JP3992302B2 - 画像入出力装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、例えば光学顕微鏡で観察する標本画像を加算入力して処理画像を表示させるために使用される画像入出力装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に解像度にすぐれ、かつ明るさの大きな画像を光学的に取込むためには、開口の大きな光学素子を用いた結像光学系が必要である。ところが、レンズに代表される結像用光学素子は、一般に開口が大きくなると、焦点深度が浅くなる。しかるに、顕微鏡、カメラ、内視鏡等の画像機器を利用する分野においては、得られた画像が解像度や明るさにすぐれていることが望ましいのは無論であるが、同時に焦点深度が深い画像であることが強く要求される。
【0003】
光学顕微鏡による標本検査観察においては、段差のある標本、例えば半導体ウェハのパターン、凸凹のある生物標本、LCDパネル検査等、従来の焦点深度の浅いままの画像では観察画像にぼけ画像が混在し、検査過程に支障をきたす可能性がある。特に半導体ウェハのパターン検査工程では、簡単な操作で高速な処理によりぼけの少ない焦点深度を拡大した画像の要求が強い。
【0004】
このような焦点深度を拡大するための方法として従来は、合焦点位置の異なる複数の画像を入力して加え合わせ、得られた画像に適当な回復処理を施すことにより、解像度や明るさを損なうことなく、焦点深度の深い画像を再生する技術として、特開平1−309478、特開平3−165672がある。
【0005】
前者の具体的な方法は図14に示す如く電子カメラに適用した例で、撮影者が任意に選んだいくつかの被写体の測距データから、露光時間内に合焦点位置を所定の速度に変えることで、積算画像のぼけかたが場所に依存しないように合焦点制御でき、良好な画像入力を行なうことができる。
【0006】
その駆動法としては、例えば図15に示すように入力画像の合焦点位置に対して一時停止するステップ状の駆動を行なって入力画像を積算する方法や、図16に示すように撮像面より手前の付近の位置にある画像に対しては合焦点位置を早く動かすことにより粗に画像を積算し、遠くの付近ではゆっくりと動かすことにより密に積算していく画像積算方法である。
【0007】
また、上記後者の方法は、図17に示すように計測手段により計測した被写体の数、撮像部からの各被写体までの距離、各被写体の明るさの各情報に基づいて、例えば画像を離散的に入力する場合の入力画像枚数や入力時の露光時間、連続的に合焦点位置を変えながら画像を積算入力する場合の諸条件を最適に設定するという前処理を、上記前者の方法に付加して行なうことを特徴としている。この設定条件から各被写体の合焦点位置で図18に示すようにシャッタ制御による露光時間を変えることを行ない、良好なぼけのない画像入力を行なう。これによれば、各入力画像により、最適な露光時間で撮像することにより、解像度や明るさを失わずに焦点深度の深い画像を得ることができ、鮮明でS/N比のよい再生画像を得ることが可能となる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記前者の方法では、駆動方式の1つであるステップ状駆動でモータ系のバックラッシュにより測定位置に不正確さを生じ、またピエゾ素子によるアクチュエータ駆動系で駆動部材の重さとピエゾ素子自身の持つ位置変位特性による測定位置の不正確さを生じる。特に、高速移動が可能なピエゾ素子は、図19に示すように安定位置に停止するまでに充分な時間を要し、画像の1画面を取込む時間に比べて非常に長い安定時間を必要とする。
【0009】
このような駆動方法では全体の処理に多大な時間を要することとなり、また顕微鏡のように微小変位の位置制御を行なう観察系においては特に高倍率で焦点深度が浅くなるので、僅かな位置変動が生じればそれだけぼけた画像となり易く、実用的な方法とは言えない。
【0010】
また、被写体の数、撮像部からの各被写体までの距離、各被写体の明るさの各情報に基づいて駆動する上記後者の方法は、連続的ではあるが各情報を分析、計算する処理や時間が事前に必要であり、非線形波形のために複雑な計算をして入力画像を作らなければならないので非常に手間が煩雑である。さらに、入力画像の加算の方法については、各入力画像に対して露光時間制御を行ないながら画像入力を行なうため、露光時間制御用の制御シャッタが必要になり、また撮像の露光時間を調整し、画像の光量不足等を補うための制御部が必要となり、装置が大型化してしまうという不具合を生じる。
