JP5687943B2 - Short-circuit inspection apparatus and short-circuit inspection method - Google Patents
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Description
本発明は、回路基板に形成された幹配線から枝状に延出する複数の枝配線間における短絡の有無を検査する短絡検査装置および短絡検査方法に関するものである。 The present invention relates to a short-circuit inspection apparatus and a short-circuit inspection method for inspecting the presence or absence of a short circuit between a plurality of branch wirings extending in a branch shape from a trunk wiring formed on a circuit board.
この種の短絡検査装置として、特開2005−300240号公報に開示された短絡検査装置(回路配線検査装置)が知られている。この短絡検査装置は、幹配線とこの幹配線から枝状に延出する(引き出されている)複数の枝配線とを含み、枝配線の各々に2つの端点が設けられている回路配線を検査対象とする検査装置であり、隣接する一対の枝配線(第1枝配線および第2枝配線)のうちの第1枝配線側の2つの端点間と第2枝配線側の2つの端点間との間の短絡の有無を検査する。また、この検査装置は、この短絡検査を実行可能とするため、第1枝配線のうちの反幹配線側に位置する一方の端点と上記の一対の枝配線以外の第3枝配線との間に検査信号(電流)を供給する電流発生器と、第2枝配線側の2つの端点間に接続される電圧測定器と、電流発生器からの電流の供給状態および電圧測定器で測定された電圧に基づいて短絡の有無を判定する制御手段とを備えている。 As this type of short circuit inspection apparatus, a short circuit inspection apparatus (circuit wiring inspection apparatus) disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-300240 is known. This short-circuit inspection apparatus inspects a circuit wiring including a trunk wiring and a plurality of branch wirings extending (extracted) from the trunk wiring in a branch shape, each of which has two end points. A target inspection apparatus, between two end points on the first branch wiring side and between two end points on the second branch wiring side of a pair of adjacent branch wirings (first branch wiring and second branch wiring) Check for short circuit between the two. In addition, in order to enable this short-circuit inspection to be performed, this inspection apparatus is provided between one end point located on the side opposite to the trunk wiring of the first branch wiring and the third branch wiring other than the pair of branch wirings. Measured with a current generator for supplying a test signal (current) to the voltage measuring device, a voltage measuring device connected between two end points on the second branch wiring side, a current supply state from the current generator and a voltage measuring device Control means for determining the presence or absence of a short circuit based on the voltage.
上記の回路配線では、電流発生器から電流が供給され、かつ電圧測定器の読み値が0Vである場合には、第1枝配線の反幹配線側の端点→幹配線側の端点→幹配線→第3枝配線へと電流が流れるが、第2枝配線の幹配線側の端点および反幹配線側の端点間には電流が流れていない状態である。したがって、この状態のときには、この短絡検査装置では、制御手段は、上記した電流発生器からの電流の供給状態と電圧測定器の読み値とに基づいて、第1枝配線側の各端点間と第2枝配線側の各端点間との間に短絡なしと判定する。 In the above circuit wiring, when the current is supplied from the current generator and the reading value of the voltage measuring device is 0 V, the end point on the side opposite to the trunk wiring of the first branch wiring → the end point on the trunk wiring side → the trunk wiring → Current flows to the third branch wiring, but current does not flow between the end points on the trunk wiring side and the opposite trunk wiring side of the second branch wiring. Therefore, in this state, in this short-circuit inspection apparatus, the control means determines the distance between the end points on the first branch wiring side based on the current supply state from the current generator and the reading value of the voltage measuring device. It is determined that there is no short circuit between the end points on the second branch wiring side.
一方、上記の回路配線では、電流発生器から電流が供給され、かつ電圧測定器の読み値が0Vでない場合には、第1枝配線と第2枝配線との間に短絡箇所があり、第1枝配線側から第2枝配線の各端点間に電流が流れている状態である。この短絡電流は、第1枝配線→第2枝配線→幹配線→第3枝配線へと流れる。したがって、この状態のときには、この短絡検査装置では、制御手段は、上記した電流発生器からの電流の供給状態と電圧測定器の読み値とに基づいて、第1枝配線側の各端点間と第2枝配線側の各端点間との間に短絡があると判定する。これにより、複数の枝配線のうちの隣接する一対の枝配線間における短絡の有無が検査される。 On the other hand, in the above circuit wiring, when a current is supplied from the current generator and the reading value of the voltage measuring device is not 0 V, there is a short-circuit portion between the first branch wiring and the second branch wiring. This is a state in which current flows between the end points of the second branch wiring from the one branch wiring side. This short-circuit current flows in the order of the first branch wiring → the second branch wiring → the trunk wiring → the third branch wiring. Therefore, in this state, in this short-circuit inspection apparatus, the control means determines the distance between the end points on the first branch wiring side based on the current supply state from the current generator and the reading value of the voltage measuring device. It is determined that there is a short circuit between the end points on the second branch wiring side. Thereby, the presence or absence of a short circuit between a pair of adjacent branch wirings among the plurality of branch wirings is inspected.
ところが、上記の短絡検査装置には、以下の改善すべき課題が存在している。すなわち、この短絡検査装置では、第1および第2枝配線に対して、反幹配線側の端点および幹配線側の端点の2つの端点を規定して、検査対象とする一対の枝配線(第1および第2枝配線)のうちの第2枝配線側の2つの端点間に電圧測定器を接続する構成を採用している。このため、この短絡検査装置には、この一対の枝配線のうちの第1枝配線における幹配線側の端点と幹配線との間の部位、および一対の枝配線のうちの第2枝配線における幹配線側の端点と幹配線との間の部位の両部位間に短絡が存在しているときには、この短絡の有無を検査することが困難であるという改善すべき課題が存在している。 However, the following short circuit inspection apparatus has the following problems to be improved. That is, in this short-circuit inspection apparatus, a pair of branch wirings (first wirings) to be inspected are defined for the first and second branch wirings by defining two end points, that is, an end point on the anti-trunk wiring side and an end point on the trunk wiring side. The voltage measuring device is connected between two end points on the second branch wiring side of the first and second branch wirings). For this reason, the short-circuit inspection apparatus includes a portion between the end point on the trunk wiring side in the first branch wiring and the trunk wiring of the pair of branch wirings, and the second branch wiring of the pair of branch wirings. When a short circuit exists between both parts between the end point on the main wiring side and the main wiring, there is a problem to be improved that it is difficult to inspect the presence or absence of the short circuit.
