JP3849145B2 - 圧電アクチユエータの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は圧電アクチユエータ及びその製造方法並びにインクジエツトプリントヘツドに関し、例えばインクジエツトプリンタ装置に適用して好適なものである。
背景技術
従来、インクジエツトプリンタ装置においては、記録信号に応じてノズルからインク液滴を吐出することにより、当該記録信号に基づく文字及び図形等を紙やフイルムなどの記録媒体に記録し得るようになされている。
図11はこのようなインクジエツトプリンタ装置に用いられている従来のインクジエツトプリントヘツド1の一構成例を示すものであり、流路板2の一面2Aにノズル板3が貼着されると共に、当該流路板2の他面2Bに圧電アクチユエータ4が固着されることにより構成されている。
この場合流路板2の一面2A側には、矢印x1方向に沿つて複数の凹部でなる圧力室2Cが所定ピツチで並設されている。そしてこれら各圧力室2Cには、それぞれ共同流路2Dを介して図示しないインクカートリツジからインクを順次供給し得るようになされている。
また各圧力室2Cの先端部にはそれぞれ流路板2をその厚み方向(矢印z1方向)に貫通する貫通路2Eが穿設され、ノズル板3にはこれら各貫通路2Eとそれぞれ対応させて複数の貫通孔でなるノズル3Aが矢印x1方向に沿つて所定ピツチで穿設されている。
一方圧電アクチユエータ4は、図11及び図12に示すように、可撓性材料からなる振動板5の一面上に、当該振動板5を介して流路板2の各圧力室2Cとそれぞれ対向するように複数のピエゾ素子等の圧電素子6が矢印x1方向に沿つて配設されることにより構成されており、振動板5の他面を流路板2の他面2B上に貼着するようにして当該流路板2に固着されている。
このとき各圧電素子6はそれぞれの厚み方向(矢印z1方向)に分極されている。またこれら各圧電素子6の一面及び他面には、図12に示すようにそれぞれ上部電極7A及び下部電極7Bが形成されており、かくしてこれら上部電極7A及び下部電極7B間に電位差を生じさせることによつて、圧電素子6を圧電効果により振動板5を対応する圧力室2Cの内側に変位させる方向(矢印z1方向と逆方向)に撓ませ得るようになされている。
これによりこの種のインクジエツトプリントヘツド1においては、圧電素子6の上部電極7A及び下部電極7B間に電圧差を生じさせて振動板5を対応する圧力室2Cの内側に変位させることによつて、当該変位量に応じた圧力をその圧力室2C内に発生させることができ、この圧力によつて当該圧力室2C内のインクを貫通路2Eを介してノズル3Aから外部に吐出させ得るようになされている。
ところでかかるインクジエツトプリントヘツド1においては、例えば特開平6−320739号公報にも開示されているように、振動板5及び各圧電素子6をそれぞれ個別に形成した後、各圧電素子6を振動板5に接着剤を用いて貼り付けるようにして圧電アクチユエータ4を製造していた。
しかしながらこのような従来の製造方法によると、複数の微細な圧電素子6をそれぞれ振動板5の所定位置に精度良く位置決めして貼りつけることが難しい問題があつた。因に、圧電素子6の貼り付け位置が所定位置からずれた場合には、圧電素子6の撓みに基づく圧力を対応する圧力室2C内に発生させ得ないことから印字が不安定となる。
また一般的に圧電素子は印加される電界の大きさが大きくなるほどより大きく撓む。このため従来のインクジエツトプリントヘツド1においては、低電圧駆動し得るようにするために、各圧電素子6をできるだけ薄く形成して上部電極7A及び下部電極7B間の距離を短くすると共に、これに応じて振動板5もできるだけ薄く形成しており、実際上従来では振動板5及び各圧電素子6がそれぞれ30〔μm〕以下の厚みとなつている。
しかしながら振動板5は、通常、固有振動周期を短くして応動スピードを上げるために、その材料としてヤング率の高い例えばガラスやセラミツクス材などが用いられている。そしてこのようなガラスやセラミツクス材を用いて30〔μm〕以下の薄いシート状のものを作製するのは困難であり、従来では数百〔μm〕の厚みに形成されたガラス板又はセラミツク板を30〔μm〕以下になるまで研磨することにより振動板5を作製していた。
このため従来のインクジエツトプリントヘツド1では、振動板5の作製にコストや時間がかかり、生産性が悪い問題があつた。また圧電素子6についても、振動板5と同様にして研磨処理により30〔μm〕以下の厚みのものを得ており、より生産性の高い圧電アクチユエータ4の実現が望まれている。
