JP4043872B2 - 多層配線基板の製造方法および樹脂封止型半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂封止型半導体装置の製造方法と、それに使用する多層配線基板およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体装置は、電子機器の高性能化、小型化、薄型化の傾向からLSIのASICに代表されるように、ますます高集積化、高性能化が進んでいる。従来の半導体装置の製造では、多層配線基板毎に半導体素子を搭載し、ワイヤボンディング、樹脂封止等を行い、半導体装置に組み上げていた。
従来の樹脂封止型半導体装置の製造に用いられる多層配線基板は、コア基板の一方の面に内部端子配線を設け、他方の面に外部端子配線を設け、このコア基板に形成したスルーホールを介して内部端子配線と外部端子配線の導通をとったものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような多層配線基板は、コア基板が存在することにより厚みの低減には限界があり、半導体装置の薄型化に支障を来たしていた。また、多層配線基板の作製では、コア基板に対するスルーホール形成工程、導通工程等の複数の工程を要し、作業が極めて煩雑であった。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、小型で薄型の樹脂封止型半導体装置を高精度で、かつ、高効率で作製できる多層配線基板とその製造方法、および、小型で薄型の樹脂封止型半導体装置の製造方法とを提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明の多層配線基板の製造方法は、ベース基板の一方の面に金属導電層を形成する工程と、該金属導電層上に電気絶縁層を介し該電気絶縁層に形成されたビア部で必要な導通がとられた1層以上の配線を設けることにより、半導体素子の搭載位置に対応した配置で複数の内部端子配線を形成する工程と、前記ベース基板を除去し、前記金属導電層を露出させる工程と、前記金属導電層をパターンエッチングして各内部端子配線に対応するように複数の外部端子配線を形成する工程と、を有するような構成とした。
【0005】
本発明の好ましい態様として、前記ベース基板の一方の面に、外部端子配線の外部端子に対応するように予め凹部を形成し、該凹部を形成した面に金属導電層を形成するような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記ベース基板は、XY方向の熱膨張係数が2〜20ppmの範囲内であるような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記ベース基板は、シリコン、ガラス、42合金のいずれかであるような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記金属導電層は、銅であるような構成とした。
【0006】
本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、ベース基板の一方の面に金属導電層を形成する工程と、該金属導電層上に電気絶縁層を介し該電気絶縁層に形成されたビア部で必要な導通がとられた1層以上の配線を設けることにより、半導体素子の搭載位置に対応した配置で複数の内部端子配線を形成する工程と、前記ベース基板を除去し、前記金属導電層を露出させる工程と、前記金属導電層をパターンエッチングして各内部端子配線に対応するように複数の外部端子配線を形成して多層配線基板とする工程と、前記多層配線基板の内部端子配線上に半導体素子を搭載する工程と、前記半導体素子を樹脂封止する工程と、多層配線基板および封止樹脂を切断分離して個々の樹脂封止型半導体装置を得る工程と、を有するような構成とした。
また、本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、ベース基板の一方の面に金属導電層を形成する工程と、該金属導電層上に電気絶縁層を介し該電気絶縁層に形成されたビア部で必要な導通がとられた1層以上の配線を設けることにより、半導体素子の搭載位置に対応した配置で複数の内部端子配線を形成する工程と、各内部端子配線上に半導体素子を搭載し、その後、前記半導体素子を樹脂封止する工程と、前記ベース基板を除去し、前記金属導電層を露出させる工程と、前記金属導電層をパターンエッチングして各内部端子配線に対応するように複数の外部端子配線を形成する工程と、電気絶縁層および封止樹脂を切断分離して個々の樹脂封止型半導体装置を得る工程と、を有するような構成とした。
【0007】