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、一対の枝配線間の短絡を確実に検査し得る短絡検査装置および短絡検査方法を提供することを主目的とする。 This invention is made | formed in view of this subject, and it aims at providing the short circuit inspection apparatus and short circuit inspection method which can test | inspect the short circuit between a pair of branch wiring reliably.
上記目的を達成すべく請求項1記載の短絡検査装置は、幹配線から枝状に延出する複数の枝配線が形成された回路基板に対して前記各枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線として当該検査枝配線間の短絡の有無を検査する短絡検査装置であって、前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給する電流供給部と、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定する電圧測定部と、前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲を記憶する記憶部と、前記電流供給部から前記電流供給枝配線の組に前記検査電流が供給されている状態において前記電圧測定部によって測定された前記配線間電圧に基づく前記電気的パラメータと前記判定範囲とを比較することにより、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する処理部とを備えている。
In order to achieve the above object, the short-circuit inspection apparatus according to
請求項2記載の短絡検査装置は、請求項1記載の短絡検査装置において、前記一対の検査枝配線の両側に位置する一対の前記枝配線を前記補助枝配線として規定したときに、前記電圧測定部は、前記一対の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のすべての枝配線のうちの前記電流供給枝配線の組を構成する枝配線のいずれとも異なる一対の枝配線の組を前記電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する。
The short-circuit inspection device according to
請求項3記載の短絡検査装置は、請求項2記載の短絡検査装置において、前記電流供給枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該一方の検査枝配線側の補助枝配線で構成され、前記電圧測定枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの他方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該他方の検査枝配線側の補助枝配線で構成されている。
The short-circuit inspection apparatus according to
請求項4記載の短絡検査装置は、請求項1記載の短絡検査装置において、前記一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線に隣接する1本の前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、前記電圧測定部は、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のすべての枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する。 According to a fourth aspect of the present invention, in the short-circuit inspection device according to the first aspect, the one branch wiring adjacent to one of the pair of inspection branch wirings is defined as an auxiliary branch wiring. In some cases, the voltage measuring unit is a pair of any pair of branch wirings among all the branch wirings of the pair of test branch wirings and the auxiliary branch wirings, The voltage between the wirings is measured by using a pair of branch wirings having different branch wirings as a set of voltage measurement branch wirings.
上記目的を達成すべく請求項5記載の短絡検査方法は、幹配線から枝状に延出する複数の枝配線が形成された回路基板に対して前記各枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線として当該検査枝配線間の短絡の有無を検査する短絡検査方法であって、前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給し、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定し、前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲と前記測定した配線間電圧に基づく前記電気的パラメータとを比較して、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する。
In order to achieve the above object, the short-circuit inspection method according to
請求項1記載の短絡検査装置および請求項5記載の短絡検査方法では、複数の枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線を検査枝配線として短絡検査する際に、各枝配線の先端部にそれぞれ形成されたプロービング点を使用して、電流供給部および電圧測定部を接続する。したがって、この短絡検査装置および短絡検査方法によれば、一対の検査枝配線としての一対の枝配線間の全域に亘り、すなわち、この一対の枝配線のうちの一方の枝配線における延出方向に沿った全域と、他方の枝配線における延出方向に沿った全域との間での短絡の発生の有無を確実に検査することができる。
The short-circuit inspection apparatus according to
また、請求項2記載の短絡検査装置では、一対の検査枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として規定し、電流供給部が接続される電流供給枝配線の組を構成する枝配線のいずれとも異なる一対の枝配線の組を電圧測定部が接続される電圧測定枝配線の組とする。したがって、この短絡検査装置によれば、各プロービング点に電流供給部および電圧測定部のプローブを1つずつ接触させる構成とすることができるため、各枝配線が狭ピッチで形成されていて、各プロービング点間のピッチも狭い場合であっても、1つのランドに2つのプローブを接触させる構成とは異なり、プローブをランドに確実に接触させることができる結果、狭ピッチで形成された各枝配線に対する短絡検査を確実に実行することができる。 According to a second aspect of the present invention, a pair of branch wirings located on both sides of the pair of inspection branch wirings are defined as auxiliary branch wirings, and a set of current supply branch wirings to which a current supply unit is connected is configured. A pair of branch wirings different from any of the branch wirings is a set of voltage measurement branch wirings to which the voltage measurement unit is connected. Therefore, according to this short-circuit inspection device, each probing point can be configured to contact the probe of the current supply unit and the voltage measurement unit one by one, so that each branch wiring is formed at a narrow pitch, Even when the pitch between probing points is narrow, unlike the configuration in which two probes are in contact with one land, the probe can be surely brought into contact with the land. It is possible to reliably execute a short-circuit inspection for.
また、請求項3記載の短絡検査装置では、電流供給枝配線の組は、一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線および一対の補助枝配線のうちのこの一方の検査枝配線側の補助枝配線で構成され、電圧測定枝配線の組は、一対の検査枝配線のうちの他方の検査枝配線および一対の補助枝配線のうちのこの他方の検査枝配線側の補助枝配線で構成されている。したがって、この短絡検査装置によれば、一対の検査枝配線が短絡していないときには、電圧測定部で検出する配線間電圧についての電圧経路を電流供給部から供給される検査電流についての電流経路と全く重ならないようにし(電圧経路と電流経路との間に共通経路が存在しない構成とし)、一対の検査枝配線が短絡したときに、電圧経路が電流経路と重なる構成(電圧経路と電流経路との間に共通経路が存在する構成)にすることができる。したがって、この短絡検査装置によれば、電圧測定部が測定する配線間電圧を、一対の検査枝配線が短絡していないときにゼロボルトにし、一対の検査枝配線が短絡しているときにゼロボルトでない電圧にすることができるため、判定範囲の設定作業を容易に行うことができる。
Further, in the short circuit inspection apparatus according to
また、請求項4記載の短絡検査装置によれば、幹配線から枝状に延出する複数の枝配線のうちの両端に位置する枝配線についても、検査枝配線として、隣接する枝配線との間の短絡の有無を検査することができる。
According to the short circuit inspection apparatus of
以下、短絡検査装置および短絡検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of a short-circuit inspection apparatus and a short-circuit inspection method will be described with reference to the accompanying drawings.