さらに従来のインクジエツトプリントヘツド1においては、上述のように振動板5及び各圧電素子6を極めて薄く形成しているために、これら振動板5及び各圧電素子6が破損しやすく、上述のような生産性の悪ささに加えて製造時における振動板5及び各圧電素子6の取り扱いが難しい問題もあつた。
発明の開示
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、生産性を格段的に向上させ得る圧電アクチユエータ及びその製造方法並びにインクジエツトプリントヘツドを提案しようとするものである。
かかる課題を解決するため本発明においては、圧電アクチユエータの製造方法において、圧電層の一面に上部電極層が積層され、かつ圧電層の他面に下部電極層を介して振動層が積層された多層板を形成する第1の工程と、当該多層板の一面側又は他面側に、所定大きさ及び形状の開口部が設けられた所定強度を有する補強層を多層板と一体に積層形成する第2の工程とを設けるようにした。
この結果この圧電アクチユエータの製造方法によれば、多層板を補強層により補強された状態で取り扱うことができるため、多層板が非常に薄い場合においても当該多層板の破損を防止して歩留りを向上させることができ、かくして圧電アクチユエータの生産性を格段的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明を適用したインクジエツトプリンタ装置の構成を示すブロツク図である。
図2は、インクジエツトプリントヘツドの構成を部分的に断面をとつて示す略線的な斜視図である。
図3は、インクジエツトプリントヘツドの構成を示す断面図である。
図4は、圧電アクチユエータの構成を示す断面図である。
図5は、第1の実施の形態による圧電アクチユエータの製造手順の説明に供する断面図である。
図6は、第1の実施の形態による圧電アクチユエータの製造手順の説明に供する断面図である。
図7は、第2の実施の形態による圧電アクチユエータの製造手順の説明に供する断面図である。
図8は、第2の実施の形態による圧電アクチユエータの製造手順の説明に供する断面図である。
図9は、第3のシートの構成を示す斜視図である。
図10は、他の実施の形態による圧電アクチユエータの構成を示す断面図である。
図11は、従来のインクジエツトプリントヘツドの一構成例を示す断面図である。
図12は、従来のインクジエツトプリントヘツドにおける圧電アクチユエータの構成を示す断面図である。
発明を実施するための最良の形態
以下図面について、本発明の一実施の形態を詳述する。
(1)第1の実施の形態
(1−1)本実施の形態によるインクジエツトプリンタ装置の構成 図1において、10は全体として本発明を適用したインクジエツトプリンタ装置を示し、供給される画像データD1を画像処理部11に入力する。
画像処理部11は、システムコントローラ12から与えられる制御信号S1に基づいて、入力する画像データD1に対して所定の信号処理(例えば圧縮されたデータの伸長処理等)を施した後、得られた印画データD2をヘツドコントローラ13に送出する。
ヘツドコントローラ13は、画像処理部11から与えられる印画データD2と、システムコントローラ12から与えられる制御信号S2とに基づいて鋸歯状の駆動パルスを含んでなる駆動信号S3を生成し、これをインクジエツトプリントヘツド14に送出する。これによりヘツドコントローラ13は、この駆動信号S3によりインクジエツトプリントヘツド14を駆動制御し、記録用紙15に向けてインク液を吐出させることにより1ライン分ずつ印画を行わせる。
そしてこのときシステムコントローラ12は、ヘツド位置・紙送りコントローラ16を介して図示しない紙送り機構を制御することにより1ライン分の印画が終了する毎に記録用紙15を1ライン分ずつ送らせる。またシステムコントローラ12は、ヘツド位置・紙送りコントローラ16を介して図示しないヘツド駆動機構を制御することにより必要時に必要な位置にインクジエツトプリントヘツド14を移動させる。
なおこのインクジエツトプリントヘツド14には、インクカートリツジ17からインクが供給される。
(1−2)インクジエツトプリントヘツド14の構成
ここでインクジエツトプリントヘツド14は、図2及び図3に示すように、流路板20の一面20A側にノズル板21が貼着されると共に、当該流路板20の他面20B側に圧電アクチユエータ22が固着されることにより構成されている。
この場合流路板20の他面20Bには矢印x2方向に沿つて所定ピツチで複数の凹部でなる圧力室20Cが並設されている。そしてこれら各圧力室20Cには、それぞれ共同流路20D及び各圧力室20Cの後部に設けられた狭路でなるインク導入路20Eを順次介して上述のインクカートリツジ17(図1)からインクを供給し得るようになされている。
