JP3889938B2 - 太陽電池の内部割れ検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は太陽電池の製造方法に関し、特に製造工程中において内部割れのある太陽電池セルを選別するための、太陽電池の内部割れ検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
太陽電池は、太陽電池セルが数枚から数十枚接続される1枚の太陽電池モジュールとして形成される。太陽電池モジュールは、太陽電池セルが直列に接続されて、必要な電力を発電することができる。
【0003】
太陽電池セルは、生産時に太陽電池セル材料であるシリコンウェハ内部にマイクロクラックと呼ばれる微小なヒビ、すなわち内部割れが生じることがある。このような欠陥がある太陽電池セルが混入した太陽電池モジュールは、製造工程中に該太陽電池セルが割れるという事態が発生する。太陽電池セルが割れた場合、割れ屑の除去および別の太陽電池セルを搭載するという補修工程を行う必要がある。このような新たな作業の追加によって、太陽電池モジュールの生産性が低下する。
【0004】
また前記マイクロクラックのある太陽電池セルが割れずに搭載されて、太陽電池モジュールとして完成したとしても、マイクロクラックのある太陽電池セルは発電性能が不足しており、完成した太陽電池モジュールは、全体としての発電出力低下等の問題が発生する。
【0005】
このようなマイクロクラックのある太陽電池セルを判定し、選別する従来の技術の方法として、たとえば特開平6−308042号公報に開示されている。特開平6−308042号公報に開示の従来の方法は、太陽電池セルに光を照射し、照射した光がウェハ表面で散乱した散乱光を検知することによってウェハ表面に生じているマイクロクラックを検出する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
現在、太陽電池発電システムは、住宅用などの需要が大幅に拡大している。太陽電池発電システムにおいて、最も大きな課題は、太陽電池発電システム全体の単位発電量あたりの生産コストを下げることである。太陽電池発電システム構成品の生産コストのうち太陽電池モジュールが非常に大きなウエイトを占める。したがって発電効率の向上とともに太陽電池モジュールの製造コスト低減化は、太陽電池発電システムのコスト低減に最も大きな効果を与える。
【0007】
太陽電池モジュール製造ラインも、現在、他のエレクトロニクス産業と同様に、量産のための自動化が進んでいる。しかし他の高付加価値デバイスと少し考え方が異なり、いかに安定生産が行える安価な製造ラインにするかということは、太陽電池モジュール製造ラインにとっては非常に重要な課題である。
【0008】
自動化を図って安定生産が行える安価な製造ラインを構築するには、製造工程途中での前記マイクロクラックに起因する太陽電池セルの割れを防止し、また完成した太陽電池モジュールの発電出力低下等を防止する必要がある。このようにして、太陽電池セルの歩留まりの向上が望まれる。
【0009】
太陽電池セル材料のシリコンウェハ内部に生じた前記マイクロクラックを検知する方法は、従来は困難であったために、しばしば前述のような問題が発生し、太陽電池モジュールの生産性を低下させていた。
【0010】
特開平6−308042号公報開示の従来の検査方法では、ウェハおよびソーラセル(太陽電池セル)の欠陥検出用光照射検査システムが提案されているが、ウェハ表面でのマイクロクラックの有無を判定しているので、ウェハ内部に発生しているマイクロクラック(内部割れ)を検知することはできないという問題がある。
【0011】
またマイクロクラックの有無を検出する他の従来の方法として、特開平5−256826号公報に開示の技術がある。特開平5−256826号公報に開示の技術は、プリント配線基板上にはんだ付けされるコンタクトピンのマイクロクラックを検知する。具体的には、コンタクトピンのはんだ付け接続状態位置を加圧したとき、破壊音を検知することによって、はんだ付け位置でのマイクロクラックの有無を判断する。この技術では、はんだ付け位置付近以外の部分は湾曲せず、はんだ付け位置のマイクロクラックしか測定することができない。したがって基板上の他の部分のマイクロクラックを検知することができない。したがってこのような技術を太陽電池セルのマイクロクラックの判別に用いたとしても、太陽電池セル全体のマイクロクラックを一度に測定することができず、短時間でマイクロクラックを検知することができない。