【0011】
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、入力画像の加算により焦点深度を拡大するべく、複雑な駆動制御を行なわず、前処理、駆動部の駆動制御、画像の加算等の各処理をなるべく簡易化しながら良好な最終画像を得ることができ、且つ装置構成を低コストとすることが可能な画像入出力装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、顕微鏡の検体観察画像情報を入出力する画像入出力装置において、被写体の画像を撮像する撮像手段と、被写体の合焦面合わせを行なうために上記撮像手段または上記撮像手段における検体保持手段を光軸方向に駆動する駆動手段と、上記撮像手段で得た画像の光量とそのコントラストにより複数の合焦点位置を特定するコントラスト計測手段と、上記合焦点位置を記憶する合焦点位置記憶手段と、上記撮像手段で得た上記被写体の画像を記憶する画像記憶手段と、上記合焦点位置記憶手段に記憶される複数の合焦点位置のそれぞれの合焦点位置において焦点深度範囲内を移動する間に画像入力が行われる速度で、かつ、最初の合焦点位置から最後の合焦点位置までの間を一定速度で移動するように前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、上記複数の合焦点位置のそれぞれにおいて前記撮像手段から入力される画像を加算するように制御するための加算タイミング信号を発生するタイミング信号発生手段と、このタイミング信号発生手段からの加算タイミング信号により上記撮像手段で得た上記被写体の画像と上記画像記憶手段に記憶された画像とを加算する加算手段と、この加算手段による加算画像に対して空間周波数フィルタリングによって加算画像のぼけ部分を除去し合焦した画像のみを復元する回復処理を施す画像焦点回復手段とを具備するようにしている。
【0013】
請求項2記載の発明では、上記加算手段は、一方の画像に対してその光量及びコントラストにより信号レベル変換を行なってから他方の画像と加算するようにしている。
請求項3記載の発明では、上記加算手段は、上記撮像手段で得た上記被写体の画像の信号に対して任意のレベル変換を行なうようにしている。
請求項4記載の発明では、上記駆動制御手段は、さらに駆動系がクローズドループの駆動制御を行なう場合に、常に駆動量制御部の位置検出部でステージ駆動部の位置検出を行ない、常時位置補正を行なうようにしている。
請求項5記載の発明では、上記タイミング信号発生手段は、発生する加算タイミング信号を任意に選択できるようにしている。
請求項6記載の発明では、上記加算手段は、さらにある合焦面に対して上記コントラスト計測手段で計測されたコントラストまたはその光量が不足する場合、その合焦面の入力を複数画像分行なって加算を行なうようにしている。
【0014】
【作用】
この結果、請求項1記載の発明によれば、画像入力の際に、撮像手段又は検体保持手段の光軸方向の駆動を各合焦位置で焦点深度範囲内を移動する間に画像入力が行われる速度で一定におこない、タイミング信号発生手段からの加算タイミング信号により撮像手段からの画像を加算することとしたので、駆動手段を簡素化することができ、且つ入力の条件等の複雑なパラメータの算出や特別な撮像部の露光制御を行なう必要がなく、簡単な制御で良好な最終画像を得ることができる。
また、請求項2記載の発明によれば、画像入力時の環境条件や被写体の特性に対応して、所望のレベル変換処理を行なうので、入力画像の輝度やコントラストを改善することができ、処理画像の劣化を防いで簡単な制御で良好な最終画像を得ることができる。
【0015】
また、請求項3記載の発明によれば、撮像手段で得た被写体の画像の信号に対して任意のレベル変換を行なうことができる。
また、請求項4記載の発明によれば、駆動系がクローズループの駆動制御を行なう場合に、常に駆動量制御部の位置検出部でステージ駆動部の位置検出を行ない、常時位置補正を行ない良好な観察画像を得ることができる。
また、請求項5記載の発明によれば、タイミング信号発生手段は発生する加算タイミング信号を任意に選択できる。
また、請求項6記載の発明によれば、ある合焦面に対して光量や画像のコントラストが不足する場合、その合焦面の入力を複数画像分行なって加算を行なうことで、不足する光量や画像のコントラストを補い、全体として良好な画像を得ことができる。
【0016】
