JP2001041330A - ゲートバルブ - Google Patents
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- JP2001041330A JP2001041330A JP11213360A JP21336099A JP2001041330A JP 2001041330 A JP2001041330 A JP 2001041330A JP 11213360 A JP11213360 A JP 11213360A JP 21336099 A JP21336099 A JP 21336099A JP 2001041330 A JP2001041330 A JP 2001041330A
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- Japan
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- valve rod
- gate
- valve
- rod
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- Sliding Valves (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】比較的シンプルで信頼性の高い構成により弁体
を傾動させ、パーティクルの発生の少ないシンプルなシ
ール構造を実現すること。 【解決手段】ゲートバルブ1は、処理室2のゲート3を
開閉する弁体5を一端部に有する弁ロッド6と、弁ロッ
ド6を直動可能かつ傾動可能に支持するために、貫通孔
7aに配置され固定支軸12を介して取付部材7に取り
付けられるスリーブ8と、弁ロッド6をスリーブ8と共
に固定支軸12を中心に傾動させるリンク機構17及び
ストッパ18と、弁ロッド6の直動及び傾動に必要な駆
動力を与えるシリンダロッド10aを有するエアシリン
ダ10と、処理室2の気密状態を保持するために貫通孔
7aとスリーブ8との間に設けられたOリングとしての
傾動シールパッキン11とを備える。
を傾動させ、パーティクルの発生の少ないシンプルなシ
ール構造を実現すること。 【解決手段】ゲートバルブ1は、処理室2のゲート3を
開閉する弁体5を一端部に有する弁ロッド6と、弁ロッ
ド6を直動可能かつ傾動可能に支持するために、貫通孔
7aに配置され固定支軸12を介して取付部材7に取り
付けられるスリーブ8と、弁ロッド6をスリーブ8と共
に固定支軸12を中心に傾動させるリンク機構17及び
ストッパ18と、弁ロッド6の直動及び傾動に必要な駆
動力を与えるシリンダロッド10aを有するエアシリン
ダ10と、処理室2の気密状態を保持するために貫通孔
7aとスリーブ8との間に設けられたOリングとしての
傾動シールパッキン11とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、半導体
製造装置において処理室に設けられた開口部(ゲート)
を開閉するのに使用されるゲートバルブに関する。
製造装置において処理室に設けられた開口部(ゲート)
を開閉するのに使用されるゲートバルブに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のゲートバルブとして、処
理室に設けられたゲートを開閉するものであってゲート
に対して傾動することによりゲートを閉鎖する弁体と、
この弁体を一端に設けた弁ロッドと、この弁ロッドを傾
動させるための傾動機構と、弁ロッドの直動と傾動に必
要な駆動力を与えるための駆動手段とを備えたものがあ
る。弁ロッドは、取付部材に対して直動可能かつ傾動可
能に保持されるものであり、処理室内からその外へ突出
され、かつシール手段により処理室の気密状態が保たれ
るように設けられる。
理室に設けられたゲートを開閉するものであってゲート
に対して傾動することによりゲートを閉鎖する弁体と、
この弁体を一端に設けた弁ロッドと、この弁ロッドを傾
動させるための傾動機構と、弁ロッドの直動と傾動に必
要な駆動力を与えるための駆動手段とを備えたものがあ
る。弁ロッドは、取付部材に対して直動可能かつ傾動可
能に保持されるものであり、処理室内からその外へ突出
され、かつシール手段により処理室の気密状態が保たれ
るように設けられる。
【0003】この種のゲートバルブとして、例えば、特
開平8−128542号公報(第1の公報)及び特開平
10−227365号公報(第2の公報)に開示された
ものがある。
開平8−128542号公報(第1の公報)及び特開平
10−227365号公報(第2の公報)に開示された
ものがある。
【0004】第1の公報のゲートバルブでは、ピストン
ロッドを有するピストンシリンダ装置が駆動手段として
設けられる。このゲートバルブでは、ピストンロッド及
び弁ロッドに設けられたローラ及びこのローラに係合す
る傾斜長孔、或いは、ピストンロッド及び弁ロッドの角
端部を回動自在に枢支する傾斜リンクがそれぞれ傾動機
構として採用される。このゲートバルブでは、ガイド溝
に対して移動可能に設けられた移動式の枢軸を中心に弁
ロッドが傾動するようになっている。又、ベローズがシ
ール手段として採用される。
ロッドを有するピストンシリンダ装置が駆動手段として
設けられる。このゲートバルブでは、ピストンロッド及
び弁ロッドに設けられたローラ及びこのローラに係合す
る傾斜長孔、或いは、ピストンロッド及び弁ロッドの角
端部を回動自在に枢支する傾斜リンクがそれぞれ傾動機
構として採用される。このゲートバルブでは、ガイド溝
に対して移動可能に設けられた移動式の枢軸を中心に弁
ロッドが傾動するようになっている。又、ベローズがシ
ール手段として採用される。
【0005】一方、第2の公報のゲートバルブでは、第
1の公報のそれと同じように、ピストンロッドを有する
エアシリンダが駆動手段として採用され、ベローズがシ
ール手段として採用される。又、このゲートバルブで
は、第1の公報のそれと異なり、移動しない固定式の支
軸を中心に傾斜可能に設けられた保持部材に対して弁ロ
ッドが直動可能に保持される。更に、弁ロッドの他端部
には、回転自在に設けられたローラと、そのローラに対
応して設けられた第1の保持部と、傾斜面及び第2の保
