KR20220148661A - 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브 - Google Patents

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KR20220148661A
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브는, 반도체 및 평판 디스플레이 장비의 챔버들 사이에 구비되는 게이트 밸브로서, 양 방향으로 개방된 게이트가 구비되는 밸브 하우징과, 상기 밸브 하우징 내에 장착되는 실린더부 및 상기 실린더부에 의해서 상기 밸브 하우징 내에서 승강하며, 상기 실린더부를 통해 제공되는 공기의 흐름과 연동하여 상기 양 방향으로 개방된 게이트를 개폐하는 블레이드 모듈을 포함할 수 있다.

Description

반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브{GATE VALVE FOR SEMICONDUCTOR AND FLAT PANEL DISPLAY APPARATUS}
본 발명은 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 실린더가 밸브 하우징 내에 구비되는 구조를 가지기 때문에 전체 사이즈를 줄일 수 있어서 장비 구축에 소요되는 공간 및 비용을 줄일 수 있으며, 공기의 흐름에 의하여 블레이드 모듈에 의해 게이트를 개폐할 수 있어 진공 상태를 신뢰성 있게 유지할 수 있는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 사용되는 인라인 반도체 및 평판 디스플레이 장비는, 예를 들면 로드락 챔버와, 복수 개의 공정 챔버와, 버퍼 챔버 그리고 언로드락 챔버가 인라인으로 연결되어 웨이퍼와 같은 기판에 다수의 공정을 실행하는 장비이다.
이러한 챔버들 중 예를 들면 공정 챔버는 고진공 상태를 유지하면서 기판에 대한 예를 들면 박막 증착, 식각 등의 공정을 실행하는 공간이고, 버퍼 챔버는 공정 챔버와 다른 공정 챔버를 연결하는 공간으로서 이 역시도 진공 상태를 유지해야만 한다.
따라서 각 챔버들 사이에는 각 챔버의 진공을 유지하도록 하면서도 기판의 이송 시에도 진공을 유지하도록 하는 게이트 밸브가 장착된다.
그런데, 종래의 반도체 및 평판 디스플레이 장비의 게이트 밸브에 있어서는, 실린더 부분이 대기 영역에 사용되는 구조를 가지기 때문에 실린더 로드에 벨로우즈 관을 입혀 진공이 되도록 하거나 별도의 공기 공급라인을 구축하였으나 진공 상태를 유지하는 데 한계가 있었다.
또한, 실린더 부분이 게이트 밸브의 하부에서 장착되는 구조를 가지기 때문에 장비가 전체적으로 커졌으며, 따라서 장비 구축을 위한 공간이 많이 요구되는 한계도 있었다.
이에, 진공 상태를 유지할 수 있으면서도 장치 크기를 슬림화할 수 있는 새로운 구성의 게이트 밸브의 개발이 요구되는 실정이다.
관련 선행기술로는, 대한민국특허 공개번호 10-2013-0013748(발명의 명칭: 반도체 생산장비의 게이트 밸브) 등이 있다.
