JP3973491B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、FET(Field Effect Transistor)と該FETのドレイン電流検出手段とを備える半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電源回路等の出力としてパワーFETを備える半導体装置では、過電流によってパワーFETが破損することを未然に防止するために、パワーFETのドレイン電流を検出する電流検出手段を備えている。
【0003】
このような電流検出手段を備えた半導体装置には、検出用の抵抗を用いてパワーFETのドレイン電流を検出するものとパワーFETのソース−ドレイン間電圧からパワーFETのドレイン電流を検出するものとがある。
【0004】
検出用の抵抗を用いてパワーFETのドレイン電流を検出するものとしてWO97/45957号公報で紹介されているような方法があり、その半導体装置の回路構成の一例を図4に示す。pチャネル型パワーFET8’のソースは電源供給端子10に接続され、パワーFET8’のドレインは出力端子11に接続され、パワーFET8’のゲートは制御端子12に接続される。
【0005】
電源供給端子10には所定の電源電圧が印加され、出力端子11には負荷(図示せず)が接続され、制御端子12にはHigh/Lowレベルの制御信号が入力される。制御端子12にHighレベルの制御信号が入力されると、パワーFET8’がオン状態になり、パワーFET8’のドレイン電流IOが出力端子11を介して負荷(図示せず)に送出される。一方、制御端子12にLowレベルの制御信号が入力されると、パワーFET8’がオフ状態になり、電流が流れなくなる。
【0006】
パワーFET8’のドレイン電流を検出する電流検出回路は、pチャネル型FET13と抵抗R1とから成る。FET13のソースはパワーFET8’のソースに共通接続され、FET13のゲートはパワーFET8’のゲートに共通接続される。また、FET13のドレインは抵抗R1を介して接地される。そして、電流検出端子14がFET13と抵抗R1との接続ノードに接続される。
【0007】
パワーFET8’とFET13とはソース及びゲートがそれぞれ共通接続されるので、カレントミラー回路を構成している。このため、パワーFET8’のドレイン電流IOとFET13のドレイン電流Idとの比はパワーFET8’とFET13とのサイズ比によって決まる。そして、ドレイン電流Idと抵抗R1との積である電圧信号が電流検出端子14から出力される。したがって、電流検出端子14が出力する電圧信号からパワーFET8’のドレイン電流IOを検出することができる。
【0008】
なお、上述したようにパワーFET8’とFET13とは、カレントミラー回路を構成するので、特性を同一にする必要がある。このため、パワーFET8’とFET13とは同一の半導体チップに形成される。
【0009】
次に、パワーFETのソース−ドレイン間電圧からパワーFETのドレイン電流を検出する従来の半導体装置の構成の一例を図5に示す。なお、図5は当該半導体装置の一部断面図を示している。
【0010】
図5に示す従来の半導体装置は、2つの半導体チップ15及び16を備えている。半導体チップ15の上部にはパワーFET(図示せず)が形成され、半導体チップ12の上部表面上の周縁付近に複数のチップ間接続用パッド17(図の奥手方向に複数設けられている)及び複数の外部接続用パッド18(図の奥手方向に複数設けられている)が設けられる。
【0011】
一方、半導体チップ16の上部には比較器(図示せず)が形成され、半導体チップ16の上部表面上の周縁付近に複数のチップ間接続用パッド19(図の奥手方向に複数設けられている)及び複数の外部接続用パッド20(図の奥手方向に複数設けられている)が設けられる。
【0012】
そして、半導体チップ15及び16は、チップ間接続用パッド17とチップ間接続用パッド19が隣接するようにリードフレーム21上に横並びに配置されている。各々のチップ間接続用パッド17は金やAl等の金属ワイヤ22によって対向するチップ間接続用パッド19に接続され、各々の外部接続用パッド18及び20が金やAl等の金属ワイヤ23によってリードフレーム21に接続される。また、半導体チップ15及び16、リードフレーム21、並びに金属ワイヤ22及び23がリードフレーム21の一部を除いて樹脂封止され、パッケージ24に納められている。
【0013】