持部を含むローラ受け部材と、規制手段とを備えた傾動
機構が設けられる。ここで、第1の保持部は、弁ロッド
がゲートを開閉する方向に直動する際にローラを保持す
るものである。ローラ受け部材の傾斜面は、第1の保持
部に連続し、ローラと係合することにより弁ロッドを傾
斜させるものである。同じく、ローラ受け部材の第2の
保持部は、傾斜面に連続し、弁ロッドが所定の角度まで
傾斜するときにローラを保持するものである。ローラ受
け部材は駆動手段により直動されるものである。規制手
段は、弁体がゲートを閉じる所定の位置で弁ロッドの直
動を規制し、かつ第1の保持部によるローラの保持状態
を解除させるものである。
1の公報のそれと同じように、ピストンロッドを有する
エアシリンダが駆動手段として採用され、ベローズがシ
ール手段として採用される。又、このゲートバルブで
は、第1の公報のそれと異なり、移動しない固定式の支
軸を中心に傾斜可能に設けられた保持部材に対して弁ロ
ッドが直動可能に保持される。更に、弁ロッドの他端部
には、回転自在に設けられたローラと、そのローラに対
応して設けられた第1の保持部と、傾斜面及び第2の保
持部を含むローラ受け部材と、規制手段とを備えた傾動
機構が設けられる。ここで、第1の保持部は、弁ロッド
がゲートを開閉する方向に直動する際にローラを保持す
るものである。ローラ受け部材の傾斜面は、第1の保持
部に連続し、ローラと係合することにより弁ロッドを傾
斜させるものである。同じく、ローラ受け部材の第2の
保持部は、傾斜面に連続し、弁ロッドが所定の角度まで
傾斜するときにローラを保持するものである。ローラ受
け部材は駆動手段により直動されるものである。規制手
段は、弁体がゲートを閉じる所定の位置で弁ロッドの直
動を規制し、かつ第1の保持部によるローラの保持状態
を解除させるものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記第1の
公報のゲートバルブでは、弁ロッドの傾動中心となる枢
軸が移動式であることから、その構造が複雑で調整が困
難なものになっている。しかも、枢軸が移動すること
で、枢軸とガイド溝との間に摩耗が生じるおそれがあ
り、その摩耗の結果として、弁ロッドの傾動に狂いが生
じて弁体がゲートを精密に閉鎖しなくなるおそれがあ
る。
公報のゲートバルブでは、弁ロッドの傾動中心となる枢
軸が移動式であることから、その構造が複雑で調整が困
難なものになっている。しかも、枢軸が移動すること
で、枢軸とガイド溝との間に摩耗が生じるおそれがあ
り、その摩耗の結果として、弁ロッドの傾動に狂いが生
じて弁体がゲートを精密に閉鎖しなくなるおそれがあ
る。
【0007】一方、上記第2の公報のゲートバルブで
は、弁ロッドを傾動させるときの支軸が固定式であるこ
とから、第1の公報のゲートバルブのような移動式の枢
軸がかかえる問題はないものの、傾動機構の構造が上記
ガイド溝のものや上記傾斜リンクのものに比べて却って
複雑なものとなっている。即ち、傾動機構として弁ロッ
ドの他端部に設けられたローラ、第1の保持部、傾斜面
及び第2の保持部を含むローラ受け部材等の構成が極め
て精密で複雑なものとなっている。特に、互いに連続し
た面を有する第1の保持部、第2の保持部及び傾斜面に
関する形状の設定や調整には大きな困難を伴うことが考
えられる。しかも、これらの部位を含むローラ受け部材
に対してローラが移動する関係にあることから、ここで
も、各部材間に摩耗が生じ、弁ロッドの傾動に狂いが生
じて弁体がゲートを精密に閉鎖しなくなるおそれが考え
られる。
は、弁ロッドを傾動させるときの支軸が固定式であるこ
とから、第1の公報のゲートバルブのような移動式の枢
軸がかかえる問題はないものの、傾動機構の構造が上記
ガイド溝のものや上記傾斜リンクのものに比べて却って
複雑なものとなっている。即ち、傾動機構として弁ロッ
ドの他端部に設けられたローラ、第1の保持部、傾斜面
及び第2の保持部を含むローラ受け部材等の構成が極め
て精密で複雑なものとなっている。特に、互いに連続し
た面を有する第1の保持部、第2の保持部及び傾斜面に
関する形状の設定や調整には大きな困難を伴うことが考
えられる。しかも、これらの部位を含むローラ受け部材
に対してローラが移動する関係にあることから、ここで
も、各部材間に摩耗が生じ、弁ロッドの傾動に狂いが生
じて弁体がゲートを精密に閉鎖しなくなるおそれが考え
られる。
【0008】更に、上記第1及び第2の公報のゲートバ
ルブでは、処理室の気密状態を保つために、ベローズが
シール手段として採用される。しかしながら、ベローズ
は比較的大きく高価なものであるばかりでなく、隣接す
る部材に対する接触面積も比較的多く、その分だけ摩耗
が増えてパーティクルの発生や破損を招くおそれが大き
いと考えられる。
ルブでは、処理室の気密状態を保つために、ベローズが
シール手段として採用される。しかしながら、ベローズ
は比較的大きく高価なものであるばかりでなく、隣接す
る部材に対する接触面積も比較的多く、その分だけ摩耗
が増えてパーティクルの発生や破損を招くおそれが大き
いと考えられる。
【0009】この発明は上記事情に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、比較的シンプルで信頼性の高い
構成により弁体を傾動させることを可能とし、パーティ
クルの発生の少ないシンプルなシール構造を実現するこ
とを可能にしたゲートバルブを提供することにある。
であって、その目的は、比較的シンプルで信頼性の高い
構成により弁体を傾動させることを可能とし、パーティ
クルの発生の少ないシンプルなシール構造を実現するこ
とを可能にしたゲートバルブを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の発明は、処理室に設けられたゲー
トを開閉するための弁体と、弁体を一端部に設けた弁ロ
ッドと、処理室に対して取り付けられ、弁ロッドを貫通
させる貫通孔を有する取付部材と、弁ロッドを弁体と共
に直動可能かつ傾動可能に支持するために、貫通孔に配
置されると共に固定支軸を介して取付部材に取り付けら
れる支持部材と、弁ロッドを支持部材と共に前記支軸を
中心に傾動させるための傾動機構と、弁ロッドの直動及
