JP4017265B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、成形前の被成形品が短冊状のリリースフィルムと共にローダーにより被成形品供給部よりプレス部に搬入され、成形後の成形品がアンローダーにより該プレス部より搬出されてリリースフィルム及び不要樹脂が除去された成形品のみが成形品収容部に収容される樹脂封止装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、樹脂封止装置としてトランスファモールド装置等の自動モールド装置が使用されている。この自動モールド装置は、短冊状のリードフレーム等の被成形品を被成形品供給部よりローダーによりモールド金型へ搬入してクランプして樹脂封止を行い、成形品をアンローダーによりモールド金型より搬出して成形品と不要樹脂とを分離して該成形品のみを成形品収容部へ収納するようになっている。
【0003】
また、本件出願人は、先にモールド金型のパーティング面をリリースフィルムで被覆して樹脂封止する樹脂封止装置を提案した(特開平8−142105号、特開平8−142106号、特開平9−57785号等)。これらの樹脂封止装置は、モールド金型の固定プラテン及び/又は可動プラテンのキャビティを含むパーティング面を通過する長尺状のリリースフィルムにより被覆して樹脂封止するものである。これにより、封止樹脂をモールド金型に接触することなく樹脂封止することを可能とし、離型用のエジェクタピンを省略して金型の構造を簡略化できると共に成形品の離型を容易にすることができる等の作用効果が得られる。また、樹脂封止用に用いられる封止樹脂として、一般に用いられる樹脂タブレットの他に、顆粒状樹脂、液状樹脂等を使用することが可能となった。
【0004】
また、リリースフィルムとしては、モールド金型より剥離し易くしかも耐熱性を有する長尺状のフィルムが用いられ、例えばFEPシートフィルム、PETシートフィルム、ポリ塩化ビリニジン、フッ素含浸ガラスクロスフィルム等が好適に用いられる。このリリースフィルムは、繰り出し側に供給リールにロール状に巻き取られており、樹脂封止が行われる度に順次定寸送りされて使用済みのリリースフィルムは回収リールに巻き取られたり、或いは収納箱に収納されるようになっている。
【0005】
上記リリースフィルムを用いた樹脂封止装置の一例について、特開平9−57785号を参照して説明する。図21において、プレス部Aで指定回数の樹脂モールド作業を行う毎に、固定プラテン101及び可動プラテン102に装備された上型103及び下型104の各パーティング面上にリリースフィルム105を供給部Bより供給して回収部Cに回収するようになっている。具体的には、供給部Bに備えた供給リール106より繰り出されたリリースフィルム105は、上型103及び下型104のパーティング面を経て回収リール107に巻き取られる。リリースフィルム105は、上型103及び下型104のパーティング面に形成された吸着穴により各々吸着保持されて被成形品をクランプするようになっている。そして、樹脂成形後に型開きを行った状態で、成形品が搬出された後で吸着を解除してリリースフィルム105を定寸送りするようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、長尺状のリリースフィルム105を用いた樹脂封止装置においては、以下に述べる課題があった。即ち、リリースフィルム105は、十分な耐久性や耐熱性を有するが、樹脂封止動作を何ショットも繰り返すうちに万一破れた場合には、封止樹脂がモールド金型上に漏れ出してバリを生ずる。特に長尺状に連続するフィルムにおいては、モールド金型を跨いで張設されているためバリをクリーニングするには、供給リール106や回収リール107を取り外す必要があるため、メンテナンスに手間がかかるうえに、加熱されたモールド金型間に手を差し入れてリリースフィルム105の交換作業をするのは危険を伴う。
また、樹脂封止装置始動時に、リリースフィルム105をセットする作業も手間取る上に、該リリースフィルム105の先端部分や終端部分、及び樹脂封止部分どうしの間にはどうしても無駄になるフィルム部分が生じやすく歩留りを考慮すると無駄が生ずる。
また、特願平9−93810号などで本件出願人が提案した樹脂封止装置からプレス機能のみを有するプレス部などを基本ユニットに対して着脱可能なモジュールタイプの樹脂封止装置においては、被成形品の搬入搬出動作を考慮すると、長尺状のリリースフィルム105をモールド金型を跨いで張設するのはセットし難いという実情もあった。
【0007】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、リリースフィルムのセットや回収を効率的に行うことでメンテナンスやクリーニングを効率的に行え、しかもリリースフィルムの無駄な使用を無くした樹脂封止装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
被成形品をクランプすると共に短冊状のリリースフィルムをパーティング面に密着させて支持するモールド金型を有するプレス部と、前記被成形品を被成形品供給部より前記プレス部へ搬入するため、該プレス部に対して該被成形品を保持して進退移動可能な被成形品搬入手段と、前記プレス部において前記モールド金型のうち少なくとも樹脂成形部を含むパーティング面を覆う前記短冊状のリリースフィルムを供給するリリースフィルム供給機構と、成形後の成形品を前記プレス部より成形品収容部へ搬出するため、該プレス部に対して該成形品を保持して進退移動可能な成形品搬出手段と、前記プレス部より搬出された前記成形品より前記短冊状のリリースフィルムを除去するリリースフィルム除去機構を具備し、前記リリースフィルム供給機構は、予め短冊状に切断されたリリースフィルムを被成形品搬入手段へ供給し該被成形品搬入手段はリリースフィルムを吸着保持したまま被成形品と共に前記プレス部に搬入してモールド金型に受け渡し、リリースフィルム除去機構は、成形品搬出手段によりリリースフィルムに覆われた成形品がプレス部から搬出されると当該成形品からリリースフィルムを剥離させ、成形品は不要樹脂と分離して回収されることを特徴とする。
【0009】
また、プレス部は、短冊状のリリースフィルムをモールド金型のパーティング面に形成された吸引穴により吸着して保持することを特徴とする。
また、リリースフィルムの周囲が枠体に挟持された当該枠体がモールド金型に搬入されるとリリースフィルムが金型面に密着し、金型に突設された回動ピンが枠体に設けられた位置決め孔に嵌合して当該回動ピンを回転させることで枠体が保持されることを特徴とする。
また、リリースフィルム除去機構は、成形品搬出手段によりプレス部より成形品と共に搬出される際に、リリースフィルムの先端側を吸着して該成形品より剥離して除去されることを特徴とする。
また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は、装置本体に互いに重なり合うよう配設され、各々個別に備えた駆動源により移動可能になっていることを特徴とする。
また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は、リリースフィルム供給機構とリリースフィルム除去機構との間に移動可能に配設されていることを特徴とする。
また、リリースフィルム供給機構及びリリースフィルム除去機構は、プレス部を挟む両側に対向して配置されていることを特徴とする。
また、プレス部は、上型に対して下型が上下動可能に装備されており、被成形品搬入手段は、上動した下型上に成形前の被成形品を移載すると共に上型に対して短冊状のリリースフィルムを受け渡し、成形品搬出手段は型開きした下型上へ下動することにより成形後の成形品及び短冊状のリリースフィルムを回収することを特徴とする。