最初に、短絡検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。
Initially, the structure of the short
短絡検査装置1は、図1に示すように、電流供給部2、電圧測定部3、記憶部4、処理部5および表示部6を備え、幹配線Mの一方の側(同図では右側)へ並んで枝状に延出する複数(本例では一例として6つ)の枝配線11,12,13,14,15,16が形成された回路基板(不図示)に対して、両端の枝配線11,16を除く各枝配線12〜15のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線とし、かつ検査枝配線とした一対の枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として、各検査枝配線間の短絡の有無を検査する。また、短絡検査装置1は、上記の一対の枝配線の検査に際して、各枝配線11,12,13,14,15,16の先端部にそれぞれ形成されたランド21,22,23,24,25,26をプロービング点として使用する。
As shown in FIG. 1, the short
電流供給部2は、一例として、電流源2aおよび一対のプローブ(電流供給プローブ)2b,2cを備え、処理部5によって制御されて、各プローブ2b,2c間に検査電流(直流電流または交流電流。本例では一例として直流電流)Iを出力する。また、電流供給部2は、検査電流Iを各プローブ2b,2c間に出力しているときには、検査電流Iの電流値を示す電流データDiを処理部5へ出力する。
The
電圧測定部3は、一例として、電圧計3aおよび一対のプローブ(電圧検出プローブ)3b,3cを備え、各プローブ3b,3c間の電圧Vを測定する。また、電圧測定部3は、測定した電圧Vの電圧値を示す電圧データDvを処理部5へ出力する。記憶部4は、例えば、ROMやRAMなどの半導体メモリや、ハードディスク装置で構成されて、処理部5を構成する後述のCPUのための動作プログラムや、処理部5による後述の短絡検査処理において使用される判定範囲を示す判定データDrefが予め記憶されている。
As an example, the
処理部5は、一例として、CPUを用いて構成されて、電流供給部2に対する動作制御、短絡検査処理、およびこの短絡検査処理の結果についての表示処理を実行する。表示部6は、一例としてLCDなどの表示装置で構成されて、短絡検査処理の結果を画面に表示する。
As an example, the
次に、短絡検査装置1を用いた各枝配線12〜15に対する短絡検査方法について、短絡検査装置1の動作も併せて、図面を参照して説明する。
Next, a short-circuit inspection method for the branch wirings 12 to 15 using the short-
なお、検査枝配線となる各枝配線12〜15のうちの隣接する一対の枝配線としては、枝配線12,13、枝配線13,14、および枝配線14,15の3組が存在するが、各組に対して補助枝配線となる一対の枝配線については,以下のようにして予め規定されている。 Note that there are three pairs of branch wirings 12 and 13, branch wirings 13 and 14, and branch wirings 14 and 15 as a pair of adjacent branch wirings among the branch wirings 12 to 15 serving as inspection branch wirings. A pair of branch wirings that serve as auxiliary branch wirings for each set is defined in advance as follows.
一対の枝配線12,13が検査枝配線のときには、枝配線12,13の一方の側に位置する枝配線11と、枝配線12,13の他方の側に位置する枝配線14〜16のうちの任意の1つの枝配線(例えば、枝配線14)とが、枝配線12,13の両側に位置する補助枝配線としての一対の枝配線として規定されている。また、一対の枝配線13,14が検査枝配線のときには、枝配線13,14の一方の側に位置する枝配線11,12のうちの任意の1つの枝配線(例えば、枝配線12)と、枝配線12,13の他方の側に位置する枝配線15,16のうちの任意の1つの枝配線(例えば、枝配線15)とが、枝配線13,14の両側に位置する補助枝配線としての一対の枝配線として規定されている。また、一対の枝配線14,15が検査枝配線のときには、枝配線14,15の一方の側に位置する枝配線11〜13のうちの任意の1つの枝配線(例えば、枝配線13)と、枝配線14,15の他方の側に位置する枝配線16とが、枝配線14,15の両側に位置する補助枝配線としての一対の枝配線として規定されている。
When the pair of branch wirings 12 and 13 are inspection branch wirings, the
次いで、一対の検査枝配線およびこの一対の検査枝配線に対して規定された一対の補助枝配線のすべての枝配線(4つの枝配線)のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として電流供給部2を接続すると共に、一対の検査枝配線および一対の補助枝配線のすべての枝配線のうちの電流供給枝配線の組のいずれとも相違する一対の枝配線の組(残りの2つの枝配線の組)を電圧測定枝配線の組として電圧測定部3を接続する。
Next, a current is supplied to any pair of branch wirings among the pair of inspection branch wirings and all branch wirings (four branch wirings) of the pair of auxiliary branch wirings defined for the pair of inspection branch wirings. A pair of branch wirings connected to the
具体的には、一対の枝配線12,13が検査枝配線であり、一対の枝配線11,14を補助枝配線としたときには、一例として、図2に示すように、これらの4つの枝配線11〜14のうちの一対の枝配線13,14の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線13,14の各ランド23,24に電流供給部2のプローブ2b,2cを接続する。また、枝配線11〜14のうちの電流供給枝配線の組のいずれとも相違する一対の枝配線11,12の組(残りの2つの枝配線11,12の組)を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線11,12の各ランド21,22に電圧測定部3のプローブ3b,3cを接続する。この場合、電流供給枝配線の組を構成する各枝配線と電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線とを入れ替えて、電流供給部2および電圧測定部3を接続することもできる。
Specifically, when the pair of branch wirings 12 and 13 are inspection branch wirings and the pair of branch wirings 11 and 14 are auxiliary branch wirings, as an example, as shown in FIG. The pair of branch wirings 13 and 14 out of 11 to 14 is set as a set of current supply branch wirings, and the
また、一対の枝配線13,14が検査枝配線であり、一対の枝配線12,15を補助枝配線としたときには、一例として、図1に示すように、これらの4つの枝配線12〜15のうちの一対の枝配線14,15の組を電流供給枝配線の組として、各ランド24,25に電流供給部2のプローブ2b,2cを接続する。また、残りの一対の枝配線12,13の組を電圧測定枝配線の組として、各ランド22,23に電圧測定部3のプローブ3b,3cを接続する。この場合、電流供給枝配線の組を構成する各枝配線と電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線とを入れ替えて、電流供給部2および電圧測定部3を接続することもできる。
When the pair of branch wirings 13 and 14 are inspection branch wirings and the pair of branch wirings 12 and 15 are auxiliary branch wirings, as shown in FIG. 1, as an example, these four branch wirings 12 to 15 are used. The pair of branch wirings 14 and 15 is a set of current supply branch wirings, and the
また、一対の枝配線14,15が検査枝配線であり、一対の枝配線13,16を補助枝配線としたときには、一例として、図3に示すように、これらの4つの枝配線13〜16のうちの一対の枝配線15,16の組を電流供給枝配線の組として、各ランド25,26に電流供給部2のプローブ2b,2cを接続する。また、残りの一対の枝配線13,14の組を電圧測定枝配線の組として、各ランド23,24に電圧測定部3のプローブ3b,3cを接続する。この場合、電流供給枝配線の組を構成する各枝配線と電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線とを入れ替えて、電流供給部2および電圧測定部3を接続することもできる。