び傾動に必要な駆動力を与えるための駆動軸を有するア
クチュエータと、処理室の気密状態を保持するために貫
通孔と支持部材との間に設けられるシール手段とを備
え、アクチュエータにより弁ロッドに駆動力を与えて弁
ロッドを支持部材を介して直動させ、弁ロッドを支持部
材と共に傾動機構により傾動させることにより、弁体を
ゲートに対して直動及び傾動させてゲートを開閉するゲ
ートバルブであって、傾動機構は、駆動軸及び弁ロッド
の各々の端部に回動可能に連結されたリンク機構と、弁
ロッドの直動を所定位置で規制するためのストッパとを
含み、駆動軸の動きに伴い弁ロッドの直動がストッパに
より規制されてリンク機構のリンク角が変わることによ
り、弁ロッドが支持部材と共に固定支軸を中心に傾動さ
れ、ゲートを弁体により閉鎖させるものであることと、
シール手段は、支持部材の外周と貫通孔の内壁との間に
介在されるOリングであることとを備えたことを趣旨と
する。
に、請求項1に記載の発明は、処理室に設けられたゲー
トを開閉するための弁体と、弁体を一端部に設けた弁ロ
ッドと、処理室に対して取り付けられ、弁ロッドを貫通
させる貫通孔を有する取付部材と、弁ロッドを弁体と共
に直動可能かつ傾動可能に支持するために、貫通孔に配
置されると共に固定支軸を介して取付部材に取り付けら
れる支持部材と、弁ロッドを支持部材と共に前記支軸を
中心に傾動させるための傾動機構と、弁ロッドの直動及
び傾動に必要な駆動力を与えるための駆動軸を有するア
クチュエータと、処理室の気密状態を保持するために貫
通孔と支持部材との間に設けられるシール手段とを備
え、アクチュエータにより弁ロッドに駆動力を与えて弁
ロッドを支持部材を介して直動させ、弁ロッドを支持部
材と共に傾動機構により傾動させることにより、弁体を
ゲートに対して直動及び傾動させてゲートを開閉するゲ
ートバルブであって、傾動機構は、駆動軸及び弁ロッド
の各々の端部に回動可能に連結されたリンク機構と、弁
ロッドの直動を所定位置で規制するためのストッパとを
含み、駆動軸の動きに伴い弁ロッドの直動がストッパに
より規制されてリンク機構のリンク角が変わることによ
り、弁ロッドが支持部材と共に固定支軸を中心に傾動さ
れ、ゲートを弁体により閉鎖させるものであることと、
シール手段は、支持部材の外周と貫通孔の内壁との間に
介在されるOリングであることとを備えたことを趣旨と
する。
【0011】上記発明の構成によれば、アクチュエータ
の駆動軸を伸縮させることにより、弁ロッドに駆動力が
与えられて弁ロッドが支持部材を介して直動され、弁体
がゲートに対して直動することになる。更に、弁ロッド
に駆動力が与えられて弁ロッドが支持部材と共に固定支
軸を中心に傾動機構により傾動されることにより、弁体
がゲートに対して傾動され、ゲートが弁体により閉鎖さ
れる。ここで、弁ロッドの支持部材が固定支軸を中心に
傾動され、その支軸が移動することはないことから、支
軸と他の部材との間で移動に伴う摩耗が生じることはな
い。又、傾動機構が、単に駆動軸及び弁ロッドの各々の
端部に連結されたリンク機構と、弁ロッドの直動を規制
するストッパとを含むものであることから、構成が比較
的シンプルとなる。更に、貫通孔と支持部材との間に設
けられるシール手段が、支持部材の外周と貫通孔の内壁
との間に介在されるOリングであることから、支持部材
の外周又は貫通孔の内壁に対するOリングとの接触面積
が少なく、Oリングの摩耗が少なくなる。
の駆動軸を伸縮させることにより、弁ロッドに駆動力が
与えられて弁ロッドが支持部材を介して直動され、弁体
がゲートに対して直動することになる。更に、弁ロッド
に駆動力が与えられて弁ロッドが支持部材と共に固定支
軸を中心に傾動機構により傾動されることにより、弁体
がゲートに対して傾動され、ゲートが弁体により閉鎖さ
れる。ここで、弁ロッドの支持部材が固定支軸を中心に
傾動され、その支軸が移動することはないことから、支
軸と他の部材との間で移動に伴う摩耗が生じることはな
い。又、傾動機構が、単に駆動軸及び弁ロッドの各々の
端部に連結されたリンク機構と、弁ロッドの直動を規制
するストッパとを含むものであることから、構成が比較
的シンプルとなる。更に、貫通孔と支持部材との間に設
けられるシール手段が、支持部材の外周と貫通孔の内壁
との間に介在されるOリングであることから、支持部材
の外周又は貫通孔の内壁に対するOリングとの接触面積
が少なく、Oリングの摩耗が少なくなる。
【0012】上記目的を達成するために、請求項2に記
載の発明は、請求項1の発明の構成において、アクチュ
エータは、ゲートが弁体により閉鎖されたときに駆動軸
の動きを止めるためのロック機構を備えたことを趣旨と
する。
載の発明は、請求項1の発明の構成において、アクチュ
エータは、ゲートが弁体により閉鎖されたときに駆動軸
の動きを止めるためのロック機構を備えたことを趣旨と
する。
【0013】上記発明の構成によれば、請求項1の発明
の作用に加え、ゲートが弁体により閉鎖されたときに、
ロック機構により駆動軸の動きが止められることから、
ゲートの閉鎖時に、駆動軸と共に弁ロッド及び弁体が誤
って動くことがなく、ゲートが不用意に開くことがな
い。
の作用に加え、ゲートが弁体により閉鎖されたときに、
ロック機構により駆動軸の動きが止められることから、
ゲートの閉鎖時に、駆動軸と共に弁ロッド及び弁体が誤
って動くことがなく、ゲートが不用意に開くことがな
い。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明のゲートバルブを具
体化した一実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。
体化した一実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。
【0015】図1,2には、ゲートバルブ1の動作を一
部断面をもって示す。図3には、ゲートバルブ1の斜視
図を示す(便宜上、ゲートバルブ1の上下を逆転して示
す。)。このゲートバルブ1は、半導体製造装置におい
て、真空処理室2に設けられた開口部である横長なゲー
ト3を開閉するのに使用されるものである。ゲート3の
周りにはパッキン4が設けられる。
