JP3893608B2 - アニールウェーハの製造方法 - Google Patents
アニールウェーハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3893608B2 JP3893608B2 JP2000287607A JP2000287607A JP3893608B2 JP 3893608 B2 JP3893608 B2 JP 3893608B2 JP 2000287607 A JP2000287607 A JP 2000287607A JP 2000287607 A JP2000287607 A JP 2000287607A JP 3893608 B2 JP3893608 B2 JP 3893608B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- wafer
- boron
- temperature
- resistivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 88
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 56
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 56
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 50
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 22
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 15
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000004880 explosion Methods 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 85
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 20
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 10
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 description 2
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000001479 atomic absorption spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000002484 cyclic voltammetry Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルゴン等の不活性ガス100%雰囲気下におけるアニール後のウェーハ表面近傍のボロン濃度の増加による抵抗率の変化を抑制することを可能にしたアニールウェーハの製造方法、およびその製造方法で作製され、ウェーハ表面近傍のボロン濃度が一定であり、かつ結晶欠陥の消滅した高品質のアニールウェーハに関する。
【0002】
【関連技術】
シリコンウェーハ(単にウェーハと称することがある)には、デバイス特性上デバイスの活性層には結晶欠陥が無いことが求められている。そのため、ウェーハを高温でアニールして結晶欠陥を少なくしたアニールウェーハが使用されている。しかし、シリコンウェーハが曝される環境中(空気中)に存在するボロンに汚染されやすい。例えば、クリーンルームで使用しているエアーフィルターからボロンが酸化物等の化合物(以下、付着ボロンあるいは単にボロンと呼ぶことがある。)として放出され、そのボロンがクリーンルーム内に放置されているウェーハ表面等に付着する。
【0003】
このようなウェーハがアルゴンガス等の不活性ガスにより熱処理されると表面に付着するボロンは除去されることなく、ウェーハ内部に拡散されていき、ウェーハの表面近傍の抵抗率を変化させてしまう。
【0004】
このようなクリーンルーム内の環境ボロン対策として、エアーフィルターの全てをボロン吸着フィルターまたはボロンレスフィルターにすることが行われる場合があるが、高価なフィルターを頻繁に交換する必要があり、コストアップにつながる上、このようなフィルターを用いてもボロン汚染を完全に除去することは難しい。
【0005】
一方、水素を使ったアニールでは逆にウェーハ内部に元々存在するボロンドーパントは外方拡散しやすく、かつ、表面の付着ボロンはアニールしてもボロンは内方拡散することなく気化または飛散してしまうため、ウェーハ表面近傍のボロン濃度が低下し、抵抗率が高くなるという問題がある。また、高温で水素処理を行うには水素爆発を防止するために安全装置等が必要となりコストアップとなったり生産性が落ちたりする事も問題点となる。
【0006】
アルゴンを用いたアニールにおいて、このような環境からのボロン汚染対策として、本出願人が先に出願したようにアニール前の洗浄の最終段に希フッ酸を使う方法がある(特願2000−92155号)。この方法は、ボロン汚染という観点からは極めて有用であるが、パーティクルの付着という観点からは問題があった。すなわち、希フッ酸で最終洗浄を行い、その後ウェーハを水洗しても希フッ酸中で付着したパーティクルは落ちにくく、アニール工程まで運ばれてしまうため、このウェーハをアニールするとパーティクルの焼き付きが起こり、デバイス作製上における歩留まりの低下原因となる可能性があった。
【0007】