このように半導体装置に2つの半導体チップ15及び16を設けたのは、パワーFETと比較器の製造プロセスが大きく異なるため、別個の半導体チップにして生産した方が生産効率をよくすることができるためである。また、このように2つの半導体チップ15及び16を横並びに配置し、金属ワイヤ22によって接続したのは、CMOS回路とアナログ回路を具備するシステムLSI等とは異なり小型化・高集積化の要望が強くなく且つ仮に横並びではなく縦並びに配置しても半導体チップ16のサイズが元来小さいことから小型化・高集積化の効果が小さいためであり、また半導体チップ15と半導体チップ16との接続方法を半導体チップ15とリードフレーム21との接続方法と同様にする方が製造工程を簡略化することができるためである。
【0014】
続いて図5の半導体装置の等価回路を図6に示し、その等価回路について説明する。電源供給端子10は、抵抗R2を介してパワーFET8のドレインに接続される。また、電源供給端子10は、抵抗R4を介して比較器9の非反転入力端子に接続される。
【0015】
出力端子11は、抵抗R3を介してパワーFET8のソースに接続される。また、出力端子11は、抵抗R5を介して比較器9の反転入力端子に接続される。
【0016】
そして、制御端子12はパワーFET8のゲートに接続され、電流検出端子14は比較器9の出力端子に接続される。
【0017】
ここで、抵抗R2はパッド17(図5参照)−パワーFET8のドレイン間の配線抵抗であり、抵抗R3は図示しない他のパッド17(図5参照)−パワーFET8のソース間の配線抵抗である。なお、抵抗R2、R3の抵抗値は各々略数100mΩである。また、抵抗R4、R5は各々の金属ワイヤ22(図5参照)による抵抗である。なお、抵抗R4、R5の抵抗値は各々略50〜200mΩである。
【0018】
比較器9は、パワーFET8のソース−ドレイン間電圧に応じた電圧を出力する。パワーFET8のオン抵抗はほぼ一定であるので、比較器9の出力電圧によってパワーFET8のドレイン電流Ioを検出することができる。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】
図4に示す従来の半導体装置は、FET13のサイズを小さくすることでドレイン電流Idを小さくしている。しかしながら、ドレイン電流IOが大きくなると、ドレイン電流Idも大きくなるので抵抗R1での電力損失が増加してしまい、省電力化を図ることができないという問題があった。
【0020】
また、近年電流検出の高精度化の要望が高まっており、この要望の高まりに伴って、図5に示す従来の半導体装置において金属ワイヤ22の抵抗値が大きいために比較器9の入力信号レベルが低下してしまい、ドレイン電流Ioの検出誤差が大きくなることが問題視されるようになった。
【0021】
本発明は、上記の問題点に鑑み、搭載しているFETのドレイン電流検出を低電力損失かつ高精度に行うことができる半導体装置を提供することを目的とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る半導体装置においては、FETを具備する第1の半導体チップと、前記FETのソース−ドレイン間電圧を入力して前記FETのドレイン電流を検出する電流検出手段を具備する第2の半導体チップと、を備え、前記FETと前記電流検出手段とがバンプを介して接続され、前記電流検出手段が負の温度特性を有するオフセット手段を備え、前記第1の半導体チップの正の温度特性による抵抗値の変化の影響をキャンセルするようになっている構成とする。
【0024】
また、前記FETを縦型MOSFETにすることが望ましい。
【0025】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係る一実施形態の半導体装置の主な構成を図1に示す。なお、図1は当該半導体装置の一部断面図を示している。
【0026】
図1の半導体装置は、2つの半導体チップ1及び2を備えている。半導体チップ1の上部にはパワーFET(図示せず)が形成され、半導体チップ1の上部表面上の周縁付近に複数の外部接続用パッド4(図の奥手方向に複数設けられている)が設けられる。一方、半導体チップ2の下部(半導体チップ1に面する側)には比較器(図示せず)が形成される。
【0027】
半導体チップ1と半導体チップ2とは、それぞれの表面に形成されたバンプ接続用のバンプ電極上に形成されたバンプ3によって接続されている。そして、パワーFETのドレインと比較器の非反転入力端子とが一方のバンプ3を介して電気的に接続され、FETのソースと比較器の反転入力端子とが他方のバンプ3を介して電気的に接続される。そして、半導体チップ2を搭載した半導体チップ1がリードフレーム5上に配置されている。各々の外部接続用パッド4が金やAl等の金属ワイヤ6によってリードフレーム5に接続される。また、半導体チップ1及び2、リードフレーム5、並びに金属ワイヤ6がリードフレーム5の一部を除いて樹脂封止され、パッケージ7に納められている。