また各圧力室20Cの前端部には流路板20をその厚み方向(矢印z2方向)に貫通するように貫通路20Fが穿設されており、ノズル板21にはこれら各貫通路20Fにそれぞれ対応させて矢印x2方向に沿つて所定ピツチで複数の貫通孔でなるノズル21Aが穿設されている。
一方圧電アクチユエータ22においては、図4に示すように、上から順番に圧電材料からなる第1の圧電層30、導電材料からなる下部電極層31、圧電材料からなる第2の圧電層32及び導電材料からなる分極用電極層33を順次積層すると共に、第1の圧電層30上に、流路板20の各圧力室20Cにそれぞれ対向させて矢印x2方向に沿つて分離形成された複数の上部電極34Aからなる上部電極層34を積層することにより構成されている。
この場合第1の圧電層30は、その厚み方向(矢印z2方向)に分極されている。また下部電極層31はアース接地されており、各上部電極34Aにはそれぞれヘツドコントローラ13(図1)から供給される駆動信号S3(図1)に含まれる対応する駆動パルスが与えられる。
これによりこのインクジエツトプリントヘツド14においては、駆動パルスが対応する上部電極34Aに与えられたときに、第1の圧電層30のうちの当該上部電極34A及び下部電極層31に挟まれる部位が圧電効果により分極用電極層33及び第2の圧電層32を流路板20の対応する圧力室20Cの内側に変位させる方向(矢印z2方向と逆方向)に撓んでその圧力室20C内に圧力を発生させることにより、当該圧力室20C内のインクを貫通路20F(図2、図3)を介して対応するノズル21A(図2、図3)から外部に吐出させ得るようになされている。
(1−3)本実施の形態による圧電アクチユエータ22の製造手順
ここで実際上、このようなインクジエツトプリントヘツド14の圧電アクチユエータ22は、図5及び図6に示す以下の手順により作製することができる。
すなわち、まず圧電材料の粉体及びバインダ等を混練し、得られた泥漿を薄膜状に流し出し、バインダを蒸発乾燥させることにより、図5Aに示すような厚さ30〔μm〕以下のグリーシートと呼ばれる柔軟性を有する2枚の第1及び第2のシート40、41を形成する。
次いで図5Bに示すように、第1のシート40の一面上と、第2のシート41の両面上とにそれぞれ印刷法、めつき法、スパツタ法又は蒸着法等を用いて導電材料を全面に亘つて被着させることにより第1〜第3の導体層42〜44を例えば2〔μm〕以下の厚みで成膜形成する。
ここで第1〜第3の導体層42〜44の形成方法として印刷法を用いる場合には、導電材料として銀、銀パラジウム、白金、ニツケル又は銅などを適用することができ、めつき法を用いる場合には、導電材料としてニツケル又は銅等を適用することができる。またスパツタ法又は蒸着法を用いる場合には導電材料として金を用いることができる。
続いて図5Cに示すように、このように第1〜第3の導体層42〜44が形成された第1及び第2のシート40、41を、第1のシート40の他面と、第2のシート41の一面とが第2の導体層43を介して対向するように重ね合わせ、この状態でこれらを押し付けながら焼き固めることにより一体に焼結する。
次いで図5Dに示すように、このようにして形成された第3の導体層44、焼成された第2のシート41、第2の導体層43、焼成された第1のシート40及び第1の導体層42が順次積層されてなる多層板45の第1及び第3の導体層42、44間に厚さ1〔mm〕当たり数〔kV〕の電圧をかけることにより、第1のシート40をその厚み方向(矢印z2方向)に分極する。
この場合第1のシート40を分極する方法としては、第1及び第2の導体層42、43間に電圧を印加する方法も考えられるが、この方法によると分極時に第1のシート40が収縮したときに多層板45に反りが生じるおそれがある。従つてこの実施の形態のように、第2のシート41の下層に第3の導体層44を設けると共に第2のシート41をも圧電材料で形成し、第1及び第3の導体層42、44間に電圧を印加して第1及び第2のシート40、41を共に分極することによつて、多層板36に不要な反りが生じるのを未然に回避することができる。
続いて図6Aに示すように、この多層板45の第1の導体層42上に、感光性のドライフイルムを被着し又は液状のホトレジストを塗布することによりレジスト層46を形成する。さらにこの後このレジスト層46を所定パターンで露光し、現像することにより、図6Bに示すように当該レジスト層46を圧電アクチユエータ22(図2、図3)の電極パターンと同じパターンにパターニングする。