【実施例】
以下本発明の一実施例を図面に従って説明する。
図1はその構成を示すものであり、本装置は光学顕微鏡11、この光学顕微鏡11で得られる画像の合焦面合わせを行なうべく光軸方向の駆動制御を行なう駆動制御部12、この駆動制御部12の制御を受けて光学顕微鏡11で得られた画像に対する入出力処理を行なって加算画像を得る画像入出力部13及びこの画像入出力部13で得られた最終画像を表示する例えばCRT及びその駆動回路で構成される表示部14からなる。
【0017】
光学顕微鏡11は、照明装置15、テレビカメラ16及びステージ駆動部17を有し、例えば被写体となる標本を載置したステージを駆動するステージ駆動部17が上記駆動制御部12からの駆動信号を受けて光軸方向に移動することで画像の合焦面合わせを行なうものである。しかして、照明装置15からの光源により照明されて得られた上記標本の画像は上記テレビカメラ16により撮像され、アナログの画像信号として画像入出力部13に送られる。
【0018】
画像入出力部13では、テレビカメラ16からのアナログの画像信号をA/Dコンバータ18がサンプリングしてデジタル化し、加算部19へ送出する。加算部19は、このA/Dコンバータ18からのデジタルの画像信号と後述する第1のメモリ20から読出されてくる画像信号とを加算して第1のメモリ20に記憶させる。この第1のメモリ20に記憶された画像信号は空間フィルタ21と上記加算部19とに読出される。
【0019】
空間フィルタ21は、第1のメモリ20から読出された画像信号を空間周波数フィルタリング処理により加算後のぼけ部分を除去し、合焦した画像のみを復元する回復処理を施して第2のメモリ22に記憶させる。この第2のメモリ22に記憶された画像信号はD/Aコンバータ23で再びアナログ化され、処理を終えた最終的な画像信号としてこの画像入出力部13から出力され、上記表示部14にて表示出力される。
【0020】
しかるに、上記加算部19、第1のメモリ20、空間フィルタ21及び第2のメモリ22をCPU24が統括制御する一方、第1のメモリ20及び第2のメモリ22に対しては記憶制御部25がその書込み/読出しの制御を行なう。
【0021】
上記駆動制御部12は、駆動量制御部26及び画像加算タイミング発生部27を有し、これらは共に上記画像入出力部13とも接続される。すなわち駆動量制御部26は、上記光学顕微鏡11のステージ駆動部17の位置を検出してそれに対する駆動制御を行ない、一方、画像加算タイミング発生部27は画像信号の加算タイミング信号を発生して上記画像入出力部13の加算部19に供給する。
【0022】
次いで図2により主として上記駆動量制御部26の構成について示す。同図に示すように駆動量制御部26は、基準信号発生部26a、駆動波形発生部26b及び位置検出部26cから構成される。
【0023】
例えばピエゾ素子を用いた駆動の場合、電圧レベルが光軸方向に対応しているので、駆動量制御部26はステージ駆動部17への電圧レベルを可変入力して駆動する。この場合、CPU24は設定した駆動速度の情報を基準信号発生部26aへ送出する。基準信号発生部26aはこの速度情報に応じた基準信号波形を発生して駆動波形発生部26bへ出力する。
【0024】
駆動波形発生部26bは、この基準信号発生部26aからの基準信号波形に対応した駆動波形を発生する。この駆動波形発生部26bより出力される駆動波形は、駆動部を動かすためために高電圧波形に変換される。この駆動波形信号によりステージ駆動部17を駆動させ、このときのステージ駆動部17による位置を位置検出部26cがCPU24からの信号に応じて検出し、検出結果を画像加算タイミング発生部27及びCPU24へ出力する。
【0025】
例えば特別に細かな位置制御を行なわないオープンループ制御の場合、上述したようにCPU24の設定速度により基準信号発生部26aの周波数を変えて駆動波形発生部26bで所望の速度の駆動波形を発生させるか、あるいは波形発生用のメモリを用いて一定速度の駆動波形を設定することで当該波形を発生させることができる。
【0026】
ただし、上記のようにピエゾ素子による駆動法においては、駆動波形と位置の正確な関係を保つために、駆動の開始位置と終了位置、往復のストロークの距離を必ず同じにする必要がある。
【0027】
次に上記実施例の動作について説明する。
まず、光学顕微鏡11のステージ駆動部17により駆動されるステージ上に載置された観察標本の合焦点がどの位置にあるのかを確認するため、入力条件として入力画像の合焦光軸位置、その枚数、また光量のデータを得る前処理を行なう。
