とのコンタクト孔を形成する必要がない。
【0050】
第5に、従来のようにソース領域上に層間絶縁膜が残らないので、形成されたソース領域がすべて金属電極と密着するため、ソース領域と金属電極との密着する幅が従来に比べておよそ2倍に増加する。従ってソース領域と金属電極の接触面積が増加するので、オン抵抗の低減に大きく寄与できる。
【0051】
第6に、各トランジスタに均一な厚みで埋め込まれた層間絶縁膜により均一なゲート−ソース間エクステンションを形成できるため、ゲート−ソース間のショートを低減できる。
【0052】
第7に、金属配線が平坦にできるため、ボイドを抑制でき、熱によるボイドの膨張でゲート酸化膜が破壊したり、ソース領域との接触不良などによる信頼性の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図2】本発明の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図3】本発明の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図4】本発明の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図5】本発明の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図6】本発明の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図7】本発明の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図8】従来の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図9】従来の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図10】従来の絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法を説明する断面図である。
【図11】従来の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図12】従来の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図13】従来の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図14】従来の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
Claims (5)
- 一導電型の半導体基板にトレンチを形成し、該トレンチ周辺に逆導電型のチャネル層を形成する工程と、
全面にポリシリコン層を成膜し、高濃度の一導電型不純物を導入後、全面をエッチバックして前記半導体基板表面と前記トレンチの底部を同時にエッチングし、前記トレンチ開口部のチャネル層表面にのみ前記ポリシリコン層を残存させる工程と、
前記ポリシリコン層中の前記一導電型不純物を前記チャネル層に拡散してソース領域を形成する工程とを具備することを特徴とする絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。 - 前記ソース領域はセルフアラインで形成されることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。
- 一導電型の半導体基板にトレンチを形成後、全面に絶縁膜を形成し、前記トレンチの周辺に逆導電型のチャネル層を形成する工程と、
前記絶縁膜を除去後全面にポリシリコン層を成膜し、高濃度の一導電型不純物を導入後、全面をエッチバックして前記半導体基板表面と前記トレンチ底部を同時にエッチングし、前記トレンチ開口部のチャネル層表面にのみ前記ポリシリコン層を残存させる工程と、
前記ポリシリコン層中の前記一導電型不純物を前記チャネル層に拡散してソース領域を形成する工程と、
少なくとも前記トレンチ内壁にゲート酸化膜を形成し、前記トレンチに埋設され且つ前記トレンチ開口部を露出した半導体材料からなるゲート電極を形成する工程と、
全面に層間絶縁膜を形成し、該層間絶縁膜をエッチバック後全面に金属電極を形成する工程とを具備することを特徴とする絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。 - 前記ソース領域はセルフアラインで形成されることを特徴とする請求項3に記載の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。
- 前記層間絶縁膜は前記トレンチ開口部に埋め込まれ、金属電極が平坦に形成されることを特徴とする請求項3に記載の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。
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