部断面をもって示す。図3には、ゲートバルブ1の斜視
図を示す(便宜上、ゲートバルブ1の上下を逆転して示
す。)。このゲートバルブ1は、半導体製造装置におい
て、真空処理室2に設けられた開口部である横長なゲー
ト3を開閉するのに使用されるものである。ゲート3の
周りにはパッキン4が設けられる。
【0016】このゲートバルブ1は、ゲート3を開閉す
るための弁体5と、その弁体5を上端部に設けた弁ロッ
ド6と、処理室2に対して取り付けられ、弁ロッド6を
貫通させる貫通孔7aを有する取付部材7と、その貫通
孔7aに配置される支持部材としてのスリーブ8と、弁
ロッド6等を傾動させるための傾動機構9と、弁ロッド
6の直動及び傾動に必要な駆動力を与えるためのアクチ
ュエータとしての一対のエアシリンダ10と、処理室2
の気密状態を保持するためのシール手段でありOリング
としての傾動シールパッキン11とを備える。
るための弁体5と、その弁体5を上端部に設けた弁ロッ
ド6と、処理室2に対して取り付けられ、弁ロッド6を
貫通させる貫通孔7aを有する取付部材7と、その貫通
孔7aに配置される支持部材としてのスリーブ8と、弁
ロッド6等を傾動させるための傾動機構9と、弁ロッド
6の直動及び傾動に必要な駆動力を与えるためのアクチ
ュエータとしての一対のエアシリンダ10と、処理室2
の気密状態を保持するためのシール手段でありOリング
としての傾動シールパッキン11とを備える。
【0017】このゲートバルブ1は、二つのエアシリン
ダ10のシリンダロッド10aにより弁ロッド6に駆動
力を与えて弁ロッド6をスリーブ8を介して直動させ、
弁ロッド6をスリーブ8と共に傾動機構9により傾動さ
せることにより、弁体5をゲート3に対して直動及び傾
動させてゲート3を開閉するようにしたものである。
ダ10のシリンダロッド10aにより弁ロッド6に駆動
力を与えて弁ロッド6をスリーブ8を介して直動させ、
弁ロッド6をスリーブ8と共に傾動機構9により傾動さ
せることにより、弁体5をゲート3に対して直動及び傾
動させてゲート3を開閉するようにしたものである。
【0018】ここで、二つのエアシリンダ10は、弁ロ
ッド6の直動及び傾動に必要な駆動力を与えるための駆
動軸としてのシリンダロッド10aを有する。両エアシ
リンダ10は、取付部材7の下側に並列に固定される。
これらエアシリンダ10の間において、取付部材7の貫
通孔7aに対してスリーブ8が配置され、そのスリーブ
8に弁ロッド6がその軸線方向に摺動可能に支持され
る。これにより、二本のシリンダロッド10aと弁ロッ
ド6とが互いに垂直に平行に配置される。
ッド6の直動及び傾動に必要な駆動力を与えるための駆
動軸としてのシリンダロッド10aを有する。両エアシ
リンダ10は、取付部材7の下側に並列に固定される。
これらエアシリンダ10の間において、取付部材7の貫
通孔7aに対してスリーブ8が配置され、そのスリーブ
8に弁ロッド6がその軸線方向に摺動可能に支持され
る。これにより、二本のシリンダロッド10aと弁ロッ
ド6とが互いに垂直に平行に配置される。
【0019】スリーブ8は、弁ロッド6を弁体5と共に
直動可能かつ傾動可能に支持するために、貫通孔7aに
配置されると共に固定支軸12を介して取付部材7に取
り付けられるものである。このスリーブ8は、上部ピー
ス13a及び下部ピース13bからなるシリンダ13
と、その下部ピース13bの内側に組み込まれたスラス
トベアリング14とを備える。上部ピース13aは、貫
通孔7aに対応して配置される。下部ピース13bは、
取付部材7から下方へ延びる。貫通孔7aの内壁とスリ
ーブ8の外周との間には、スリーブ8の傾動を許容する
程度の隙間が設けられる。スリーブ8の中心孔8aに
は、弁ロッド6が摺動可能に支持される。上部ピース1
3aの開口部内側には、弁ロッド6との間に軸シールパ
ッキン15が設けられる。この軸シールパッキン15
は、処理室2の気密状態を保持するために、スリーブ8
と弁ロッド6との間をシールするためのものである。
直動可能かつ傾動可能に支持するために、貫通孔7aに
配置されると共に固定支軸12を介して取付部材7に取
り付けられるものである。このスリーブ8は、上部ピー
ス13a及び下部ピース13bからなるシリンダ13
と、その下部ピース13bの内側に組み込まれたスラス
トベアリング14とを備える。上部ピース13aは、貫
通孔7aに対応して配置される。下部ピース13bは、
取付部材7から下方へ延びる。貫通孔7aの内壁とスリ
ーブ8の外周との間には、スリーブ8の傾動を許容する
程度の隙間が設けられる。スリーブ8の中心孔8aに
は、弁ロッド6が摺動可能に支持される。上部ピース1
3aの開口部内側には、弁ロッド6との間に軸シールパ
ッキン15が設けられる。この軸シールパッキン15
は、処理室2の気密状態を保持するために、スリーブ8
と弁ロッド6との間をシールするためのものである。
【0020】一対をなす固定支軸12は、上部ピース1
3aの外周から左右両側方へ突出して設けられ、同一軸
線上に配置される。取付部材7において貫通孔7aの両
側には、これら固定支軸12に対応する一対の軸受16
が形成される。固定支軸12は、これら軸受16に対し
て固定的、即ち移動しないことを前提に組み込まれる。
3aの外周から左右両側方へ突出して設けられ、同一軸
線上に配置される。取付部材7において貫通孔7aの両
側には、これら固定支軸12に対応する一対の軸受16
が形成される。固定支軸12は、これら軸受16に対し
て固定的、即ち移動しないことを前提に組み込まれる。
【0021】傾動機構9は、弁ロッド6をスリーブ8と
共に固定支軸12を中心に傾動させるためのものであ
る。この傾動機構9はリンク機構17及びストッパ18
を含む。リンク機構17は、両シリンダロッド10a及
び弁ロッド6の各々の端部に回動可能に連結される。こ
のリンク機構17は、弁ロッド6の下端部に設けられた
軸受ブロック19と、このブロック19に回動可能に支
持され、ブロック19の左右両側方へ延びるリンクロッ
ド20と、このリンクロッド20の両端部にそれぞれ一
対設けられたリンクアーム21とを含む。各リンクアー
ム21の先端は、各シリンダロッド10aの下端部に対
し、リンクピン22を介して回動可能に連結される。各
シリンダロッド10aにおける各リンクピン22の上側