次いで図6Cに示すように、第1の導体層42上に残存するレジスト層46(以下、これを残存レジスト層46Aと呼ぶ)をマスクとして、当該マスクを介して露出する第1の導体層42をサンドブラスト法又はエツチング法等を用いて除去することにより、当該第1の導体層42を所望する圧電アクチユエータ22(図2、図3)の電極パターンと同じパターンにパターニングする。
そしてこの後図6Dに示すように、多層板45上から残存レジスト層46Aを除去し、さらにこの後この多層板45を必要に応じて所望する圧電アクチユエータ22に応じた大きさに切断する。
これにより焼成された第1及び第2のシート40、41をそれぞれ第1及び第2の圧電層30、32とし、第1〜第3の導電層42〜44をそれぞれ上部電極層34、下部電極層31及び分極用電極33とする圧電アクチユエータ22を得ることができる。
なおこのようにして形成した圧電アクチユエータ22を流路板20の他面20C上に各上部電極34Aがそれぞれ当該流路板20の各圧力室20Cと対向するように接着剤等を用いて貼着し、当該流路板20の一面20Aにノズル21Aが形成されたノズル板21を接着剤等を用いて貼着することにより図2及び図3に示すインクジエツトプリントヘツド14を得ることができる。
(1−4)本実施の形態の動作及び効果
以上の構成において、圧電材料からなる第1〜第2のシート40、41の一面又は両面に第1〜第3の導体層42〜44を形成した後、これら第1及び第2のシート40、41を一体に焼結し、得られた多層板45の第1のシート40を分極すると共に、第1の導体層42をサンドブラスト法又はエツチング法等によりパターニングするようにして圧電アクチユエータ22を作製する。
そしてこのようにして作製された圧電アクチユエータ22では、パターニングされた第1の導体層42が上部電極、第1のシート40が圧電層、第2の導体層43が下部電極、第2のシート41及び第3の導体層44が振動板としてそれぞれ機能すると共に、当該圧電層のうち、各上部電極(各上部電極34A)及び下部電極(下部電極層31)に挟まれる部位のみがそれぞれ従来のインクジエツトプリントヘツド1(図11)における圧電素子6(図11)として機能する。
従つてこのインクジエツトプリントヘツド14では、従来のインクジエツトプリントヘツド1(図11)のように複数の微細な圧電素子6を振動板5に高精度に位置決めして接着する工程や、研磨工程を必要とせずに、圧電アクチユエータ22を一括して簡易にかつ安価に製造することができる。
またこの場合多層板45の厚みを従来のインクジエツトプリントヘツド1(図11)における圧電素子6と振動板5(図11)とを合わせた厚みとすることができるために当該多層板45が破損し難く、取り扱いを容易化することができる。
以上の構成によれば、圧電材料からなる第1〜第2のシート40、41の一面又は両面に第1〜第3の導体層42〜44を形成した後、これら第1及び第2のシート40、41を一体に焼結し、得られた多層板45の第1のシート40を分極すると共に、第1の導体層42をサンドブラスト法又はエツチング法等によりパターニングするようにして圧電アクチユエータ22を作製し、これを流路板20の他面20Cに貼着するようにしてインクジエツトプリントヘツド14を製造するようにしたことにより、圧電アクチユエータ22及びインクジエツトプリントヘツド14の製造を簡易化させることができ、かくして生産性を格段的に向上させ得る圧電アクチユエータ及びインクジエツトプリントヘツドを実現できる。
(2)第2の実施の形態
(2−1)圧電アクチユエータ22の第2の実施の形態による製造手順
図4について上述した圧電アクチユエータ22について、第2の実施の形態による製造手順を図5及び図6との対応部分に同一符号を付して示す図7及び図8を用いて説明する。
まず図7Aに示すように、第1の実施の形態と同様にして、厚さ30〔μm〕以下のグリーシートと呼ばれる柔軟性を有する第1、第2のシート40、41を形成する。
またこれと同様にして例えばセラミツク材料を用いてグリーンシートでなる第3のシート50を形成する。この場合第3のシート50は、後述のように圧電アクチユエータ22の製造過程における補強層として機能させるため、第1及び第2のシート40、41に比べて厚く形成するようにする。
次いで図7Bに示すように、第1のシート40の一面上と、第2のシート41の両面上とにそれぞ印刷法、めつき法、スパツタ法又は蒸着法等を用いて導電材料を被着させることにより第1〜第3の導体層42〜44を例えば2〔μm〕以下の厚みで成膜形成する。
またこれと共に図9に示すように、第3のシート50に、これから作製しようとする圧電アクチユエータ22と同じ大きさ及び形状の開口部50Aを、当該第3のシート50の大きさに応じて1又は複数形成する。