また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段には、プレス部に進退移動する際に上下金型を各々クリーニングするクリーナーと、クリーニングされた塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する吸引ダクトとを各々備えたことを特徴とする。
また、被成形品供給部、プレス部及び成形品収容部は各々ユニット化されており、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも1つのユニットが着脱可能に装備されていることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の態様を添付図面に基づいて詳細に説明する。
本実施例は、プレス装置の一例として半導体装置製造に用いるトランスファーモールドによる樹脂封止装置を用い、下型にプランジャを設置したロアープランジャ方式によるもので、マルチポットタイプのモールド金型を使用する、ロアーマルチプランジャ方式を採用した樹脂封止装置を用いて説明する。
【0011】
図1(a)〜(c)は上型のパーティング面に対するリリースフィルムの張設状態を示す説明図、図2はモールド金型の断面説明図、図3はローダー及びアンローダーの説明図、図4(a)〜(c)はリリースフィルム供給機構のフィルム供給動作の説明図、図5(a)〜(c)はリリースフィルムを張設する枠体の説明図、図6(a)〜(c)は他例に係るリリースフィルムを張設する枠体の説明図、図7(a)〜(f)は図6の枠体に張設されたリリースフィルムを枠体ごと上型に保持させる構成を示す説明図、図8は他のリリースフィルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明図、図9は図8のローダー及びアンローダーの右側面図、図10は他例に係るリリースフィルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明図、図11は他例に係るリリースフィルム供給機構の説明図、図12(a)(b)及び図13(a)(b)はリリースフィルム除去機構による成形品よりリリースフィルムの除去動作を示す側面及び正面説明図、図14は第1実施例に係る樹脂封止装置の平面図、図15は図14の樹脂封止装置の右側面図、図16及び図17は第2実施例に係る樹脂封止装置の平面図、図18は第2実施例に係る樹脂封止装置の正面図、図19は第3実施例に係る樹脂封止装置の平面図、図20は第3実施例に係る樹脂封止装置の正面図である。
【0012】
〔第1実施例〕
(全体構成)
先ず、図14を参照して樹脂封止装置の概略構成について説明する。
1は装置本体としての基本ユニットであり、プレス機能のみを装備した2台のプレス部2を着脱自在に装備している。このように、本実施例で用いる樹脂封止装置は、プレス部2が着脱自在なモジュールタイプの樹脂封止装置について説明する。尚、プレス部2は基本ユニット1の占有エリア内に位置しているので、プレス部2を着脱しても装置本体の占有エリアが変化することはない。また、プレス部2は複数台装備する場合に限らず単数装備されていても良い。
【0013】
基本ユニット1は、単数又は複数の被成形品(リードフレーム42及び樹脂タブレット4b)を供給可能に収容するリードフレーム供給部3及び樹脂供給部4と、樹脂封止後のリードフレームを収容するリードフレーム収容部5を装備している。また、基本ユニット1にはリードフレーム供給部3及び樹脂供給部4より供給されたリードフレーム42及び樹脂タブレット4bをプレス部2へ搬入するための被成形品搬入手段としてのローダー6と、樹脂封止後のリードフレームをプレス部2よりリードフレーム収容ユニット5へ搬出する成形品搬出手段としてのアンローダ7を装備している。ローダー6はアンローダー7の上に重なり合うように配設されている。各々個別に備えた駆動源により回動位置Oを中心に各々回動してプレス部2に対向する進退位置Pまで移動路9を移動可能になっている。
【0014】
また、ローダー6及びアンローダー7は、リリースフィルム供給機構11とリリースフィルム除去機構12との間に移動可能に配設されている。このリリースフィルム供給機構11は、プレス部2においてモールド金型のうち少なくとも樹脂成形部を含むパーティング面を覆う短冊状のリリースフィルム32をローダー6により供給する。また、リリースフィルム除去機構12は、プレス部2よりアンローダー7により搬出される成形品より短冊状のリリースフィルム32を剥離して除去する。
【0015】
ローダー6は、リードフレーム供給部3より回転テーブル3bを備えたフレーム整列部3aへ供給されたリードフレームを受け渡され、次いでリリースフィルム供給機構11より供給された短冊状のリリースフィルム32を吸着保持して90°回転した後、樹脂供給部4よりカセット4aに供給された樹脂タブレット4bをそのカセット4aより受け渡されて、更に90°回転してこれらを型開きしたいずれか一方のプレス部2へ搬入する。また、アンローダー7は、成形品をプレス部2より回収し搬出する際にリリースフィルム除去機構12によりリリースフィルム32が剥離され、成形品をディゲート部8へ搬出する。
【0016】
尚、リードフレーム供給部3やリードフレーム収容ユニット5は、基本ユニット1の基台上に角ロッド等により支持されたベースプレート(図示せず)上に設けられている。樹脂封止前のリードフレームを収容した供給マガジンや樹脂封止後のリードフレームを収容した収容マガジンは、ベースプレート上より取り出されて補充されたり、成形品が取り出されたりする。また、樹脂供給部4は、ベースプレートより下方の基台上に装備されており、カセット4aはこの基台上の供給位置と上部の受け渡し位置とを往復移動している。
【0017】
基本ユニット1の上記ローダー6及びアンローダー7の移動路9の両側には、装置基台の一部にプレス着脱部10が設けられており、該プレス着脱部10にはプレス部2が着脱自在に装着される。
また、基本ユニット1には図示しない操作部が設けられており、樹脂封止動作の開始や動作モードを選択操作する。また、図示しない制御部は操作部より入力された指令に基づき、基本ユニット1に装備された各部の動作を制御する。
【0018】
リードフレーム供給部3及び樹脂供給部4より供給されたリードフレーム42、樹脂タブレット4b、及びリリースフィルム供給機構11より供給されたリリースフィルム32はローダー6に保持されて、各プレス部2に搬入されモールド金型1にクランプされて樹脂封止が行われる。
樹脂封止後の成形品は、リリースフィルム32と共にアンローダー7に保持されてディゲート部8へ搬出される際にリリースフィルム32のみが除去された後、ゲートブレイクが行われて不要樹脂が分離され、成形品のみリードフレーム収容部5へ移送されて収容される。
【0019】
(プレス部の構成)
次に、プレス部2の概略構成について、図14及び図15を参照して説明する。図15において、プレスベースと下型14を支持する可動プラテンとの間を図示しない昇降機構により連繋し、該昇降機構を電動モータ(サーボモータ)や油圧機構(図示せず)等を作動させることによって可動プラテンに支持された下型14を昇降させて、上固定プラテンに固定された上型13との型開閉が行われる。また、下型14にはポットに供給された樹脂をキャビティへ圧送すべくプランジャを上下動させるトランスファ駆動機構(図示せず)が装備されている。トランスファ駆動機構は電動モータや油圧機構などにより駆動される。プレス部2にも固有の操作部や制御部が装備されており、プレス動作を制御可能に構成されている。
【0020】
