JP3978217B2 - レジスト材料及びパターン形成方法 - Google Patents
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Description
R4 は、炭素数0以上で且つ20以下の直鎖状のアルキレン基又は分岐状若しくは環状のアルキレン基であり、
R5 及びR6 は、同種又は異種であって、水素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基、フッ素化されたアルキル基又は酸により脱離する保護基であり、
R9 は、フッ素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。
R4 は、炭素数0以上で且つ20以下の直鎖状のアルキレン基又は分岐状若しくは環状のアルキレン基であり、
R5 及びR6 は、同種又は異種であって、水素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基、フッ素化されたアルキル基又は酸により脱離する保護基であり、
R9 は、フッ素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。
R4 は、炭素数0以上で且つ20以下の直鎖状のアルキレン基又は分岐状若しくは環状のアルキレン基であり、
R5 及びR6 は、同種又は異種であって、水素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基、フッ素化されたアルキル基又は酸により脱離する保護基であり、
R9 は、フッ素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。
以下、本発明の第1の実施形態に係るレジスト材料について説明する。
R4 は、炭素数0以上で且つ20以下の直鎖状のアルキレン基又は分岐状若しくは環状のアルキレン基であり、
R5 及びR6 は、同種又は異種であって、水素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基、フッ素化されたアルキル基又は酸により脱離する保護基であり、
R9 は、フッ素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。
以下、本発明の第2の実施形態に係るパターン形成方法について説明する。
以下、第1の実施形態に係る化学増幅型レジスト材料及び第2の実施形態に係るパターン形成方法を具体化する第1の実施例について、図1(a)〜(d)を参照しながら説明する。
酸発生剤:トリフェニルスルフォニウムノナフレート(ベース樹脂に対して2重量%)
溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
以下、第1の実施形態に係る化学増幅型レジスト材料及び第2の実施形態に係るパターン形成方法を具体化する第の2実施例について説明するが、第2の実施例は第1の実施例に比べて、化学増幅型レジスト材料が異なるのみであるから、レジスト材料についてのみ説明する。
酸発生剤:トリフェニルスルフォニウムトリフレート(ベース樹脂に対して3重量%)
溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
以下、本発明の第3の実施形態に係るパターン形成方法について説明する。
以下、第1の実施形態に係る化学増幅型レジスト材料及び第3の実施形態に係るパターン形成方法を具体化する第2の実施例について、図2(a)〜(d)を参照しながら説明する。
酸発生剤:トリフェニルスルフォニウムトリフレート(ベース樹脂に対して2重量%)
溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
11 レジスト膜
11a 露光部
11b 未露光部
12 マスク
13 レーザ光
14 ホットプレート
15 レジストパターン
101 半導体基板
102 レジスト膜
102a 露光部
102b 未露光部
103 水
104 露光レンズ
105 レジストパターン
Claims (24)
- [化1]の一般式で表わされる第1のユニットと[化2]の一般式で表わされる第2のユニットとの共重合体よりなる化合物を含むベース樹脂を有することを特徴とするレジスト材料。
R4 は、炭素数0以上で且つ20以下の直鎖状のアルキレン基又は分岐状若しくは環状のアルキレン基であり、
R5 及びR6 は、同種又は異種であって、水素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基、フッ素化されたアルキル基又は酸により脱離する保護基であり、
R9 は、フッ素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。 - 前記ベース樹脂は、光の照射により酸を発生する酸発生剤をさらに有することを特徴とする請求項1に記載のレジスト材料。
- 前記ベース樹脂は、前記ベース樹脂の溶解を阻害する溶解阻害剤をさらに有することを特徴とする請求項2に記載のレジスト材料。
- 前記共重合体よりなる化合物は、前記第1のユニットと前記第2のユニットとが交互に配列される構成を有していることを特徴とする請求項1に記載のレジスト材料。
- 前記酸により脱離する保護基が、アセタール基であることを特徴とする請求項1に記載のレジスト材料。
- 前記アセタール基は、アルコキシエチル基又はアルコキシメチル基であることを請求項5に記載のレジスト材料。