【0028】
すなわち、光軸の所定間隔でステージ駆動部17を1ステップずつ移動させ、テレビカメラ16より1枚ずつ観察標本の画像データを得る。得られた各1枚の画像データは、画像入出力部13内でA/Dコンバータ18を介してサンプリングされてデジタル化された後、加算部19で実際にはなんら加算処理を行なわれずに原画像のまま第1のメモリ20で一時記憶される。この第1のメモリ20に記憶された画像データをCPU24が読取って各種データを解析する。
【0029】
すなわちCPU24は、例えばある位置での画像のコントラスト値や光量を算出していくもので、その一連の解析処理が終了した時点で次の位置での合焦光軸を移動させるべく上記駆動量制御部26によりステージ駆動部17でまた1ステップ分移動させ、上記と同様の画像データに対する解析処理を行なう。この繰返しの処理を光軸方向に標本が存在する範囲内について順次行ない、その結果、標本においてコントラストが充分で加算入力すべき画像を何枚か選択し、合焦面位置及びその枚数、また各画像の光量分布等を求める。
【0030】
なお、画像取込みのための光軸の移動間隔1ステップ分は、当然のことながら細かければ細かい程得られる解析結果の精度が高くなることは言うまでもない。
上記のような前処理により求められた各情報により、取込む位置と枚数とが駆動制御部12に設定され、光軸方向に画像取込み用のステージ駆動部17の一定速度での直線駆動が実行される。
【0031】
画像データの蓄積時間はその信号方式または撮像状況等により任意に選択できるものとする。例えば国内のテレビジョン方式で一般的なNTSCでは、1画面の画像入力を標準では撮像素子の1フレーム蓄積時間1/30秒で行なう。この時間内に所望の合焦面の画像データを入力できるように、つまり入力する合焦面が対物レンズの特性から導かれる光軸方向の標本焦点深度範囲内を移動している間に、画像入力が行なえるように一定の速度で駆動する。
【0032】
CPU24はこの条件を満たすように駆動速度を決定し、駆動量制御部26に設定する。また、画像取込み位置情報は、上記前処理により算出したデータと位置検出のデータとを基に画像取込みタイミングを発生することで得られるもので、このとき算出データから数画面分の画像データが加算に必要な場合には、位置検出部26cからの信号に応じて上記加算に必要な枚数分だけ画像加算タイミング発生部27でタイミング信号を発生させる。
【0033】
図3及び図4により1枚毎の画像の取込み動作について説明する。図3は一定速度v1 で光軸方向に直線駆動されるステージ駆動部17の時間tと光軸距離Zの関係及びこれに対応した画像加算用のタイミング信号の発生タイミングを示すものであり、図4はこの画像加算用のタイミング信号の発生タイミングを拡大して示すものである。
【0034】
一定速度v1 で駆動制御部12の駆動量制御部26がステージ駆動部17を直線駆動し、図3中の位置Z11,Z12,Z13の位置でΔZ1 の焦点深度の間隔内で画像入力を行なう。そのときの時刻がそれぞれt1 ,t2 ,t3 であり、その入力許容時間はΔt1 である。その間に画像入力が行なわれるようにCPU24が速度設定を行なう(Δt1 >1/30[秒]、v1 =Z11/t1 )。
【0035】
そしてCPU24は、画像取込みの目標の位置となった時点で、ある設定時間において画像取込みタイミング信号を発生し、取込みスタートトリガとして図4(2)に示すような画像入力及び加算許可信号を生成し、加算部19へ入力する。
【0036】
加算部19は、上記加算許可信号が“H”レベルとなっている許可期間中に、画像の入力があった画像に対して加算入力を行なう。これは、画像のフレームの開始時間すなわち図4(3)に示すように垂直同期信号の開始タイミングで、画像の入力及び加算を実行するもので、このように選択された標本の複数の合焦位置において加算許可信号を発生させて次の画像と画像加算を行なっていく。これにより、焦点深度範囲内の注目する合焦範囲でぼけのない鮮鋭な画像を順次入力することができ、回復処理を行なうことで最終的に良好な観察画像を得ることができる。
【0037】
また、ある合焦面に対して光量や画像のコントラストが不足する場合には、その合焦面の入力を複数画像分行なって加算を行なうことで、不足する光量や画像のコントラストを補い、全体として良好な画像を得ることができる。
【0038】
