JP4082995B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、コア基板の表面上方のみ(片面)にビルドアップ層を形成している配線基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
コア基板の表面上方にのみビルドアップ層を形成した配線基板の製造方法として、例えば特許文献1に示す方法が開示されている。
また、上記のような配線基板を、平坦なビルドアップ層で且つ効率良く製造する方法として、以下のものが提案されている。
即ち、予め表面および裏面に所定パターンの配線層を形成した2枚のコア基板を重ね合わせ、それらの外側面に絶縁樹脂付き銅箔を積層し且つプレスして積層体を形成し、かかる積層体の両面(表面)に樹脂絶縁層および配線層を有するビルドアップ配線層を形成する。その後、積層していたコア基板を互いに分離することにより、片面ビルドアップ配線基板をからなる多層プリント基板を2枚同時に製造する方法である。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−204940号公報 (図1)
【0004】
【発明が解決すべき課題】
しかしながら、上記の製造方法では、2枚のコア基板を重ね合わせ、それぞれの配線層自体を互いに接触させて積層するため、かかる配線層が損傷するおそれがある。しかも、ビルドアップ配線層を形成した後、上記積層体を分離した個別のコア基板において、ビルドアップ配線層と反対側のコア基板の表面(裏面)では、当初の配線層の上に更にソルダーレジスト層やランド形成用などの開口部を更に形成する工程が必要となるため、生産性を低下させる、という問題があった。
本発明は、以上に説明した従来の技術における問題点を解決し、コア基板の表面(片面)に平坦なビルドアップ層を形成できると共に、高い生産性をもって製造可能とする配線基板の製造方法を提供する、ことを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、予め表面および裏面に配線層を形成した一対のコア基板の裏面に、追ってソルダーレジスト層となるプリプレグおよび金属箔を貼り付けた状態で、上記一対のコア基板を積層し且つそれぞれの表面にビルドアップ層を形成する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明の配線基板の製造方法(請求項1)は、表面および裏面に配線層をそれぞれ有するコア基板における裏面の下方に、プリプレグおよび金属箔を形成する工程と、上記プリプレグおよび金属箔を形成した一対のコア基板を、それぞれの金属箔を面接触させて積層した状態で、上記一対のコア基板の表面上方に複数の絶縁層および複数の配線層を含むビルドアップ層をそれぞれ形成する工程と、上記ビルドアップ層を形成した一対のコア基板を分離した後、個別のコア基板における上記プリプレグに当該コア基板の裏面に形成した配線層を露出させる開口部を形成する工程と、を含む、ことを特徴とする。
【0006】
これによれば、プリプレグにより各コア基板の裏面に形成した配線層を保護でき、且つ一対のコア基板に形成した金属箔同士が面接触するため、かかる一対のコア基板を厚み方向に沿って積層しても互いに接着するおそれがない。このため、各コア基板の表面上方に平坦なビルドアップ層を確実に形成できる共に、その後において、積層していた一対のコア基板を容易に分離できる。
しかも、分離した個々のコア基板に裏面に形成されたプリプレグは、かかる裏面側のソルダーレジスト層として活用できるため、コア基板の裏面に形成した配線層を露出させることにより、当該配線基板の裏面側における接続端子を容易に形成できるので、配線基板の生産性を高めることにも寄与することができる。
【0007】
尚、上記コア基板には、樹脂またはセラミックの単一の絶縁層からなる形態の他、複数の絶縁層とその間に配置した配線層とを有する多層基板の形態も含まれる。また、上記プリプレグには、接着性、弾力性(柔軟性)、および絶縁性を有する熱硬化性樹脂などが含まれる。更に、上記金属箔には、銅箔の他、アルミニウム箔も含まれる。