【0012】
したがって本発明は、上記課題の解決を図るべく発明し、太陽電池製造時において、太陽電池セルのウェハ内部に発生しているマイクロクラックを高精度で短時間に検知することができる太陽電池の内部割れ検査装置を提供することを目的としている。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明は、太陽電池の内部割れ検査装置であって、
弾性および衝撃吸収性を有する材料からなる当接部を太陽電池セルに押付けて、太陽電池セル自体を強制的に湾曲させる湾曲手段と、
太陽電池セル湾曲時に発生する振動波を検知する検知手段と、
検知手段によって検知される振動波を分析する分析手段とを有することを特徴とする太陽電池の内部割れ検査装置である。
【0020】
本発明に従えば、湾曲手段によって強制的に太陽電池セル自体を湾曲させることによって、太陽電池セルにマイクロクラックが生じている場合とそうでない場合とでは、湾曲させた時に発生する振動波が異なる。この振動波は、アコースティックエミッション( acoustic emission :以下単にAEと言う)と呼ばれる。このように太陽電池セルを湾曲させた時に発生するAEが異なり、検知手段によってこれを検知し、分析手段が分析することによって、太陽電池セル全体にマイクロクラックが生じているか否かを短時間で容易に判断することができる。
【0021】
また破壊限度内で太陽電池セルを湾曲させることによって、太陽電池セルを破壊する必要がなくマイクロクラックの有無を判断できるので、製造されるすべての太陽電池セルに対して品質検査を行うことができる。これによって太陽電池セルの信頼性を向上させることができる。
また湾曲手段は、弾性および衝撃吸収性を有する材料からなる当接部を太陽電池セルに押付けることで、機械振動などの外部振動波の影響を抑えて、AEを精度よく検知することができる。また当接部と太陽電池セルとが衝突するときの衝撃を緩和するとともに、当接部から太陽電池セルに与えられる荷重が一点に集中することを防ぎ、太陽電池セルの破損を防止することができる。
【0022】
また本発明は、前記当接部は、半球状に形成されることを特徴とする。
本発明に従えば、当接部が半球状に形成されるので、太陽電池セルが湾曲しても、当接部を太陽電池セルの当接面に対して滑らかに当接させることができ、一点に荷重が集中することを防止することができる。これによって太陽電池セルの破損を防ぐことができる。
また本発明は、前記検知手段は、超音波センサと、超音波センサの一端部に取り付けられて太陽電池セルと当接する先端部と、超音波センサの他端部に取り付けられて支持台に当接する基端部とを含み、先端部と基端部とは、弾性および衝撃吸収性を有する材料から成ることを特徴とする。
本発明に従えば、検知手段は、先端部が太陽電池セルに当接した状態で、AEの検知が開始される。先端部および基端部が弾性および衝撃吸収性を有する材料から成ることで、機械振動などの外部振動波の影響を抑えて、AEを精度よく検知することができる。また先端部と太陽電池セルとが衝突するときの衝撃を緩和するとともに、先接部から太陽電池セルに与えられる荷重が一点に集中することを防ぎ、太陽電池セルの破損を防止することができる。
また本発明は、前記先端部は、半球状に形成されることを特徴とする。
本発明に従えば、先端部が半球状に形成されるので、太陽電池セルが湾曲しても、先端部を太陽電池セルの当接面に対して滑らかに当接させることができ、一点に荷重が集中することを防止することができる。これによって太陽電池セルの破損を防ぐことができる。
また本発明は、前記弾性および衝撃性を有する材料は、ラバーであることを特徴とする。
本発明に従えば、ラバーを用いることで、弾性および衝撃性を有する当接部を実現することができる。
また本発明は、前記湾曲手段は、太陽電池セルの隅部に荷重を加え、前記検知手段は、太陽電池セルの中心部付近に設けられることを特徴とする。
【0023】
本発明に従えば、隅部に荷重を加えることによって太陽電池セルを隅部まで湾曲させることができ、隅部付近に生じるマイクロクラックも検知することができる。また検知手段は、太陽電池セルの中心部付近に設けられるので、太陽電池セルから発生するAEを検知する検知手段の検知範囲を小さくすることができ、低レベルのAEでも検知することができる。
【0024】
また本発明は、前記湾曲手段は、対向する2カ所の隅部に同時に荷重を加えることを特徴とする。
【0025】