続いて図7Cに示すように、下層から第3の導体層44、第2のシート41、第2の導体層43、第1のシート40及び第1の導体層42及び第3のシート50の順番で位置するように第1〜第3のシート40、41、50を重ね合わせ、この状態でこれら第1〜第3のシート40、41、50を押し付けながら焼き固めることにより一体に焼結する。
次いで図7Dに示すように、このようにして形成された第3の導電層44、焼成された第2のシート41、第2の導電層43、焼成された第1のシート40及び第1の導電層42が順次積層されてなる多層板51の第1及び第3の導体層42、44間に厚さ1〔mm〕当たり数〔kV〕の電圧を印加することにより、第1のシート40をその厚み方向に分極する。
続いて図8Aに示すように、第3のシート50の各開口部50Aからそれぞれ露出する第1の導体層42の各部位を、それぞれ例えばフオトリソグラフイ等の手法を用いて圧電アクチユエータ22(図4)の上部電極層34(図4)の電極パターンと同じパターンにパターニングする。
さらにこの後これら第3のシート50の各開口部50Aからそれぞれ露出する多層板51の各有効部位Advをそれぞれ個別に切り離す。これにより焼成された第1及び第2のシート40、41をそれぞれ第1及び第2の圧電層30、32(図4)とし、第1〜第3の導体層42〜44をそれぞれ上部電極層34、下部電極層31及び分極用電極33(図4)とする多層板51の有効部位Advでなる圧電アクチユエータ22を得ることができる。
因に、この後このようにして得られた圧電アクチユエータ22を流路板20の他面20B上に貼り付けるわけであるが、この工程を図8Aのように補強層でなる第3のシート50により補強された状態のまま行うこともできる。
すなわち、図8Aについて上述したように、第3のシート50の各開口部50Aからそれぞれ露出する第1の導体層42の各部位をそれぞれパターニングした後、図8Bに示すように、その状態のままこの多層板51の各有効部位Advの第3の導体層44にそれぞれ流路板20をその他面20B側から貼りつける。
実際上、このような作業は複数の流路板20を、第3のシート50の各開口部50Aとそれぞれ対応させてこれら各開口部50Aと同じ位置関係で固定配置すると共に、これら各流路板20の他面20Bに接着剤を供給した後、第3のシート50により補強された状態の多層板51の各有効部位Advと、各流路板20の他面20Bとがそれぞれ対向するように当該多層板51を位置決めし、これを各流路板20に押しつけるようにして一括して行うことができる。
さらにこの後、図8Cに示すように、多層板51の各有効部位Advをダイシング等によりそれぞれ個別に切り離す。そしてこのように第3のシート50により補強した状態において各圧電アクチユエータ22多層板51の各有効部位Adv)をそれぞれ流路板20に貼り付けるようにすることによつて、圧電アクチユエータ22を薄い破損し易い状態でハンドリングしないようにすることができ、その分圧電アクチユエータ22の歩留りをより向上させることができる。
(2−2)本実施の形態の動作及び効果
以上の構成において、圧電材料を用いて形成されたグリーンシートでなる第1及び第2のシート40、41の各一面にそれぞれ第1及び第2の導体層42、44を形成し、これら第1及び第2のシート40、41を一体に焼結した後、第1のシート40を分極し、この後第1の導体層42をパターニングするようにして圧電アクチユエータ22を製造する。
そしてこの実施の形態では、このような一連の作業の中で、所望する圧電アクチユエータ22と同じ大きさ及び形状の開口部50Aが設けられたセラミツク材料からなる第3のシート50を第1及び第2のシート40、41と一体に焼結するため、焼成された第3のシート50が補強層として、圧電アクチユエータ22の元となる多層板51を補強することができる。
従つてこのような圧電アクチユエータ22の製造方法によれば、圧電アクチユエータ22(多層板51)の取り扱いを容易化でき、また圧電アクチユエータ22(多層板51)が破損し難くすることができ、その分圧電アクチユエータ22の製造時における歩留りを向上させることができる。
以上の構成によれば、圧電材料を用いて形成されたグリーンシートでなる第1及び第2のシート40、41の各一面にそれぞれ第1及び第2の導体層42、43を形成した後、これら第1及び第2のシート40、41をセラミツク材グリーンシートでなる第3のシート50と一体に焼結し、かくして得られた多層板51の第1のシート40を分極すると共に、第1の導体層42をパターニングするようにして圧電アクチユエータ22を製造するようにしたことにより、焼成された第3のシート50を補強層として、圧電アクチユエータ22の元となる多層板51を補強して製造時における圧電アクチユエータ22(多層板51)の破損を防止し、歩留りを向上させることができ、かくして圧電アクチユエータ22の生産性を格段的に向上させることができる。