When the pair of branch wirings 14 and 15 are inspection branch wirings and the pair of branch wirings 13 and 16 are auxiliary branch wirings, as shown in FIG. 3, as an example, these four branch wirings 13 to 16 are used. The pair of
このようにして規定した1つの電流供給枝配線の組への電流供給部2の接続、およびこの電流供給枝配線の組に対応する1つの電圧測定枝配線の組への電圧測定部3の接続が完了した後、短絡検査装置1では、処理部5が、電流供給部2に対して、電流供給枝配線の組とした一対の枝配線間への検査電流Iの供給を開始させると共に、電流供給部2から検査電流Iの電流値を示す電流データDiを入力する。
Connection of the
処理部5は、入力した電流データDiで示される検査電流Iの電流値がゼロでないときには、電流供給部2から検査電流Iが電流供給枝配線の組に対して正常に供給されていると判別して、短絡検査処理を実行する。この短絡検査処理では、処理部5は、電圧測定部3から電圧データDvを入力すると共に、現在の電圧測定枝配線の組および電流供給枝配線の組に対応する判定データDrefを記憶部4から読み出して、電圧データDvで示される電圧V(電圧測定枝配線の組とした一対の枝配線間に発生している配線間電圧)の電圧値を判定データDrefで示される判定範囲と比較する。
When the current value of the inspection current I indicated by the input current data Di is not zero, the
一例として、図1に示すように、一対の枝配線13,14を検査枝配線とし、一対の枝配線12,15を補助枝配線として規定し、さらに、一対の枝配線14,15の組を電流供給枝配線の組とし、残りの一対の枝配線12,13の組を電圧測定枝配線の組とした例について説明する。この例において、検査枝配線としての各枝配線13,14間が短絡していないとき(短絡パターンSCが存在していないとき)には、電流供給部2から電流供給枝配線の組(枝配線14,15の組)に供給された検査電流Iは、同図中において実線で示した電流経路(ランド24から枝配線14、幹配線Mおよび枝配線15を介してランド25に至る経路)に流れるが、この電流経路と電圧測定部3が接続されている電圧経路(ランド22から枝配線12、幹配線Mおよび枝配線13を介してランド23に至る経路)との間には共通経路が存在しないため、この電圧経路には検査電流Iは流れない。これにより、電圧測定部3によって測定される電圧Vの電圧値はゼロボルトとなり、この電圧値を示す電圧データDvが処理部5に入力される。
As an example, as shown in FIG. 1, a pair of branch wirings 13 and 14 are defined as inspection branch wirings, a pair of branch wirings 12 and 15 are defined as auxiliary branch wirings, and a pair of branch wirings 14 and 15 is further defined. An example will be described in which a set of current supply branch wirings and a pair of the remaining pair of branch wirings 12 and 13 are set as voltage measurement branch wirings. In this example, when the
一方、検査枝配線としての各枝配線13,14間が短絡しているとき(短絡パターンSCが存在しているとき)には、上記した電流経路(図1中において実線で示した電流経路)の他に、同図中において破線で示した新たな他の電流経路(ランド24から枝配線14、短絡パターンSC、枝配線13の一部、幹配線Mおよび枝配線15を介してランド25に至る経路)が形成される。この他の電流経路と上記した電圧経路との間には、枝配線13の一部が共通経路として存在している。このため、この共通経路(枝配線13の一部)において、検査電流Iの一部が流れることに起因して電圧降下が発生し、電圧測定部3によって測定される電圧Vの電圧値はゼロボルトではない電圧値となり、この電圧値を示す電圧データDvが処理部5に入力される。
On the other hand, when the branch wirings 13 and 14 as the inspection branch wiring are short-circuited (when the short-circuit pattern SC exists), the above-described current path (current path indicated by a solid line in FIG. 1). In addition, another new current path indicated by a broken line in the figure (from the
したがって、検査枝配線としての各枝配線13,14間が短絡していないとき(各枝配線13,14間が正常な状態のとき)の電圧データDvで示される電圧値(本例ではゼロボルト)、および検査枝配線としての各枝配線13,14間が短絡しているとき(各枝配線13,14間が不良な状態のとき)の電圧データDvで示される電圧値(ゼロボルトではない電圧値)に基づく電気的パラメータ(本例では、この電圧値自体がこの電気的パラメータ)に基づいて、各枝配線13,14間が短絡していないときの電圧データDvで示される電圧値は含まれ、各枝配線13,14間が短絡しているときの電圧データDvで示される電圧値は含まれないような判定範囲を一例として決定して判定データDrefとして記憶部4に記憶しておく。これにより、処理部5は、記憶部4から読み出した判定データDrefで示される判定範囲と電圧Vの電圧値とを比較して、電圧Vの電圧値が判定範囲に含まれているときには、各枝配線13,14間が短絡していない(短絡パターンが存在していない)と判別し、電圧Vの電圧値が判定範囲に含まれていないときには、各枝配線13,14間が短絡している(短絡パターンSCが存在している)と判別する。これにより、短絡検査処理が完了する。
Therefore, the voltage value (zero volt in this example) indicated by the voltage data Dv when the branch wirings 13 and 14 as the inspection branch wiring are not short-circuited (when the branch wirings 13 and 14 are in a normal state). , And a voltage value (a voltage value that is not zero volts) indicated by voltage data Dv when the branch wirings 13 and 14 are short-circuited (when the branch wirings 13 and 14 are defective). ) Based on the electrical parameter (in this example, this voltage value itself is this electrical parameter), the voltage value indicated by the voltage data Dv when the branch wirings 13 and 14 are not short-circuited is included. A determination range that does not include the voltage value indicated by the voltage data Dv when the branch wirings 13 and 14 are short-circuited is determined as an example and stored in the
なお、各枝配線13,14間が短絡していないときの電圧データDvで示される電圧値は含まれず、各枝配線13,14間が短絡しているときの電圧データDvで示される電圧値は含まれるような判定範囲を決定して判定データDrefとすることもできる。この場合、処理部5は、記憶部4から読み出した判定データDrefで示される判定範囲と電圧Vの電圧値とを比較して、電圧Vの電圧値が判定範囲に含まれていないときには、各枝配線13,14間が短絡していない(短絡パターンが存在していない)と判別し、電圧Vの電圧値が判定範囲に含まれているときには、各枝配線13,14間が短絡している(短絡パターンSCが存在している)と判別する。
The voltage value indicated by the voltage data Dv when the
最後に、処理部5は、表示処理を実行して、短絡検査処理の結果を表示部6に表示させる。これにより、検査枝配線としての各枝配線13,14に対する短絡検査が完了する。短絡検査装置1では、他の一対の枝配線を検査枝配線として、図2,3に示すように、電流供給部2が対応する電流供給枝配線の組に接続され、かつ電圧測定部3が対応する電圧測定枝配線の組に接続される都度、処理部5が上記のように作動して、短絡検査処理を実行すると共に、短絡検査処理の結果を表示部6に表示させる。したがって、この短絡検査装置1では、表示部6に表示される内容を確認することにより、検査枝配線とした一対の枝配線間(枝配線12,13間、枝配線13,14間および枝配線14,15間)の全域に亘り、短絡が発生しているか否かを検査することが可能となっている。