本発明の好ましい態様として、前記ベース基板の一方の面に、外部端子配線の外部端子に対応するように予め凹部を形成し、該凹部を形成した面に金属導電層を形成するような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記ベース基板は、XY方向の熱膨張係数が2〜20ppmの範囲内であるような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記ベース基板は、シリコン、ガラス、42合金のいずれかであるような構成とした。
本発明の好ましい態様として、前記金属導電層は、銅であるような構成とした。
上記のような本発明では、多層配線基板にコア基板が存在せず、厚みの薄いものであり、また、多層配線基板の製造工程、樹脂封止型半導体装置の製造工程において、スルーホールの形成、導通化の工程が不要である。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
多層配線基板
図1は、本発明の多層配線基板の一実施形態を示す部分縦断面図である。図1において、本発明の多層配線基板1は、半導体素子の搭載位置に対応した配置で平面状に形成された複数の内部端子配線2と、各内部端子配線2に対応した複数の外部端子配線5とを備えている。
【0009】
多層配線基板1を構成する複数の内部端子配線2は、図示例では多層配線であり、外部端子配線5上に1層目の電気絶縁層3aを介しビア部4aにて所定の外部端子配線5と導通されるように形成された1層目の配線2aと、この1層目の配線2a上に2層目の電気絶縁層3bを介しビア部4bにて所定の1層目配線2aと導通されるように形成された2層目の配線2bと、この2層目の配線2b上に3層目の電気絶縁層3cを介しビア部4cにて所定の2層目配線2bと導通されるように形成された3層目の配線2cとからなる。そして、3層目の配線2cには、半導体素子を搭載するための内部端子(図示せず)が設定されている。このような内部端子配線2は、半導体素子の搭載位置に対応した配置で平面状に(内部端子配線を構成する各配線層に平行な面に沿って)複数形成されており、図示例では、2A、2Bの2組が示されている。
【0010】
また、多層配線基板1を構成する複数の外部端子配線5は、電気絶縁層3aを介しビア部4aにて所定の内部端子配線2(2a)と導通されるように形成されている。この外部端子配線5には、半導体装置に組み上げた後にプリント配線板等に実装するための外部端子(図示せず)が設定されている。このような外部端子配線5は、各内部端子配線2に対応するように複数形成されており、図示例では、5A、5Bの2組が示されている。本発明では、外部端子配線5の外部端子に半田ボールを設けてもよい。また、図2に示されるように、外部端子配線5に凸状の外部端子5aを一体的に設けてもよい。
【0011】
上記の内部端子配線2を構成する1層目の配線2a、2層目の配線2b、3層目の配線2cの材質、および、ビア部4a,4b,4cの材質は、銅、銀、金、クロム、ニッケル等の導電材料とすることができる。配線2a,2b,2cの厚みは、例えば、0.5〜10μmの範囲内で適宜設定することができる。また、ビア部4a,4b,4cの径は、100μm以下、好ましくは10〜50μmの範囲とし、各層におけるビア部4a,4b,4cの最小形成ピッチは、200μm以下、好ましくは50〜180μmの範囲とする。ビア部の径が100μmを超えたり、最小形成ピッチが200μmを超えると、半導体装置の小型化の効果が十分に得られない。
【0012】
上記の電気絶縁層3a,3b,3cの材質は、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、カルド樹脂、ポリイミド樹脂等の有機絶縁性材料、これらの有機材料とガラス繊維等を組み合わせたもの等の絶縁材料とすることができる。特に、例えば、2層目の配線2bがグランドであり、1層目の配線2aと3層目の配線2cが信号線である場合、2層目の電気絶縁層3bと3層目の電気絶縁層3cの材質は、ベンゾシクロブテン樹脂、カルド樹脂、ポリイミド樹脂のような誘電率、誘電正接が低い絶縁材料が好ましい。電気絶縁層3a,3b,3cの厚みは、例えば、1〜20μmの範囲内で適宜設定することができる。
また、外部端子配線5は、銅、ニッケル、金等の導電材料を用いて形成することができる。
このような多層配線基板1は、厚みが30〜150μm、好ましくは30〜100μmの範囲である。多層配線基板1の厚みが30μm未満であると、機械的強度が不十分であり、150μmを超えると、半導体装置の薄型化の効果が十分に得られない。
【0013】
上述のような本発明の多層配線基板1では、スルーホールを備えたコア基板が存在しないため、厚みが薄いものである。また、従来の多層配線基板では、反り発生を防止するために配線層をコア基板の両面に形成してバランス維持作用をなしていたが、本発明ではコア基板が存在しないので、配線形成を制限しなくても反りの発生が防止される。さらに、ビア部の形成密度を高くすることが可能であり、従来の多層配線基板に比べて半導体装置の更なる薄型化、小型化を可能とするものである。