一方、エピタキシャルウェーハのエピタキシャル層とバルク結晶との界面のボロンを低減させる方法が提案されている(J.Robbins, A.J.Pidduck, J.L.Glasper, andI.M.Young, Appl.Phys.Lett. 55(12)18 September 1989)。この方法では、水素100%を使用することと、減圧で処理することが特徴となっている。従って、通常の拡散炉を用いてこのような処理を行おうとすれば、水素を使用するための安全装置や減圧で行うための設備が必要になり、このような設備のない炉では使用できない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようなアルゴンに代表される不活性ガスや水素雰囲気によりアニールウェーハを作製するに当たっては、通常、アニールするための鏡面研磨ウェーハを準備し、その表面に付着した重金属や有機物等の汚染物をウェット洗浄により除去して乾燥させた後、熱処理炉に投入することが行われる。
【0009】
シリコン鏡面研磨ウェーハを洗浄する場合、様々な組成の洗浄液(薬液)が用いられるが、その一般的な洗浄方法としては、SC−1(アンモニア、過酸化水素、水の混合液)洗浄、DHF(希フッ酸水溶液)洗浄、SC−2(塩化水素、過酸化水素、水の混合液)洗浄を適宜組み合わせた洗浄方法が用いられているが、DHF洗浄を一連の洗浄工程の最終の洗浄液とした場合には、表面の自然酸化膜が除去されて、活性な疎水性のシリコン表面が露出してしまい、パーティクルの付着やCu等の吸着等が発生しやすくなる。
【0010】
そこで、通常は、洗浄工程の最終段階としてSC−1またはSC−2を用い、洗浄液による自然酸化膜の形成された親水性表面に仕上げることが行われる。これは、上記アニールウェーハを熱処理炉に投入する前のウェット洗浄に関しても同様であって、洗浄により自然酸化膜の形成された親水性表面に仕上げた上で熱処理炉に投入することが行われていた。
【0011】
ところが、前述のように高温でアルゴンアニールをする場合、アニール前のウェーハ上にボロンが付着していると、アニールによりそのボロンは内方拡散し表面の抵抗率を変えてしまう。表面の抵抗率が変わってしまうと、例えばMOSデバイスの場合にはon-offのしきい値電圧が変わってしまい、規格からはずれる可能性がある。それと同時に、様々な電気特性を変えてしまう事にもなる。
【0012】
すなわち、表面にボロンが存在するウェーハを高温でアルゴンアニールをすると、水素アニールと同様にウェーハ表面近傍の結晶欠陥が除去されるため、デバイス特性を向上させる利点がある反面、ボロン汚染があると電気的特性を設計値からずらすなどの悪影響があるため、せっかくのアニールによるウェーハ表面近傍の結晶品質の向上効果が無駄になってしまう。
【0013】
本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり、シリコンウェーハ表面に環境からの付着ボロンを有するウェーハに不活性ガス雰囲気で熱処理を行ったとしても、ウェーハ表面の抵抗率の変化が発生しないような熱処理方法を用い、さらに、このような熱処理を、気密性を高めるためのシール構造や防爆設備等の特別な設備を必要とすることのない通常の拡散炉にて可能とするアニールウェーハの製造方法及びウェーハ表面近傍のボロン濃度が一定であり、かつ結晶欠陥の消滅したアニールウェーハを提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のアニールウェーハの製造方法は、表面に自然酸化膜が形成され、かつ環境からのボロンが付着したシリコンウェーハに対し、爆発下限以下の水素ガスとアルゴンガスの混合ガス雰囲気による前熱処理を行うことにより前記自然酸化膜が除去される前に前記付着ボロンを除去し、その後、不活性ガス雰囲気により後熱処理することを特徴とするものである。
【0015】
後述するように、環境から付着したボロンは、ウェーハ表面に自然酸化膜が存在する状態ではウェーハ内部に拡散し難い。従って、自然酸化膜が存在する状態で水素ガスの効果を利用して付着ボロンを除去してから後熱処理を行えば、この熱処理によるウェーハ表面近傍の抵抗率の変化を防止できる。この場合、前熱処理の水素ガスの濃度としては、水素ガスの爆発下限値(約4%)以下とすれば、熱処理炉の気密性を高めるためのシール構造や爆発時の対策として防爆設備を備えさせる必要がなくなり、かつ、常圧炉を使用できることとなるため、設備上の安全面やコスト面で好適である。なお、水素濃度が0.1%を下回ると十分な効果が期待できないことがある。
【0016】
また、前熱処理を爆発下限以下の水素ガスとアルゴンガスの混合ガス雰囲気にて行う場合、水素ガスの効果により付着ボロンが除去されるのと同時にアルゴンガスの効果により自然酸化膜が除去されるので、自然酸化膜が除去しきらないうちに付着ボロンを除去する必要がある。そのための前熱処理条件としては、熱処理温度が900〜1100℃の範囲であり、熱処理時間が5〜60分の範囲であることが好ましい。
【0017】
尚、このような前熱処理は、後熱処理の昇温プロセスとして行うこともできる。そして、前記のようなアニールウェーハの製造方法により製造されたアニールウェーハは、ウェーハ表面近傍のボロン濃度が一定であり、かつ結晶欠陥の消滅した高品質のアニールウェーハとなる。
【0018】
一方、後熱処理はウェーハ表面近傍の結晶欠陥を消滅させるものであり、不活性ガス雰囲気下、1100〜1300℃の範囲で行う。尚、本発明において不活性ガス雰囲気とは、アルゴン等の不活性ガス100%のほか、爆発下限値以下の水素ガスを不活性ガスに混合した雰囲気も含むものである。
【0019】
以下、本発明の成り立ちについてさらに詳細に説明する。
本発明者らは、環境からのボロン汚染を完全になくすことは困難であることを考慮し、ウェーハ表面にボロンが付着していてもアニールウェーハの抵抗率に影響を及ぼさないような熱処理方法を検討した結果、アルゴンガスと水素ガスによる熱処理では、ウェーハ表面の抵抗率の増減が逆になることに着目して本発明を完成させた。
【0020】
すなわち、ウェーハ表面に付着したボロンは水素ガスによる熱処理により気化させて除去した後、アルゴンガスで結晶欠陥の除去を行う熱処理をすれば、ウェーハ表面近傍の抵抗率を変化させることなく、高品質のアニールウェーハが得られることを発想した。