- 前記アルコキシエチル基が、アダマンチルオキシエチル基、t−ブチルオキシエチル基、エトキシエチル基、又はメトキシエチル基であり、
前記アルコキシメチル基が、アダマンチルオキシメチル基、t−ブチルオキシメチル基、エトキシメチル基、又はメトキシメチル基であることを特徴とする請求項6に記載のレジスト材料。 - [化3]の一般式で表わされる第1のユニットと[化4]の一般式で表わされる第2のユニットとの共重合体よりなる化合物を含むベース樹脂に有するレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に、100nm帯以上であって且つ300nm帯以下、若しくは1nm帯以上であって且つ30nm帯以下の高エネルギー線、又は電子線よりなる露光光を選択的に照射してパターン露光を行なう工程と、
パターン露光が行なわれた前記レジスト膜を現像し、レジストパターンを形成する工程とを備えることを特徴とするパターン形成方法。
R4 は、炭素数0以上で且つ20以下の直鎖状のアルキレン基又は分岐状若しくは環状のアルキレン基であり、
R5 及びR6 は、同種又は異種であって、水素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基、フッ素化されたアルキル基又は酸により脱離する保護基であり、
R9 は、フッ素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。 - 前記ベース樹脂は、光の照射により酸を発生する酸発生剤をさらに有することを特徴とする請求項8に記載のパターン形成方法。
- 前記ベース樹脂は、前記ベース樹脂の溶解を阻害する溶解阻害剤をさらに有することを特徴とする請求項9に記載のパターン形成方法。
- 前記共重合体よりなる化合物は、前記第1のユニットと前記第2のユニットとが交互に配列される構成を有していることを特徴とする請求項8に記載のパターン形成方法。
- 前記酸により脱離する保護基が、アセタール基であることを特徴とする請求項8に記載のパターン形成方法。
- 前記アセタール基は、アルコキシエチル基又はアルコキシメチル基であることを特徴とする請求項12に記載のパターン形成方法。
- 前記アルコキシエチル基が、アダマンチルオキシエチル基、t−ブチルオキシエチル基、エトキシエチル基、又はメトキシエチル基であり、
前記アルコキシメチル基が、アダマンチルオキシメチル基、t−ブチルオキシメチル基、エトキシメチル基、又はメトキシメチル基であることを特徴とする請求項13に記載のパターン形成方法。 - [化5]の一般式で表わされる第1のユニットと[化6]の一般式で表わされる第2のユニットとの共重合体よりなる化合物を含むベース樹脂を有するレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜上に液体を配する工程と、
前記レジスト膜に、100nm帯以上であって且つ300nm帯以下、若しくは1nm帯以上であって且つ30nm帯以下の高エネルギー線、又は電子線よりなる露光光を選択的に照射してパターン露光を行なう工程と、
パターン露光が行なわれた前記レジスト膜を現像し、レジストパターンを形成する工程とを備えることを特徴とするパターン形成方法。
R4 は、炭素数0以上で且つ20以下の直鎖状のアルキレン基又は分岐状若しくは環状のアルキレン基であり、
R5 及びR6 は、同種又は異種であって、水素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基、フッ素化されたアルキル基又は酸により脱離する保護基であり、
R9 は、フッ素原子、炭素数1以上で且つ20以下の直鎖状のアルキル基、分岐状若しくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。 - 前記ベース樹脂は、光の照射により酸を発生する酸発生剤をさらに有することを特徴とする請求項15に記載のパターン形成方法。
- 前記ベース樹脂は、該ベース樹脂の溶解を阻害する溶解阻害剤をさらに有することを特徴とする請求項16に記載のパターン形成方法。
- 前記共重合体よりなる化合物は、前記第1のユニットと前記第2のユニットとが交互に配列される構成を有していることを特徴とする請求項15に記載のパターン形成方法。
- 前記酸により脱離する保護基が、アセタール基であることを特徴とする請求項15に記載のパターン形成方法。
- 前記アセタール基は、アルコキシエチル基又はアルコキシメチル基であることを特徴とする請求項19に記載のパターン形成方法。
- 前記アルコキシエチル基が、アダマンチルオキシエチル基、t−ブチルオキシエチル基、エトキシエチル基、又はメトキシエチル基であり、
前記アルコキシメチル基がアダマンチルオキシメチル基、t−ブチルオキシメチル基、エトキシメチル基、又はメトキシメチル基であることを特徴とする請求項20に記載のパターン形成方法。 - 前記液体は、水又はパーフルオロポリエーテルであることを特徴とする請求項15に記載のパターン形成方法。
- 前記露光光は、KrFレーザ、ArFレーザ、F2 レーザ、Kr2 レーザ、KrArレーザ、Ar2 レーザ又は軟X線であることを特徴とする請求項8又は15に記載のパターン形成方法。
- 前記ベース樹脂は、側鎖にトリフルオロメチル基を備えることを特徴とする請求8又は15に記載のパターン形成方法。
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