付言すれば、本発明の配線基板の製造方法は、表面および裏面に配線層をそれぞれ有すると共に、かかる表面および裏面の間を貫通し且つ表面の配線層と裏面の配線層とを導通するスルーホール導体を有するコア基板における裏面の下方に、プリプレグおよび金属箔を形成する工程と、かかるプリプレグおよび金属箔を形成した一対のコア基板を、それぞれの金属箔を面接触させて積層した状態で、上記一対のコア基板の表面上方に複数の絶縁層および複数の配線層を含むビルドアップ層をそれぞれ形成する工程と、かかるビルドアップ層を形成を形成した一対のコア基板を分離した後、個別のコア基板における上記プリプレグに当該コア基板の裏面に形成した配線層を露出させる開口部を形成する工程と、を含む、とすることも可能である。
【0008】
また、本発明には、前記一対のコア基板は、それぞれ平面方向に沿って追ってコア基板となる複数の製品エリアを有するパネルであり、かかる複数の製品エリアを跨って前記プリプレグおよび金属箔が形成されている、配線基板の製造方法(請求項2)も含まれる。これによれば、縦横の平面方向に沿って複数のコア基板を内包する多数個取りのパネルにおいて、かかるパネルの裏面における上記コア基板となる複数の製品エリアの全体に、プリプレグおよび金属箔が形成される。このため、配線基板の生産性を一層高めることができる。
【0009】
更に、本発明には、前記プリプレグに開口部を形成する工程は、前記金属箔を除去した前記プリプレグ、または上記金属箔およびプリプレグに対し、それらの厚み方向に沿ってレーザ加工を施すことにより行われる、配線基板の製造方法(請求項3)も含まれる。これによれば、プリプレグのみや、金属箔およびプリプレグにおける任意の位置にレーザ加工することにより、コア基板の裏面における配線層を所望の面積で容易に露出させ、当該配線基板自体を搭載するマザーボードなどのプリント基板との接続端子を精度および効率良く形成することができる。
【0010】
また、本発明には、前記プリプレグに開口部を形成する工程の後に残る金属箔の面積は、当初の面積の60%以上である、配線基板の製造方法(請求項4)も含まれる。これによれば、コア基板の裏面側に当初の金属箔の60%以上が残るため、かかるコア基板の表面上方にビルドアップ層を形成した後でも、上記金属箔によって、当該配線基板がビルドアップ層側に反る、即ちビルドアップ層の中央付近が凹む形態の変形を防止できる。この結果、ビルドアップ層の平坦性を更に良好に保てるため、当該配線基板の信頼性を高めることができる。
しかも、残った金属箔により、配線基板の第2主面側における耐水性や耐湿性を高められ、且つ周辺から発せられる高周波ノイズを遮蔽することもできる。
尚、残る金属箔の面積が当初の60%未満になると、上述した反り防止の効果が不十分になる危険があるため、かかる範囲を除外したものであり、金属箔の好ましい残留面積(比)は、当初の80%またはこれ以上である。
【0011】
更に、本発明には、前記プリプレグに開口部を形成する工程の後に、かかる開口部の底面に露出する前記コア基板における裏面の配線層に導体ピンまたはハンダボールを接続する工程を更に有する、配線基板の製造方法を含めることも可能である。これによる場合、ピングリッドアレイ(PGA)型やボールグリッドアレイ(BGA)型の配線基板を容易に形成できる。尚、導体ピンには、銅系合金または鉄系合金(例えば、コバール)からなるピンが含まれる。
また、本発明には、前記プリプレグに開口部を形成する工程の後に、かかる開口部内および上記プリプレグの裏面下に跨る導体層を形成し、且つかかる導体層をフォトリソグラフィ技術により上記開口部付近のランドとして形成する、配線基板の製造方法を含めることも可能である。これによる場合、ランドグリッドアレイ(LGA)型の配線基板を容易に形成できる。
【0012】