본 발명의 실시예는 실린더가 밸브 하우징 내에 구비되는 구조를 가지기 때문에 전체 사이즈를 줄일 수 있어서 장비 구축에 소요되는 공간 및 비용을 줄일 수 있으며, 공기의 흐름에 의하여 블레이드 모듈에 의해 게이트를 개폐할 수 있어 진공 상태를 신뢰성 있게 유지할 수 있는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브를 제공한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제(들)로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제(들)은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브는, 반도체 및 평판 디스플레이 장비의 챔버들 사이에 구비되는 게이트 밸브로서, 양 방향으로 개방된 게이트가 구비되는 밸브 하우징과, 상기 밸브 하우징 내에 장착되는 실린더부 및 상기 실린더부에 의해서 상기 밸브 하우징 내에서 승강하며, 상기 실린더부를 통해 제공되는 공기의 흐름과 연동하여 상기 양 방향으로 개방된 게이트를 개폐하는 블레이드 모듈을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 실린더부는, 상기 밸브 하우징 내에서 일측에 구비되는 제1 실린더 및 상기 밸브 하우징 내에서 상기 제1 실린더의 반대측에 배치되는 제2 실린더를 포함하며, 상기 제1 실린더 및 상기 제2 실린더에 상기 블레이드 모듈의 양단부가 승강 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 제1 실린더 및 상기 제2 실린더는 각각, 상기 밸브 하우징 내에 구비되며 높이 방향의 이동 가이드를 형성하는 가이드부재 및 상기 가이드부재에 승강 가능하게 장착되는 승강부재를 포함하며, 상기 가이드부재 및 상기 승강부재에는 공기를 상기 블레이드 모듈로 공급하거나 또는 배기하기 위한 에어 라인이 구비될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 블레이드 모듈은, 상기 실린더부에 의해 승강하는 승강몸체 및 상기 승강몸체 내에서 공기의 공급 또는 배기에 따라 상기 게이트 방향으로 이동하여 상기 게이트를 닫거나 여는 게이트 개폐부를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 게이트 개폐부는, 상기 승강몸체 내에서 상기 게이트 방향으로 선형 이동 가능하게 장착되는 선형 이동부재와, 상기 승강몸체 밖에서 양측에 위치되는 2개의 상기 게이트들 중 하나의 게이트를 바라보도록 장착되며, 상기 선형 이동부재에 연결되어 상기 선형부재와 함께 이동하여 상기 게이트들 중 하나의 게이트를 개폐하는 제1 게이트 도어 및 상기 제1 게이트 도어와 반대되도록 상기 승강몸체에 외측벽에 구비되며, 상기 제1 게이트 도어와 연동하여 상기 게이트들 중 다른 하나의 게이트를 개폐하는 제2 게이트 도어를 포함하며, 상기 제1 게이트 도어 및 상기 제2 게이트 도어의 동작은 상기 실린더부로부터 공기의 흐름과 연동되어 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 에어 라인은, 상기 가이드부재에서 상방으로 형성되어 공기를 공급하는 업(up) 라인과, 상기 가이드부재에서 하방으로 형성되어 공기를 배기하는 다운(down) 라인과, 상기 승강부재에서 상기 블레이드 모듈 내로 공기를 공급하는 푸쉬(push) 라인 및 상기 블레이드 모듈에서 상기 승강부재로 공기를 배기하는 풀(pull) 라인을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 에어 라인은, 상기 푸쉬 라인 및 상기 풀 라인으로 공기가 흐를 때 차압 발생을 방지하는 배기 라인을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 업 라인으로 공기가 공급되어 상기 다운 라인으로 공기가 배기됨으로써 상기 승강부재와 함께 상기 블레이드 모듈은 상승되고, 상기 푸쉬 라인에 의해 상기 블레이드 모듈 내로 공기가 공급되고 상기 풀 라인에 의해 상기 블레이드 모듈에서 상기 승강부재로 공기가 배기될 때, 상기 제1 게이트 도어 및 상기 제2 게이트 도어는 공기의 흐름에 의해 상기 게이트들을 차단할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 풀 라인에 의해 상기 블레이드 모듈 내로 공기가 공급되고 상기 푸쉬 라인에 의해 상기 블레이드 모듈에서 상기 승강부재로 공기가 배기됨으로써 상기 제1 게이트 도어 및 제2 게이트 도어는 개방되고, 상기 다운 라인으로 공기가 공급되어 상기 업 라인으로 공기가 배기됨으로써 상기 승강부재와 함께 상기 블레이드 모듈은 하강할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 게이트를 향하는 상기 제1 게이트 도어 및 상기 제2 게이트 도어의 면에는 상기 게이트가 형성된 상기 밸브 하우징의 면과의 밀착을 위한 실링부재가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 실린더가 밸브 하우징 내에 구비되는 구조를 가지기 때문에 전체 사이즈를 줄일 수 있어서 장비 구축에 소요되는 공간 및 비용을 줄일 수 있으며, 공기의 