(3)他の実施の形態
なお上述の実施の形態においては、本発明による圧電アクチユエータ及びその製造方法をインクジエツトプリントヘツド14及びその製造方法に適用するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、インクジエツトプリントヘツド14以外のものに用いられる圧電アクチユエータ及びその製造方法に適用して好適なものである。
また上述の実施の形態においては、圧電アクチユエータ22の上部電極層34を、流路板20の各圧力室20Cにそれぞれ対応させて複数の上部電極34Aから構成されるようにパターニングするようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、下部電極層31や下部電極層31及び上部電極層34の両方をこのようにパターニングするようにしても良い。この場合例えば下部電極層31をこのようにパターニングする場合には、図5Bに示す工程時に予め第2の導体層43をそのようなパターンで形成するようにすれば良い。
さらに上述の実施の形態においては、振動板として機能する第2の圧電層32及び分極用電極33を第1の圧電層30、上部電極層34及び下部電極層31と一体に焼成形成するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、第1の圧電層30の一面及び他面にパターニングされた又はパターニングされていない上部電極層34及び下部電極層31をそれぞれ形成した後、これを所定材料からなる振動板に接着剤等により貼りつけるようにして圧電アクチユエータを形成するようにしても良い。
さらに上述の実施の形態においては、一面に複数の凹部でなる圧力室が設けられた圧力室形成部としての流路板20及びインク板21を図2及び図3のように構成するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、この他種々の構成を広く適用することができる。
さらに上述の実施の形態においては、図6Cについて上述したように、多層板45の第1の導体層42のみをパターニングするようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、多層板45の第1の導体層42をパターニングする際、図10に示すように、例えばサンドブラスト法を用いて第1の導体層42と一体に第1のシート40(第1の圧電層30に相当)をも各上部電極34Aの直下の部分だけが残存するように又は少なくとも各上部電極34A間が分離するようにパターニングするようにしても良い。
このようにすることによつてそれぞれ個別のアクチユエータとして機能する圧電アクチユエータ22の各上部電極34A直下の部位がそれぞれ隣接するアクチユエータの影響を受け難くすることができる。またこのようにすることによつて、サンドブラスト法による加工量のコントロールを比較的ラフにすることができる。
さらに上述の実施の形態においては、振動層として機能する第2の圧電層32のもととなる第2のシート41を圧電材料を用いて形成するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、この他種々の材料を広く適用できる。
さらに上述の実施の形態においては、流路板20の各圧力室20C内に変位して当該圧力室20C内に圧力を発生させる振動層を第2の圧電層32と分極用電極層33とで構成するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、振動層の構成としてはこの他種々の構成を広く適用できる。
さらに上述の実施の形態においては、圧電アクチユエータ22を上部電極層34、第1の圧電層30、下部電極層31、第2の圧電層32及び分極用電極層33の5層構造とするようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、分極用電極層33を省略して4層構造の圧電アクチユエータを構築するようにしても良い。