近傍には連結ピン23が固定される。これら連結ピン2
3とリンクロッド20の左右両端に設けられた連結ピン
24との間には、図3に示すように引長ばね25が設け
られる。
共に固定支軸12を中心に傾動させるためのものであ
る。この傾動機構9はリンク機構17及びストッパ18
を含む。リンク機構17は、両シリンダロッド10a及
び弁ロッド6の各々の端部に回動可能に連結される。こ
のリンク機構17は、弁ロッド6の下端部に設けられた
軸受ブロック19と、このブロック19に回動可能に支
持され、ブロック19の左右両側方へ延びるリンクロッ
ド20と、このリンクロッド20の両端部にそれぞれ一
対設けられたリンクアーム21とを含む。各リンクアー
ム21の先端は、各シリンダロッド10aの下端部に対
し、リンクピン22を介して回動可能に連結される。各
シリンダロッド10aにおける各リンクピン22の上側
近傍には連結ピン23が固定される。これら連結ピン2
3とリンクロッド20の左右両端に設けられた連結ピン
24との間には、図3に示すように引長ばね25が設け
られる。
【0022】ストッパ18は、弁ロッド6の直動を所定
位置、即ち、スリーブ8の下端位置で規制するためのも
のである。図4,5に示すように、円環状をなすこのス
トッパ18は、弁ロッド6に挿通される中心孔18a
と、その孔18aを横切るスリット18bと、スリット
18bに直角に交わるボルト孔18cとを備える。この
ボルト孔18cには、ボルト26が締め付けられる。こ
の締め付けにより、中心孔18aが縮径されてストッパ
18自体が弁ロッド6上に固定される。このストッパ1
8は、上記のようなボルト26の操作により、弁ロッド
6上における固定位置が任意に変更可能である。この実
施の形態では、株式会社スミス製の「セットカラー」が
ストッパ18として用いられる。
位置、即ち、スリーブ8の下端位置で規制するためのも
のである。図4,5に示すように、円環状をなすこのス
トッパ18は、弁ロッド6に挿通される中心孔18a
と、その孔18aを横切るスリット18bと、スリット
18bに直角に交わるボルト孔18cとを備える。この
ボルト孔18cには、ボルト26が締め付けられる。こ
の締め付けにより、中心孔18aが縮径されてストッパ
18自体が弁ロッド6上に固定される。このストッパ1
8は、上記のようなボルト26の操作により、弁ロッド
6上における固定位置が任意に変更可能である。この実
施の形態では、株式会社スミス製の「セットカラー」が
ストッパ18として用いられる。
【0023】傾動シールパッキン11は、処理室2の気
密状態を保持するために、貫通孔7aとスリーブ8との
間に設けられたものである。この傾動シールパッキン1
1は、スリーブ8の外周と貫通孔7aの内壁との間に介
在される。即ち、傾動シールパッキン11は、上部ピー
ス13aの外周に取り付けられ、その外周縁が自身の弾
力によって貫通孔7aの内壁に密着している。図6に
は、傾動シールパッキン11の一部を縦断面に示す。こ
のシールパッキン11は、凹部11a及び凸部11bを
含む断面形状をなす。このような断面形状は、貫通孔7
aの中でスリーブ8が傾動するときにも、両者7a,8
の間でシールパッキン11が密着性を保てることに効果
を発揮する。このシールパッキン11は、例えば、耐摩
耗性ニトリルゴム、フッ素ゴム等を材質としているが、
これらに限定されるものではない。このような構成か
ら、傾動シールパッキン11は、装着スペースを少なく
し、摺動抵抗を低くできるという特長を持つ。この実施
の形態では、日本バルカー社製「ワンリングパッキン
(PWP)」が傾動シールパッキン11として用いられ
る。
密状態を保持するために、貫通孔7aとスリーブ8との
間に設けられたものである。この傾動シールパッキン1
1は、スリーブ8の外周と貫通孔7aの内壁との間に介
在される。即ち、傾動シールパッキン11は、上部ピー
ス13aの外周に取り付けられ、その外周縁が自身の弾
力によって貫通孔7aの内壁に密着している。図6に
は、傾動シールパッキン11の一部を縦断面に示す。こ
のシールパッキン11は、凹部11a及び凸部11bを
含む断面形状をなす。このような断面形状は、貫通孔7
aの中でスリーブ8が傾動するときにも、両者7a,8
の間でシールパッキン11が密着性を保てることに効果
を発揮する。このシールパッキン11は、例えば、耐摩
耗性ニトリルゴム、フッ素ゴム等を材質としているが、
これらに限定されるものではない。このような構成か
ら、傾動シールパッキン11は、装着スペースを少なく
し、摺動抵抗を低くできるという特長を持つ。この実施
の形態では、日本バルカー社製「ワンリングパッキン
(PWP)」が傾動シールパッキン11として用いられ
る。
【0024】各エアシリンダ10は、ゲート3が弁体5
により閉鎖されたときに、シリンダロッド10aの不用
意な動きを止めるためのロック機構を備える。図7,8
には、このロック機構の概念図を示す。ロック機構は、
各シリンダロッド10aに挿通される円環状のロックメ
タル27を備える。このロックメタル27の中心孔27
aには、シリンダロッド10aとの間に所定のクリアラ
ンス28が設けられる。ロックメタル27を収容する収
容空間29には、所定のポートを通じて給気及び排気が
行われるようになっている。そして、収容空間29に給
気が行われることにより、図7に示すように、ロックメ
タル27がその給気の圧力を受けて直立し、シリンダロ
ッド10aとの間にクリアランス28が形成され、シリ
ンダロッド10aの移動が許容される。一方、収容空間
29から排気が行われることにより、図8に示すよう
に、ロックメタル27がばね(図示略)の力により傾
き、同メタル27がシリンダロッド10aに係合して移
動が規制される。
により閉鎖されたときに、シリンダロッド10aの不用
意な動きを止めるためのロック機構を備える。図7,8
には、このロック機構の概念図を示す。ロック機構は、
各シリンダロッド10aに挿通される円環状のロックメ
タル27を備える。このロックメタル27の中心孔27
aには、シリンダロッド10aとの間に所定のクリアラ
ンス28が設けられる。ロックメタル27を収容する収
容空間29には、所定のポートを通じて給気及び排気が
行われるようになっている。そして、収容空間29に給