Finally, the
このように、この短絡検査装置1および短絡検査方法では、複数の枝配線12〜15のうちの隣接する任意の一対の枝配線を検査枝配線として短絡検査する際に、各枝配線11〜16の先端部にそれぞれ形成されたランド21〜26をプロービング点として使用して、電流供給部2および電圧測定部3を接続する。したがって、この短絡検査装置1および短絡検査方法によれば、一対の検査枝配線としての一対の枝配線間の全域に亘り、すなわち、この一対の枝配線のうちの一方の枝配線における延出方向に沿った全域と、他方の枝配線における延出方向に沿った全域との間での短絡の発生の有無を確実に検査することができる。
Thus, in this short
また、この短絡検査装置1では、一対の検査枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として規定し(図1で示すように、一対の検査枝配線13,14に対しては、それらの両側に位置する一対の枝配線(この例では枝配線12,15)を補助枝配線として規定し)、電流供給部2が接続される電流供給枝配線の組を構成する枝配線14,15のいずれとも異なる一対の枝配線12,13の組を電圧測定部3が接続される電圧測定枝配線の組とする。したがって、この短絡検査装置1によれば、各ランド22〜25にプローブを1つずつ接触させる構成とすることができるため、各枝配線11〜16が狭ピッチで形成されていて、各ランド21〜26間のピッチも狭い場合であっても、1つのランドに2つのプローブを接触させる構成とは異なり、プローブをランドに確実に接触させることができる結果、狭ピッチで形成された各枝配線12〜15に対する短絡検査を確実に実行することができる。
Further, in this short
また、この短絡検査装置1では、電流供給枝配線の組は、一対の検査枝配線13,14のうちの一方の検査枝配線14および一対の補助枝配線12,15のうちのこの一方の検査枝配線14側の補助枝配線15で構成され、電圧測定枝配線の組は、一対の検査枝配線13,14のうちの他方の検査枝配線13および一対の補助枝配線12,15のうちのこの他方の検査枝配線13側の補助枝配線12で構成されている。したがって、この短絡検査装置1によれば、一対の検査枝配線13,14が短絡していないときには、電圧測定部3で検出する電圧Vについての電圧経路を電流供給部2から供給される検査電流Iについての電流経路と全く重ならないようにし(電圧経路と電流経路との間に共通経路が存在しない構成とし)、一対の検査枝配線13,14が短絡したときに、電圧経路が電流経路と重なる構成(電圧経路と電流経路との間に共通経路が存在する構成)にすることができる。このため、この短絡検査装置1によれば、電圧測定部3が測定する電圧Vを、一対の検査枝配線13,14が短絡していないときにゼロボルトにし、一対の検査枝配線13,14が短絡しているときにゼロボルトでない電圧にすることができるため、判定範囲の設定作業を容易に行うことができる。
In the short
なお、上記の構成に限定されない。例えば、一対の検査枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として規定する構成において、図4に示すように、一対の検査枝配線12,13を電流供給枝配線の組または電圧測定枝配線の組(同図では一例として電流供給枝配線の組)とし、一対の検査枝配線12,13の両側に位置する一対の補助枝配線11,14を電流供給枝配線の組および電圧測定枝配線の組のうちの残りの組(同図では一例として電圧測定枝配線の組)とする構成を採用することもできる。また、図5に示すように、各枝配線11,12,13,14のランド21,22,23,24に対する電流供給部2の各プローブ2b,2cおよび電圧測定部3の各プローブ3b,3cの接続位置が交互に位置するように(この例では、ランド21側からプローブ3b、プローブ2b、プローブ3c、プローブ2cの順に接続されるように)、電流供給枝配線の組および電圧測定枝配線の組を規定する構成を採用することもできる。
In addition, it is not limited to said structure. For example, in a configuration in which a pair of branch wirings positioned on both sides of a pair of test branch wirings are defined as auxiliary branch wirings, as shown in FIG. A set of measurement branch lines (in the figure, a set of current supply branch lines is taken as an example), and a pair of
図4,5に示す上記の構成では、一対の検査枝配線12,13が短絡しているか否かに拘わらず、電圧測定部3についての電圧経路と電流供給部2についての電流経路とが常に一部において重なる状態(共通経路が存在する状態)となっている。しかしながら、図4,5に示すいずれの構成においても、電圧測定部3において測定される電圧Vが、一対の検査枝配線12,13が短絡しているときと、短絡していないときとで相違する。このため、この短絡の有無での電圧Vの相違を区別し得るように予め判定範囲を規定しておくことで、図4,5に示すいずれの構成においても、各枝配線11〜14の先端部にそれぞれ形成されたランド21〜24をプロービング点として使用して、隣接する一対の枝配線間(各同図では、一例として一対の検査枝配線12,13間)の短絡の有無を検査することができ、上記した短絡検査装置1と同様の効果を奏することができる。
4 and 5, the voltage path for the
また、一対の検査枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として規定する例について上記したが、一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線側に隣接する1つの枝配線を補助枝配線として規定する構成を採用することもできる。以下、この構成を採用した短絡検査装置1Aについて、図6を参照して説明する。
In addition, the example in which the pair of branch wirings positioned on both sides of the pair of test branch wirings is defined as the auxiliary branch wiring has been described above, but one branch wiring adjacent to one test branch wiring side of the pair of test branch wirings. It is also possible to adopt a configuration in which is defined as auxiliary branch wiring. Hereinafter, a short
まず、短絡検査装置1Aの構成について説明する。なお、短絡検査装置1Aと短絡検査装置1とは、上記したように一対の検査枝配線に対する補助枝配線の規定の仕方が主として相違するだけで、装置の構成については同一である。このため、短絡検査装置1と同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
First, the configuration of the short
短絡検査装置1Aは、電流供給部2、電圧測定部3、記憶部4、処理部5および表示部6を備え、幹配線Mの一方の側(同図では右側)へ枝状に延出する複数(本例では一例として5つを図示している)の枝配線11,12,13,14,15が形成された回路基板(不図示)に対して、すべての枝配線11〜15のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線とし、かつ検査枝配線とした一対の枝配線のうちの一方の検査枝配線側に隣接する1つの枝配線を補助枝配線として、各検査枝配線間の短絡の有無を検査する。また、短絡検査装置1Aは、短絡検査装置1と同様にして、各枝配線11,12,13,14,15の先端部にそれぞれ形成されたランド21,22,23,24,25をプロービング点として使用する。
1 A of short circuit inspection apparatuses are equipped with the electric
次に、短絡検査装置1Aを用いた複数の枝配線(各枝配線11〜15)に対する短絡検査方法について、短絡検査装置1Aの動作と併せて説明する。
Next, a short circuit inspection method for a plurality of branch lines (each
なお、検査枝配線となる各枝配線11〜15のうちの隣接する一対の枝配線としては、枝配線11,12、枝配線12,13、枝配線13,14、および枝配線14,15の4組が存在するが、各組に対して補助枝配線となる1つの枝配線については,以下のように予め規定されている。 As a pair of adjacent branch wirings among the branch wirings 11 to 15 serving as inspection branch wirings, branch wirings 11 and 12, branch wirings 12 and 13, branch wirings 13 and 14, and branch wirings 14 and 15 are included. Although there are four sets, one branch wiring that is an auxiliary branch wiring for each group is defined in advance as follows.