本発明に従えば、太陽電池セルの2カ所の隅部に同時に荷重を加えるので、マイクロクラックがある場合、2カ所の隅部と別の2カ所の隅部とを順に湾曲させ、AEの違いを分析することによってどの部位にどれほどの長さで生じているのかを判断することができる。
【0026】
また本発明は、前記湾曲手段は、矩形板状の太陽電池セルの4つの隅部に同時に荷重を加えることを特徴とする。
【0027】
本発明に従えば、4つの隅部に同時に荷重を加えるので、太陽電池セルを4つの隅部まで同時に湾曲させることができる。これによって4つの隅部付近のいずれにマイクロクラックが生じていても、太陽電池セルを一度湾曲させるだけで、マイクロクラックを検知することができる。
【0028】
また本発明は、前記湾曲手段は、矩形板状の太陽電池セルの縁辺部に荷重を加え、前記検知手段は、太陽電池セルの中心部付近に設けられることを特徴とする。
【0029】
本発明に従えば、縁辺部に荷重を加えることによって効果的に太陽電池セルを湾曲させることができ、荷重が加えられる縁辺部に向かって伸びるマイクロクラックを検知することができる。
【0030】
また本発明は、前記湾曲手段は、対向する2カ所の縁辺部に同時に荷重を加えることを特徴とする。
【0031】
本発明に従えば、太陽電池セルの対向する2カ所の縁辺部に同時に荷重を加えるので、マイクロクラックがある場合、2カ所の縁辺部と別の2カ所の縁辺部とを順に湾曲させ、AEの違いを分析することによってどの部位にどれほどの長さで生じているのかを判断することができる。
【0032】
また本発明は、前記湾曲手段は、太陽電池セルの4つの縁辺部に同時に荷重を加えることを特徴とする。
【0033】
本発明に従えば、太陽電池セルの4つの周縁部に同時に荷重を加えることによって効果的に太陽電池セルを湾曲させることができる。
【0034】
また本発明は、前記検知手段は、太陽電池セルの隅部または縁辺部に設けられ、前記湾曲手段は、太陽電池セルの中心部に荷重を加えることを特徴とする。
【0035】
本発明に従えば、検知手段が隅部または周辺部に設けられることによって、隅部または周辺部のマイクロクラックを検出することが容易になる。また複数の検知手段を有することによって、各検知手段から得られるAEの違いを分析することによって、一度の湾曲動作によってマイクロクラックがある太陽電池セルのどの部位にマイクロクラックが生じているのかを判別することが容易である。
【0038】
また本発明は、前記湾曲手段は、前記検知手段が配置される側と反対の面を押圧することによって、太陽電池セルに荷重を加え、湾曲させることを特徴とする。
【0039】
本発明に従えば、太陽電池セルを押圧することによって、太陽電池セルを容易に湾曲させることができる。これによって隅部および縁辺部に簡単に荷重を加えることができる。
【0040】
また本発明は、太陽電池の内部割れ検査装置であって、
太陽電池セル自体を強制的に湾曲させる湾曲手段と、
太陽電池セル湾曲時に発生する振動波を検知する検知手段と、
検知手段によって検知される振動波を分析する分析手段とを有し、
前記湾曲手段は、前記検知手段が配置される側の面を吸引することによって、太陽電池セルに荷重を加え、湾曲させることを特徴とする太陽電池の内部割れ検査装置である。
【0041】
本発明に従えば、太陽電池セルの検知手段が配置される側の面を湾曲手段が吸引するので、その反対の面には太陽電池セルを湾曲させるための機構を設ける必要がなく空間が形成される。これによって太陽電池セルの検査装置への搭載を容易に行うことができ、湾曲検査工程を容易に自動化することができる。
【0043】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例形態を図面に基づいて詳述する。なお、本発明はこれによって限定されるものではない。
【0044】
図1は本発明における第1の実施形態の内部割れ検査装置100を簡略化して、主要な部分を示す斜視図である。本発明は、太陽電池製造時において、太陽電池セル2の品質検査方法として、太陽電池セルを湾曲させる湾曲検査工程を有し、湾曲検査工程には、図1に示す検査装置100が用いられる。
【0045】
検査装置100は、太陽電池セル2湾曲時に発生する振動波であるAEを測定することによって、太陽電池セル2の表面および内部に生じるマイクロクラックの有無を検査する装置である。検査装置100によって太陽電池セル2にマイクロクラックが生じているか否かを判定し、マイクロクラックが生じている太陽電池セル2を排除して高信頼性を有する太陽電池モジュールを形成することができる。