気が行われることにより、図7に示すように、ロックメ
タル27がその給気の圧力を受けて直立し、シリンダロ
ッド10aとの間にクリアランス28が形成され、シリ
ンダロッド10aの移動が許容される。一方、収容空間
29から排気が行われることにより、図8に示すよう
に、ロックメタル27がばね(図示略)の力により傾
き、同メタル27がシリンダロッド10aに係合して移
動が規制される。
【0025】次に、上記のように構成したゲートバルブ
1の動作を説明する。図9〜11には、図1,2のA−
A線に沿った断面におけるゲートバルブ1の動作イメー
ジ図を示す。図9〜11におけるスリーブ8は、その一
部が簡略化して示される。図9は図1の状態に、図11
は図2の状態にそれぞれ対応する。
1の動作を説明する。図9〜11には、図1,2のA−
A線に沿った断面におけるゲートバルブ1の動作イメー
ジ図を示す。図9〜11におけるスリーブ8は、その一
部が簡略化して示される。図9は図1の状態に、図11
は図2の状態にそれぞれ対応する。
【0026】図1,9に示すようにゲート3が開かれた
状態から、シリンダロッド10aが収縮すると、リンク
機構17を介して弁ロッド6が上方へ押されて直動す
る。このとき、図10に示すように、ストッパ18がス
リーブ8の下端に当たると、弁ロッド6の直動が規制さ
れる。弁ロッド6の直動が規制されてからシリンダロッ
ド10aが更に収縮すると、図2,11に示すように、
リンク機構17のリンク角θ、即ち図9〜11において
リンクアーム21が水平面となす角度が変わり、弁ロッ
ド6がスリーブ8と共に固定支軸12を中心に傾動さ
れ、この傾動に伴ってゲート3が弁体5により閉鎖され
る。
状態から、シリンダロッド10aが収縮すると、リンク
機構17を介して弁ロッド6が上方へ押されて直動す
る。このとき、図10に示すように、ストッパ18がス
リーブ8の下端に当たると、弁ロッド6の直動が規制さ
れる。弁ロッド6の直動が規制されてからシリンダロッ
ド10aが更に収縮すると、図2,11に示すように、
リンク機構17のリンク角θ、即ち図9〜11において
リンクアーム21が水平面となす角度が変わり、弁ロッ
ド6がスリーブ8と共に固定支軸12を中心に傾動さ
れ、この傾動に伴ってゲート3が弁体5により閉鎖され
る。
【0027】一方、図11に示す状態から、シリンダロ
ッド10aが伸長することにより、リンク機構17等が
上記と逆の動作を経て、弁体5と共に弁ロッド6が動い
てゲート3が開かれることになる。
ッド10aが伸長することにより、リンク機構17等が
上記と逆の動作を経て、弁体5と共に弁ロッド6が動い
てゲート3が開かれることになる。
【0028】以上説明したように、この実施の形態のゲ
ートバルブ1によれば、エアシリンダ10のシリンダロ
ッド10aを伸縮させることにより、弁ロッド6に駆動
力が与えられて弁ロッド6がスリーブ8を介して直動さ
れ、弁体5がゲート3に対して直動する。又、弁ロッド
6に駆動力が与えられて弁ロッド6がスリーブ8と共に
固定支軸12を中心にリンク機構17等により傾動され
ることにより、弁体5がゲート3に対して傾動され、ゲ
ート3が弁体5により閉鎖される。
ートバルブ1によれば、エアシリンダ10のシリンダロ
ッド10aを伸縮させることにより、弁ロッド6に駆動
力が与えられて弁ロッド6がスリーブ8を介して直動さ
れ、弁体5がゲート3に対して直動する。又、弁ロッド
6に駆動力が与えられて弁ロッド6がスリーブ8と共に
固定支軸12を中心にリンク機構17等により傾動され
ることにより、弁体5がゲート3に対して傾動され、ゲ
ート3が弁体5により閉鎖される。
【0029】ここでは、スリーブ8が固定支軸12を中
心に傾動され、その支軸12が移動することがないの
で、その支軸12と他の部材との間で移動に伴う摩耗が
生じることがない。従って、このゲートバルブ1では、
前記従来の第1の公報のゲートバルブのように弁ロッド
の傾動中心となる枢軸が移動式であることによる摩耗の
おそれがない。このため、固定支軸12を中心とする弁
ロッド6の傾動に狂いが生じることがなく、ゲート3を
弁体5により精密に閉鎖することができるようになる。
心に傾動され、その支軸12が移動することがないの
で、その支軸12と他の部材との間で移動に伴う摩耗が
生じることがない。従って、このゲートバルブ1では、
前記従来の第1の公報のゲートバルブのように弁ロッド
の傾動中心となる枢軸が移動式であることによる摩耗の
おそれがない。このため、固定支軸12を中心とする弁
ロッド6の傾動に狂いが生じることがなく、ゲート3を
弁体5により精密に閉鎖することができるようになる。
【0030】この実施の形態のでは、弁ロッド6等を傾
動させる傾動機構9が、単にシリンダロッド10a及び
弁ロッド6の各々の端部に連結されたリンク機構17
と、弁ロッド6の直動を規制するストッパ18とを含む
ものであることから、前記従来の第2の公報のゲートバ
ルブの傾動機構に比べて構成が比較的シンプルなものと
なる。即ち、この実施の形態では、従来のゲートバルブ
のように、形状の設定や調整が困難な第1の保持部及び
ローラ受け部材等の複雑な構成を傾動機構とすることが
ない。しかも、この実施の形態のリンク機構17には、
従来の傾動機構のように移動を伴うローラ等の部材がな
いことから、ここでも各部材間に摩耗が生じることがな
い。この意味でも、弁ロッド6の傾動に狂いが生じるこ
とがなく、ゲート3を弁体5により精密に閉鎖すること
ができるようになる。つまり、ゲート3を開閉するため
に、比較的シンプルで信頼性の高い構成により弁体5を
傾動させることができるのである。
動させる傾動機構9が、単にシリンダロッド10a及び
弁ロッド6の各々の端部に連結されたリンク機構17
と、弁ロッド6の直動を規制するストッパ18とを含む
ものであることから、前記従来の第2の公報のゲートバ
ルブの傾動機構に比べて構成が比較的シンプルなものと
なる。即ち、この実施の形態では、従来のゲートバルブ
のように、形状の設定や調整が困難な第1の保持部及び
ローラ受け部材等の複雑な構成を傾動機構とすることが
ない。しかも、この実施の形態のリンク機構17には、
従来の傾動機構のように移動を伴うローラ等の部材がな
いことから、ここでも各部材間に摩耗が生じることがな
い。この意味でも、弁ロッド6の傾動に狂いが生じるこ
とがなく、ゲート3を弁体5により精密に閉鎖すること
ができるようになる。つまり、ゲート3を開閉するため
に、比較的シンプルで信頼性の高い構成により弁体5を
傾動させることができるのである。
【0031】この実施の形態では、取付部材7の貫通孔
7aの内壁とスリーブ8の外周との間に設けられるシー
ル手段が、前記従来のベローズではなく、Oリングとし
ての傾動シールパッキン11である。従って、スリーブ
8の外周又は貫通孔7aの内壁に対する傾動シールパッ
キン11との接触面積は、ベローズのそれと比べて少な
く、同パッキン11の摩耗は少なくなる。このため、パ
ーティクルの発生の少ないシンプルなシール構造を実現
することができる。即ち、Oリングタイプの傾動シール
パッキン11であることから、ベローズのように相対的
に大きく高価なものとなることがなく、隣接する部材と
の間の摩耗が少なくなり、パーティクルの発生や破損を
抑えることができるようになる。しかも、この傾動シー
ルパッキン11が有する断面形状により、スリーブ8の
傾動時におけるシール性も確保することができる。
7aの内壁とスリーブ8の外周との間に設けられるシー
ル手段が、前記従来のベローズではなく、Oリングとし
ての傾動シールパッキン11である。従って、スリーブ
8の外周又は貫通孔7aの内壁に対する傾動シールパッ
キン11との接触面積は、ベローズのそれと比べて少な
く、同パッキン11の摩耗は少なくなる。このため、パ
ーティクルの発生の少ないシンプルなシール構造を実現
することができる。即ち、Oリングタイプの傾動シール
パッキン11であることから、ベローズのように相対的
に大きく高価なものとなることがなく、隣接する部材と
の間の摩耗が少なくなり、パーティクルの発生や破損を
抑えることができるようになる。しかも、この傾動シー
ルパッキン11が有する断面形状により、スリーブ8の
傾動時におけるシール性も確保することができる。
【0032】この実施の形態では、各エアシリンダ10
にロック機構が設けられる。従って、ゲート3が弁体5
により閉鎖されたときには、ロック機構によりシリンダ
ロッド10aの動きが確実に止められる。このことか
ら、ゲート3の閉鎖時に、シリンダロッド10aと共に
弁ロッド6及び弁体5が誤って動くことがなく、ゲート
3が不用意に開くことがない。更に、ロック機構の使い
方によっては、シリンダロッド10aを任意の位置でロ
ックすることができる。このため、万が一、傾動シール
パッキン11が永久変形を起こしたとしても、その変形
に応じた最適なシール位置でシリンダロッド10aをロ
ックすることができる。この意味で、ゲートバルブ1の
動作の信頼性を一層向上させることができるようにな
る。
にロック機構が設けられる。従って、ゲート3が弁体5
により閉鎖されたときには、ロック機構によりシリンダ
ロッド10aの動きが確実に止められる。このことか
ら、ゲート3の閉鎖時に、シリンダロッド10aと共に
弁ロッド6及び弁体5が誤って動くことがなく、ゲート
3が不用意に開くことがない。更に、ロック機構の使い
方によっては、シリンダロッド10aを任意の位置でロ
ックすることができる。このため、万が一、傾動シール
パッキン11が永久変形を起こしたとしても、その変形
に応じた最適なシール位置でシリンダロッド10aをロ
ックすることができる。この意味で、ゲートバルブ1の
動作の信頼性を一層向上させることができるようにな
る。
【0033】尚、この発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲
で構成の一部を適宜に変更して実施することもできる。
例えば、前記実施の形態では、スリーブ8と貫通孔7a
との間に介在される傾動シールパッキン11をスリーブ
8の外周に取り付けたが、この傾動シールパッキンを貫
通孔の内壁に取り付けてもよい。
るものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲
で構成の一部を適宜に変更して実施することもできる。
例えば、前記実施の形態では、スリーブ8と貫通孔7a
との間に介在される傾動シールパッキン11をスリーブ
8の外周に取り付けたが、この傾動シールパッキンを貫
通孔の内壁に取り付けてもよい。
【0034】
【発明の効果】請求項1に記載の発明の構成によれば、
弁ロッドの支持部材を固定支軸を中心に傾動可能とし、
リンク機構及びストッパを含む傾動機構を採用し、支持
部材と貫通孔との間にシール手段としてOリングを介在
させている。このため、ゲートを閉鎖するために、比較
的シンプルで信頼性の高い構成により弁体をゲートに対
して傾動させることができ、パーティクルの発生の少な
いシンプルなシール構造を実現することができるという
効果を発揮する。
弁ロッドの支持部材を固定支軸を中心に傾動可能とし、
リンク機構及びストッパを含む傾動機構を採用し、支持
部材と貫通孔との間にシール手段としてOリングを介在
させている。このため、ゲートを閉鎖するために、比較
的シンプルで信頼性の高い構成により弁体をゲートに対
して傾動させることができ、パーティクルの発生の少な
いシンプルなシール構造を実現することができるという
効果を発揮する。
【0035】請求項2に記載の発明の構成によれば、請
求項1の発明の構成において、駆動軸の動きを止めるた
めのロック機構を設けている。このため、請求項1の発
明の効果に加え、ゲートバルブの動作の信頼性を一層向
上させることができるという効果を発揮する。
求項1の発明の構成において、駆動軸の動きを止めるた
めのロック機構を設けている。このため、請求項1の発
明の効果に加え、ゲートバルブの動作の信頼性を一層向
上させることができるという効果を発揮する。
【図1】一実施の形態に係り、ゲートバルブの一部を破
断して示す正面図である。
断して示す正面図である。
【図2】同じく、ゲートバルブの一部を破断して示す正
面図である。
面図である。
【図3】同じく、ゲートバルブを示す斜視図である。
【図4】同じく、ストッパを示す正面図である。
【図5】同じく、ストッパを示す側面図である。
【図6】同じく、傾動シールパッキンの一部を示す断面
図である。
図である。