흐름에 의하여 블레이드 모듈에 의해 게이트를 개폐할 수 있어 진공 상태를 신뢰성 있게 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브가 장착된 반도체 및 평판 디스플레이 장비의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브의 작동을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 게이트 밸브의 분해 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 게이트 밸브의 부분 도면으로서 공기 흐름에 따른 게이트 밸브의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 실린더부 및 블레이드 모듈의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브가 장착된 반도체 및 평판 디스플레이 장비의 구성을 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브의 작동을 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 게이트 밸브의 분해 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시된 게이트 밸브의 부분 도면으로서 공기 흐름에 따른 게이트 밸브의 작동을 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 도 3에 도시된 실린더부 및 블레이드 모듈의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
먼저 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 평판 디스플레이 장비(1)는, 기판에 대하여 증착, 식각 등의 공정을 실행하는 인라인 장비로서, 예를 들면 로드락 챔버(10)와, 복수 개의 프로세스 챔버(20)와, 버퍼 챔버(30)와, 언로드락 챔버(40)를 포함할 수 있으며, 각각의 챔버(10, 20, 30, 40) 사이에는 게이트 밸브(100)가 구비될 수 있다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브(100)는, 양 방향으로 개방된 게이트(111)가 구비되는 밸브 하우징(110)과, 밸브 하우징(110) 내에서 양측에 장착되는 실린더부(120)와, 실린더부(120)에 의해서 밸브 하우징(110) 내에서 승강하며 실린더부(120)를 통해 제공되는 공기의 흐름과 연동하여 양 방향으로 개방된 게이트(111)를 개폐하는 블레이드 모듈(150)을 포함할 수 있다.
이러한 구성에 의해서, 게이트 밸브(100)의 크기를 종래보다 크게 줄일 수 있으며, 따라서 장비 구축에 소요되는 공간 및 비용을 줄일 수 있다. 아울러, 실린더부(120)의 구조에 의해서 진공을 유지할 수 있으면서도 실린더부(120)의 로드에 부하가 가해지는 것이 아니라 튜브 구조를 통해 부하를 받음으로써 작동의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
각각의 구성에 대해 설명하면, 본 실시예의 밸브 하우징(110)은, 도 2 및 도 3에 도시된 것처럼, 기본 외관을 형성하는 것으로서, 예를 들면 양측에 배치되는 챔버 방향으로 게이트(111)가 형성되어 게이트(111)를 통해서 기판을 이송시킬 수 있다.
이러한 밸브 하우징(110)은 상방 및 하방이 개방되는 구조를 가지는데, 하단부에는 바텀 커버(113)가 결합되고, 상단부에는 탑 커버(115)가 결합될 수 있다. 그래서 전체적으로 직육면체 형상의 밸브 하우징(110)을 구현할 수 있다.
바텀 커버(113)에는 후술할 실린더부(120)의 가이드부재(131)의 하단부가 결합되는 홈(114)이 구비될 수 있다. 이와 같이, 상방 및 하방이 개방되는 구조를 가짐으로써 게이트 밸브(100)의 제조가 용이하게 이루어질 수 있다.
한편, 본 실시예의 실린더부(120)는, 도 3에 도시된 것처럼, 밸브 하우징(110) 내에서 양측에 배치되는 제1 실린더(130)와 제2 실린더(140)를 포함할 수 있다. 다시 말해, 제1 실린더(130)가 밸브 하우징(110) 내에서 좌측에 구비된다면 이에 대칭되게 제2 실린더(140)는 밸브 하우징(110) 내에서 우측에 구비되며, 이들 사이에 블레이드 모듈(150)이 결합됨으로써 제1 실린더(130) 및 제2 실린더(140)와 함께 블레이드 모듈(150)이 승강하며 게이트(111)를 개폐할 수 있는 것이다.
제1 실린더(130) 및 제2 실린더(140)는 상호 동일한 구성을 가지기 때문에 제1 실린더(130)로 그 구성을 설명하면, 도 2 내지 4에 도시된 것처럼, 본 실시예의 제1 실린더(130)는, 밸브 하우징(110) 내에 구비되며 높이 방향의 이동 가이드를 형성하는 가이드부재(131)와, 가이드부재(131)에 승강 가능하게 장착되며 블레이드 모듈(150)의 일측부가 결합되는 승강부재(135)를 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 실시예의 가이드부재(131)는 전체적으로 길이 방향을 가지는 원형의 바아 형상으로 마련되며, 하단부는 바텀 커버(113)에 결합되고 상단부는 탑 커버(115)에 결합될 수 있다.