【0021】
ただし、水素ガスを用いたアニールを行うためには、前述したように熱処理炉の気密性を高めるためのシール構造や爆発時の対策が必要とされ、コスト面で不利である。
【0022】
そこで、付着ボロンを除去するための熱処理雰囲気として、水素ガスの濃度を爆発下限値以下の濃度としたアルゴンガス雰囲気でも付着ボロンの除去が可能であるかどうかを後述の実験により確認した。その結果、図4に示すように水素ガスの濃度を爆発下限値以下の濃度としたアルゴンガス雰囲気での熱処理温度を、特定の温度範囲(図4における900〜1100℃、好ましくは950〜1050℃の温度範囲)に設定した場合のみ、元のウェーハの抵抗率を維持しているという現象を新規に発見した。
【0023】
この現象について次の様に考察することができる。自然酸化膜の形成された表面に環境ボロンが付着したシリコンウェーハを水素とアルゴンの混合ガス雰囲気で熱処理(前熱処理)すると、熱処理温度が低温の場合には、付着ボロンの気化や飛散による除去が十分でないため、その後の高温でのアルゴン雰囲気による熱処理により付着ボロンがウェーハ内部に拡散しウェーハ表面近傍の抵抗率が低下してしまう。
【0024】
一方、前熱処理の熱処理温度が1100℃又はさらに厳密にいえば、1050℃を超える温度では、混合ガス中のアルゴンガスの効果による自然酸化膜のエッチング速度が極端に大きくなるため、表面に付着したボロンが除去される前に自然酸化膜が除去されてしまう。その結果、付着ボロンがウェーハ内部に拡散しやすくなるか、あるいは、シリコン原子と反応して化合物を形成して除去されにくくなり、その後のアルゴン雰囲気の熱処理によりウェーハ内部に拡散し、抵抗率を低下させるものと考えられる。
【0025】
これに対し、前熱処理が900℃〜1100℃、好ましくは950〜1050℃の温度範囲では、自然酸化膜のエッチング速度がそれほど速くないため、自然酸化膜が除去される前に付着ボロンが気化または飛散して除去される結果、後のアルゴン雰囲気による熱処理の際にはウェーハ表面に付着ボロンは全く存在しない状態となり、抵抗率が変化しないものと推測される。
【0026】
尚、上記推論からわかるように、前熱処理の適切な熱処理温度、熱処理時間は、自然酸化膜の膜厚や付着ボロンの量により依存するパラメータであり、また、自然酸化膜の膜厚や付着ボロンの量は、熱処理前の洗浄条件や環境への放置時間等により変動するものであるから、一概に決定することはできない。従って、これらを決定する場合には、実際のアニールウェーハの製造工程に則した洗浄条件、放置時間、前熱処理後の熱処理条件を設定し、熱処理後の抵抗率が変化しない前熱処理条件を実験的に設定すればよい。
【0027】
一例として、後述の実験においては前熱処理を950〜1050℃で行ってもシリコンウェーハの抵抗率が変化しておらず、900℃または1100℃では抵抗率に変化が少ないことから、前熱処理温度が900〜1100℃程度の範囲であれば、熱処理時間を5〜60分程度の範囲で調整することにより、シリコンウェーハの抵抗率の変化を防止できると考えられる。
【0028】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について、本発明方法における熱処理シーケンス例を示す図1及び図2を用いて説明するが、本発明の技術思想から逸脱しない限り、図示例以外に種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【0029】
熱処理に使用するウェーハは、標準的な洗浄が行われ表面に数〜数10オングストローム程度の自然酸化膜が形成されたものであり、環境からのボロン汚染が付着しているものを用いる。使用する不活性ガスとしてはアルゴンガスが好適であるが、その他、ヘリウム、ネオン、クリプトンあるいはこれらの混合ガスとして用いることも可能である。
【0030】
図1は、本発明方法における熱処理シーケンスの一例を処理温度、処理工程及び雰囲気ガスに分けて示すタイムチャートである。同図は、前熱処理を一定温度(1000℃)に保持して行う場合を示している。図1の熱処理シーケンスは次の通りである。
【0031】
▲1▼600℃でウェーハを熱処理炉に投入した後、アルゴンガスでパージする(図1の投入工程)。雰囲気ガスとしては不活性ガスを用いればよいが、アルゴンガスが好ましい。
【0032】
▲2▼アルゴンガスに水素ガスを流量比で3%添加し、600℃から1000℃に昇温する(昇温工程)。水素ガスの添加量は、水素ガスの爆発下限値(約4%)以下で0.1%以上が好適である。この濃度範囲であれば防爆設備を備える必要がなく、かつ常圧炉を使用できるため、安全面やコスト面で有利である。また、昇温は前熱処理温度(900℃〜1100℃)まで行えばよい。
【0033】
▲3▼上記雰囲気(Ar97%+H23%)のままウェーハを1000℃で30分間熱処理炉に滞留させる(前熱処理工程)。この前熱処理は環境からの付着ボロンをウェーハ表面から除去するために行うもので、水素含有雰囲気下900℃〜1100℃の温度範囲で5〜60分行うのが好適である。すなわち、この温度範囲においては、熱処理時間が5分未満であるとボロンの除去が不充分になるおそれがあるが、60分程度の熱処理時間で、大抵のボロン汚染は充分に除去することができる。
【0034】
▲4▼上記水素ガスの添加を止めてアルゴンガス100%の雰囲気とし、1000℃から1200℃まで昇温する(昇温工程)。昇温は後熱処理温度(1200℃程度)まで行えばよい。また、前熱処理において添加している水素ガスを止めることなく後熱処理を行ってもよい。
【0035】
▲5▼上記雰囲気(Ar100%またはAr+微量H2)のままウェーハを1200℃で60分間熱処理炉内に滞留させる(後熱処理工程)。この後熱処理は、ウェーハの結晶欠陥の消滅を目的として行うもので、従来と同様に1100〜1300℃程度で30分〜5時間行えばよい。
【0036】
▲6▼1200℃から600℃に降温し(降温工程)、ウェーハを熱処理炉から取り出す(取出工程)。