更に、本発明には、前記導体層を形成する際に、予め前記プリプレグに形成された開口部の内面および底面とかかる開口部に隣接する上記プリプレグの裏面下とに跨って、断面ほぼハット形の金属メッキ層を形成する、配線基板の製造方法を含めることも可能である。これによる場合、上記金属メッキ層にハンダなどの低融点合金を容易に接合できるため、上記ハンダなどを介して、導体ピンやハンダボールを接合して、マザーボートなどとの導通を自在に行うことが可能となる。尚、上記金属メッキ層は、例えばNiメッキおよびAuメッキの順序で形成した2層構造のメッキ層が含まれる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下において、本発明の実施に好適な形態を図面と共に説明する。
図1(A)は、コア基板2の断面を示す。かかるコア基板2は、厚さ約800μmのガラス−エポキシ樹脂からなる単一の絶縁層であり、その表面2aおよび裏面2bに厚さ約16μmの銅箔10a,11aが予め貼り付けられている。
上記コア基板2の所定の位置にレーザを照射するか、細径のドリルにて穿孔する。その結果、図1(B)に示すように、コア基板2における表面2aと裏面2bとの間を貫通し且つ内径が約100μmのスルーホール5が複数形成される。
【0014】
次に、複数のスルーホール5を有するコア基板2の全面に対し、無電解銅メッキおよび電解銅メッキを施す。尚、各スルーホール5の内壁には、予めPdを含むメッキ触媒を塗布しておく。また、上記スルーホール5の穿孔および銅メッキは、複数のコア基板2(製品単位)を含むパネル(多数個取りの基板)の状態で行っても良い。その結果、図1(C)に示すように、各スルーホール5の内壁表面に沿って厚みが約30μmのスルーホール導体6がそれぞれ形成される。また、銅箔10a,11aは、厚めの銅メッキ層10b,11b(便宜上厚みは銅箔10a,11aと同じとする)となる。
【0015】
次いで、図1(D)に示すように、各スルーホール導体6の内側に、シリカフィラなどの無機フィラ入りのエポキシ系樹脂からなる充填樹脂7を充填する。尚、充填樹脂7に替え、多量の金属粉末を含む導電性樹脂または金属粉末を含む非導電性樹脂を用いても良い。更に、表面2aおよび裏面2bの銅メッキ層10b,11bの上に、全面銅メッキを行い充填樹脂7の表面に蓋メッキを行う。
そして、公知のフォトリソグラフィ技術により、所定のパターンを有する図示しないエッチングレジストを銅メッキ層10b,11bの上に形成した後、かかるエッチングレジストのパターン間の隙間から露出する銅メッキ層10b,11bをエッチング(公知のサブトラクティブ法)する。
【0016】
その結果、図2(A)に示すように、コア基板2の表面2aおよび裏面2bに、上記レジストのパターンに倣った配線層10,11が形成される。かかる配線層10,11の厚みは約15μmであり、これらの配線層10,11は、スルーホール導体7を介して互いに導通している。
次に、図2(B)に示すように、コア基板2の裏面2bおよび配線層11の下に、プリプレグ12および銅箔(金属箔)14を形成する。かかるプリプレグ12は、接着性、弾力性、および絶縁性を有する厚さ数10μmの熱硬化性樹脂(例えばエポキシ、ビスマレイミド・トリアジン、フェノール、ポリイミド、ポリエステルなど)からなる。また、銅箔14の厚みは、約20μmである。
【0017】
尚、前記銅箔14などを形成する工程は、複数のコア基板2を平面方向に沿って多数有する多数個取り用のパネルの裏面側において、各コア基板2となる複数の製品エリアに跨って、プリプレグ12と銅箔14とを順次形成しても良い。
次いで、図2(C)に示すように、プリプレグ12および銅箔14を裏面2b側に形成した一対のコア基板2,2を、それらの銅箔14同士を面接触させた状態で積層し且つ固定する。この際、積層した一対のコア基板2をそれぞれの厚み方向に沿って若干のプレスを行っても良い。
【0018】
次に、図3(A)に示すように、積層された何れかのコア基板2の表面2aおよび配線層10の上方に、絶縁層16,22および配線層20,26を交互に積層したビルドアップ層BUを形成する。絶縁層16などは、シリカフィラなどの無機フィラを含む厚さ約30μmのエポキシ系樹脂からなる。また、配線層20などは、厚さ約15μmの銅メッキ層からなる。更に、絶縁層16,22には、配線層10,20,26の相互間を接続するビア導体(フィルドビア)18,24が形成される。尚、ビルドアップ層BUは、公知のビルドアップ工程(セミアディティブ法、フルアディティブ法、サブトラクティブ法、フィルム状樹脂材料のラミネートによる絶縁層の形成、フォトリソグラフィ技術など)により形成される。
また、残りのコア基板2の表面2aの上方にも、上記と同様にしてビルドアップ層BUを形成する。
【0019】
次いで、各コア基板2における絶縁層22および配線層26の上に、厚さが約25μmのソルダーレジスト層(絶縁層)28を形成する。
図3(A)に示すように、配線層26上の適所には、第1主面29よりも高く突出するハンダバンプ(IC接続端子)30を複数形成する。ハンダバンプ30は、Sn−Ag系、Pb−Sn系、Sn−Ag−Cu系、Sn−Cu系、Sn−Zn系など(本実施形態ではSn−Ag系)の低融点合金からなり、第1主面29上に実装される図示しないICチップなどの接続端子と個別に接続される。また、複数のハンダバンプ30とICチップなどの接続端子とは、アンダーフィル材により埋設され且つ保護される。尚、他方のコア基板2にも、上記と同じ工程が施される。また、以上のビルドアップ工程なども前記パネルの状態で行っても良い。
【0020】
更に、図3(B)に示すように、銅箔14,14において面接触してビルドアップ層BUを形成したコア基板2を、個別に分離する。この分離工程は、銅箔14同士が高い離型性を有するため、極めて容易に行える。また、コア基板2の裏面2bの配線層11は、プリプレグ12により、前記積層工程およびビルドアップ工程の双方においても当初のパターンのまま保護されている。更に、プリプレグ12は、コア基板2の裏面2b側におけるソルダーレジスト層を形成する。
尚、前記ハンダバンプ30の形成は、上述した分離工程の後に行っても良い。
【0021】
これ以降の工程では、施す工程ごとにより異なる形態の配線基板が得られる。
例えば、図4(A)に示すように、銅箔14を公知のエッチングで除去した後、露出したプリプレグ12における所定の位置に、図示で垂直方向に沿って、レーザを照射する。この結果、コア基板2の裏面2bに形成された配線層11が露出する開口部13が形成される。かかる開口部13の底面に露出する配線11cは、その表面に図示しないNiおよびAuメッキが被覆され、マザーボードなどのプリント基板と接続するための接続端子(ランド)となる。これにより、図4(A)に示すような配線基板1が得られる。
尚、図4(A)中の中央に示すように、配線11cには、ハンダhを介して例えばコバール製の導体ピンpが接続される。また、上記レーザには、炭酸ガスレーザ、YAGレーザ、あるいはエキシマレーザなどが用いられる。
【0022】
また、図4(B)に示すように、銅箔14およびプリプレグ12おける所定の位置に対して、図示で垂直方向に沿って、レーザを照射することにて、配線層11が露出する開口部13を形成しても良い。かかる開口部13の底面に露出する配線11cは、NiおよびAuメッキが被覆され、前記同様の接続端子(ランド)となる。この結果、図4(B)に示すような配線基板1aが得られる。
【0023】
尚、上記レーザには、前述した何れかのレーザを用いるが、銅箔14とプリプレグ12とで、その出力を変更するなどの調整を行う。また、上記開口部13を形成した後に残る銅箔14は、当初の平面視における面積の少なくとも60%以上、望ましくは80%以上とする。これにより、配線基板1a全体がビルドアップ層BU側に反る変形を防止でき、ビルドアップ層BUの平坦性を更に良好に保てるため、当該配線基板1aの信頼性を高めることができる。しかも、残った銅箔14により、配線基板1aの第2主面(裏面2b)側における耐水性などを高められ、且つ周辺の機器などから発生する高周波ノイズを遮蔽することもできる。
【0024】
更に、図5(A)に示すように、前記銅箔14の下側に、所定パターンのエッチングレジスト(図示せず)を形成した後、当該レジストの間から露出する銅箔14を上記パターンに倣ってエッチングして除去することにより、所定パターンの銅箔14aを形成する。次に、図5(B)に示すように、かかる銅箔14aの隙間からコア基板2の裏面2bに形成した配線層11に達する開口部13を、前記レーザの照射により形成する。次いで、図5(C)に示すように、開口部13の内面および周囲の銅箔14aに、NiメッキおよびAuメッキからなる断面ほぼハット形の金属メッキ層15を形成した後、その下側にハンダなどからなるロウ材17を形成する。この結果、図5(C)に示す配線基板1bが得られる。
尚、上記ロウ材17には、図示しないハンダボールまたは前記導体ピンpなどが接続されたり、あるいはマザーボード側の接続端子が直に接続される。
【0025】
以上に説明した本発明の配線基板の製造方法によれば、プリプレグ12により各コア基板2の裏面2bに形成した配線層11を保護でき、且つ一対のコア基板2に形成した銅箔14同士が面接触するため、これらのコア基板2を厚み方向に沿って積層しても互いに接着しない。この結果、各コア基板2の表面2a上方に平坦なビルドアップ層BUを確実に形成できる共に、その後に一対のコア基板2を容易に分離できる。しかも、分離した個々のコア基板2に裏面2bに形成したプリプレグ12は、かかる裏面2b側のソルダーレジスト層として活用できる。この結果、コア基板2の裏面2bに形成した配線層11を露出させることで、配線基板1,1a,1bの裏面2b側における接続端子(配線)11cなどを容易に形成できるため、配線基板の生産性を高めることも可能となる。
【0026】
図6は、異なる形態の配線基板1cの製造方法に関する。尚、以下において、前記形態と共通する部分や要素には、前記と共通の符号を用いるものとする。
図6(A)は、一対の多層基板のコア基板Kを互いに積層して固定した状態を示す。コア基板Kは、図6(A)に示すように、絶縁層2と、その表面2aおよび裏面2b上に形成した配線層8,9と、これらの上に形成した絶縁層3,4とからなる多層基板である。絶縁層2は、平面視がほぼ正方形で且つ厚みが500μm未満のガラスクロスまたはガラス繊維入りのエポキシ樹脂からなる。また、配線層8,9は、厚さ約15μmの銅メッキ層であり、絶縁層3,4は、ガラスフィラなどの無機フィラを含む厚さ数10μmのエポキシ系樹脂からなる。かかるコア基板Kの全体の厚みは、約600〜800μmである。
【0027】
コア基板Kは、絶縁層2の表面2aおよび裏面2bに予め形成された銅箔を、フォトリソグラフィ技術およびエッチングにより所定パターンの配線層8,9とし、その上に樹脂フィルムを圧着して絶縁層3,4を形成することで得られる。
かかるコア基板Kの表面3aと裏面4aとの間に、図6(A)に示すように、スルーホール5、スルーホール導体6、および充填樹脂7を、前述した方法により複数形成する。尚、各スルーホール導体6は、その中間で配線層8,9と接続する。また、コア基板Kの表面3aおよび裏面4aには、銅メッキ、フォトリソグラフィ技術、およびエッチングにより、所定パターンの配線層10,11が形成され、これには各スルーホール導体6を介して互いに導通する。
【0028】
図6(A)に示すように、裏面4aおよび配線層11に隣接してプリプレグ12および銅箔14を形成した一対のコア基板K,Kを、それらの銅箔14同士を面接触させた状態で積層し且つ固定する。かかる積層状態で、前記同様にして、何れかのコア基板Kの表面3a上方に、前記同様にしてビルドアップ層BU、ソルダーレジスト層28、およびハンダバンプ30を形成する。また、他方のコア基板にも、同様にしてビルドアップ層BUなどを形成する。
次に、図6(B)に示すように、個別に分離したコア基板Kにおいて、その銅箔14をエッチングにより除去した後、露出したプリプレグ12に前記同様のレーザを照射して、開口部13を形成する。かかる開口部13の底面に露出する配線11cは、NiおよびAuメッキが被覆されて、マザーボードなどのプリント基板と接続するための接続端子(ランド)となる。
これにより、図6(B)に示すような配線基板1cが得られる。
【0029】
以上のような配線基板1cの製造方法においても、平坦なビルドアップ層BUを形成できると供に、プリプレグ12をソルダーレジスト層として流用できるため、製造工数を少なくすることができる。しかも、コア基板Kには、配線層8,9が内設されているため、配線の高密度化にも対応することも容易である。
尚、前記配線11cには、ハンダを介して前記導体ピンpを接続したり、ハンダボールを接続しても良い。あるいは、図4(B)に示したように、前記銅箔14を60%以上残して、開口部13および配線11cを形成しても良い。更には、図5(A)〜(C)に示したように、所定パターンの銅箔14a、開口部13、金属メッキ層15、およびロウ材17を形成しても良い。
【0030】
本発明は以上において説明した形態に限定されるものではない。
前記金属箔には、純アルミニウム系のアルミニウム箔を用いても良い。
また、前記コア基板2やコア基板Kの絶縁層2の材質は、前記ガラス−エポキシ樹脂系の複合材料の他、ビスマレイミド・トリアジン(BT)樹脂、エポキシ樹脂、同様の耐熱性、機械強度、可撓性、加工容易性などを有するガラス織布や、ガラス織布などのガラス繊維とエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、またはBT樹脂などの樹脂との複合材料であるガラス繊維−樹脂系の複合材料を用いても良い。あるいは、ポリイミド繊維などの有機繊維と樹脂との複合材料や、連続気孔を有するPTFEなど3次元網目構造のフッ素系樹脂にエポキシ樹脂などの樹脂を含浸させた樹脂−樹脂系の複合材料などを用いることも可能である。
【0031】
あるいは、前記コア基板2やコア基板Kの絶縁層2〜4などの材質をセラミックとすることもできる。かかるセラミックには、アルミナ、珪酸、ガラスセラミック、窒化アルミニウムなどが含まれ、更には約1000℃以下の比較的低温で焼成が可能な低温焼成セラミックを用いることもできる。セラミックからなる前記コア基板2やコア基板Kには、パンチングやレーザ加工によりスルーホール5が穿孔され、それらの表面2a,3a上には、樹脂フィルムからなる絶縁層16などがラミネートされると共に、前述したビルドアップ工程によりビルドアップ層BUが形成される。
尚、前記コア基板Kの場合、上記セラミックからなる3枚のグリーンシートを用意し、これらのグリーンシートの表面および裏面の少なくとも一方にW、Mo、またはCuなどからなるメタライズインクで所定パターンの配線層を形成した後、これらのグリーンシートを積層し且つ焼成する。また、上記メタライズには、Ag、Au、Ag−Pt、Ag−Pdなどの素材を用いても良い。
【0032】
更に、前記絶縁層16,22などの材質は、前記エポキシ樹脂を主成分とするもののほか、同様の耐熱性、パターン成形性等を有するポリイミド樹脂、BT樹脂、PPE樹脂、あるいは、連続気孔を有するPTFEなど3次元網目構造のフッ素系樹脂にエポキシ樹脂などの樹脂を含浸させた樹脂−樹脂系の複合材料などを用いることもできる。尚、絶縁層の形成には、絶縁性の樹脂フィルムを熱圧着する方法のほか、液状の樹脂をロールコータにより塗布する方法を用いることもできる。尚また、絶縁層に混入するガラス布またはガラスフィラの組成は、Eガラス、Dガラス、Qガラス、Sガラスの何れか、またはこれらのうちの2種類以上を併用したものとしても良い。
【0033】
また、前記配線層10などやスルーホール導体6などの材質は、前記Cu(銅)の他、Ag、Ni、Ni−Au系などにしても良く、あるいは、これら金属のメッキ層を用いず、導電性樹脂を塗布するなどの方法により形成しても良い。
更に、ビア導体は、前記フィルドビア導体18などでなく、内部が完全に導体で埋まってない逆円錐形状のコンフォーマルビア導体とすることもできる。あるいは、各ビア導体の軸心をずらしつつ積み重ねるスタッガードの形態でも良いし、途中で平面方向に延びる配線層が介在する形態としても良い。
【0034】
【発明の効果】
以上に説明した本発明の配線基板の製造方法(請求項1)によれば、コア基板の裏面に形成した配線層をプリプレグにより保護でき、且つ一対のコア基板に形成した金属箔同士が面接触するため、これらを厚み方向に沿って積層しても互いに接着しない。この結果、各コア基板の表面上方に平坦なビルドアップ層BUを確実に形成できる共に、その後に各コア基板を容易に分離できる。しかも、分離したコア基板に裏面に形成したプリプレグは、ソルダーレジスト層として活用できるため、コア基板の裏面に形成した配線層を露出させることで、配線基板の裏面側における接続端子(配線)を容易に形成できるので、配線基板の生産性を高めることも可能となる。