이러한 가이드부재(131)에 승강부재(135)가 결합되는데, 승강부재(135)는 실린더 구조를 가지며, 그 내에는 에어 라인(도 4 참조)이 형성되어 블레이드 모듈(150)로 공기를 공급하거나 블레이드 모듈(150)로부터의 공기를 배기함으로써 블레이드 모듈(150)의 개폐가 공기의 흐름과 연동될 수 있도록 한다.
즉, 가이드부재(131)에 대한 승강부재(135)의 동작 시 에어 라인을 통한 공기의 흐름이 형성되고, 이 공기의 흐름이 블레이드 모듈(150)을 동작시켜서 게이트(111)에 대한 블레이드 모듈(150)의 개폐가 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
본 실시예의 블레이드 모듈(150)은, 도 3 내지 도 5에 도시된 것처럼, 실린더부(120)에 의해 승강하는 승강몸체(151)와, 승강몸체(151) 내에서 공기의 공급 또는 배기에 따라 게이트(111) 방향으로 이동하여 게이트(111)를 닫거나 여는 게이트 개폐부를 포함할 수 있다.
먼저 승강몸체(151)는, 전체적으로 밸브 하우징(110)의 내측에서 승강 가능한 사이즈로 마련되며 전체적으로 양 옆으로 길이를 가지는 중공의 직육면체 형상을 가질 수 있다. 이러한 승강몸체(151)는 전술한 실린더(130, 140)에 구비되는 승강부재(135)에 결합되며, 승강부재(135)와 승강몸체(151)는 후술할 에어 라인에 의해서 공기의 흐름이 형성될 수 있는 구조를 가질 수 있다.
이러한 승강몸체(151)에서 양 방향에는, 즉 양쪽에 형성된 게이트(111)를 바라보는 방향에는, 제1 게이트 도어(155) 및 제2 게이트 도어(157)가 선형 이동 가능하게 장착되며, 이를 통해 제1 게이트 도어(155)가 양측의 게이트(111) 중 하나의 게이트(111a)에 대한 개폐를 실행할 수 있으며, 제2 게이트 도어(157)가 다른 하나의 게이트(111b)에 대한 개폐를 실행할 수 있다.
도 5를 참조하면, 게이트 개폐부의 승강몸체(151) 내에는 양쪽의 게이트(111) 방향으로 선형 이동 가능한 선형 이동부재(152)가 구비되고, 선형 이동부재(152)에 제1 게이트 도어(155)가 연결바아(153)에 의해서 연결된다. 따라서, 도 5의 (b)에서처럼, 선형 이동부재(152)가 좌측으로 이동하는 경우 이에 연결된 제1 게이트 도어(155) 역시 좌측으로 이동하여 게이트(111a)를 닫을 수 있다.
한편, 제2 게이트 도어(157)는 제1 게이트 도어(155)와 반대되도록 승강몸체(151)의 외측벽에 장착되는데, 제2 게이트 도어(157)는 제1 게이트 도어(155)에 연동하여 다른 하나의 게이트(111b)를 개폐할 수 있다.
다시 말해, 도 5의 (c)에 도시된 것처럼, 제1 게이트 도어(155)에 의해서 게이트(111a)를 차단한 후, 공기의 흐름에 의해서 승강몸체(151)가 우측으로 이동하게 되는데, 이때 승강몸체(151)에 장착된 제2 게이트 도어(157)가 다른 하나의 게이트(111b) 방향으로 선형 이동함으로써, 도 5의 (d)에서처럼, 게이트(111b)를 차단할 수 있는 것이다.