図5及び図6は複数枚の画像の取込み動作について説明するもので、図5は一定速度v2 で光軸方向に直線駆動されるステージ駆動部17の時間tと光軸距離Zの関係及びこれに対応した画像加算用のタイミング信号の発生タイミングを示し、図6はこの画像加算用のタイミング信号の発生タイミングを拡大して示す。
【0039】
この場合、図5に示すように複数枚分の画像を取込んで入力するため、測定したい合焦面での焦点深度範囲内をその一定の駆動速度v2 は上記図3で示した1枚の時の駆動速度v1 よりも充分低いものとし、図5及び図6(1)で示すように画像入力タイミング信号のパルスを入力画像の加算数だけ発生させるように設定すればよい。このときは、同様に図5中の位置Z21,Z22,Z23の位置でΔZ1 の焦点深度の間隔内で画像入力を行なう。そのときの時刻がそれぞれt1 ,t2 ,t3 であり、その入力許容時間はΔt2 である。その間に画像入力が行なわれるようにCPU24が速度設定を行なう。例えば、図6では2画面分入力しているが、このような場合では焦点深度範囲内を2/30[秒]以上の時間で駆動できるように駆動速度v2 を設定すればよい(Δt2 >2/30[秒]、v2 =Z21/t1 )。
【0040】
そしてCPU24は、図6(1)に示すように入力画像枚数を示す画像加算用タイミング信号のパルスを2発連続して発生させ、その信号を加算部19へ入力させる。この場合は、加算する枚数がパルスの数に対応しており、前述した如く画像入力を2画面分ずつ行なっていく。また、入力画像の枚数を示す画像加算用タイミング信号のパルスは、複数の信号をパラレルに用いて1度に発生するようにしてもよい。
【0041】
また、駆動系がクローズループの駆動制御を行なう場合には、常に駆動量制御部26の位置検出部26cでステージ駆動部17の位置検出を行ない、常時位置補正を行なうことで位置精度を保ちながら一定速度で駆動する。そして、画像取込みを行なう目的の位置に達した時点で位置検出信号を基に画像取込みタイミング信号をトリガとして、上記図6と同様に入力及び加算許可信号を発生し、画像の入力及び加算を行なう。したがって、上述したオープンループの場合の処理と同様な処理を行ない、最終的には良好な観察画像を得ることができる。
【0042】
なお、上記一実施例の構成においては、ある合焦面に対して光量、コントラストが不足した画像の場合、同一画像を複数回加算して補正するため、同一位置で何枚も加算するので駆動速度をその分低くする必要があり、標本毎に設定を変える必要がある。
【0043】
このような光量、コントラストの不足した画像に対して、これを補正するデータ変換をリアルタイムに行ない、1画像を取得するだけで済むようにして、駆動速度の設定変更を不要にした場合を本発明の一実施例に係る他の構成例として説明する。
【0044】
図7はその回路の構成を例示するもので、基本的には上記図1で示したものと同様であるので、同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。
しかして、加算部19の前段には、テレビカメラ16で得られたアナログ値の画像入力信号に対して任意のレベル変換を行ない、デジタル化して出力する上記A/Dコンバータ18を含んだレベル変換部31を設ける。
【0045】
このレベル変換部31は、各画像の撮像の露光時間調整なしに、且つタイミング信号を1画像に対して複数発生させずに処理できるものである。
図8はこのレベル変換部31の第1の構成例であり、ゲイン可変アンプ32とA/Dコンバータ18とでレベル変換部31を構成するようにしたものである。この場合、テレビカメラ16で得られたアナログ値の画像信号はゲイン可変アンプ32で何倍かに増幅された後にA/Dコンバータ18でサンプリングされてデジタル化され、それから次段の加算部19に供される。したがって、テレビカメラ16からの画像信号が光量不足やコントラスト不足であっても、ゲイン可変アンプ32のゲインを任意に調整することにより各入力画像に対してこれを補うことができるものである。
【0046】
また、図9はレベル変換部31の第2の構成例であり、A/Dコンバータ18とルックアップテーブル33とでレベル変換部31を構成するようにしたものである。この場合、テレビカメラ16で得られたアナログ値の画像信号はA/Dコンバータ18でサンプリングされてデジタル化された後に、ルックアップテーブル33に供される。ルックアップテーブル33としてはメモリ(ROM,RAM)が使われ、A/D変換された入力画像データを指定アドレスとして、対応するアドレス位置に予め書込まれているレベル変換された画像データを読出し、次段の加算部19へ出力することでレベル変換が行なわれる。ルックアップテーブル33には、任意の増幅倍率に従って予めレベル変換した画像データを例えばRAMの場合はCPU24により書込んでおくもので、上記図8の場合と同様、テレビカメラ16から入力画像毎に画像信号が光量不足やコントラスト不足であっても、このレベル変換により充分これを補うことができる。
【0047】
また、ルックアップテーブル33は、例えばRAMで構成することで、CPU24によりその内容を自由に設定または書換え可能にして設けられ、観察条件や標本により種々の変換特性を持たせることができるので、上記図8に示した場合と比してより自由度の高いものとすることができる。
【0048】
例えば、図10に示す如く、入力する画像が全体的に低輝度部分が多い場合、高輝度成分を有する部分とのコントラストははっきりと分かるが、低輝度部分内のコントラストははっきりしない画像となる。
【0049】
このようなときは、ルックアップテーブル33に図11に示すような特性のテーブルを書込んでおいて輝度変換を行なわせることで、結果として図12に示すように低輝度部分の強調を行なって低輝度部分内でのコントラストをはっきりさせ、全体としてコンスタントなコントラストが得られる画像表示が可能となる。
【0050】
なお、上記一実施例では光学顕微鏡11でステージ駆動部17により光軸方向の移動を行ない、ステージ上に載置された標本Sに対する合焦面を合わせるものとして示したが、これに限るものではない。図13は光学顕微鏡11で被写体の合焦面を合わせることが可能な他の駆動部を列挙したもので、ステージ駆動部17の他にも、対物レボルバ駆動部41、テレビカメラレンズ駆動部42等のいずれか1つあるいはこれらを組合わせることにより、容易に実現可能である。さらに、その駆動部の駆動機構は電磁モータ、超音波モータ、ピエゾ素子等様々なものを考えることができる。
【0051】
また、テレビカメラ16はNTSC方式に限らず、PAL、SECAMその他必要なテレビジョン方式により画像を得ることができるものであり、より高帯域の映像が撮像できるハイビジョン方式のものを用いれば高い解像度の画像が得られることは言うまでもない。
【0052】
以上、実施例に基づいて説明したが、本発明中には以下の発明が含まれる。
(1)画像情報を入出力する画像入出力において、被写体の画像を撮像する撮像手段と、被写体の合焦面合わせを行なう駆動手段と、被写体の数、上記撮像手段から被写体までの距離、各被写体の明るさの各情報を計測する計測手段と、上記撮像手段で得た上記被写体の画像を記憶する記憶手段と、上記計測手段で得た各情報と上記駆動手段による駆動位置の情報に基づいて上記駆動手段に対する合焦面位置制御を行なう駆動制御手段と、上記駆動手段の駆動位置と上記計測手段で得た各情報に基づいて上記記憶手段に記憶される画像に対する加算タイミング信号を発生するタイミング信号発生手段と、このタイミング信号発生手段からの加算タイミング信号により上記撮像手段で得た上記被写体の画像と上記記憶手段に記憶された画像とを加算する加算手段と、この加算手段による加算画像に対して空間周波数フィルタリングによる回復処理を施す回復手段とを具備したことを特徴とする画像入出力装置。
【0053】
このようにすれば、画像入力の際に被写体の光軸方向の駆動を線形な一定速度駆動とし、画像の光量及びコントラスト等により同一画像を必要数加算できるタイミング信号発生手段を備えるような構成としたので、駆動手段を簡素化することができ、且つ入力の条件等の複雑なパラメータの算出や特別な撮像部の露光制御を行なう必要がなく、簡単な制御で良好な最終画像を得ることができる。
【0054】
(2) (1)項記載の画像入出力装置において、上記加算手段は一方の画像に対してその光量及びコントラストにより信号レベル変換を行なってから他方の画像と加算することを特徴とする画像入出力装置。
【0055】
このようにすれば、画像入力時の環境条件や被写体の特性に対応して、所望のレベル変換処理を行なうので、入力画像の輝度やコントラストを改善することができ、処理画像の劣化を防いで簡単な制御で良好な最終画像を得ることができる。
【0056】
【発明の効果】
以上に述べたように本発明によれば、入力画像の加算により焦点深度を拡大するべく、複雑な駆動制御を行なわず、前処理、駆動部の駆動制御、画像の加算等の各処理をなるべく簡易化しながら良好な最終画像を得ることができ、且つ装置構成を低コストとすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る全体の回路構成を示すブロック図。