【0028】
このように半導体装置に2つの半導体チップ1及び2を設けたのは、パワーFETと比較器の製造プロセスが大きく異なるため、別個の半導体チップにして生産した方が生産効率をよくすることができるためである。
【0029】
続いて図1の半導体装置の等価回路について説明する。図1の半導体装置の等価回路は図5の半導体装置の等価回路と同様であり、図6のようになる。ただし、抵抗R4は一方のバンプ3(図1参照)による抵抗で、抵抗R5は他方のバンプ3(図1参照)による抵抗である。一般的にバンプによる抵抗は距離が大幅に短いこともあって金属ワイヤによる抵抗に比べて小さく、抵抗R4、R5の抵抗値は略10mΩ以下となる。
【0030】
図1の半導体装置は、パワーFET8と比較器9との電気的接続にバンプ3を用いているので、抵抗R4、R5の抵抗値を小さくでき、比較器9の入力信号レベルが低下することを抑えることができる。これにより、ドレイン電流の検出誤差を小さくすることができる。さらに、図1の半導体装置は、図4に示す従来の測定方法ではなく、図6に示す方法と同様にパワーFET8のソース−ドレイン間電圧からパワーFET8のドレイン電流Ioを検出する構成であるので、パワーFET8のドレイン電流Ioを検出する際の電力損失を小さくすることができる。
【0031】
また、図1の半導体装置ではパワーFETを縦型MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)にしている。縦型MOSFETは、図2に示すような構造であり、酸化シリコン膜86中のゲート電極83に正の電圧が印加されるとP型の領域84のゲート電極83に対向する部分がN型に反転し、ドレイン電極87からソース電極85へ電流が流れる。縦型MOSFETはオン抵抗が小さいので、ドレイン電流を大きくすることができ、パワーFETに好適である。
【0032】
図5の従来の半導体装置の等価回路として図6の説明を行ったときに既に述べたようにパワーFET8のオン抵抗はほぼ一定であるが、パワーFET8はドレイン電流Ioが流れる際の電力損失によって発熱し、その発熱による温度上昇によってオン抵抗がわずかに大きくなる。このオン抵抗の増加に伴い、所定値のドレイン電流Ioを出力する際のソース−ドレイン間電圧が増加してしまう。
【0033】
このため、比較器9におけるパワーFET8のソース−ドレイン間電圧に基づくドレイン電流Ioの検出には、温度による検出誤差が生じる。したがって、高精度のドレイン電流検出を行うには温度補正が必要となる。
【0034】
ところが、図5の従来の半導体装置の構成では、比較器9とパワーFET8との距離が離れていたため、比較器9においてパワーFET8の温度を正しく認識することができなかった。このため、正確な温度補正を施すことが困難であった。
【0035】
一方、図1の半導体装置では、比較器9とパワーFET8の温度がほぼ一致するように比較器9とパワーFET8を互いに近接して設けている。したがって、比較器9においてパワーFET8の温度をより正しく認識することができる。これにより、正確な温度補正を施すことが容易になる。
【0036】
比較器9における温度補正について、比較器9の回路ブロック図である図3を参照して説明する。比較器9は、入力端子91及び92と、非反転入力と反転入力とを有する差動増幅器93と、高利得増幅器94と、オフセット回路95と、出力段増幅器96と、出力端子97とから構成される。
【0037】
差動増幅器93は、入力端子91から送出される電圧と入力端子92から送出される電圧を非反転入力と反転入力とに受けてその差を増幅して出力する。差動増幅器93から出力される電圧信号は、高利得増幅器94によって増幅され、オフセット回路95によってオフセットされ、出力段増幅器96によって増幅されたのち、出力端子97から出力される。
【0038】
ここで、オフセット回路95が負の温度特性を有するようにしておけば、パワーFET8の温度が高い場合、負のオフセットにより比較器9から出力される検出電圧は出力よりも小さくなるように補正される。これにより、比較器9におけるパワーFET8のソース−ドレイン間電圧に基づくドレイン電流Ioの検出での温度による検出誤差を低減することができる。なお、オフセット回路95が有する負の温度特性とパワーFET8のオン抵抗が有する正の温度特性とが相殺するように、オフセット回路95の回路定数を設定するとよい。