また、プレス着脱部10には、図14及び図15に示すように、プレス部2の底部を支持して着脱するため、該プレス部2の着脱方向に沿って複数のローラー10aがユニット支持面10dに回動可能に設けられている。また、プレス着脱部10のプレス部2の装着方向奥側には突き当て部10bが形成されている。また、ユニット支持面10dの長手方向両側には、プレス部2の幅方向をガイドするためのガイドレール10cが設けられている。プレス着脱部10の設置面より下型14の加工面(パーティング面)までの距離は、金型の品種が変わっても一義的に決まるように設定されている。
【0021】
尚、プレス着脱部10に設けられたローラー10aは、該ローラー10aの変形や摩耗等を考慮すると、プレス部2の底部を着脱時支持する位置からプレス着脱部10aの内部に退避するように構成しても良い。この場合には、プレス着脱部10のユニット支持面(平面)10dによりプレス部2を支持するので、着脱を繰り返しても高さ出しの精度が変動することがない。また、ローラー10aの代わりに枠体に金属ボールが回転自在に取り付けられたボールベアリングを用いたり、ユニット支持面(平面)10dを鏡面状にして滑り易くしても良い。プレス着脱部10に装着されたプレス部2は、先端に螺合部を形成された位置決めピン10eにより位置決め固定される。また、プレス部2の着脱作業は、予め専用の治具により平面位置及び高さ出しが行われた後、専用の移動台車Kなどにより運搬されてプレス着脱部10に移載される(図14参照)。
【0022】
(被成形品搬入手段及び成形品搬出手段の構成)
次に、ローダー6及びアンローダー7の構成について、図3を参照して具体的に説明する。図3において、ローダー6及びアンローダー7は上下に配設されており、同一平面に沿って移動可能に装備されている。このように、ローダー6及びアンローダー7を近接して対向配置することで、装置本体の占有面積を可能な限り少なくすることができる。また、ローダー6及びアンローダー7には、回動モータ(電動モータ)15,16が個別に装備されている。この回動モータ15,16のモータギヤと回動軸17,18に同軸状に設けられたプーリギヤ19,20との間にタイミングベルト(図示せず)が掛け渡されており、回動モータ15,16を駆動することにより、ローダー6及びアンローダー7は、回動軸17,18を中心にそれぞれ回動される。回動軸17,18の内部には、ローダー6及びアンローダー7の駆動部分への配線用のカールケーブル17a,18aがそれぞれ配設されている。
【0023】
図3において、ローダー6及びアンローダー7は、回動軸17,18を一体に支持する可動支持板55が、移動路9に設けられた取付台56の長手方向にガイドレール57に沿って往復移動可能になっている。また、ガイドレール57と平行に設けられたボールネジ58には、可動支持板55の一部に設けられたナット55aが螺合している。移動モータ59を起動すると、ボールネジ58が回転し、可動支持板55がガイドレール57に沿って移動する。尚、図3には主としてアンローダー7側の移動構成について図示し、ローダー6側の移動構成の詳細は省略した。これによって、ローダー6及びアンローダー7は、図14に示す回動位置Oとプレス部2に対応する進退位置Pとの間を往復移動するように構成されている。
【0024】
また、図3において、ローダー6及びアンローダー7は、型開きしたプレス部2に対して被成形品及びリリースフィルム32を保持して進退移動可能な搬入移動体21及び成形品及びリリースフィルム32を保持して進退移動可能な搬出移動体22をそれぞれ装備している。以下、この搬入移動体21及び搬出移動体22の具体的な構成について説明する。
【0025】
先ず、ローダー6に装備された搬入移動体21の概略構成について説明する。搬入移動体21は、リードフレーム42や樹脂タブレット4bを保持するチャックハンド23、上型13のパーティング面をクリーニングするための上クリーナー24、該上クリーナー24により掻き落とされた不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口25及びこれに接続する吸引ダクト(図示せず)などを可動フレーム26に装備している。この吸引ダクトは可動フレーム26の周囲に沿って配設されており、ローダー6の回転軸17付近に設けられた回転ダクト43に接続されている。
【0026】
上クリーナー24は搬入移動体21がモールド金型内に進入するときのみ、上型13側へ突出するように図示しないシリンダ駆動によりパーティング面に接離動するようになっている。また、チャックハンド23は、成形前のリードフレーム42及び樹脂タブレット4bを保持してモールド金型へ搬送する。また、可動フレーム26は、後述するリリースフィルム供給装置より供給される短冊状のリリースフィルム32を上面に吸着保持してモールド金型へ搬送する。
【0027】
次に、アンローダー7に装備された搬出移動体22の構成について説明する。搬出移動体22は、成形品及びリリースフィルム32を保持するチャックハンド27、下型14のパーティング面をクリーニングするための下クリーナー28、該下クリーナー28により掻き出された不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口29及びこれに接続する吸引ダクト(図示せず)などを可動フレーム30に装備されている。この吸引ダクトは可動フレーム30の周囲に沿って配設されており、回転ダクト44に接続されている。
【0028】
吸引口29は、下クリーナー28とは別個に、該下クリーナー28より退避方向後側に形成されている。これは、下クリーナー28は、搬出移動体22がプレス部2より退避する際に下型14のクリーニングを行うため、下クリーナー28の退避方向後側に配設されているのが望ましいからである。また、チャックハンド27は、進退移動時の下型14や成形品との干渉を回避するため、ハンドベースシリンダ31により下型14のパーティング面に対して接離動可能に構成されている。
【0029】
成形後のリードフレーム及びリリースフィルム32を保持して搬出するチャックハンド27は、該リリースフィルム32の脱落を有効に防止するため、リードフレームやリリースフィルム32の端部を挟持するタイプのハンドが好ましい。例えば、本件出願人が提案した特開平10−92850号公報に示すようにリードフレームの一端近傍を挟圧して片持ち状にチャックするロータリーチャックやリードフレームの端部に爪を係止させて挟圧する開閉式のチャックなどが好適に用いられる。これによってチャックハンド27の先端の爪部分を下型14より離型した成形品に確実に潜り込ませて成形品の回収を確実に行うことができる。
【0030】
搬入移動体21及び搬出移動体22の進退動作について説明する。搬入移動体21及び搬出移動体22に各々設けられた進退用モータ(電動モータ)33,34に連繋するピニオンギヤ33a,34aは可動フレーム26,30に設けられたラック26a,30aとそれぞれ噛合している。進退用モータ33,34を正逆回転駆動することにより、可動フレーム26,30を進退位置Pとプレス部2との間を図示しない枠体に設けられたリニアガイドに沿って進退移動させる。搬入移動体21及び搬出移動体22は上下に配置されているので、可動フレーム26,30は型開きしたプレス部2に同時に進入させることも可能である。
【0031】
(リリースフィルム供給機構の構成)
次に、リリースフィルム供給機構11の構成について、図3乃至図5を参照して具体的に説明する。
図3において、短冊状のリリースフィルム32は、フィルム供給装置35よりローダー6に供給される。即ち、ローダー6がリードフレームをチャックするため回転テーブル3bを備えたフレーム整列部3aへ進入する際に、フィルム供給装置35の吸引穴35aより吸引されて吸着保持されたリリースフィルム32が可動フレーム26の上面に受け渡される。