一対の枝配線11,12が検査枝配線のときには、枝配線11,12のうちの一方の枝配線12側に隣接する枝配線13を補助枝配線として規定されている。また、一対の枝配線12,13が検査枝配線のときには、枝配線12,13のうちの一方の枝配線13側に隣接する枝配線14および他方の枝配線12側に隣接する枝配線11のいずれか(例えば、枝配線14)が、補助枝配線として規定されている。また、一対の枝配線13,14が検査枝配線のときには、枝配線13,14のうちの一方の枝配線14側に隣接する枝配線15および他方の枝配線13側に隣接する枝配線12のいずれか(例えば、枝配線15)が、補助枝配線として規定されている。また、一対の枝配線14,15が検査枝配線のときには、枝配線14,15のうちの一方の枝配線14側に隣接する枝配線13が、補助枝配線として規定されている。
When the pair of branch wirings 11 and 12 are inspection branch wirings, the
次いで、一対の検査枝配線およびこれに対して規定された1つの補助枝配線のすべての枝配線(3つの枝配線)のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として電流供給部2を接続すると共に、電流供給枝配線の組と1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として電圧測定部3を接続する。
Next, an arbitrary pair of branch wirings among a pair of test branch wirings and all branch wirings (three branch wirings) of one auxiliary branch wiring defined for the pair is used as a current supply branch wiring set. In addition to connecting the
例えば、一対の枝配線11,12が検査枝配線であり、枝配線13を補助枝配線としたときには、図示はしないが、一例として、これらの3つの枝配線11〜13のうちの任意の一対の枝配線(例えば、枝配線12,13)の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線12,13の各ランド22,23に電流供給部2のプローブ2b,2cを接続する。また、枝配線11〜13のうちの電流供給枝配線の組と1つの枝配線が相違する一対の枝配線(例えば、枝配線11,13)の組を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線11,13の各ランド21,23に電圧測定部3のプローブ3b,3cを接続する。
For example, when the pair of branch wirings 11 and 12 are inspection branch wirings and the
また、一対の枝配線12,13が検査枝配線であり、1つの枝配線14を補助枝配線としたときには、図6に示すように、一例として、これらの3つの枝配線12〜14のうちの一対の枝配線13,14の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線13,14の各ランド23,24に電流供給部2のプローブ2b,2cを接続する。また、枝配線12〜14のうちの電流供給枝配線の組と1つの枝配線が相違する一対の枝配線(例えば、枝配線12,14)の組を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線12,14の各ランド22,24に電圧測定部3のプローブ3b,3cを接続する。
Further, when the pair of branch wirings 12 and 13 are inspection branch wirings and one
また、一対の枝配線13,14が検査枝配線であり、1つの枝配線15を補助枝配線としたときには、図示はしないが、一例として、これらの3つの枝配線13〜15のうちの一対の枝配線13,14の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線13,14の各ランド23,24に電流供給部2のプローブ2b,2cを接続する。また、枝配線13〜15のうちの電流供給枝配線の組と1つの枝配線が相違する一対の枝配線(例えば、枝配線13,15)の組を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線13,15の各ランド23,25に電圧測定部3のプローブ3b,3cを接続する。
Further, when the pair of branch wirings 13 and 14 are inspection branch wirings and one
また、一対の枝配線14,15が検査枝配線であり、1つの枝配線13を補助枝配線としたときには、図示はしないが、一例として、これらの3つの枝配線13〜15のうちの一対の枝配線14,15の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線14,15の各ランド24,25に電流供給部2のプローブ2b,2cを接続する。また、枝配線13〜15のうちの電流供給枝配線の組と1つの枝配線が相違する一対の枝配線(例えば、枝配線13,15)の組を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線13,15の各ランド23,25に電圧測定部3のプローブ3b,3cを接続する。
Further, when the pair of branch wirings 14 and 15 are inspection branch wirings and one
このようにして規定した1つの電流供給枝配線の組への電流供給部2の接続、およびこの電流供給枝配線の組に対応する1つの電圧測定枝配線の組への電圧測定部3の接続が完了した後、短絡検査装置1では、処理部5が、電流供給部2に対して、電流供給枝配線の組とした一対の枝配線間への検査電流Iの供給を開始させると共に、電流供給部2から検査電流Iの電流値を示す電流データDiを入力する。
Connection of the
処理部5は、入力した電流データDiで示される検査電流Iの電流値がゼロでないときには、電流供給部2から検査電流Iが電流供給枝配線の組に対して正常に供給されていると判別して、短絡検査処理を実行する。この短絡検査処理では、処理部5は、電圧測定部3から電圧データDvを入力すると共に、現在の電圧測定枝配線の組および電流供給枝配線の組に対応する判定データDrefを記憶部4から読み出して、電圧データDvで示される電圧V(電圧測定枝配線の組とした一対の枝配線間に発生している電圧)の電圧値を判定データDrefで示される判定範囲と比較する。
When the current value of the inspection current I indicated by the input current data Di is not zero, the
一例として、図6に示すように、一対の枝配線12,13を検査枝配線とし、1つの枝配線14を補助枝配線として規定し、さらに、一対の枝配線13,14の組を電流供給枝配線の組とし、一対の枝配線12,14の組を電圧測定枝配線の組とした例について説明する。この例において、検査枝配線としての各枝配線12,13間が短絡していないとき(短絡パターンが存在していないとき)には、電流供給部2から電流供給枝配線の組(枝配線13,14の組)に供給された検査電流Iは、同図中において実線で示した電流経路(ランド23から枝配線13、幹配線Mおよび枝配線14を介してランド24に至る経路)に流れる。この例では、この電流経路は、電圧測定部3が接続されている電圧経路(ランド22から枝配線12、幹配線Mおよび枝配線14を介してランド24に至る経路)と、幹配線Mの一部および枝配線14において重複している(幹配線Mの一部および枝配線14を共通経路として共有している)。このため、電圧測定部3は、電流経路および電圧経路の共通経路に検査電流Iが流れることに起因して発生する電圧降下を電圧Vとして測定し、この電圧Vの電圧値を示す電圧データDvを処理部5に出力する。
As an example, as shown in FIG. 6, a pair of branch wirings 12 and 13 are defined as inspection branch wirings, one
一方、検査枝配線としての各枝配線12,13間が短絡しているとき(短絡パターンSCが存在しているとき)には、上記の電流経路(図6中において実線で示された経路)の他に、同図中において破線で示した新たな他の電流経路(ランド23から枝配線13、短絡パターンSC、枝配線12の一部、幹配線Mおよび枝配線14を介してランド24に至る経路)が形成される。このため、電流経路と電圧経路との共通経路が変化し、この変化後の共通経路に検査電流Iが流れることで発生する電圧降下も変化し、電圧測定部3から処理部5に出力される電圧データDvで示される電圧Vの電圧値も変化する。
On the other hand, when the branch wirings 12 and 13 serving as the inspection branch wiring are short-circuited (when the short-circuit pattern SC exists), the above-described current path (path indicated by a solid line in FIG. 6). In addition to this, another new current path indicated by a broken line in the figure (from the
したがって、検査枝配線としての各枝配線12,13間が短絡していないとき(各枝配線12,13間が正常な状態のとき)の電圧データDvで示される電圧値、およびこの枝配線12,13間が短絡しているとき(各枝配線12,13間が不良な状態のとき)の電圧データDvで示される電圧値に基づいて、各枝配線12,13間が短絡していないときの電圧データDvで示される電圧値は含まれ、各枝配線12,13間が短絡しているときの電圧データDvで示される電圧値は含まれないような判定範囲を決定して判定データDrefとして記憶部4に記憶しておく。これにより、処理部5は、記憶部4から読み出した判定データDrefで示される判定範囲と電圧Vの電圧値とを比較して、電圧Vの電圧値が判定範囲に含まれているときには、各枝配線12,13間が短絡していない(短絡パターンが存在していない)と判別し、電圧Vの電圧値が判定範囲に含まれていないときには、各枝配線12,13間が短絡している(短絡パターンSCが存在している)と判別する。これにより、短絡検査処理が完了する。