【図7】同じく、ロック機構を模式的に示す断面図であ
る。
る。
【図8】同じく、ロック機構を模式的に示す断面図であ
る。
る。
【図9】同じく、ゲートバルブを示す断面図である。
【図10】同じく、図9からのゲートバルブの動きを示
す断面図である。
す断面図である。
【図11】同じく、図10からのゲートバルブの動きを
示す断面図である。
示す断面図である。
1 ゲートバルブ 2 処理室 3 ゲート 5 弁体 6 弁ロッド 7 取付部材 7a 貫通孔 8 スリーブ(支持部材) 9 傾動機構 10 エアシリンダ(アクチュエータ) 10a シリンダロッド(駆動軸) 11 傾動シールパッキン(Oリング) 12 固定支軸 17 リンク機構 18 ストッパ 27 ロックメタル(ロック機構) 28 クリアランス(ロック機構) 29 収容空間(ロック機構)
Claims (2)
- 【請求項1】 処理室に設けられたゲートを開閉するた
めの弁体と、 前記弁体を一端部に設けた弁ロッドと、 前記処理室に対して取り付けられ、前記弁ロッドを貫通
させる貫通孔を有する取付部材と、 前記弁ロッドを前記弁体と共に直動可能かつ傾動可能に
支持するために、前記貫通孔に配置されると共に固定支
軸を介して前記取付部材に取り付けられる支持部材と、 前記弁ロッドを前記支持部材と共に前記固定支軸を中心
に傾動させるための傾動機構と、 前記弁ロッドの直動及び傾動に必要な駆動力を与えるた
めの駆動軸を有するアクチュエータと、 前記処理室の気密状態を保持するために前記貫通孔と前
記支持部材との間に設けられるシール手段とを備え、前
記アクチュエータにより前記弁ロッドに駆動力を与えて
前記弁ロッドを前記支持部材を介して直動させ、前記弁
ロッドを前記支持部材と共に前記傾動機構により傾動さ
せることにより、前記弁体を前記ゲートに対して直動及
び傾動させて前記ゲートを開閉するゲートバルブであっ
て、 前記傾動機構は、前記駆動軸及び前記弁ロッドの各々の
端部に回動可能に連結されたリンク機構と、前記弁ロッ
ドの直動を所定位置で規制するためのストッパとを含
み、前記駆動軸の動きに伴い前記弁ロッドの直動がスト
ッパにより規制されて前記リンク機構のリンク角が変わ
ることにより、前記弁ロッドが前記支持部材と共に前記
固定支軸を中心に傾動され、前記ゲートを前記弁体によ
り閉鎖させるものであることと、 前記シール手段は、前記支持部材の外周と前記貫通孔の
内壁との間に介在されるOリングであることとを備えた
ことを特徴とするゲートバルブ。 - 【請求項2】 前記アクチュエータは、前記ゲートが前
記弁体により閉鎖されたときに前記駆動軸の動きを止め
るためのロック機構を備えたことを特徴とする請求項1
に記載のゲートバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11213360A JP2001041330A (ja) | 1999-07-28 | 1999-07-28 | ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11213360A JP2001041330A (ja) | 1999-07-28 | 1999-07-28 | ゲートバルブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001041330A true JP2001041330A (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=16637896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11213360A Pending JP2001041330A (ja) | 1999-07-28 | 1999-07-28 | ゲートバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001041330A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004005781A1 (ja) * | 2002-07-03 | 2004-01-15 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | ゲート弁 |
JP2005140151A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Irie Koken Kk | ゲート弁 |
JP2007298177A (ja) * | 2006-05-05 | 2007-11-15 | Vat Holding Ag | 真空バルブドライブ |
CN105276284A (zh) * | 2014-07-04 | 2016-01-27 | Vat控股公司 | 阀门,尤其是真空阀 |
-
1999
- 1999-07-28 JP JP11213360A patent/JP2001041330A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004005781A1 (ja) * | 2002-07-03 | 2004-01-15 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | ゲート弁 |
JP2005140151A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Irie Koken Kk | ゲート弁 |
JP2007298177A (ja) * | 2006-05-05 | 2007-11-15 | Vat Holding Ag | 真空バルブドライブ |
KR101474786B1 (ko) * | 2006-05-05 | 2014-12-22 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 구동장치 |
CN105276284A (zh) * | 2014-07-04 | 2016-01-27 | Vat控股公司 | 阀门,尤其是真空阀 |
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