そしてこの場合にはこの圧電アクチユエータを流路板20の他面20Bに位置決めして貼着した後、上部電極層34の各上部電極34A及び下部電極層31間に電位を印加するようにして各上部電極34A及び下部電極層31間のみを分極すれば良い。因にこの場合、圧電アクチユエータに分極処理に伴う反りが発生するもののこれをイニシヤライズとすれば良く、このようにすることによつて少なくとも圧電アクチユエータの反りに起因する流路板20への貼着時の不具合が発生するのを未然に防止することができる。
また圧電アクチユエータ22を上部電極層34と、第1の圧電層30と、下部電極層31と、圧電材料以外の他の所定材料からなる振動層との4層構造に構築するようにしても良い。ただしこの場合、振動層の固有振動周波数を上げる必要があるため、振動層の材料としてはヤング率の高い例えばジルコニアやアルミナなどのセラミツク材料等を適用することが望ましい。
さらに圧電アクチユエータ22を上部電極層34、第1の圧電層30及び下部電極層31の3層構造とするようにしても良い。ただしこの場合には、下部電極層31を上部電極層34の2倍以上の厚みをもたせて形成し、その流路板20との対向面側の一部を振動層として利用するようにする。そしてこの場合には下部電極層31の材料として、ヤング率が高く耐インク性に優れたニツケル等の金属や導電性セラミツクなどを採用するようにすれば良い。
さらに上述の実施の形態においては、圧電アクチユエータ22を図5及び図6や、図7及び図8について上述したようなグリーンシートを用て製造するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばスパツタリング法、印刷法及びめつき法などにより導電材料及び圧電材料を順次積層形成するようにして圧電アクチユエータ22を製造するようにしても良く、要は、接着剤を用いることなく上部電極層、第1の圧電層、下部電極層及び振動層を順次直接積層形成し得る多層板の製造プロセスを用いて圧電アクチユエータ22を製造するようにするのであれば、圧電アクチユエータ22の製造プロセスとしてはこの他種々の多層板製造プロセスを広く適用することができる。
さらに上述の実施の形態においては、第3のシート50の材料としてセラミツク材料を適用するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、要は、焼成された第3のシート50の強度として、多層板51の取り扱い時における湾曲等を防止して、不用意な破損を回避できるような強度が得られるのであれば、第3のシート50の材料としてはこの他種々の材料を広く適用することができる。
さらに上述の実施の形態においては、流路板20の圧力室20C内に変位して当該圧力室20C内に圧力を発生させる圧電アクチユエータ22の振動層を、圧電材料からなる第2の圧電層32及び導電材料からなる分極用電極層33で構成するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、振動層の構成や材料としてはこの他種々の構成及び材料を広く適用することができる。
さらに上述の実施の形態においては、多層板51の一面側でなる第1の導体層42上に第3のシート50を当該多層板51と一体に積層形成するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、多層板51の他面側でなる第3の導体層44上に第3のシート50を当該多層板51と一体に積層形成する(すなわち下層から順番に第3のシート50、第3の導体層44、第2のシート41、第2の導体層43、第1のシート40及び第1の導体層42の順番で第1〜第3のシート40、41、50を重ね合わせて焼結する)ようにしても良い。
さちに上述の実施の形態においては、第3のシート50に図9のように開口部50Aを設けるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、開口部50Aの形態としてはこの他種々の形態を広く適用することができる。
産業上の利用可能性
本発明は、インクジエツトプリンタ装置に利用することができる。
Claims (1)
- 圧電材料からなる圧電層の一面に導電材料からなる上部電極層が積層され、かつ上記圧電層の他面に導電材料からなる下部電極層を介して所定材料からなる振動層が積層された多層板を形成すると共に、当該多層板の一面側又は他面側に、所定の大きさ及び形状の開口部が設けられた所定の強度を有する補強層を上記多層板と一体に積層形成する第1の工程と、
上記多層板に所定の加工処理を施す第2の工程と、
上記補強層の上記開口部から露出する上記多層板の有効部位を当該多層板の他の部分から切り離す第3の工程と
を具えることを特徴とする圧電アクチユエータの製造方法。
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