Therefore, the voltage value indicated by the voltage data Dv when the branch wirings 12 and 13 as the inspection branch wiring are not short-circuited (when the branch wirings 12 and 13 are in a normal state), and the
なお、各枝配線12,13間が短絡していないときの電圧データDvで示される電圧値は含まれず、各枝配線12,13間が短絡しているときの電圧データDvで示される電圧値が含まれるような判定範囲を決定して判定データDrefとすることもできる。この場合、処理部5は、記憶部4から読み出した判定データDrefで示される判定範囲と電圧Vの電圧値とを比較して、電圧Vの電圧値が判定範囲に含まれていないときには、各枝配線12,13間が短絡していない(短絡パターンが存在していない)と判別し、電圧Vの電圧値が判定範囲に含まれているときには、各枝配線12,13間が短絡している(短絡パターンSCが存在している)と判別する。
The voltage value indicated by the voltage data Dv when the
最後に、処理部5は、表示処理を実行して、短絡検査処理の結果を表示部6に表示させる。これにより、検査枝配線としての各枝配線12,13に対する短絡検査が完了する。短絡検査装置1Aでは、他の一対の枝配線を検査枝配線として、電流供給部2が対応する電流供給枝配線の組に接続され、かつ電圧測定部3が対応する電圧測定枝配線の組に接続される都度、処理部5が上記のように作動して、短絡検査処理を実行すると共に、短絡検査処理の結果を表示部6に表示させる。したがって、この短絡検査装置1Aでも、短絡検査装置1と同様にして、表示部6に表示される内容を確認することにより、検査枝配線としての一対の枝配線間に短絡が発生しているか否かを検査することが可能となっている。
Finally, the
このように、この短絡検査装置1Aにおいても、複数の枝配線11〜15のうちの隣接する任意の一対の枝配線を検査枝配線として短絡検査する際に、各枝配線11〜15の先端部にそれぞれ形成されたランド21〜25をプロービング点として使用して、電流供給部2および電圧測定部3を接続する。したがって、この短絡検査装置1Aによれば、短絡検査装置1と同様にして、検査枝配線としての一対の枝配線のうちの一方の枝配線における延出方向に沿ったいずれの位置と、他方の枝配線における延出方向に沿ったいずれの位置との間で短絡が発生していたとしても(短絡パターンSCが存在していたとしても)、その短絡の発生を確実に検査することができる。さらに、この短絡検査装置1Aによれば、複数の枝配線11〜15のうちの両側に位置する枝配線11,15についても、検査枝配線として、隣接する枝配線との間の短絡の有無を検査することができる。
Thus, also in this short
なお、上記の一対の検査枝配線12,13のうちの一方の検査枝配線13に隣接する1本の枝配線を補助枝配線として規定する構成において、例えば、図7に示すように、一対の検査枝配線12,13および補助枝配線14のすべての枝配線のうちの真中に位置する枝配線(枝配線13)を電流供給枝配線の組(枝配線13,14)および電圧測定枝配線の組(枝配線12,13)についての共通の枝配線として、電流供給部2および電圧測定部3の各プローブ2b,2c,3b,3cを各枝配線(枝配線12,13,14)のランド(ランド22,23,24)に接続する構成を採用することもできる。
In the configuration in which one branch wiring adjacent to one of the pair of inspection branch wirings 12 and 13 is defined as an auxiliary branch wiring, for example, as shown in FIG. The branch wiring (branch wiring 13) located in the middle of all the branch wirings of the inspection branch wirings 12 and 13 and the
この構成においても、各枝配線11〜15の先端部にそれぞれ形成されたランド21〜25をプロービング点として使用するため、検査枝配線としての一対の枝配線のうちの一方の枝配線における延出方向に沿ったいずれの位置と、他方の枝配線における延出方向に沿ったいずれの位置との間で短絡が発生していたとしても、その短絡の発生を確実に検査することができる。また、複数の枝配線のうちの両側に位置する枝配線11,15についても、検査枝配線として、隣接する枝配線との間の短絡の有無を検査することができる。
Also in this configuration, since the
また、上記した短絡検査装置1,1Aでは、電圧測定部3によって測定された電圧Vに基づく電気的パラメータとして、この電圧V自体を使用する構成(電圧Vとそれに対応させて予め規定された判定範囲(電圧値の範囲)とを比較して短絡の有無を検査する構成)を採用しているが、電圧Vに基づく電気的パラメータとして、電圧Vと検査電流Iとに基づいて算出される抵抗値(電圧測定枝配線の組を構成する一対の枝配線間の抵抗値)を使用する構成を採用することもできる。
Further, in the short-
1 短絡検査装置
2 電流供給部
3 電圧測定部
5 処理部
11〜16 枝配線
13,14 検査枝配線
12,15 補助枝配線
21〜26 ランド(プロービング点)
I 検査電流
M 幹配線
DESCRIPTION OF
I Inspection current M Trunk wiring
Claims (5)
前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、
前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給する電流供給部と、
前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定する電圧測定部と、
前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲を記憶する記憶部と、
前記電流供給部から前記電流供給枝配線の組に前記検査電流が供給されている状態において前記電圧測定部によって測定された前記配線間電圧に基づく前記電気的パラメータと前記判定範囲とを比較することにより、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する処理部とを備えている短絡検査装置。 A short circuit between the inspection branch wirings using a pair of adjacent branch wirings among the branch wirings as inspection branch wirings for a circuit board on which a plurality of branch wirings extending in a branch shape from the trunk wiring are formed. A short-circuit inspection device for inspecting the presence or absence of
When the branch wiring located on at least one of the pair of inspection branch wirings is defined as an auxiliary branch wiring,
An arbitrary pair of branch wirings of the pair of inspection branch wirings and auxiliary branch wirings is defined as a current supply branch wiring set, and formed on the front end side of each branch wiring constituting the current supply branch wiring set, respectively. A current supply for supplying the inspection current from the probing point that has been made,
An arbitrary pair of branch wirings of the pair of test branch wirings and the auxiliary branch wirings, wherein a pair of branch wirings different from the current supply branch wiring set by at least one branch wiring is a voltage. As a measurement branch wiring set, a voltage measurement unit that measures a voltage between wirings generated between probing points respectively defined on the front end side of each branch wiring constituting the voltage measurement branch wiring set,
A determination range for electrical parameters based on the inter-wiring voltage defined in advance based on the inter-wiring voltage measured when the inspection current is supplied in a state where the short-circuit does not occur between the pair of inspection branch wirings is stored. A storage unit;