【0037】
図2は、本発明方法における熱処理シーケンスの他の例を示す図1と同様のタイムチャートである。同図は前熱処理を昇温(950℃→1050℃)しながら行う場合を示している。図2の熱処理シーケンスは、図1の▲2▼昇温工程において、600℃から950℃に昇温し、▲3▼前熱処理工程において、図1では一定温度(1000℃)とした代わりに950℃から1050℃に昇温(昇温速度3.3℃/分)しながら前熱処理を行う点において相違するのみで、その他の手順及び条件は同じであるので再度の説明は省略する。
【0038】
図2に示した熱処理シーケンスにおいては、前熱処理は、後熱処理の昇温プロセスとして行うものであり、この場合、後熱処理の熱処理温度まで効率よく迅速に昇温できる利点がある。なお、前熱処理における昇温速度は、950〜1050℃の温度範囲で5〜60分間の熱処理が行えるように設定すればよい。
【0039】
【実施例】
次に、実験例をあげて本発明をさらに具体的に説明する。
【0040】
(実験例1)
まず、直径200mm、p型、結晶方位<100>、抵抗率10Ω・cmのシリコンウェーハに、標準的な洗浄(SC−1、SC−2、SC−1)を行った後、そのウェーハをクリーンルーム中に24時間放置した。そのウェーハ上に付着したボロンを気相分解法により溶液中に回収し、回収液を原子吸光分光法を用いて測定し、付着量を算出した。
【0041】
その結果、クリーンルーム中に放置したウェーハ上に付着したボロンの量は放置時間3時間以上で飽和することがわかった(図3参照)ので、ウェーハ洗浄後のクリーンルーム中のウェーハ放置時間を3時間と設定し、3時間放置したウェーハを複数枚用意し、これらのウェーハに対し熱処理を行った。尚、この熱処理シーケンスは前熱処理温度を図4に示すように700〜1200℃の範囲の種々の温度に設定した以外は前述した図1における手順▲1▼〜▲6▼と同じであるので、具体的手順及び条件についての再説明は省略する。
【0042】
上記した手順▲1▼〜▲6▼による熱処理をうけた後のウェーハ表面の抵抗率をSCP(Surface Charge Profiler)により測定し、その結果を図4に示した。図4の結果から、前熱処理温度が950〜1050℃の範囲において元のウェーハの抵抗率と同等の抵抗率のピークをもち、前熱処理温度が900℃または1100℃では抵抗率に変化が少なく、その他の温度では元の抵抗率に比べ抵抗率が低下していること(すなわち、表面に付着したボロンがウェーハ内部に拡散していること)がわかった。
【0043】
これと同じサンプルの抵抗率をSIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy)とC−V測定による測定を行ったが同様な結果となった。したがって、前熱処理温度が900〜1100℃程度の範囲であれば、熱処理時間を5〜60分程度の範囲で調整することにより、ウェーハの抵抗率の変化を効果的に防止できることが判明した。
【0044】
【発明の効果】
本発明のアニールウェーハの製造方法によれば、シリコンウェーハ表面に環境からの付着ボロンを有するウェーハに不活性ガス雰囲気で熱処理を行ったとしても、ウェーハ表面の抵抗率の変化が発生しないという大きな効果を達成することができる。また、本発明方法におけるこのような熱処理を、気密性を高めるためのシール構造や防爆設備等の特別な設備を必要とすることのない通常の拡散炉にて可能とするので、比較的安価な熱処理炉を用いることができ、大きなコストメリットが得られる。
【0045】
また、本発明のアニールウェーハは、表面近傍のボロン濃度が一定であり、かつ結晶欠陥が消滅したものであって、高品質であり、特性に優れたデバイスの作製に好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るアニールウェーハの製造方法における熱処理シーケンスの一例を示すタイムチャートである。
【図2】 本発明に係るアニールウェーハの製造方法における熱処理シーケンスの他の例を示すタイムチャートである。
【図3】 実験例1におけるクリーンルームに放置したウェーハについての放置時間と付着ボロン濃度の関係を示すグラフである。
【図4】 実験例1における熱処理後のウェーハの表面の抵抗率と前熱処理温度との関係を示すグラフである。
Claims (4)
- 表面に自然酸化膜が形成され、かつ環境からのボロンが付着したシリコンウェーハに対し、爆発下限以下の水素ガスとアルゴンガスの混合ガス雰囲気による前熱処理を行うことにより前記自然酸化膜が除去される前に前記付着ボロンを除去し、その後不活性ガス雰囲気により後熱処理することを特徴とするアニールウェーハの製造方法。
- 前記不活性ガスがアルゴンガスであることを特徴とする請求項1に記載されたアニールウェーハの製造方法。
- 前記爆発下限以下の水素ガスとアルゴンガスの混合ガス雰囲気による前熱処理は、900〜1100℃の温度で5〜60分間行われる熱処理であることを特徴とする請求項1又は2に記載されたアニールウェーハの製造方法。
- 前記爆発下限以下の水素ガスとアルゴンガスの混合ガス雰囲気による前熱処理を昇温しながら行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載されたアニールウェーハの製造方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000287607A JP3893608B2 (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | アニールウェーハの製造方法 |
US10/130,431 US6841450B2 (en) | 2000-09-21 | 2001-09-18 | Annealed wafer manufacturing method and annealed wafer |