図4(a)において、可動フレーム26にはパッド収容穴26bが形成されており、該パッド収容穴26b内には搬送用吸着パッド36が可動フレーム26の上面より進退可能に設けられている。この搬送用吸着パッド36には、吸引穴36aが形成されている。フィルム供給装置35は、短冊状のリリースフィルム32が積層された供給トレイ37より最上側のものより1枚ずつ吸着保持して、ローダー6の進退位置(図14の斜線部)に待機している。そして、ローダー6がリードフレームをチャックハンド23によりチャックすべくフレーム整列部3aへ進入すると、リリースフィルム32を吸着したフィルム供給装置35が下動して吸引穴35aによる吸着を解除し、同時に可動フレーム26の搬送用吸着パッド36の吸引穴36aによる吸引を開始してリリースフィルム32のローダー6への受け渡しが行われる。図4(a)において供給トレイ37に装備されるリリースフィルム32は図5に示すような枠体39に張設されたものでも良い。
尚、本実施例では、フィルム供給装置35はエア吸着方式を採用しているが、これに限定されるものではなく、機械的に圧着させる方式や挟持方式など様々な方式を採用し得る。
【0032】
次に、ローダー6に吸着保持されたリリースフィルム32の上型13への受渡し動作について説明する。図4(b)において、リードフレーム42及び樹脂タブレット4bと共にリリースフィルム32を吸着保持した搬入移動体21の可動フレーム26は、プレス部2の型開きしたモールド金型内に進入する。そして、図4(c)に示すように、搬送用吸着パッド36を図示しないシリンダ駆動によりスプリング37の弾性力に抗して可動フレーム26より上方に突出させてリリースフィルム32を吸着したまま上型13のパーティング面に押圧し、同時に上型13に形成された吸引穴13aより吸引動作を開始し、吸引穴36aによる吸着を解除してリリースフィルム32が上型13に受け渡される。
搬送用吸着パッド36は吸着動作を停止しシリンダ駆動を停止すると、スプリング38の弾性力により可動フレーム26のパッド収容穴26b内に強制的に退避するようになっている。
尚、リリースフィルム供給機構11は、フレーム整列部3aと回動位置Oとの間に設けたが、設置スペースが無い場合には、基本ユニット1の他のスペースに設けても良い。
【0033】
ここで、上型13のパーティング面に張設されるリリースフィルム32のサイズについて図1(a)〜(c)を参照して説明する。リリースフィルム32は、図1(a)に示すように、上型13と略同サイズのフィルムを使用したり、或いは図1(b)に示すように、上型13より四方がはみ出す大きさのものを用いても良い。図1(b)の場合、リリースフィルム32を上型13に張設する場合に、該リリースフィルム32を図5(a)〜(c)に示すような枠体39を用いて四辺を挟持することにより張設したものを上型13のパーティング面に吸着保持するようにしてもよい。枠体39のフィルム挟持面には四辺に渡って凹溝39a及び凸部39bが形成されており、リリースフィルム32を噛み込むことにより所定のテンションを付与するようになっている。尚、この場合には、枠体39ごとリリースフィルム32を上型13に搬入して保持させるための機構(図示せず)が必要となる。
また、図1(c)に示すように、リリースフィルム32は四辺のうち対向する一対の2辺側(図1(c)の左右方向)が対応する上型13の2辺よりはみ出すサイズのものを用いても良い。この場合には、リリースフィルム32をはみ出した長手方向両側より引っ張ることにより上型13のパーティング面に吸着保持させても良い。
【0034】
尚、上型13のパーティング面には、図1(a)〜(c)に示すように、吸引穴13aの他に、リードフレーム42を位置決めするための下型14に立設されたガイドピン14a(図2参照)が嵌まり込むガイドピン穴13fや、リリースフィルム32を上型13のパーティング面に吸着させるため、キャビティ13eの底部に設けられたキャビティ吸引穴13g、キャビティ13eの周囲に設けられたたるみ吸収溝13hなどが形成されている。また、リリースフィルム32は、図2に示すように、少なくとも上型13のカル13b、ランナ13c、ゲート13d及びキャビティ13eなどの樹脂成形部を覆うサイズのものが好ましいが、上型13のパーティング面に樹脂バリが生ずるおそれがなければ、キャビティ13eやランナ13c、ゲート13d部分のみを覆うサイズのもの(例えば、リードフレームと略同じサイズやBGA基板を収容するキャビティと略同一サイズのものなど)を用いても良い。また、リリースフィルム32は1枚ずつ上型13に吸着保持させていたが,複数枚重ね合わせたものを同時に吸着させても良い。また、図2において下型14にはポット14bが形成されており、該ポット14b内には樹脂タブレット4bが装填されている。この樹脂タブレット4bは、プランジャ61により押動されて、上型13に密着保持されたリリースフィルム32に覆われたランナ13c、ゲート13dを経てキャビティ13eに圧送されて半導体チップ62が樹脂封止される。
【0035】
また、リリースフィルム32を枠体39に張設して該枠体39ごとモールド金型へ搬入する場合、リリースフィルム32を上型13のパーティング面に必ずしも吸着保持しなくてもフィルムが密着できるようになっていれば良い。例えば、図6(a)〜(c)に示すように、枠体39に位置決め穴39cが形成されたものを用いて短冊状のリリースフィルム32を張設する。また、図7(d)〜(f)に示すように、上型13側にL字状の回動ピン60が回動可能に垂設されており、枠体39に設けられた位置決め穴39cに嵌合するようになっている。この回動ピン60は、図7(d)に示すように位置決め穴39cに嵌合すると、図7(f)に示すように例えば90°回転させることにより、図7(e)に示すようにリリースフィルム32が上型13のパーティング面に密着したまま枠体39を保持するようになっている。この場合の枠体39と上型13との位置関係を図7(a)〜(c)に示す。
本実施例の場合、モールド金型(上型13)には吸引穴は不要であるため、通常のモールド金型が使用可能となる。また、リリースフィルム32も、伸縮性に富む材質を用いた場合には、封止樹脂を注入すれば、型面に沿ってフィルムが伸びるため、エア吸引によりパーティング面に吸着させなくても、リリースフィルム32がランナ13c、ゲート13dやキャビティ13eに倣って凹面を形成するので好適である。
【0036】
(リリースフィルム除去機構の構成)
次に、リリースフィルム除去機構12の構成について図12及び図13を参照して説明する。40は送りローラ対であって、成形品の送り方向に沿って複数箇所に設けられている。この送りローラ対40は、一方側(例えば下側)のローラが図示しない駆動源より回転駆動され、他方側(例えば上側)は従動回転するようになっている。41は剥離用吸着パッドであり、内部に吸引ノズルが形成されている。この剥離用吸着パッド41は送りローラ対40より送り方向下流側であってリリースフィルム32の幅方向に複数箇所に、図示しないシリンダ駆動により上下動可能に設けられている。
【0037】
樹脂封止後に型開きしたモールド金型内にアンローダー7が進入して成形品をチャックハンド27によりチャックすると、ディゲート部8へ搬出される。このとき、成形品であるリードフレーム42及びリリースフィルム32は両側をチャックハンド27に挟持されたまま、送り方向に複数箇所に設けられた送りローラ対40に受け渡される。このとき、リードフレーム42の先端側に延出するリリースフィルム32を剥離用吸着パッド41により吸着されて上方に引き上げられることにより、リードフレーム42よりリリースフィム32が剥離されて除去される。リードフレーム42は送りローラ対40によりそのままディゲート部8に搬送される。
尚、リリースフィルム除去機構12は回動位置Oとディゲート部8との間(図14の斜線部)に設けたが、設置スペースが無い場合には、ゲートブレイクを行った後に剥離するようにしても良い。
【0038】
次に、ローダー6の被成形品搬入動作及びアンローダー7の成形品搬出動作について、図3、図12、図13及び図14を参照しながら説明する。先ずローダー6は、図14の回動位置Oにおいて、搬入移動体21から可動フレーム26を前進させ、フレーム整列部3aの回転テーブル3bに切り出されたリードフレームをチャックハンド23によりチャックする。このとき、ローダー6より前進した可動フレーム26の上面近傍に、リリースフィルム供給機構11に装備されたフィルム供給装置35が下動して、吸着された短冊状のリリースフィルム32が搬送用吸着パッド36に受け渡される。可動フレーム26は一旦後退させた後、回動モータ15を作動させてローダー6を90°回転させ、可動フレーム26を再び前進させてカセット4aより樹脂タブレット4bをチャックする。そして、可動フレーム26aを後退させて、時計回り若しくは反時計回りに90°回転させた後、図3に示す移動モータ59を作動させて、ローダー6をその回動軸17が回動位置Oより進退位置Pへ到達するまで移動路9を移動させる。回転軸17の回動位置Oから進退位置Pへの移動とローダー6の回動を複合的に行えば、マシンサイクルの短縮化ができる。
【0039】
図3において、進退用モータ33を駆動させて型開きしたプレス部2内に搬入移動体21は、可動フレーム26を進入させ、上動させた下型14上にチャックハンド23に保持したリードフレーム42や樹脂タブレット4bを移載する。このとき、可動フレーム26の上面に吸着保持したリリースフィルム32は、搬送用吸着パッド36を上動させることにより、上型13のパーティング面に形成された吸引穴13aにより吸引されて吸着される。また、可動フレーム26が型開きしたプレス部2に進入するとき、上クリーナー24を上型13のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を図示しない吸引ダクト内に吸引しながら進入する。よって、金型面をクリーンな状態に保ちながらリリースフィルム32を張設することができる。尚、可動フレーム26は、被成形品を搬入後プレス部2より退避するときには、上クリーナー24を上型13より退避させた状態で進退位置Pへ退避させる。
【0040】
また、樹脂封止後に型開きしたプレス部2より成形品を取り出す場合には、アンローダー7を図14に示す進退位置Pに移動させた状態で、図3に示すように搬出移動体22は、進退用モータ34を駆動させて型開きしたプレス部2内に可動フレーム30を進入させる。尚、可動フレーム30がプレス部2へ進入するときには、下クリーナー28を下型14より離間させた状態で進入する。
そして、ハンドベースシリンダ31を作動させてチャックハンド27を下型14上へ下動させて、リリースフィルム32に覆われた成形品をチャックして再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部2より進退位置Pまで退避させる。可動フレーム30は、プレス部2より退避するとき、下クリーナー28を下型14のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を図示しない吸引ダクト内に吸引しながら退避する。
【0041】
次に、図14において、移動モータ59(図3参照)を作動させてアンローダー7をその回動軸18が進退位置Pより回動位置Oへ到達するまで移動路9を移動させる。そして、必要に応じて図3に示す回動モータ16を起動してアンローダー7を180°回動させた後、進退用モータ34を駆動させて回動位置Pよりディゲート部8へ可動フレーム30を移動させてチャックハンド27にチャックされたリリースフィルム32に覆われた成形品がリリースフィルム除去機構12の送りローラ対40に受け渡される。図12及び図13に示すように、成形品は送りローラ対40にディゲート部8へ搬送される際に、リリースフィルム32が剥離用吸着パッド41に吸着されて剥離される。
【0042】
搬入移動体21及び搬出移動体22が可動フレーム26,30を進退させる動作のタイミングは、プレス部2へ可動フレーム30を進入させて樹脂封止が行われた成形品をリリースフィルム32と共にチャックして下型14のパーティング面をクリーニングしながら該プレス部2より退避するとき、次の被成形品を保持した可動フレーム26が上型13のパーティング面をクリーニングしながら進入する。即ち、可動フレーム26と可動フレーム30が入れ替わるように移動するのが好ましい。成形品をチャックした可動フレーム30をプレス部2より退避させると、下型14を上動させ、可動フレーム26のチャックハンド23を解放して、リードフレーム42及び樹脂タブレット4bを下型14のキャビティやポットにセットする。そして、可動フレーム26をプレス部2より退避させると、下型14が更に上動して上型13と型閉じして樹脂封止が行われる。
このように、型開きしたプレス部2へワークの搬入搬出動作を連繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を該搬入搬出動作と同時に行うことで、装置の合理化とサイクルタイムの短縮化を促進することができる。
【0043】
また、搬入移動体21による被成形品の搬入動作において、チャックハンド23の上下動を省略したのは、ローダー6自体の厚さを薄くして小型化できる他に、ローダー6とアンローダー7は上下に配設されているので、アンローダ7側の可動フレーム30がプレス部2より退避したとき、ワークを保持した可動フレーム26と下型14との間に距離があるため、チャックハンド23を下動させるより、型閉じ動作のため上動する下型14の動作を利用して被成形品の搬入動作を行うことで、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現できるからである。
【0044】
一方、搬出移動体22による成形品の搬出動作において、チャックハンド27の上下動を行うのは、下型14が最下点まで下動したときに、エジェクションロッド(図示せず)により成形品を突き上げて離型させるため、チャックハンド27により離型した成形品を取りに行かなければならないためである。また、エジェクションロッドによる成形品の突き上げは、可動プラテンの昇降動作を利用しているため、下型エジェクション専用の駆動源を省略できる。
しかしながら、成形品の離型動作が下型14が最下点へ下動したときのみに行われるため、エジェクションロッドを設ける位置が規制されてしまう。このため、下型エジェクション専用の駆動源を下型ベース部に設ければ、チャックハンド27の上下動は不要となり、また可動プラテンの位置によらずエジェクションロッドを突き上げて成形品を離型させることができるので、アンローダー7をローダー6の上側に配置することも可能となる。
【0045】
次に、ローダー6及びアンローダー7において、可動フレーム26,30に形成された吸引ダクトの回転軸17,18付近の配管構造について図3を参照して説明する。吸引口25,29より可動フレーム26,30の周囲に沿って形成された吸引ダクト(図示せず)は、回転軸17,18近傍に装備された回転ダクト43,44にそれぞれ接続されている。この回転ダクト43,44は、回動軸17,18と共に回動するので、可動フレーム26,30の吸引ダクトが回転軸17,18に絡みつくことはない。また、回転ダクト43,44にそれぞれ形成された回転吸引口(図示せず)は、ローダー6及びアンローダー7が回動した際に、可動ダクト45,46の可動吸引口(図示せず)と各々接続されて図示しない集塵機により吸引動作が行われる。
【0046】
(ディゲート部及び収容部の構成)
図14において、リリースフィルム32が除去された成形品はディゲート部8に搬送され、該ディゲート部8でゲートブレイクされてリードフレームと不要樹脂とが分離される。そして、不要樹脂を除去されたリードフレームのみが図示しない搬送手段によりリードフレーム収容部5へ搬送されて収容される。
ディゲート部8は、不要樹脂を分離させる際に樹脂が残留したり、リードフレームが変形したりしないよう、不要樹脂のいずれの部分においても剥離力が作用し、しかもゲートから徐々に剥離させるようにするのが望ましい。例えば、本件出願人が提案した特開平3−290218号に示すように、リードフレーム42を支持パレットに支持してゲート側より回動させる構成が好適に用いられる。
また、リードフレーム収容部5には、収容マガジンが装備されており、回収されたリードフレーム42は、1枚ずつ整列してマガジン内に収納される。この収容マガジンは、リードフレーム42が一杯になると次のマガジンに交換して使用される。
【0047】
上記構成によれば、短冊状のリリースフィルム32を金型のパーティング面に張設して樹脂封止を行えるので、モールド金型をクリーンな状態に維持することができ、しかもクリーニング動作が容易に行える。また、仮にリリースフィルム32が破れたとしても、短冊状のフィルムの除去は容易であり、新たにセットする場合にも自動供給可能であるため、メンテナンス作業も容易に行える。
また、樹脂封止後、成形品とリリースフィルム32を一緒に搬出するので、モールド金型に残存するバリ量が少なくなる。本実施例の場合、上型13にバリが生ずることなく下型14のみにバリが残るのみである。よって、モールド金型のクリーニング動作が容易になる。
また、短冊状のリリースフィルム32を用いることにより、必要なサイズに切断されたものを用いれば足りるので、長尺状のリリースフィルムに比べて無駄な使用量を無くして製造コストを削減できる。
また、ロール状に巻き取られた長尺状のリリースフィルムを使用する場合に比べて、樹脂封止装置内の設置面積を要さず半導体装置製造用のクリーンルームのスペースの有効利用が図れるため有意義であり、しかもフィルムを常時張設する必要がないため被成形品の搬入動作や成形品の搬出動作において複雑な制御動作が不要であるため、装置構成を簡略化することができる。
また、ローダー6及びアンローダー7は上下に配設され、しかもそれぞれ個別に移動可能に装備されているので、これらのプレス部2への搬入搬出動作を同時に行うことにより樹脂封止装置のサイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現できる。
【0048】
(リリースフィルム供給機構の他の構成)
次に、リリースフィルム供給機構11の他の構成について図8及び図9を参照して説明する。上記実施例では、フィルム供給装置35により供給トレイ37に予め切断して積層されたリリースフィルム32を吸着してローダー6に供給するように構成したが、これに限定されるものではなく、長尺状のリリースフィルム32をロール状に巻き取られたフィルムロール47を備えたフィルム供給切断装置48をローダー6の可動フレーム26の進退方向に移動可能に装備されていても良い。
【0049】
このフィルム供給切断装置48は、ローダー6の可動フレーム26の進退方向に移動可能に設けられている。フィルム供給切断装置48には、フィルムロール47の繰り出し端部47aを吸着して固定可能なエア吸引部を備えた、上下動可能な吸着保持部49、リリースフィルム32を切断するため上下動可能に装備された切断刃50を装備している。また、可動フレーム26の進退方向後端側及び先端側には、リリースフィルム32を吸着保持するエア吸引部を備えた搬送用吸着パッド51,52が各々設けられている。
【0050】
フィルム供給切断装置48は、図8の実線位置Rに待機している。予めフィルムロール47の繰り出し端部47aは吸着保持部49により吸着保持されており、また切断刃50は上方に待機している。可動フレーム26がフレーム整列部3aへ進入してリードフレームのチャックを行う際に、フィルム供給切断装置48は図8の二点鎖線位置Lへ移動して、吸着保持部49を下動して搬送用吸着パッド51に密着させる。そして吸着保持部49のエア吸引を停止して、搬送用吸着パッド51がエア吸引を開始してリリースフィルム32の繰り出し端部47aを固定する。そして、フィルム供給切断装置48は、二点鎖線位置Lから実線位置Rまで(左端から右端まで)移動する際にフィルムロール47よりリリースフィルム32が引き出される。
【0051】
次に、フィルム供給切断装置48が実線位置Rに移動すると、搬送用吸着パッド52によりリリースフィルム32を可動フレーム26の上面に吸着させる。そして、吸着保持部49により再びエア吸引を開始してリリースフィルム32を吸着させた後、該吸着部の近傍において切断刃50を一旦下動させてリリースフィルム32を短冊状に切断してから再び待機位置へ上動する。これによって、短冊状に切断されたリリースフィルム32をローダー6に吸着保持させることができる。尚、切断後のフィルムロール47の繰り出し端部47aは吸着保持部49により吸着保持されている。
【0052】
このように、リリースフィルム32を可動フレーム26の進退移動に伴ってロール状に巻き取られたフィルムロール47よりリリースフィルム32の先端を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム26に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにしても良い。
尚、フィルム供給切断装置48よりリリースフィルム32を供給切断するタイミングは、可動フレーム26がスライドするタイミングを狙って行えば良く、リードフレーム42のチャック動作時の他に樹脂タブレット4bのチャック動作時やプレス部2へ進入するタイミングなどに行っても良い。
【0053】
次に、リリースフィルム供給機構11の更に他の構成について図10及び図11を参照して説明する。図10において、フィルムロール47、該フィルムロール47の繰り出し端部47aを吸着する吸着保持部49及びリリースフィルム32を切断する切断刃50をローダー6の枠体内に予め固定されている。
【0054】
予めフィルムロール47の繰り出し端部47aは吸着保持部49により吸着保持されており、切断刃50は上方に待機している。可動フレーム26は、例えばリードフレーム42のチャックを行うため、フレーム整列部3aへ移動する際に、図10の右端から段階的に突出動作を行う。これにより、右先頭側の搬送用吸着パッド52は、繰り出し端部47aを吸着保持する吸着保持部49の付近まで移動する。該搬送用吸着パッド52は、図示しない駆動源により上動し、吸引動作を開始して繰り出し端部47aを吸着する。そして、吸着保持部49は吸引動作を停止する。
この状態で可動フレーム26が右端側へ移動することにより、フィルムロール47よりリリースフィルム32が引き出される。そして、可動フレーム26の移動が停止すると、搬送用吸着パッド51及び吸着保持部49がリリースフィルム32を吸着した後、該吸着部の近傍において切断刃50を一旦下動させてリリースフィルム32を短冊状に切断してから再び待機位置へ上動する。これによって、短冊状に切断されたリリースフィルム32をローダー6に吸着保持させることができる。尚、切断後のフィルムロール47の繰り出し端部47aは吸着保持部49により吸着保持されているので、リリースフィルム32が巻き出されたり巻き戻されたりすることはない。
【0055】
このように、リリースフィルム32を可動フレーム26の進退移動に伴ってロール状に巻き取られたフィルムロール47よりリリースフィルム32の先端を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム26に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにしても良い。
尚、リリースフィルム32を供給切断するタイミングは、可動フレーム26がスライドするタイミングを狙って行えば良く、リードフレーム42のチャック動作時の他に樹脂タブレット4bのチャック動作時やプレス部2へ進入するタイミングに行っても良い。
【0056】
また、図11において、フィルムロール47を可動フレーム26に設けられた上クリーナー24の移動方向手前側近傍に一体に設けておき、吸着保持部49及び切断刃50を有するフィルム切断装置53を可動フレーム26の進退方向に移動可能に装備していても良い。また、フィルムロール47の繰り出し側端部47aを吸着保持するための固定用吸着パッド54が可動フレーム26に設けられている。
【0057】
フィルム切断装置53は、図11の実線位置Rに待機している。予めフィルムロール47の繰り出し端部47aは固定用吸着パッド54により吸着保持されており、また吸着保持部49及び切断刃50は上方に待機している。可動フレーム26が、例えばフレーム整列部3aへ進入してリードフレームのチャックを行うためローダー6より移動すると、吸着保持部49の吸引を開始し固定用吸着パッド54の吸引を停止して、該吸着保持部49は繰り出し端部47aを吸着したまま上動する。そしてフィルム切断装置53は図11の二点鎖線位置Lへ移動することによりリリースフィルム32がフィルムロール47よりリリースフィルム32が引き出される。そして、吸着保持部49を下動して搬送用吸着パッド51に密着させる。そして、吸着保持部49のエア吸引を停止し、搬送用吸着パッド51がエア吸引を開始してリリースフィルム32の繰り出し端部47aを吸着する。また、搬送用吸着パッド52や固定用吸着パッド54によりリリースフィルム32を可動フレーム26の上面に吸着する。フィルム切断装置53は再び図11の実線位置Rへ移動し、固定用吸着パッド54による吸着部の近傍において切断刃50を一旦下動させてリリースフィルム32を短冊状に切断してから再び待機位置へ上動する。これによって、短冊状に切断されたリリースフィルム32をローダー6に吸着保持させることができる。
尚、切断後のフィルムロール47の繰り出し端部47aは固定用吸着パッド54により吸着保持されたまま保持される。
【0058】
このように、リリースフィルム32を可動フレーム26の進退移動に伴ってロール状に巻き取られたフィルムロール47よりリリースフィルム32の先端を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム26に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにしても良い。
尚、フィルム切断装置53よりリリースフィルム32を供給切断するタイミングは、可動フレーム26がスライドしたタイミングを狙って行えば良く、リードフレーム42のチャック動作時の他に樹脂タブレット4bのチャック動作時などに行っても良い。
【0059】
〔第2実施例〕
次に樹脂封止装置の他の実施例について図16〜図18を参照して説明する。図16〜図18において、樹脂封止装置は、プレス部2が装置本体に一体に組み込まれた一般に用いられているタイプの樹脂封止装置であっても良い。この樹脂封止装置では、ローダー6及びアンローダー7は該プレス部2の両側に各々対向して設けられている。また、フレーム整列部3aとプレス部2との間にはリリースフィルム供給機構11が装備されている。このリリースフィルム供給機構11としては、図18に示すように、フィルムロール47、吸着保持部49及び切断刃50を備え、ローダー6の進退方向に移動可能なフィルム供給切断装置48(図8参照)やローダー6にフィルムロール47、吸着保持部49及び切断刃50を固定しておくもの(図10参照)や、或いはフィルム切断装置53のみが可動となっているもの(図11参照)のいずれを適用することも可能である。
また、プレス部2とディゲート部8との間には、リリースフィルム除去機構12装備されている。このリリースフィルム除去機構12としては、図12及び図13に示すものが好適に用いられる。
【0060】
〔第3実施例〕
次に樹脂封止装置の更に他の実施例について図19及び図20を参照して説明する。図19及び図20において、樹脂封止装置は、第2実施例と同様にプレス部2が装置本体に一体に組み込まれた一般に用いられているタイプの樹脂封止装置であり、ローダー6及びアンローダー7は該プレス部2の両側に各々対向して設けられている。また、フレーム整列部3aとプレス部2との間にはリリースフィルム供給機構11が装備されている。このリリースフィルム供給機構11としては、図20に示すように、フィルム供給装置35が予め短冊状に切断されたリリースフィルム32を供給トレイ37より吸着してローダー6に供給するようになっている(図3参照)。
また、プレス部2とディゲート部8との間には、リリースフィルム除去機構12装備されている。このリリースフィルム除去機構12としては、図12及び図13に示すものが好適に用いられる。
【0061】
尚、本発明は上記各実施の態様に限定されるものではなく、樹脂封止装置はプレス部のみが着脱できるのみならず、被成形品の供給部や成形品の収容部などが基本ユニット1に対して着脱自在なモジュールタイプのものや、これらが一体となっているタイプのものまで様々なタイプの樹脂封止装置に適用できる。
また、樹脂封止装置は、片面モールド用の金型に限らず、両面モールド用の金型を装備していても良く、該モールド金型の種類に合わせて短冊状のリリースフィルムを上型又は下型のみに張設する場合に限らず、上型及び下型に各々供給するようにしても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【0062】
【発明の効果】
本発明は前述したように、短冊状のリリースフィルムを金型のパーティング面に張設して樹脂封止を行えるので、モールド金型をクリーンな状態に維持することができ、しかもクリーニング動作が容易に行える。また、仮にリリースフィルムが破れたとしても、短冊状のフィルムの除去は容易であり、新たにセットする場合にも自動供給可能であるため、メンテナンス作業も容易に行える。
また、樹脂封止後、成形品とリリースフィルムを一緒に搬出するので、モールド金型に残存するバリ量が少なくなる。
また、短冊状のリリースフィルムを用いることにより、必要なサイズに切断されたものを用いれば足りるので、長尺状のフィルムに比べて無駄な使用量を無くして製造コストを削減できる。
また、ロール状に巻き取られた長尺状フィルムを使用する場合に比べて、樹脂封止装置内の設置面積を要さず半導体装置製造用のクリーンルームのスペースの有効利用が図れるため有意義であり、しかもフィルムを常時張設する必要がないため被成形品の搬入動作や成形品の搬出動作において複雑な制御動作が不要であるため、装置構成を簡略化することができる。
また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は上下に配設され、それぞれ個別に移動可能に装備されているので、これらのプレス部への搬入搬出動作を同時に行うことにより樹脂封止装置のサイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】上型のパーティング面に対するリリースフィルムの張設状態を示す説明図である。
【図2】モールド金型の断面説明図である。
【図3】ローダー及びアンローダーの説明図である。
【図4】リリースフィルム供給機構のフィルム供給動作の説明図である。
【図5】リリースフィルムを張設する枠体の説明図である。
【図6】他例に係るリリースフィルムを張設する枠体の説明図である。
【図7】図6の枠体に張設されたリリースフィルムを枠体ごと上型に保持させる構成を示す説明図である。
【図8】他のリリースフィルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明図である。
【図9】図8のローダー及びアンローダーの右側面図である。