本発明の多層配線基板は、上述の実施形態に示されるものに限定されるものではなく、内部端子配線の層構成を2層あるいは4層以上とすることができる。
【0014】
多層配線基板の製造方法
次に、本発明の多層配線基板の製造方法を図面を参照しながら説明する。
図3および図4は、図1に示される本発明の多層配線基板1を例とした製造方法の一実施形態を示す工程図である。
本発明の多層配線基板の製造方法では、まず、ベース基板11の一方の面11aに金属導電層15を形成する(図3(A))。ベース基板11は、XY方向(ベース基板11の表面11aに平行な平面)の熱膨張係数が2〜20ppm、好ましくは2.5〜17ppmの範囲内である材料、例えば、シリコン、ガラス、42合金(鉄ニッケル合金)等を使用することができる。ベース基板11の厚みは、例えば、100〜1000μm程度の範囲内で適宜設定することができる。また、金属導電層15は、後述する工程でパターニングされて外部端子配線となるものであり、銅、ニッケル、クロム等の材質とすることができる。この金属導電層15は、めっきにより形成することができ、また、スパッタリングとめっきの積層膜として形成することができ、厚みは、例えば、0.1〜50μm程度の範囲内で適宜設定することができる。
【0015】
次に、金属導電層15上に、半導体素子の搭載位置に対応した配置で複数の内部端子配線2を形成する(図3(B))。図示例では、2組の内部端子配線2A、2Bが示されている。この内部端子配線2の形成は、例えば、金属導電層15上に電気絶縁層3aを形成し、炭酸ガスレーザー、UV−YAGレーザー等を用いて金属導電層15の所望箇所が露出するように小径の穴部を電気絶縁層3aの所定位置に形成する。そして、洗浄後、穴部内および電気絶縁層3a上に無電解めっきにより導電層を形成し、この導電層上にドライフィルムレジストをラミネートして所望のパターン露光、現像を行うことによりレジストパターンを形成する。その後、このレジストパターンをマスクとして、上記の穴部を含む露出部に電解めっきにより導電材料を析出させてビア部4aと1層目の配線2aを形成し、レジストパターンと導電層を除去する。この操作を繰り返して複数のビルドアップ層を積層形成する。図示例では、上記の1層目の配線2a上に2層目の電気絶縁層3bを介しビア部4bにて所定の1層目配線2aに接続されるように2層目の配線2bを形成し、この2層目の配線2b上に3層目の電気絶縁層3cを介しビア部4cにて所定の2層目配線2bに接続されるように3層目の配線2cを形成して、3層構成の配線としている。
【0016】
次いで、ベース基板11を除去し、金属導電層15を露出させる(図4(A))。ベース基板11の除去は、研削装置による研磨等により行うことができる。次に、金属導電層15をパターンエッチングして、各内部端子配線2に対応するように複数の外部端子配線5を形成して、多層配線基板1を得る(図4(B))。図示例では、2組の内部端子配線2A、2Bに対応するように、2組の外部端子配線5A、5Bが示されている。金属導電層15のパターンエッチングは、公知の方法により行うことができる。
上述のような本発明の多層配線基板の製造方法では、金属導電層15が用いられ、この金属導電層15がベース基板11の除去後にパターニングされて外部端子配線5となり、この外部端子配線5と内部端子配線2は、金属導電層15上への内部端子配線2の形成工程で必要な導通がなされている。このため、従来の多層配線基板の製造方法で必要であったスルーホールの形成、スルーホール内導通の各工程が不要であり、工程が簡便なものとなる。
【0017】
尚、上述のように外部端子配線5に凸状の外部端子5aを一体的に設ける場合(図2参照)、図5に示されるように、外部端子配線の外部端子に対応するように凹部12を予めベース基板11の一方の面11aに形成し、この面に金属導電層15を形成する。これにより、図4(B)に鎖線で示したように、凸状の外部端子5aを一体的の備えた外部端子配線5を形成することができる。ベース基板11への凹部12の形成は、ウエットエッチング、サンドブラスト等により行うことができ、形成する凹部12の大きさは、例えば、開口径20〜500μm、深さ10〜250μm程度とすることができる。
本発明の多層配線基板の製造方法は、上述の実施形態に示されるものに限定されるものではなく、内部端子配線の層構成が2層あるいは4層以上の多層配線基板を製造する場合にも適用することができる。
【0018】
樹脂封止型半導体装置の製造方法
次に、本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法を図面を参照しながら説明する。
図6は、図1に示される本発明の多層配線基板1を用いた場合を例とした樹脂封止型半導体装置の製造方法の一実施形態を示す工程図である。
本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法では、まず、多層配線基板1の各内部端子配線2上に半導体素子22を搭載する(図6(A))。半導体素子22は、半田等の金属バンプ23を介して内部端子配線2の内部端子上に搭載することができる。図示例では、2組の内部端子配線2A、2Bにそれぞれ半導体素子22が搭載されている。
【0019】
次に、搭載した半導体素子22を封止部材24によって被覆して封止する(図6(B))。封止部材24としては、従来公知の封止部材を使用することができ、例えば、エポキシ樹脂にシリカ粉末を分散させた封止剤等を挙げることができる。
次いで、ダイジングを行って半導体素子22毎に多層配線基板1と封止部材24を所定位置で切断することにより、個々の半導体装置21を得る(図6(C))。
上述のような本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法では、スルーホールの形成、および、スルーホール内導通の各工程が不要であるため、工程が簡便であるとともに、得られる樹脂封止型半導体装置はコア基板が存在しないため薄型化が可能である。また、多層配線基板上にて同時に多面で半導体素子の搭載から樹脂封止まで行うので、高精度の樹脂封止型半導体装置の製造が可能である。
【0020】
図7および図8は、本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法の他の実施形態を示す工程図である。
本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法では、まず、ベース基板31の一方の面31aに金属導電層15′を形成する(図7(A))。ベース基板31は、XY方向(ベース基板31の表面31aに平行な平面)の熱膨張係数が2〜20ppm、好ましくは2.5〜17ppmの範囲内である材料、例えば、シリコン、ガラス、42合金(鉄ニッケル合金)等を使用することができる。ベース基板31の厚みは、例えば、100〜1000μm程度の範囲内で適宜設定することができる。また、金属導電層35′は、後述する工程でパターニングされて外部端子配線となるものであり、銅、ニッケル等の材質とすることができる。この金属導電層35′は、めっきにより形成することができ、また、スパッタリングとめっきの積層膜として等により形成することができ、の厚みは、例えば、0.1〜50μm程度の範囲内で適宜設定することができる。
【0021】
次に、金属導電層35′上に、半導体素子の搭載位置に対応した配置で複数の内部端子配線32を形成する(図7(B))。図示例では、2組の内部端子配線32A、32Bが示されている。この内部端子配線32の形成は、例えば、金属導電層35′上に電気絶縁層33aを形成し、炭酸ガスレーザー、UV−YAGレーザー等を用いて金属導電層35′の所望箇所が露出するように小径の穴部を電気絶縁層33aの所定位置に形成する。そして、洗浄後、穴部内および電気絶縁層33a上に無電解めっきにより導電層を形成し、この導電層上にドライフィルムレジストをラミネートして所望のパターン露光、現像を行うことによりレジストパターンを形成する。その後、このレジストパターンをマスクとして、上記の穴部を含む露出部に電解めっきにより導電材料を析出させてビア部34aと1層目の配線32aを形成し、レジストパターンと導電層を除去する。この操作を繰り返して複数のビルドアップ層を形成する。図示例では、上記の1層目の配線32a上に2層目の電気絶縁層33bを介しビア部34bにて所定の1層目配線32aに接続されるように2層目の配線32bを形成し、この2層目の配線32b上に3層目の電気絶縁層33cを介しビア部34cにて所定の2層目配線32bに接続されるように3層目の配線32cを形成して、3層構成の配線としている。
【0022】
次いで、上記のように形成した各内部端子配線32上に半導体素子42を搭載する(図7(C))。半導体素子42は、半田等の金属バンプ43を介して内部端子配線32の内部端子上に搭載することができる。図示例では、2組の内部端子配線32A、32Bにそれぞれ半導体素子42が搭載されている。
次に、搭載した半導体素子42を封止部材44によって被覆して封止する(図8(A))。封止部材44としては、従来公知の封止部材を使用することができ、例えば、エポキシ樹脂にシリカ粉末を分散させた封止剤等を挙げることができる。
次いで、ベース基板31を研磨して除去し、金属導電層35′を露出させる(図8(B))。ベース基板31の除去は、研削装置による研磨等により行うことができる。
【0023】