PCT/JP2001/008097 WO2002025718A1 (fr) | 2000-09-21 | 2001-09-18 | Plaquette de recuit et son procede de fabrication |
KR1020027003607A KR100832944B1 (ko) | 2000-09-21 | 2001-09-18 | 어닐 웨이퍼의 제조방법 및 어닐 웨이퍼 |
EP01967719A EP1251554B1 (en) | 2000-09-21 | 2001-09-18 | Method of producing an annealed wafer |
DE60143879T DE60143879D1 (de) | 2000-09-21 | 2001-09-18 | Methode, eine getemperte halbleiterscheibe herzustellen |
TW090123381A TW520540B (en) | 2000-09-21 | 2001-09-21 | Method of producing anneal wafer and anneal wafer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000287607A JP3893608B2 (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | アニールウェーハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002100634A JP2002100634A (ja) | 2002-04-05 |
JP3893608B2 true JP3893608B2 (ja) | 2007-03-14 |
Family
ID=18771328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000287607A Expired - Lifetime JP3893608B2 (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | アニールウェーハの製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6841450B2 (ja) |
EP (1) | EP1251554B1 (ja) |
JP (1) | JP3893608B2 (ja) |
KR (1) | KR100832944B1 (ja) |
DE (1) | DE60143879D1 (ja) |
TW (1) | TW520540B (ja) |
WO (1) | WO2002025718A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4822582B2 (ja) | 2000-12-22 | 2011-11-24 | Sumco Techxiv株式会社 | ボロンドープされたシリコンウエハの熱処理方法 |
US7169704B2 (en) * | 2002-06-21 | 2007-01-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of cleaning a surface of a water in connection with forming a barrier layer of a semiconductor device |
KR100432496B1 (ko) | 2002-08-06 | 2004-05-20 | 주식회사 실트론 | 어닐 웨이퍼의 제조 방법 |
JP2004095717A (ja) | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | アニールウェーハのボロン汚染消滅方法 |
JP4162211B2 (ja) * | 2002-09-05 | 2008-10-08 | コバレントマテリアル株式会社 | シリコンウエハの洗浄方法および洗浄されたシリコンウエハ |
TW200411726A (en) * | 2002-12-31 | 2004-07-01 | Au Optronics Corp | Method for cleaning silicon surface and method for producing thin film transistor using the cleaning method |
JP4619949B2 (ja) * | 2003-12-03 | 2011-01-26 | エス.オー.アイ.テック、シリコン、オン、インシュレター、テクノロジーズ | ウェハの表面粗さを改善する方法 |
JP2005333090A (ja) | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Sumco Corp | P型シリコンウェーハおよびその熱処理方法 |
US20060048798A1 (en) * | 2004-09-09 | 2006-03-09 | Honeywell International Inc. | Methods of cleaning optical substrates |
JP4609029B2 (ja) | 2004-10-13 | 2011-01-12 | 信越半導体株式会社 | アニールウェーハの製造方法 |
JP4353121B2 (ja) * | 2005-03-25 | 2009-10-28 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウエーハのドーパント汚染の評価方法 |
KR100685266B1 (ko) * | 2005-12-26 | 2007-02-22 | 주식회사 실트론 | 오존완충층을 이용한 열처리 방법 |