Comparing the determination range with the electrical parameter based on the inter-wiring voltage measured by the voltage measuring unit in a state in which the inspection current is supplied from the current supply unit to the set of current supply branch wires Thus, a short circuit inspection apparatus comprising: a processing unit that inspects the presence or absence of the short circuit between the pair of inspection branch wirings.
前記電圧測定部は、前記一対の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のすべての枝配線のうちの前記電流供給枝配線の組を構成する枝配線のいずれとも異なる一対の枝配線の組を前記電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する請求項1記載の短絡検査装置。 When a pair of branch wirings located on both sides of the pair of inspection branch wirings are defined as the auxiliary branch wirings,
Said voltage measuring unit, said pair of test branch wiring and the pair of with any different that a pair of branch lines of the branch line that make up the set of current supply branch line of all the branch lines of the auxiliary branch wiring The short circuit inspection apparatus according to claim 1, wherein the voltage between the wirings is measured with the set of voltage measurement branch wirings as a set.
前記電圧測定枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの他方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該他方の検査枝配線側の補助枝配線で構成されている請求項2記載の短絡検査装置。 The set of current supply branch wirings includes one inspection branch wiring of the pair of inspection branch wirings and auxiliary branch wiring on the one inspection branch wiring side of the pair of auxiliary branch wirings,
The set of voltage measurement branch lines includes the other test branch line of the pair of test branch lines and the auxiliary branch line on the other test branch line side of the pair of auxiliary branch lines. Item 3. The short circuit inspection device according to item 2.
前記電圧測定部は、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のすべての枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する請求項1記載の短絡検査装置。 When one branch wiring adjacent to one inspection branch wiring of the pair of inspection branch wirings is defined as an auxiliary branch wiring,
The voltage measuring unit is a pair of any pair of branch wirings among all the branch wirings of the pair of test branch wirings and the auxiliary branch wirings, and the set of current supply branch wirings and one branch wiring are The short circuit inspection apparatus according to claim 1, wherein the voltage between the wirings is measured by using a pair of different branch wirings as a set of voltage measurement branch wirings.
前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、
前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給し、
前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも1つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定し、
前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲と前記測定した配線間電圧に基づく前記電気的パラメータとを比較して、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する短絡検査方法。 A short circuit between the inspection branch wirings using a pair of adjacent branch wirings among the branch wirings as inspection branch wirings for a circuit board on which a plurality of branch wirings extending in a branch shape from the trunk wiring are formed. A short-circuit inspection method for inspecting the presence or absence of
When the branch wiring located on at least one of the pair of inspection branch wirings is defined as an auxiliary branch wiring,
An arbitrary pair of branch wirings of the pair of inspection branch wirings and auxiliary branch wirings is defined as a current supply branch wiring set, and formed on the front end side of each branch wiring constituting the current supply branch wiring set, respectively. Supply inspection current from the probing point
An arbitrary pair of branch wirings of the pair of test branch wirings and the auxiliary branch wirings, wherein a pair of branch wirings different from the current supply branch wiring set by at least one branch wiring is a voltage. As a set of measurement branch wiring, measure the voltage between wirings generated between the probing points respectively defined on the tip side of each branch wiring constituting the set of voltage measurement branch wiring,
A determination range for the electrical parameter based on the inter-wiring voltage defined in advance based on the inter-wiring voltage measured when the inspection current is supplied in a state where the short-circuit does not occur between the pair of inspection branch wirings and the measurement A short circuit inspection method for inspecting the presence or absence of the short circuit between the pair of inspection branch wirings by comparing the electrical parameters based on the inter-wiring voltage.
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