【図10】他例に係るリリースフィルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明図である。
【図11】他例に係るリリースフィルム供給機構の説明図である。
【図12】リリースフィルム除去機構による成形品よりリリースフィルムの除去動作を示す側面及び正面説明図である。
【図13】リリースフィルム除去機構による成形品よりリリースフィルムの除去動作を示す側面及び正面説明図である。
【図14】第1実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図15】図14の樹脂封止装置の右側面図である。
【図16】第2実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図17】第2実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図18】第2実施例に係る樹脂封止装置の正面図である。
【図19】第3実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図20】第3実施例に係る樹脂封止装置の正面図である。
【図21】従来のリリースフィルムを用いた樹脂封止装置の説明図である。
【符号の説明】
1 基本ユニット
2 プレス部
3 リードフレーム供給部
3a フレーム整列部
3b 回転テーブル
4 樹脂タブレット供給部
4a カセット
4b 樹脂タブレット
5 リードフレーム収容部
6 ローダー
7 アンローダー
8 ディゲート部
9 移動路
10 プレス着脱部
10a ローラー
10b 突き当て部
10c ガイドレール
10d ユニット支持面
11 リリースフィルム供給機構
12 リリースフィルム除去機構
13 上型
13a,35a,36a 吸引穴
13b カル
13c ランナ
13d ゲート
13e キャビティ
13f ガイドピン穴
13g キャビティ吸引穴
13h たるみ吸収溝
14 下型
14a ガイドピン
14b ポット
15,16 回動モータ
17,18 回動軸
17a,18a カールケーブル
19,20 プーリギヤ
21 搬入移動体
22 搬出移動体
23,27 チャックハンド
24 上クリーナー
25,29 吸引口
26,30 可動フレーム
26a,30a ラック
26b パッド収容穴
28 下クリーナー
31 ハンドベースシリンダ
32 リリースフィルム
33,34 進退用モータ
33a,34a ピニオンギヤ
35 フィルム供給装置
36,51,52 搬送用吸着パッド
37 供給トレイ
38 スプリング
39 枠体
39a 凹溝
39b 凸部
40 送りローラ対
41 剥離用吸着パッド
42 リードフレーム
43,44 回転ダクト
45,46 可動ダクト
47 フィルムロール
47a 繰り出し端部
48 フィルム供給切断装置
49 吸着保持部
50 切断刃
53 フィルム切断装置
54 固定用吸着パッド
55 可動支持板
55a ナット
56 取付板
57 ガイドレール
58 ボールネジ
59 移動モータ
60 回動ピン
61 プランジャ
62 半導体チップ
Claims (10)
- 被成形品をクランプすると共に短冊状のリリースフィルムをパーティング面に密着させて支持するモールド金型を有するプレス部と、
前記被成形品を被成形品供給部より前記プレス部へ搬入するため、該プレス部に対して該被成形品を保持して進退移動可能な被成形品搬入手段と、
前記プレス部において前記モールド金型のうち少なくとも樹脂成形部を含むパーティング面を覆う前記短冊状のリリースフィルムを供給するリリースフィルム供給機構と、
成形後の成形品を前記プレス部より成形品収容部へ搬出するため、該プレス部に対して該成形品を保持して進退移動可能な成形品搬出手段と、
前記プレス部より搬出された前記成形品より前記短冊状のリリースフィルムを除去するリリースフィルム除去機構を具備し、
前記リリースフィルム供給機構は、予め短冊状に切断されたリリースフィルムを被成形品搬入手段へ供給し該被成形品搬入手段はリリースフィルムを吸着保持したまま被成形品と共に前記プレス部に搬入してモールド金型に受け渡し、リリースフィルム除去機構は、成形品搬出手段によりリリースフィルムに覆われた成形品がプレス部から搬出されると当該成形品からリリースフィルムを剥離させ、成形品は不要樹脂と分離して回収されることを特徴とする樹脂封止装置。 - 前記プレス部は、前記短冊状のリリースフィルムを前記モールド金型のパーティング面に形成された吸引穴により吸着して保持することを特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
- リリースフィルムの周囲が枠体に挟持された当該枠体がモールド金型に搬入されるとリリースフィルムが金型面に密着し、金型に突設された回動ピンが枠体に設けられた位置決め孔に嵌合して当該回動ピンを回転させることで枠体が保持されることを特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
- 前記リリースフィルム除去機構は、前記成形品搬出手段により前記プレス部より前記成形品と共に搬出される際に、前記リリースフィルムの先端側を吸着して該成形品より剥離して除去されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の樹脂封止装置。
- 前記被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は、装置本体に互いに重なり合うよう配設され、各々個別に備えた駆動源により移動可能になっていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の樹脂封止装置。
- 前記被成形品搬入手段及び前記成形品搬出手段は、前記リリースフィルム供給機構と前記リリースフィルム除去機構との間に移動可能に配設されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の樹脂封止装置。
- 前記リリースフィルム供給機構及び前記リリースフィルム除去機構は、前記プレス部を挟む両側に対向して配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の樹脂封止装置。
- 前記プレス部は、上型に対して下型が上下動可能に装備されており、前記被成形品搬入手段は、上動した下型上に成形前の被成形品を移載すると共に上型に対して前記短冊状のリリースフィルムを受け渡し、前記成形品搬出手段は型開きした下型上へ下動することにより成形後の成形品及び前記短冊状のリリースフィルムを回収することを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1記載の樹脂封止装置。
- 前記被成形品搬入手段及び前記成形品搬出手段には、前記プレス部に進退移動する際に上下金型を各々クリーニングするクリーナーと、クリーニングされた塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する吸引ダクトとを各々備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項記載の樹脂封止装置。
- 前記被成形品供給部、前記プレス部及び前記成形品収容部は各々ユニット化されており、前記被成形品搬入手段及び前記成形品搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも1つのユニットが着脱可能に装備されていることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項記載の樹脂封止装置。
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