JP5101256B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2012-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および半導体装置の製造方法、コンピュータ可読記録媒体 |
US8153538B1 (en) * | 2010-12-09 | 2012-04-10 | Memc Electronic Materials, Inc. | Process for annealing semiconductor wafers with flat dopant depth profiles |
JP5944643B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2016-07-05 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | シリコンウェーハの熱処理方法 |
WO2019125810A1 (en) | 2017-12-21 | 2019-06-27 | Globalwafers Co., Ltd. | Method of treating a single crystal silicon ingot to improve the lls ring/core pattern |
JP7014694B2 (ja) * | 2018-10-15 | 2022-02-01 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | シリコンウェーハの熱処理方法 |
US11702751B2 (en) | 2019-08-15 | 2023-07-18 | Applied Materials, Inc. | Non-conformal high selectivity film for etch critical dimension control |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3292545B2 (ja) | 1993-06-10 | 2002-06-17 | 株式会社東芝 | 半導体基板の熱処理方法 |
US5872387A (en) * | 1996-01-16 | 1999-02-16 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Deuterium-treated semiconductor devices |
JPH10144697A (ja) | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコンウエーハ及びその製造方法 |
JPH10144698A (ja) * | 1996-11-07 | 1998-05-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコンウエーハ及びその製造方法 |
JPH10155698A (ja) | 1996-12-03 | 1998-06-16 | Hiroshi Sonoda | 木製垢擦り |
TW469643B (en) * | 1998-09-04 | 2001-12-21 | Canon Kk | Process for producing semiconductor substrate |
JP3478141B2 (ja) * | 1998-09-14 | 2003-12-15 | 信越半導体株式会社 | シリコンウエーハの熱処理方法及びシリコンウエーハ |
EP1148799A1 (en) * | 1999-02-03 | 2001-10-31 | Weltec B.V. | Frame member |
JP4240637B2 (ja) * | 1999-02-25 | 2009-03-18 | ソニー株式会社 | ウエハの表面清浄化方法 |
JP2001144275A (ja) * | 1999-08-27 | 2001-05-25 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 貼り合わせsoiウエーハの製造方法および貼り合わせsoiウエーハ |
CN1363118A (zh) * | 2000-03-29 | 2002-08-07 | 信越半导体株式会社 | 退火圆片的制造方法 |
-
2000
- 2000-09-21 JP JP2000287607A patent/JP3893608B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-09-18 DE DE60143879T patent/DE60143879D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-18 WO PCT/JP2001/008097 patent/WO2002025718A1/ja active Application Filing
- 2001-09-18 US US10/130,431 patent/US6841450B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-18 EP EP01967719A patent/EP1251554B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-18 KR KR1020027003607A patent/KR100832944B1/ko active IP Right Grant
- 2001-09-21 TW TW090123381A patent/TW520540B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020173173A1 (en) | 2002-11-21 |
DE60143879D1 (de) | 2011-03-03 |
US6841450B2 (en) | 2005-01-11 |