次に、金属導電層35′をパターンエッチングして、各内部端子配線32に対応するように複数の外部端子配線35を形成する(図8(C))。図示例では、2組の内部端子配線32A、32Bに対応するように、2組の外部端子配線35A、35Bが形成されている。金属導電層35′のパターンエッチングは、公知の方法により行うことができる。
次いで、ダイジングを行って半導体素子42毎に電気絶縁層33a,33b,33cと封止部材44を所定位置で切断することにより、個々の半導体装置を得ることができる。
【0024】
上述のような本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法では、ベース基板31は後工程で除去するので、スルーホールの形成、および、スルーホール内導通の各工程が不要であり、工程が簡便であるとともに、得られる樹脂封止型半導体装置はコア基板が存在しないため薄型化が可能である。また、ベース基板31上にて同時に多面で半導体素子の搭載から樹脂封止まで行うので、高精度の樹脂封止型半導体装置の製造が可能である。
本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、上述の実施形態に示されるものに限定されるものではなく、内部端子配線の層構成が2層あるいは4層以上であってもよく、また、1個の半導体装置に搭載される半導体素子数には制限はない。
【0025】
【実施例】
次に、具体的実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。
[実施例1]
ベース基板として、厚み300μmの42合金を準備し、このベース基板の一方の面に電解銅めっきにより厚み30μmの金属導電層を形成した。尚、使用した42合金のXY方向の熱膨張係数は8ppmであった。
次に、上記の金属導電層上にベンゾシクロブテン樹脂組成物(ダウ・ケミカル社製サイクロテン4024)をスピンコータにより塗布、乾燥して厚み10μmの電気絶縁層を形成した。
【0026】
次に、露光、現像を行って、金属導電層の所望箇所が露出するように小径の穴部(内径30μm)を電気絶縁層の所定位置に形成ピッチ80〜200μmの範囲で形成した。そして、洗浄後、穴部内および電気絶縁層上にスパッタリングにより銅とクロムからなる導電層を形成し、この導電層上にドライフィルムレジスト(旭化成(株)製APR)をラミネートした。次いで、1層目の配線形成用のフォトマスクを介し露光、現像して配線形成用のレジストパターンを形成した。このレジストパターンをマスクとして電解銅めっき(厚み5μm)を行い、その後、レジストパターンと導電層を除去した。これにより、電気絶縁層を介して1層目の配線を金属導電層上に形成した。上記のビア部の径は、30μmであり、ビア部の最小形成ピッチは80μmであった。
更に、同様の操作を行い、電気絶縁層を介して2層目の配線を1層目配線上に形成し、電気絶縁層を介して3層目の配線を2層目配線上に形成した。
これにより、3層配線構造である内部端子配線を、半導体素子の搭載位置に対応した配置(20mm×20mmの格子状の配置)で複数形成した。
【0027】
次に、ベース基板である42合金を研削装置により研磨して除去し、銅層である金属導電層を露出させた。次いで、露出させた金属導電層上に感光性レジスト(東京応化工業(株)製LA900)を塗布し、外部端子配線用のフォトマスクを介して露光、現像することによりレジストパターンを形成した。このレジストパターンをマスクとして塩化銅により金属導電層をエッチングし、その後、アセトンによりレジストパターンを除去して、各内部端子配線に対応するように複数の外部端子配線を形成した。
以上により、本発明の多層配線基板を得た。この多層配線基板の厚みは30μmであり、コア基板を備えた従来の多層配線基板の厚み(一般的に300〜1000μm)に比べて、厚みが大幅に低減されたものであった。
【0028】
次に、上記の多層配線基板を用いて樹脂封止型半導体装置を製造した。すなわち、まず、多層配線基板の各内部端子配線の内部端子上に、半田バンプを介して半導体素子(10mm×10mm、厚み0.2mm)を搭載した。
次に、搭載した半導体素子を被覆するようにエポキシ系封止剤により封止した。封止部材の厚みは0.3mmとした。次いで、ダイジングを行って半導体素子毎に多層配線基板と封止部材を所定位置で切断することにより、個々の樹脂封止型半導体装置を得た。
このようにして作製された樹脂封止型半導体装置の大きさは、20mm×20mm、厚み0.33mmであった。
【0029】
[実施例2]
ベース基板として、厚み200μmの42合金を準備し、このベース基板の一方の面に感光性レジスト(東京応化工業(株)製LA900)を塗布し、外部端子のフォトマスクを介して露光、現像することによりレジストパターンを形成した。このレジストパターンをマスクとして塩化鉄によりベース基板をエッチングして、開口径100μm、深さ30μmの凹部(外部端子形成用)を形成した。尚、使用した42合金のXY方向の熱膨張係数は8ppmであった。
次に、凹部が形成されたベース基板上に感光性レジスト(東京応化工業(株)製LA900)を塗布し、外部端子配線用のフォトマスクを介して露光、現像することによりレジストパターンを形成した。このレジストパターンをマスクとして電解ニッケルめっき(厚み1μm)、電解金めっき(厚み0.3μm)、電解ニッケルめっき(厚み1μm)、電解銅めっき(厚み5μm)を順次施して金属導電層を形成した。その後、銅粒子を含有する導電性ペーストを凹部に充填した。
【0030】
次に、上記の金属導電層上に、実施例1と同様にして、3層配線構造である内部端子配線を、半導体素子の搭載位置に対応した配置(10mm×10mmの格子状の配置)で、かつ、上記の外部端子形成用の凹部に対応した配置で複数形成した。また、この内部端子配線におけるビア部の径は、30μmであり、ビア部の最小形成ピッチは90μmであった。
次いで、金属導電層上に形成した各内部端子配線の内部端子上に、半田バンプを介して半導体素子(10mm×10mm、厚み0.2mm)を搭載した。その後、搭載した半導体素子を被覆するようにエポキシ系封止剤により封止した。封止部材の厚みは0.3mmとした。
【0031】
次に、ベース基板である42合金を塩化鉄によるエッチングにより研磨して除去し、銅層である金属導電層を露出させた。このように露出させた金属導電層の表面には、上記の外部端子形成用の凹部に対応した凸部(高さ30μm)が存在し、同時に外部端子配線も形成されていた。
次いで、ダイジングを行って半導体素子毎に多層配線基板と封止部材を所定位置で切断することにより、個々の樹脂封止型半導体装置を得た。
このようにして作製された樹脂封止型半導体装置の大きさは、20mm×20mm、厚み0.33mmであった。
【0032】
[比較例]
多層配線基板として、厚み75μmのポリイミド樹脂フィルムをベースとした両面配線基板を準備した。この両面配線基板上に、実施例と同様にして半導体素子を搭載し、樹脂封止、ダイジングを行って樹脂封止型半導体装置を得た。
しかし、上記の樹脂封止型半導体装置の作製では、フィルム配線基板上への半導体素子搭載の作業性が悪いものであった。
また、作製された半導体装置の大きさは、40mm×40mm、厚み0.375mmであり、厚みは実施例で作製した樹脂封止型半導体装置と同じ程度であった。しかし、両面配線基板の配線密度が低い(L/S=30μm/30μm)ことに起因して、樹脂封止型半導体装置の面積は大きいものであった。
【0033】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の多層配線基板は、スルーホールを備えたコア基板が存在しない構成であり、コア基板を備えた従来の多層配線基板と異なり、配線積層数の影響による反りの発生がなく、厚みが薄く、また、ビア部の形成密度を高くすることが可能であり、小型で薄い樹脂封止型半導体装置の製造が可能である。また、上記の多層配線基板の製造方法では、金属導電層が用いられ、この金属導電層がベース基板除去後にパターニングされて外部端子配線となるので、スルーホールの形成、スルーホール内導通の各工程が不要であり、工程が簡便なものとなる。さらに、本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法では、スルーホールの形成、スルーホール内導通の各工程が不要であるため、工程が簡便であるとともに、コア基板が存在しない薄型の樹脂封止型半導体装置の製造が可能であり、また、多層配線基板(ベース基板)上にて同時に多面で半導体素子の搭載から樹脂封止まで行えるので、高精度の樹脂封止型半導体装置の製造が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の多層配線基板の一実施形態を示す部分縦断面図である。
【図2】本発明の多層配線基板の他の実施形態を示す部分縦断面図である。
【図3】本発明の多層配線基板の製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図4】本発明の多層配線基板の製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図5】本発明の多層配線基板の製造方法の他の実施形態を説明するための図である。
【図6】本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図7】本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法の他の実施形態を示す工程図である。
【図8】本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法の他の実施形態を示す工程図である。