【図2】図1の主として駆動量制御部の詳細な回路構成を示すブロック図。
【図3】同実施例に係る動作を説明する図。
【図4】同実施例に係る動作を説明するタイミングチャート。
【図5】同実施例に係る動作を説明する図。
【図6】同実施例に係る動作を説明するタイミングチャート。
【図7】同実施例に係る他の回路構成を例示するブロック図。
【図8】図7のレベル変換部の具体構成を例示するブロック図。
【図9】図7のレベル変換部の具体構成を例示するブロック図。
【図10】図9のレベル変換部における動作を説明する図。
【図11】図9のレベル変換部における動作を説明する図。
【図12】図9のレベル変換部における動作を説明する図。
【図13】同実施例に係る光学顕微鏡の合焦面合せを行なう他の駆動部を示す図。
【図14】従来の第1の画像入出力装置の構成を示すブロック図。
【図15】図14の装置の駆動法を例示する図。
【図16】図14の装置の駆動法を例示する図。
【図17】従来の第2の画像入出力装置の構成を示すブロック図。
【図18】図17の装置の露光制御法を例示する図。
【図19】ピエゾ素子の位置変位特性を示す図。
【符号の説明】
11…光学顕微鏡
12…駆動制御部
13…画像入出力部
14…表示部
15…照明装置
16…テレビカメラ
17…ステージ駆動部
18…A/Dコンバータ
19…加算部
20…第1のメモリ
21…空間フィルタ
22…第2のメモリ
23…D/Aコンバータ
24…CPU
25…記憶制御部
26…駆動量制御部
27…画像加算タイミング発生部
31…レベル変換部
32…ゲイン可変アンプ
33…ルックアップテーブル
41…対物レボルバ駆動部
42…テレビカメラレンズ駆動部
Claims (6)
- 顕微鏡の検体観察画像情報を入出力する画像入出力装置において、
被写体の画像を撮像する撮像手段と、
被写体の合焦面合わせを行なうために上記撮像手段または上記撮像手段における検体保持手段を光軸方向に駆動する駆動手段と、
上記撮像手段で得た画像の光量とそのコントラストにより複数の合焦点位置を特定するコントラスト計測手段と、
上記合焦点位置を記憶する合焦点位置記憶手段と、
上記撮像手段で得た上記被写体の画像を記憶する画像記憶手段と、
上記合焦点位置記憶手段に記憶される複数の合焦点位置のそれぞれの合焦点位置において焦点深度範囲内を移動する間に画像入力が行われる速度で、かつ、最初の合焦点位置から最後の合焦点位置までの間を一定速度で移動するように前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、
上記複数の合焦点位置のそれぞれにおいて前記撮像手段から入力される画像を加算するように制御するための加算タイミング信号を発生するタイミング信号発生手段と、
このタイミング信号発生手段からの加算タイミング信号により上記撮像手段で得た上記被写体の画像と上記画像記憶手段に記憶された画像とを加算する加算手段と、
この加算手段による加算画像に対して空間周波数フィルタリングによって加算画像のぼけ部分を除去し合焦した画像のみを復元する回復処理を施す画像焦点回復手段と
を具備したことを特徴とする画像入出力装置。 - 上記加算手段は、
一方の画像に対してその光量及びコントラストにより信号レベル変換を行なってから他方の画像と加算することを特徴とする請求項1記載の画像入出力装置。 - 上記加算手段は、
上記撮像手段で得た上記被写体の画像の信号に対して任意のレベル変換を行なうことを特徴とする請求項2記載の画像入出力装置。 - 上記駆動制御手段は、
さらに駆動系がクローズドループの駆動制御を行なう場合に、常に駆動量制御部の位置検出部でステージ駆動部の位置検出を行ない、常時位置補正を行なうことを特徴とする請求項1記載の画像入出力装置。 - 上記タイミング信号発生手段は、発生する加算タイミング信号を任意に選択できることを特徴とする請求項1記載の画像入出力装置。
- 上記加算手段は、
さらにある合焦面に対して上記コントラスト計測手段で計測されたコントラストまたはその光量が不足する場合、その合焦面の入力を複数画像分行なって加算を行なうことを特徴とする請求項1記載の画像入出力装置。
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-
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