【0046】
太陽電池セル2は、シリコンウェハ内に設けられるp型半導体およびn型半導体によってpn接合部を形成し、表面に電極などを形成して矩形板状に形成される。検査装置100は、太陽電池セル全体を強制的に湾曲させる湾曲手段101と、超音波センサーを含んで構成される検知手段1と、太陽電池セル2を支持する図示しない支持手段とを有する。内部割れ検査が行われる太陽電池セル2は、検知手段1と押し込み棒3〜6との間に搭載される。
【0047】
湾曲手段101は、太陽電池セル2の厚み方向他方側A2の面2aの4つの隅部をそれぞれ押圧する4つの押し込み棒3,4,5,6を有し、太陽電池セル2を厚み方向一方A1に向かって押圧する。押し込み棒3〜6は、略角柱状に形成され、押し込み棒3〜6の長手方向一方側の端部には、半球状の当接部3a,4a,5a,6aが設けられる。
【0048】
当接部3a〜6aは、長手方向一方側に向かって突出して形成され、それぞれが太陽電池セル2と当接する。当接部3a〜6aは、ラバーなどの振動吸収性、したがって弾性を有する部材を用いることによって、機械的振動などの外部からのノイズを吸収することができる。また当接部3a〜6aと太陽電池セル2との接触に起因するAEへの悪影響を低減することができる。
【0049】
また当接部3a〜6aは、半球状に形成されるので、太陽電池セル2が湾曲しても、太陽電池セル2の当接面に対して滑らかに当接することができ、一点に荷重が集中することを防止することができる。これによって太陽電池セル2の破損を防ぐことができる。このように当接部3a〜6aが半球状に形成されることによって、太陽電池セル2が破損するのを防いで湾曲させ、より正確なAEを検知することができる。
【0050】
検知手段1は、押し込み棒3〜6と対向する位置に設置される。検知手段1は、搭載される太陽電池セル2の押圧部材3〜6側の面と反対の面の中心位置に配置される。検知手段1は、超音波を検出するAE(acoustic emission)センサ7と2つの振動吸収部材8,9とを有する。振動吸収部材8,9は、弾性を有し、外部からの振動を吸収するラバーまたはゴムなどから成る。一方の振動吸収部材8は半球状に形成され、先端部8aが太陽電池セル2と当接する。一方の振動吸収部材8の底面とAEセンサ7の一端部とが連結され、AEセンサ7の他端部と他方の振動吸収部材9とが連結される。他方の振動吸収部材9は、図示しない支持台に固定される。
【0051】
図2は、検査装置100が太陽電池セル2を湾曲させた状態を示す断面図である。太陽電池セル2は、厚み方向一方A1側の面の中心部2bと、検知手段1の一方の振動吸収部材8の先端部8aとが当接して検査装置100に搭載される。4つの押し込み棒3〜6は、太陽電池セル2の厚み方向他方A2側の面の4つの隅部(コーナー部)を同時に湾曲させる。これによって太陽電池セル2を一度湾曲させるだけで、太陽電池セル2全体が湾曲し、太陽電池セル2のいずれの部分にマイクロクラックが生じていても検知することができる。このとき一方の振動吸収部材8の先端部8aは、半球状に形成されるので、太陽電池セル2の湾曲形状に沿って、太陽電池セル2と当接する。
【0052】
また検査装置100は、太陽電池セル2の対向する2個所の隅部を同時に、または各隅部を別々に順番に押圧して、太陽電池セル2を湾曲させてもよい。太陽電池セル2の隅部を順番に押圧して湾曲させることによって、隅部付近に生じるマイクロクラックをより確実に検出することができる。また2カ所の隅部と別の2カ所の隅部とを順に湾曲させ、AEの違いを分析することによってどの部位にどれほどの長さで生じているのかを判断することができる。これによってマイクロクラックが発生する原因を知ることができ、マイクロクラックを低減させることができる。
【0053】
図3は、検査装置100の構成を概略的に示したブロック図である。湾曲手段101が、図2に示すように太陽電池セル2を湾曲させたとき、太陽電池セル2は、振動波である軋み音すなわちAEを発する。このAEを検知手段1のAEセンサ7が検知し、検知手段1は、AEを電気信号として変換し増幅器12に送る。増幅器12に送られたAE電気信号は、増幅器12によって増幅されて分析手段であるコンピュータ13に送られる。コンピュータ13は、送られたAE電気信号を分析し、マイクロクラックがある場合のAEであるか、それともマイクロクラックのない場合のAEであるかを判断する。
【0054】
図4および図5は、太陽電池セル湾曲時に得られるAEの検出結果を示すグラフである。本発明者は、125mm角の太陽電池セル2を用いて内部割れの検査を行い、4つの押し込み棒3〜6によって太陽電池セル2の4つの隅部を同時に押圧して、2mm湾曲させたときのAEの変化を調べた。
【0055】
太陽電池セル湾曲時に太陽電池セル2から発生する振動波(振動音)をAEセンサ7によって検知してコンピュータ13で解析する。コンピュータ13での信号解析ソフトには、(株)キーエンス製の『DATA ACQUISITION SYSTEM NR-350』を使用し、測定する波長は20kHz〜2MHzを使用する。
【0056】
図4は、太陽電池セル2にマイクロクラック(内部割れ)がない場合の測定結果を示し、内部割れのない良好な太陽電池セル2は湾曲しても振動波(振動音)が発生せず、測定波長全域にわたって、測定開始から終了時まで、所定のレベル以下の低い振動レベルとなる。
【0057】
図5は、太陽電池セル2にマイクロクラックがある場合の測定結果を示し、内部割れのある太陽電池セル2は、測定時に、測定した波形のある特定波長で鋭いピークが現れる。この理由は、マイクロクラックのある太陽電池セル2を湾曲させるために前記4つの隅部を押圧していくと、湾曲せずにマイクロクラックのあるところでズレまたは屈曲が生じ、軋み音が発生するためである。このことは、地殻内のプレート境界面または活断層が、受けている押圧力に耐えかねてズレが生じ、地震が発生する現象とよく似ている。すなわち、前記軋み音の有無をAEセンサ7で測定し解析して、太陽電池セル2のマイクロクラックの有無を判別することができる。
【0058】
上述の実施の一形態では、矩形板状の太陽電池セルの4つの隅部をそれぞれ4つの押し込み棒3〜6によって同時に押込んで湾曲させているが、もちろん4つの隅部を同時でなく、対向する2個所の隅部を同時に、または各隅部を別々に順番に押付けて湾曲させてもよい。このように隅部ごとに異なって発生するAEを比較することによって、太陽電池セル2のどの部位にマイクロクラックがあるかを分析することができる。
【0059】
また角形セルの4つの隅部(コーナ部)ではなく、4つの縁辺を押圧して太陽電池セルを湾曲させてもよい。縁辺部に荷重を加えることによって太陽電池セルを縁辺部まで湾曲させることができ、縁辺部付近に生じるマイクロクラックも検知することができる。また押圧した縁辺部に向かって延びるマイクロクラックを検知しやすくなる。
【0060】
また太陽電池セルの対向する2カ所の縁辺部と別の2カ所の縁辺部とを順に湾曲させ、AEの違いを分析することによってどの部位にどれほどの長さで生じているのかを判断することができる。
【0061】
また太陽電池セルの4つの縁辺すなわち周縁部に同時に荷重を加えてもよく、一度の湾曲動作によってマイクロクラックをより詳しく検知することができる。また周縁部を押圧することによって、上記マイクロクラック(内部割れ)検知の方法は、角形セルのみならず丸形セルにも適用できる。なお湾曲させる度合いも、太陽電池セルである被検査セルが持つ弾性の限度内であれば、適当でよい。
【0062】
以上のように本実施の形態に従えば、太陽電池セル自体を湾曲させることによって、太陽電池セル2から軋み音、すなわちAEを発生させて、それを検出することによって、太陽電池セル全体においてマイクロクラックが生じているか否かを短時間で判断することができる。
【0063】
また破壊限度内で太陽電池セル全体を湾曲させることによって、非破壊で製造されるすべての太陽電池セルに対して品質検査を行うことができる。これによって太陽電池セルの信頼性を向上させることができる。
【0064】
また本発明は、湾曲手段によって太陽電池セル全体を湾曲させることができるので、一回の湾曲動作によって太陽電池セル全体にクラックが生じているか否かを判定することができ、さらに短時間でマイクロクラックの有無を検知することができる。
【0065】
また検知手段1は、ラバーなどの振動吸収部材8,9が超音波センサ7両端に取り付けられるので、外部からのノイズを超音波センサ7が検知することを防止することができる。また一方の振動吸収部材8が半球状に設けられるので、太陽電池セル2の湾曲に沿うように設けられる。したがって湾曲動作時に太陽電池セル2は、部分的に一方の振動吸収部材8に接触し、太陽電池セル2に作用する荷重を分散させて太陽電池セル2が破損することを防止することができる。
【0066】
図6は、本発明における第2の実施形態の内部割れ検査装置200を簡略化して、主要な部分を示す斜視図である。図6に示す検査装置200は、図1に示す検査装置100と類似しており、同様の構成については、説明を省略し同様の符号を付す。検査装置200は、4つの検知手段1と、1つの押し込み棒15とを有して構成される。各検知手段1および押し込み棒15の構成は、図1に示す検査装置100と同様である。
【0067】
4つの検知手段1は、検査装置200に搭載される太陽電池セル2の厚み方向一方側A1に配置され、各当接部8aが太陽電池セル2の4つの隅部に当接する。また押し込み棒15は、厚み方向他方A2側に配置され、太陽電池セル2の厚み方向他方側A2の面の中心部付近を押圧する。これによって太陽電池セル2は、厚み方向一方向A1に凸に湾曲する。
【0068】
前述と同様に、湾曲手段が太陽電池セル2を湾曲させることによって、太陽電池セル2に生じる軋み音をAEセンサ7で測定し解析して、太陽電池セル2のマイクロクラックの有無を判別する。このとき異なるAEセンサ7からのAE信号を比較することによって、唯1回の湾曲動作で、太陽電池セル2のどの部位にマイクロクラックがあるかまで判別することができる。また複数の検知手段によってAE信号を得ることができるので、より正確なAE信号を得ることができ、マイクロクラックの測定ミスを低減することができる。
【0069】
図7は、本発明における第3の実施形態の内部割れ検査装置300を簡略化して、主要な部分を示す斜視図である。図7に示す検査装置300は、前述に示す図1に示す検査装置100と同様の構成については、説明を省略し同様の符号を示す。検査装置300は、図1に示す検査装置100と同様な検知手段1を有し、検知手段1は、積載される太陽電池セル2の厚み方向一方A1側に配置される。検知手段1は、太陽電池セル2の厚み方向一方A1側の中央部に当接する。
【0070】
また検査装置300は、太陽電池セル2を湾曲させる湾曲手段301を有し、湾曲手段301は、太陽電池セル2を吸引する4つの吸引部材16,17,18,19を有する。各吸引部材16〜19は、積載される太陽電池セル2の厚み方向一方A1側に配置される。
【0071】
図8は、検査装置300が太陽電池セル2を湾曲させた状態を示す断面図である。各吸引部材16〜19は、吸引機構を有し、太陽電池セル2の厚み方向一方向A1側の4つの隅部を真空引き吸着して、太陽電池セル2を厚み方向他方A2側に凸に湾曲させる。前述に記載の検査装置と同様に、軋み音の有無をAEセンサ7によって検知し解析して、太陽電池セル2のマイクロクラックの有無を判別する。この第3の実施例形態では、測定手段1の機構が被測定太陽電池セル2の片面側に全て配置されるので、被測定太陽電池セル2を検査装置300の測定部1に搭載しやすくなる。これによって本発明における太陽電池の内部割れ検査手段を容易に全自動化することができ、生産工程を自動化することによって、太陽電池の製造コストをさらに低減させることができる。
【0072】
また本発明は、pn接合が形成された太陽電池セルだけでなく、太陽電池セルとなる前の半導体ウェハ自体にも同様に適用することができる。また太陽電池セルおよびウェハは、矩形板状でなくてもよく、円板状または正方形板状であってもよい。また太陽電池セル2は、表面および裏面のどちらに荷重を加えてもよく、また検知手段1は、太陽電池セル2に対して、上方または下方のいずれに配置してもよい。さらに太陽電池セル2を立たせた状態で検査を行ってもよい。
【0073】
【発明の効果】
本発明によれば、湾曲手段によって太陽電池セル自体を強制的に湾曲させ、そのときに該太陽電池セル自体から発する振動波(振動音)を検知手段によって検知して分析し、軋み音すなわちAEが生じているものを内部割れ(マイクロクラック)がある太陽電池セルであると判断することができる。
【0074】
また太陽電池セル全体を湾曲させた時に、AEを検知するので、短時間に太陽電池セル全体の合否を選別し、内部割れがある太陽電池セルを排除することが可能である。また太陽電池セルの表面および内部に生じているマイクロクラックを非破壊で検知することができ、高精度な検査を行うことができる。
また湾曲手段が、弾性および衝撃吸収性を有する材料からなる当接部を太陽電池セルに押付けることで、機械振動による外部振動波などのAE以外の余分な振動を吸収し、検知手段がAE以外の信号を拾うことを防止することができる。これによって精度よくAEを検知することができ、太陽電池のマイクロクラックの有無を精度よく判断することができる。また当接部と太陽電池セルとが衝突するときの衝撃を緩和するとともに、当接部から太陽電池セルに与えられる荷重が一点に集中することを防ぎ、太陽電池セルの破損を防止することができる。
【0075】
このような検査方法は、容易に自動化することができる。これによって太陽電池モジュールの製造工程の合理化を行うことができ、製品の信頼性を向上するとともに安価な太陽電池モジュールを提供することができる。
また本発明によれば、当接部が半球状に形成されるので、太陽電池セルの湾曲時に、太陽電池セルの一点に荷重が集中することを防止することができ、太陽電池セルの破損を防ぐことができる。
また本発明によれば、検知手段の先端部および基端部が、弾性および衝撃吸収性を有する材料からなることで、機械振動による外部振動波などのAE以外の余分な振動を吸収し、検知手段がAE以外の信号を拾うことを防止することができる。これによって精度よくAEを検知することができ、太陽電池のマイクロクラックの有無を精度よく判断することができる。
また先端部と太陽電池セルとが衝突するときの衝撃を緩和するとともに、先接部から太陽電池セルに与えられる荷重が一点に集中することを防ぎ、太陽電池セルの破損を防止することができる。
また本発明によれば、先端部が半球状に形成されるので、太陽電池セルの湾曲時に、太陽電池セルの一点に荷重が集中することを防止することができ、太陽電池セルの破損を防ぐことができる。
【0076】
また本発明によれば、隅部に荷重を加えることによって太陽電池セルを隅部まで湾曲させることができ、隅部付近に生じる内部割れも検知することができる。これによってさらに高精度な検査を行うことができる。
【0077】
また本発明によれば、太陽電池セルの2カ所の隅部に同時に荷重を加えるので、内部割れがある場合、どの部位にどれほどの長さで生じているのかを判断することができる。これによって内部割れの原因を調べることが容易になり、内部割れの原因をなくして、生産性を向上することができる。
【0078】
また本発明によれば、4つの隅部に同時に荷重を加えるので、太陽電池セルを4つの隅部まで同時に湾曲させることができる。これによって4つの隅部付近のいずれに内部割れが生じていても、太陽電池セルを一度湾曲させるだけで、内部割れを検知することができ、短時間で内部割れの検査を行うことができ、単位時間あたりに検査することができる太陽電池セルを増加させることができる。
【0079】
また本発明によれば、縁辺部に荷重を加えることによって、周辺部付近に生じる内部割れを効果的に検知することができ、これによってさらに高精度な検査を行うことができる。
【0080】
また本発明によれば、対向する2ヵ所の周縁部に同時に荷重を加えるので、内部割れがある場合、どの部位にどれほどの長さで生じているのかを判断することができる。これによって内部割れの原因を調べることが容易になり、内部割れの原因をなくして、生産性を向上することができる。
【0081】
また本発明によれば、太陽電池セルの全周にわたって同時に荷重を加えるので、一度の湾曲動作によって、内部割れがある太陽電池セルを検知することができ、単位時間あたりに検査することができる太陽電池セルを増加させることができる。
【0082】
また本発明によれば、複数の検知手段を有するので、各検知手段から得られるAEを分析することによって、太陽電池セルのどの部位にどれくらいの大きさのマイクロクラックが発生しているか否かを判断することができる。これによって内部割れの原因を調べることが容易になり、内部割れの原因をなくして、生産性を向上することができる。
また本発明によれば、前記湾曲手段が前記検知手段が配置される側と反対の面を押圧することで、太陽電池セルを容易に湾曲させることができる。これによって隅部および縁辺部に簡単に荷重を加えることができる。
【0083】
また本発明によれば、検査装置に搭載される太陽電池セルの厚み方向他方側に空間が形成され、太陽電池セルの検査装置への搭載を容易に行うことができ、湾曲検査工程を容易に自動化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における第1の実施形態の内部割れ検査装置100を簡略化して、主要な部分を示す斜視図である。
【図2】検査装置100が太陽電池セル2を湾曲させた状態を示す断面図である。
【図3】検査装置100の構成を概略的に示したブロック図である。
【図4】太陽電池セル2にマイクロクラックがない場合の測定結果を示すグラフである。
【図5】太陽電池セル2にマイクロクラックがある場合の測定結果を示すグラフである。
【図6】本発明における第2の実施形態の内部割れ検査装置200を簡略化して、主要な部分を示す斜視図である。
【図7】本発明における第3の実施形態の内部割れ検査装置300を簡略化して、主要な部分を示す斜視図である。
【図8】検査装置300が太陽電池セル2を湾曲させた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 検知手段
2 太陽電池セル
3,4,5,6,15 押し込み棒
7 AEセンサ
8 半球状ラバー
9 ラバー
10 支持台
12 増幅器
13 コンピュータ
16,17,18,19 吸引部材
A1 厚み方向一方
A2 厚み方向他方
Claims (14)
- 太陽電池の内部割れ検査装置であって、
弾性および衝撃吸収性を有する材料からなる当接部を太陽電池セルに押付けて、太陽電池セル自体を強制的に湾曲させる湾曲手段と、
太陽電池セル湾曲時に発生する振動波を検知する検知手段と、
検知手段によって検知される振動波を分析する分析手段とを有することを特徴とする太陽電池の内部割れ検査装置。 - 前記当接部は、半球状に形成されることを特徴とする請求項1記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記検知手段は、超音波センサと、超音波センサの一端部に取り付けられて太陽電池セルと当接する先端部と、超音波センサの他端部に取り付けられて支持台に当接する基端部とを含み、先端部と基端部とは、弾性および衝撃吸収性を有する材料から成ることを特徴とする請求項1または2記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記先端部は、半球状に形成されることを特徴とする請求項3記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記弾性および衝撃性を有する材料は、ラバーであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記湾曲手段は、太陽電池セルの隅部に荷重を加え、前記検知手段は、太陽電池セルの中心部付近に設けられることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記湾曲手段は、対向する2カ所の隅部に同時に荷重を加えることを特徴とする請求項6記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記湾曲手段は、矩形板状の太陽電池セルの4つの隅部に同時に荷重を加えることを特徴とする請求項6記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記湾曲手段は、矩形板状の太陽電池セルの縁辺部に荷重を加え、前記検知手段は、太陽電池セルの中心部付近に設けられることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記湾曲手段は、対向する2カ所の縁辺部に同時に荷重を加えることを特徴とする請求項9記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記湾曲手段は、太陽電池セルの4つの縁辺部に同時に荷重を加えることを特徴とする請求項9記載の太陽電池セルの内部割れ検査装置。
- 前記検知手段は、太陽電池セルの隅部または縁辺部に設けられ、前記湾曲手段は、太陽電池セルの中心部に荷重を加えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 前記湾曲手段は、前記検知手段が配置される側と反対の面を押圧することによって、太陽電池セルに荷重を加え、湾曲させることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の太陽電池の内部割れ検査装置。
- 太陽電池の内部割れ検査装置であって、
太陽電池セル自体を強制的に湾曲させる湾曲手段と、
太陽電池セル湾曲時に発生する振動波を検知する検知手段と、
検知手段によって検知される振動波を分析する分析手段とを有し、
前記湾曲手段は、前記検知手段が配置される側の面を吸引することによって、太陽電池セルに荷重を加え、湾曲させることを特徴とする太陽電池の内部割れ検査装置。
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