EP1251554B1 (en) | 2011-01-19 |
EP1251554A1 (en) | 2002-10-23 |
JP2002100634A (ja) | 2002-04-05 |
KR20020048938A (ko) | 2002-06-24 |
TW520540B (en) | 2003-02-11 |
EP1251554A4 (en) | 2007-08-01 |
WO2002025718A1 (fr) | 2002-03-28 |
KR100832944B1 (ko) | 2008-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3893608B2 (ja) | アニールウェーハの製造方法 | |
JP2581268B2 (ja) | 半導体基板の処理方法 | |
KR20150003787A (ko) | 에피택셜 게르마늄 주석 합금 표면을 준비하는 방법 | |
JPH09106971A (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
JP2003163216A (ja) | エピタキシャルシリコンウエハおよびその製造方法 | |
JP3324455B2 (ja) | 珪素系半導体基板の清浄化方法 | |
US20060138540A1 (en) | Semiconductor wafer having a semiconductor layer and an electrically insulating layer beneath it, and process for producing it | |
CN110718448B (zh) | 半导体晶片的洗涤方法、及使用该洗涤方法的半导体晶片的制造方法 | |
US7132372B2 (en) | Method for preparing a semiconductor substrate surface for semiconductor device fabrication | |
US6228166B1 (en) | Method for boron contamination reduction in IC fabrication | |
JP4264213B2 (ja) | アニールウェーハの製造方法 | |
US7199057B2 (en) | Method of eliminating boron contamination in annealed wafer | |
JPH06244174A (ja) | 絶縁酸化膜の形成方法 | |
JP2008227060A (ja) | アニールウエハの製造方法 | |
JP2002176022A (ja) | 基板の洗浄方法および洗浄液 | |
JPH09298180A (ja) | シリコンウエハーの洗浄方法 | |
DE10239775B3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Siliciumwafers mit einer mit polykristallinem Silicium beschichteten Rückseite und Siliciumwafer hergestellt nach diesem Verfahren | |
JP2009266940A (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JPH0684865A (ja) | 半導体装置の乾式清浄化方法 | |
KR100269716B1 (ko) | Ic 제조시 붕소 오염량 감소방법 | |
JP3141829B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN116798853A (zh) | 一种硅外延片的生长方法 | |
WO2004102676A1 (ja) | 光電変換半導体装置、その製造方法及び製造方法で用いる処理装置 | |
KR100219071B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 세정 방법 | |
JP2000290100A (ja) | シリコンウェーハの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060914 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3893608 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091222 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091222 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091222 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101222 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101222 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111222 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111222 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121222 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121222 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131222 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |