JP4064921B2 - プローブモジュール及び試験装置 - Google Patents
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Description
特願2001−244161 出願日 平成13年8月10日
間隙は、第1基板において、プローブピンの近傍に設けられてもよい。
第1基板と略平行に設けられた第2基板をさらに備え、スイッチアクチュエータは、第2基板に一端が固定され、他端が間隙の近傍に設けられてもよい。
スイッチアクチュエータは、熱膨張率が異なる2つの材料が積層されたバイモルフと、バイモルフを加熱するヒータとを有し、ヒータがバイモルフを加熱することにより、バイモルフが接点を駆動して間隙をショートさせてもよい。
スイッチアクチュエータは、圧電バイモルフであってもよい。
第1信号伝送パターンは、ストリップラインであってもよい。
第1信号伝送パターンは、コプレーナラインであってもよい。
第1基板は、被試験デバイスに対して略垂直に設置されてもよい。
パターン発生部100は、被試験デバイス106を試験するための試験信号を発生し、波形整形部102に供給する。
プローブモジュール104は、基体部110及び基体部120を備え、基体部110と基体部120が一体化されることにより形成される。
基板121は、例えばセラミック等の高周波特性のよい基板であることが好ましい。
また、図3(b)に示すように、ヒータ端子134からヒータ133に電力が供給されていない場合、パターンギャップ113がオープンとなりスイッチオフの状態になる。
また、図3(c)に示すように、ヒータ端子134からヒータ133に電力が供給されている場合、アルミニウム膜130とシリコン酸化膜131との熱膨張率の差によってバイモルフ132が撓み、接点125がパターンギャップ113とショートとしてスイッチオンの状態になる。
Claims (13)
- 被試験デバイスの端子と電気的に接続し、前記被試験デバイスと信号の授受を行うプローブモジュールであって、
第1基板と、
前記被試験デバイスの前記端子と接触すべく、前記第1基板に設けられたプローブピンと、
電気信号を伝導しない間隙を有し、前記プローブピンに電気的に接続される、前記第1基板上に設けられた第1信号伝送パターンと、
前記第1信号伝送パターンの前記間隙をショート又はオープンし、前記第1基板と略平行に設けられた第2基板に設けられた第1スイッチ手段と、
を備えるプローブモジュール。 - 電気信号を伝導しない間隙を有し、前記プローブピンに電気的に接続される、前記第1基板上に設けられた第2信号伝送パターンと、
前記第2信号伝送パターンの前記間隙をショート又はオープンする第2スイッチ手段と、
をさらに備え、
前記プローブピンは、前記第1信号伝送パターンと前記第2信号伝送パターンとの接合点に接続された請求項1に記載のプローブモジュール。 - 前記第1信号伝送パターンは、前記被試験デバイスにパルス入力信号を供給し、
前記第2信号伝送パターンは、前記被試験デバイスに直流入力信号を供給し、
前記第1スイッチ手段及び前記第2スイッチ手段は、前記パルス入力信号及び前記直流入力信号のいずれを前記被試験デバイスに供給するかを制御する請求項2に記載のプローブモジュール。 - 前記間隙は、前記第1基板において、前記プローブピンの近傍に設けられた請求項2に記載のプローブモジュール。
- 前記第1スイッチ手段は、一端が固定され、他端に前記間隙をショートする接点が設けられたスイッチアクチュエータである請求項1に記載のプローブモジュール。
- 前記第2基板をさらに備え、
前記スイッチアクチュエータは、前記第2基板に一端が固定され、前記他端が前記間隙の近傍に設けられた請求項5に記載のプローブモジュール。 - 前記スイッチアクチュエータは、
熱膨張率が異なる2つの材料が積層されたバイモルフと、
前記バイモルフを加熱するヒータと、
を有し、
前記ヒータが前記バイモルフを加熱することにより、前記バイモルフが前記接点を駆動して前記間隙をショートさせる請求項5に記載のプローブモジュール。 - 前記バイモルフは、アルミニウム膜とシリコン酸化膜とを含む請求項7に記載のプローブモジュール。
- 前記スイッチアクチュエータは、圧電バイモルフである請求項5に記載のプローブモジュール。
- 前記第1信号伝送パターンは、ストリップラインである請求項1に記載のプローブモジュール。
- 前記第1信号伝送パターンは、コプレーナラインである請求項1に記載のプローブモジュール。
- 前記第1基板は、前記被試験デバイスに対して略垂直に設置される請求項1に記載のプローブモジュール。
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を発生するパターン発生部と、
前記パターン発生部が発生した前記試験信号を受け取り、前記被試験デバイスに供給し、前記被試験デバイスが前記試験信号に基づいて出力する出力信号を受け取る、請求項1〜請求項12の何れかに記載のプローブモジュールと、
前記プローブモジュールが受け取った前記出力信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備える試験装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001244161 | 2001-08-10 | ||
JP2001244161 | 2001-08-10 | ||
PCT/JP2002/007410 WO2003016930A1 (fr) | 2001-08-10 | 2002-07-23 | Module d'essai et testeur |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2003016930A1 JPWO2003016930A1 (ja) | 2004-12-09 |
JP4064921B2 true JP4064921B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
ID=19074139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003521383A Expired - Fee Related JP4064921B2 (ja) | 2001-08-10 | 2002-07-23 | プローブモジュール及び試験装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6937040B2 (ja) |
JP (1) | JP4064921B2 (ja) |
WO (1) | WO2003016930A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110058409A (ko) * | 2009-11-26 | 2011-06-01 | 삼성전자주식회사 | 프로브 카드 및 이를 포함하는 테스트 장치 |
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US5914613A (en) | 1996-08-08 | 1999-06-22 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system with local contact scrub |
US6256882B1 (en) | 1998-07-14 | 2001-07-10 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
DE20114544U1 (de) | 2000-12-04 | 2002-02-21 | Cascade Microtech Inc | Wafersonde |
US7355420B2 (en) | 2001-08-21 | 2008-04-08 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
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- 2002-07-23 JP JP2003521383A patent/JP4064921B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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WO2003016930A1 (fr) | 2003-02-27 |
US6937040B2 (en) | 2005-08-30 |
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A621 | Written request for application examination |
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