【0035】
また、請求項2の配線基板の製造方法よれば、複数のコア基板を併有する多数個取りのパネルにおいて、かかるパネルの裏面における上記コア基板となる複数の製品エリアの全体に、プリプレグおよび金属箔が形成されるため、配線基板の生産性を更に高めることができる。
更に、請求項3の配線基板の製造方法よれば、プリプレグのみや、金属箔およびプリプレグの双方にレーザ加工することで、コア基板の裏面における配線層を所望の面積で容易に露出し、当該配線基板自体を搭載するマザーボードなどとの接続端子を、精度および効率良く形成することができる。
【0036】
また、請求項4の配線基板の製造方法よれば、コア基板にビルドアップ層を形成した後でも、残った金属箔により、当該配線基板がビルドアップ層側に反る変形を防止できる。この結果、ビルドアップ層の平坦性を一層良好に保てるため、当該配線基板の信頼性を高めることができる。しかも、残った金属箔により、配線基板の第2主面(コア基板の裏面)側における耐水性や耐湿性を高められ、且つ周辺から発せられる高周波ノイズを遮蔽することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (A)〜(D)は本発明の製造方法における各工程を示す概略図。
【図2】 (A)〜(C)は図1(D)に続く本発明の製造方法における各工程を示す概略図。
【図3】 (A),(B)は図2(C)に続く本発明の製造方法における各工程を示す概略図。
【図4】 (A),(B)は本発明の製造方法に得られた各配線基板を示す断面図。
【図5】 (A)〜(C)は図3(B)続く製造方法における各工程またはこれにより得られた配線基板を示す断面図。
【図6】 (A),(B)は異なる形態の配線基板の製造工程またはこれにより得られた配線基板を示す断面図。
【符号の説明】
1,1a〜1c……………配線基板
2,K………………………コア基板
2a,3a…………………表面
2b,4a…………………裏面
10,11,20,26…配線層
12…………………………プリプレグ
13…………………………開口部
14…………………………銅箔(金属箔)
16,22…………………絶縁層
Claims (4)
- 表面および裏面に配線層をそれぞれ有するコア基板における裏面の下方に、プリプレグおよび金属箔を形成する工程と、
上記プリプレグおよび金属箔を形成した一対のコア基板を、それぞれの金属箔を面接触させて積層した状態で、上記一対のコア基板の表面上方に複数の絶縁層および複数の配線層を含むビルドアップ層をそれぞれ形成する工程と、
上記ビルドアップ層を形成した一対のコア基板を分離した後、個別のコア基板における上記プリプレグに当該コア基板の裏面に形成した配線層を露出させる開口部を形成する工程と、を含む、ことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記一対のコア基板は、それぞれ平面方向に沿って追ってコア基板となる複数の製品エリアを有するパネルであり、かかる複数の製品エリアを跨って前記プリプレグおよび金属箔が形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。 - 前記プリプレグに開口部を形成する工程は、前記金属箔を除去した前記プリプレグ、または上記金属箔およびプリプレグに対し、それらの厚み方向に沿ってレーザ加工を施すことにより行われる、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。 - 前記プリプレグに開口部を形成する工程の後に残る金属箔の面積は、当初の面積の60%以上である、
ことを特徴とする請求項3に記載の配線基板の製造方法。
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