도 5를 참조하면, 게이트(111)를 향하는 제1 게이트 도어(155) 및 제2 게이트 도어(157)의 면에는 게이트(111)가 형성된 밸브 하우징(110)의 내측면과의 밀착을 위한 실링부재(158)가 구비될 수 있으며, 이를 통해 게이트 밸브(100)의 진공 상태를 신뢰성 있게 유지할 수 있다.
전술한 것처럼, 블레이드 모듈(150)의 게이트 개폐부는 실린더부(120)에 형성된 에어 라인으로부터 공기를 공급받거나 공기를 배기함으로써 게이트(111)에 대한 블레이드 모듈(150)의 개폐 동작을 실행할 수 있도록 한다.
본 실시예의 에어 라인은, 도 4에 도시된 것처럼, 실린더의 가이드부재(131)에서 상방으로 형성되어 공기를 공급하는 업 라인(161)과, 가이드부재(131)에서 하방으로 형성되어 공기를 배기하는 다운 라인(162)과, 승강부재(135)에서 블레이드 모듈(150)의 승강몸체(151) 내로 공기를 공급하는 푸쉬 라인(163)과, 승강몸체(151)에서 승강부재(135)로 공기를 배기하는 풀 라인(164)과, 푸쉬 라인(163) 및 풀 라인(164)으로 공기가 흐를 때 차압 발생을 방지하는 배기 라인(165)을 포함할 수 있다.
부연하면, 업 라인(161)으로 공기가 공급되어 다운 라인(162)으로 공기가 배기됨으로써 가이드부재(131)에 대하여 승강부재(135)와 함께 블레이드 모듈(150)은 상승될 수 있다. 그리고 푸쉬 라인(163)에 의해 승강몸체(151) 내로 공기가 공급되고 풀 라인(164)에 의해 블레이드 모듈(150)에서 승강부재(135)로 공기가 배기될 때, 제1 게이트 도어(155) 및 제2 게이트 도어(157)는 공기의 흐름에 의해 각자의 게이트(111)를 차단하여 도 1의 아래 도면과 같이 될 수 있다.
반대로, 풀 라인(164)에 의해 블레이드 모듈(150) 내로 공기가 공급되고 푸쉬 라인(163)에 의해 블레이드 모듈(150)에서 승강부재(135)로 공기가 배기됨으로써 제1 게이트 도어(155) 및 제2 게이트 도어(157)는 각각의 게이트(111)로부터 이격되어 게이트(111)를 개방할 수 있다. 이때 다운 라인(162)으로 공기가 공급되어 업 라인(161)으로 공기가 배기됨으로써 승강부재(135)와 함께 블레이드 모듈(150)이 하강하여, 도 2의 상부 도면과 같이 될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 실린더부(120)가 밸브 하우징(110) 내에 구비되는 구조를 가지기 때문에 전체 사이즈를 줄일 수 있어서 장비 구축에 소요되는 공간 및 비용을 줄일 수 있으며, 공기의 흐름에 의하여 블레이드 모듈(150)에 의해 게이트(111)를 개폐할 수 있어 진공 상태를 신뢰성 있게 유지할 수 있다.