【0039】
【発明の効果】
本発明によると、FETのドレイン電流を検出する電流検出手段が前記FETのソース−ドレイン間電圧を入力するので、前記FETによるスイッチ回路での電力損失を小さくすることができる。そして、前記FETが第1の半導体チップに形成され、前記電流検出手段が第2の半導体チップに形成されるので、製造プロセスが大きく異なる前記FET及び前記電流検出手段をそれぞれ効率よく生産することができる。
【0040】
さらに、前記FETと前記電流検出手段を備える回路ではCMOS回路とアナログ回路を具備するシステムLSI等とは異なり小型化・高集積化の要望がそれ程強くなく且つ仮に横並びではなく縦並びに配置した場合には、前記第2の半導体チップのサイズが元来小さいことから小型化・高集積化の効果が小さい上に縦並びにするためにバンプ形成等の工程が必要になる。即ち、第1の半導体チップと第2の半導体チップとの接続方法を第1の半導体チップとリードフレームとの接続方法と同様にする方が製造工程を簡略化しコストを低減することができるので、従来は第1の半導体チップと第2の半導体チップを横並びに配置し、金属ワイヤによって接続していた。しかしながら、このような構成では近年高まっている電流検出の高精度化の要求に対応することができなかった。そこで、本発明では、電流検出の高精度化の要求に応じるために、製造工程が増えコストアップになるにも係わらず前記FETと前記電流検出手段とがバンプを介して縦並びに接続される構成とした。これにより、前記FETと前記電流検出手段との間の抵抗成分をより小さくすることができるだけでなく、電流検出手段の温度変化をFETにより一致させることができる。その結果、前記電流検出手段に入力されるFETのソース−ドレイン間の信号レベルが相対的に低下することを考慮して、電流検出誤差を小さくすることができる。したがって、搭載しているFETの電流検出を低電力損失かつ高精度に行うことができる半導体装置が実現できる。
【0041】
また、本発明によると、前記電流検出手段が負の温度特性を有するオフセット手段を備えるので、FETの温度上昇に伴い前記電流検出手段の温度が高くなると検出した信号のレベルが実際より小さいものとして出力される。特に、チップ・オン・チップ接続により前記電流検出手段と前記FETとが互いに近接して設けられているので、前記電流検出手段と前記FETとの温度分布がほぼ同じになる。すなわち、前記FETの温度の微妙な変化に応じて検出信号を精度良く補正した出力を行える。これにより、前記FETの温度が高くなると所定値のドレイン電流を出力する際のソース−ドレイン間電圧及び抵抗R2やR3の抵抗値が増加して相対的にソース−ドレイン間の電圧の影響が低下してしまうにもかかわらず、前記電流検出手段における前記FETのソース−ドレイン間電圧に基づくドレイン電流の決定に際し、温度による検出誤差を低減することができる。
【0042】
また、本発明によると、FETを縦型MOSFETにするので、FETのオン抵抗を小さくすることができる。これにより、FETのドレイン電流を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る一実施形態の半導体装置の構成を示す図である。
【図2】 図1の半導体装置が備える縦型MOSFETの構成を示す図である。
【図3】 図1の半導体装置が備える比較器の回路ブロック図である。
【図4】 従来の電流検出の一例を示す図である。
【図5】 従来の電流検出の他の構成例を示す図である。
【図6】 図1及び図5の電流検出を行う場合の装置の等価回路を示す図である。
【符号の説明】
1、2 半導体チップ
3 バンプ
8 パワーFET
9 比較器
81 ドレイン領域
82 ソース領域
83 ゲート電極
84 P型の領域
85 ソース電極
86 酸化シリコン膜
87 ドレイン電極
95 オフセット回路
Claims (2)
- FETを具備する第1の半導体チップと、前記FETのソース−ドレイン間電圧を入力して前記FETのドレイン電流を検出する電流検出手段を具備する第2の半導体チップと、を備え、前記FETと前記電流検出手段とがバンプを介して接続され、
前記電流検出手段が負の温度特性を有するオフセット手段を備え、前記第1の半導体チップの正の温度特性による抵抗値の変化の影響をキャンセルするようになっていることを特徴とする半導体装置。 - 前記FETが縦型MOSFETである請求項1に記載の半導体装置。
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