【符号の説明】
1…多層配線基板
2,2A,2B…内部端子配線
2a,2b,2c…配線
3a,3b,3c…電気絶縁層
4a,4b,4c…ビア部
5,5A,5B…外部端子配線
5a…外部端子
11…ベース基板
12…凹部
15…金属導電層
21…樹脂封止型半導体装置
22…半導体素子
24…封止部材
31…ベース基板
35′…金属導電層
32,32A,32B…内部端子配線
32a,32b,32c…配線
33a,33b,33c…電気絶縁層
34a,34b,34c…ビア部
35,35A,35B…外部端子配線
42…半導体素子
44…封止部材
Claims (11)
- ベース基板の一方の面に金属導電層を形成する工程と、
該金属導電層上に電気絶縁層を介し該電気絶縁層に形成されたビア部で必要な導通がとられた1層以上の配線を設けることにより、半導体素子の搭載位置に対応した配置で複数の内部端子配線を形成する工程と、
前記ベース基板を除去し、前記金属導電層を露出させる工程と、
前記金属導電層をパターンエッチングして各内部端子配線に対応するように複数の外部端子配線を形成する工程と、を有することを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 前記ベース基板の一方の面に、外部端子配線の外部端子に対応するように予め凹部を形成し、該凹部を形成した面に金属導電層を形成することを特徴とする請求項1に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記ベース基板は、XY方向の熱膨張係数が2〜20ppmの範囲内であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記ベース基板は、シリコン、ガラス、42合金のいずれかであることを特徴とする請求項3に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記金属導電層は、銅であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の多層配線基板の製造方法。
- ベース基板の一方の面に金属導電層を形成する工程と、
該金属導電層上に電気絶縁層を介し該電気絶縁層に形成されたビア部で必要な導通がとられた1層以上の配線を設けることにより、半導体素子の搭載位置に対応した配置で複数の内部端子配線を形成する工程と、
前記ベース基板を除去し、前記金属導電層を露出させる工程と、
前記金属導電層をパターンエッチングして各内部端子配線に対応するように複数の外部端子配線を形成して多層配線基板とする工程と、
前記多層配線基板の内部端子配線上に半導体素子を搭載する工程と、
前記半導体素子を樹脂封止する工程と、
多層配線基板および封止樹脂を切断分離して個々の樹脂封止型半導体装置を得る工程と、を有することを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。 - ベース基板の一方の面に金属導電層を形成する工程と、
該金属導電層上に電気絶縁層を介し該電気絶縁層に形成されたビア部で必要な導通がとられた1層以上の配線を設けることにより、半導体素子の搭載位置に対応した配置で複数の内部端子配線を形成する工程と、
各内部端子配線上に半導体素子を搭載し、その後、前記半導体素子を樹脂封止する工程と、
前記ベース基板を除去し、前記金属導電層を露出させる工程と、
前記金属導電層をパターンエッチングして各内部端子配線に対応するように複数の外部端子配線を形成する工程と、
電気絶縁層および封止樹脂を切断分離して個々の樹脂封止型半導体装置を得る工程と、を有することを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。 - 前記ベース基板の一方の面に、外部端子配線の外部端子に対応するように予め凹部を形成し、該凹部を形成した面に金属導電層を形成することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- 前記ベース基板は、XY方向の熱膨張係数が2〜20ppmの範囲内であることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- 前記ベース基板は、シリコン、ガラス、42合金のいずれかであることを特徴とする請求項9に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- 前記金属導電層は、銅であることを特徴とする請求項6乃至請求項10のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
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