지금까지 본 발명에 따른 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허 청구의 범위뿐 아니라 이 특허 청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
1: 반도체 및 평판 디스플레이 장비
10, 20, 30, 40: 챔버
100: 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브
110: 밸브 하우징
113: 바텀 커버
115: 탑 커버
120: 실린더부
130: 제1 실린더
131: 가이드부재
135: 승강부재
140: 제2 실린더
150: 블레이드 모듈
151: 승강몸체
152: 선형 이동부재
153: 연결바아
155: 제1 게이트 도어
157: 제2 게이트 도어
158: 실링부재
161: 에어 라인의 업 라인
162: 다운 라인
163: 푸쉬 라인
164: 풀 라인
165: 배기 라인

Claims (10)

  1. 반도체 및 평판 디스플레이 장비의 챔버들 사이에 구비되는 게이트 밸브에 있어서,
    양 방향으로 개방된 게이트가 구비되는 밸브 하우징;
    상기 밸브 하우징 내에 장착되는 실린더부; 및
    상기 실린더부에 의해서 상기 밸브 하우징 내에서 승강하며, 상기 실린더부를 통해 제공되는 공기의 흐름과 연동하여 상기 양 방향으로 개방된 게이트를 개폐하는 블레이드 모듈;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 실린더부는,
    상기 밸브 하우징 내에서 일측에 구비되는 제1 실린더; 및
    상기 밸브 하우징 내에서 상기 제1 실린더의 반대측에 배치되는 제2 실린더를 포함하며,
    상기 제1 실린더 및 상기 제2 실린더에 상기 블레이드 모듈의 양단부가 승강 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 실린더 및 상기 제2 실린더는 각각,
    상기 밸브 하우징 내에 구비되며 높이 방향의 이동 가이드를 형성하는 가이드부재; 및
    상기 가이드부재에 승강 가능하게 장착되는 승강부재를 포함하며,
    상기 가이드부재 및 상기 승강부재에는 공기를 상기 블레이드 모듈로 공급하거나 또는 배기하기 위한 에어 라인이 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 블레이드 모듈은,
    상기 실린더부에 의해 승강하는 승강몸체; 및
    상기 승강몸체 내에서 공기의 공급 또는 배기에 따라 상기 게이트 방향으로 이동하여 상기 게이트를 닫거나 여는 게이트 개폐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 게이트 개폐부는,
    상기 승강몸체 내에서 상기 게이트 방향으로 선형 이동 가능하게 장착되는 선형 이동부재;
    상기 승강몸체 밖에서 양측에 위치되는 2개의 상기 게이트들 중 하나의 게이트를 바라보도록 장착되며, 상기 선형 이동부재에 연결되어 상기 선형부재와 함께 이동하여 상기 게이트들 중 하나의 게이트를 개폐하는 제1 게이트 도어; 및
    상기 제1 게이트 도어와 반대되도록 상기 승강몸체에 외측벽에 구비되며, 상기 제1 게이트 도어와 연동하여 상기 게이트들 중 다른 하나의 게이트를 개폐하는 제2 게이트 도어를 포함하며,
    상기 제1 게이트 도어 및 상기 제2 게이트 도어의 동작은 상기 실린더부로부터 공기의 흐름과 연동되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 에어 라인은,
    상기 가이드부재에서 상방으로 형성되어 공기를 공급하는 업(up) 라인;
    상기 가이드부재에서 하방으로 형성되어 공기를 배기하는 다운(down) 라인;
    상기 승강부재에서 상기 블레이드 모듈 내로 공기를 공급하는 푸쉬(push) 라인; 및
    상기 블레이드 모듈에서 상기 승강부재로 공기를 배기하는 풀(pull) 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 에어 라인은,
    상기 푸쉬 라인 및 상기 풀 라인으로 공기가 흐를 때 차압 발생을 방지하는 배기 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 업 라인으로 공기가 공급되어 상기 다운 라인으로 공기가 배기됨으로써 상기 승강부재와 함께 상기 블레이드 모듈은 상승되고, 상기 푸쉬 라인에 의해 상기 블레이드 모듈 내로 공기가 공급되고 상기 풀 라인에 의해 상기 블레이드 모듈에서 상기 승강부재로 공기가 배기될 때, 상기 제1 게이트 도어 및 상기 제2 게이트 도어는 공기의 흐름에 의해 상기 게이트들을 차단하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 풀 라인에 의해 상기 블레이드 모듈 내로 공기가 공급되고 상기 푸쉬 라인에 의해 상기 블레이드 모듈에서 상기 승강부재로 공기가 배기됨으로써 상기 제1 게이트 도어 및 제2 게이트 도어는 개방되고, 상기 다운 라인으로 공기가 공급되어 상기 업 라인으로 공기가 배기됨으로써 상기 승강부재와 함께 상기 블레이드 모듈은 하강하는 것은 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
  10. 제5항에 있어서,
    상기 게이트를 향하는 상기 제1 게이트 도어 및 상기 제2 게이트 도어의 면에는 상기 게이트가 형성된 상기 밸브 하우징의 면과의 밀착을 위한 실링부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 평판 디스플레이 장비용 게이트 밸브.
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