JP3758463B2 - スクリーン印刷の検査方法 - Google Patents
スクリーン印刷の検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3758463B2 JP3758463B2 JP2000135697A JP2000135697A JP3758463B2 JP 3758463 B2 JP3758463 B2 JP 3758463B2 JP 2000135697 A JP2000135697 A JP 2000135697A JP 2000135697 A JP2000135697 A JP 2000135697A JP 3758463 B2 JP3758463 B2 JP 3758463B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- printing
- pattern hole
- screen
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Screen Printers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置におけるスクリーン印刷の検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田などのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接させ、スクリーンマスク上にクリーム半田を供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にクリーム半田を印刷するものである。
【0003】
印刷工程の後にはクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査が行われる。この印刷検査を同一装置内で行えるよう、スクリーン印刷装置に印刷検査機能を備えたものが知られている。このような検査機能付きのスクリーン印刷装置は、従来は基板認識用に備えられたカメラによって印刷後の基板を撮像し、撮像結果を画像処理して印刷部位に正しくクリーム半田が印刷されているか否かを判定することにより印刷検査を行うようにしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のスクリーン印刷装置には、以下に述べるような問題点があった。まず印刷検査ではカメラによって撮像した2次元画像データに基づいて判定を行う方法が採用されていたため、印刷位置や印刷部の平面形状など2次元データのみで判定可能な項目については良好な検査結果が得られるが、印刷量など良否判定に印刷高さなどの3次元データを伴う項目については精度のよい検査を行うことは困難であった。また従来の印刷検査では、印刷後の基板のみを対象としてカメラによる認識を行っていたため印刷結果自体の良否は検出できるものの、その不良が如何なる原因で発生したかという不良原因の特定を行うための必要なデータが必ずしも十分には得られず、印刷不良への適切な対応が困難であるという問題点があった。
【0005】
そこで本発明は、印刷検査を精度よく行え、しかも不良原因の特定のためのデータ取得が可能で印刷不良を防止することができるスクリーン印刷の検査方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載のスクリーン印刷の検査方法は、パターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接させ、このスクリーンマスク上でスキージヘッドを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷し、次いで基板をスクリーンマスクから分離させて版離れを行った後に、3次元測定手段により基板の電極上に印刷された印刷部の形状とマスクプレートのパターン孔の内部状態を検出し、印刷部の形状検出結果とパターン孔の内部状態の検出結果とを対比することにより、印刷不良の発生原因を特定するスクリーン印刷の検査方法であって、前記印刷部に「欠け」が検出され、前記パターン孔内にこの「欠け」の形状に相当するペーストの残量が検出された場合には、この「欠け」は版離れ工程において発生したものと特定し、また前記印刷部に「欠け」が検出され、前記パターン孔内にこの「欠け」の形状に相当するペーストの残留が検出されない場合は、この「欠け」はパターン孔内へのペーストの充填不良によって発生したものと特定する。
【0012】
本発明は、印刷が終了して基板をスクリーン印刷から版離れさせた後、基板の電極部の印刷部の形状とスクリーンマスクの内部状態の双方を3次元測定手段により検出し、その検出結果を対比することにより、印刷不良発生時の原因特定を容易に行うことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図2は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図3は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図4は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のレーザ計測装置の斜視図、図5は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図、図6は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の基板とスクリーンマスクの部分斜視図、図7は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置による補修印刷の説明図である。
【0015】
まず図1、図2および図3を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図1、図2において、基板位置決め手段である基板位置決め部1は、X軸テーブル2およびY軸テーブル3よりなる移動テーブル上にθ軸テーブル4を段積みし、さらにその上にZ軸テーブル5を配設して構成されており、Z軸テーブル5上にはクランパ8によって挟み込まれた基板6を下方から保持する基板保持部7が設けられている。印刷対象の基板6は、図1、図3に示す搬入コンベア14によって基板位置決め部1に搬入される。基板位置決め部1を駆動することにより、基板6の位置を調整することができる。印刷後の基板6は、搬出コンベア15によって搬出される。
【0016】
基板位置決め部1の上方には、スクリーンマスク10が配設されており、スクリーンマスク10はホルダ11にマスクプレート12を装着して構成されている。基板6は基板位置決め部1によってマスクプレート12に対して位置合わせされ下方から当接する。スクリーンマスク10上には、スキージヘッド13が水平方向に往復動自在に配設されている。基板6がマスクプレート12の下面に当接した状態で、マスクプレート12上にペーストであるクリーム半田9を供給し、スキージヘッド13のスキージ13aをマスクプレート12の表面に当接させて摺動させることにより、基板6の表面に形成された電極6a(図3参照)上にはマスクプレート12に設けられたパターン孔12a(図3参照)を介してクリーム半田9が印刷される。
【0017】
スクリーンマスク10の上方には、3次元測定手段であるレーザ計測装置20が設けられている。図3に示すように、レーザ計測装置20はX軸テーブル21およびY軸テーブル22によってXY方向に水平移動し、昇降手段23(図1、図2)によって昇降自在となっている。昇降手段23を駆動することにより、レーザ計測装置20は計測高さ位置まで下降する。X軸テーブル21およびY軸テーブル22および昇降手段23は、レーザ計測装置20を移動させる移動手段となっている。
【0018】
レーザ計測装置20はレーザ光を照射することにより垂直方向の変位を測定する機能とレーザ照射位置をXY方向に走査させる走査機構とを備えており、図4に示すように照射点Pを計測範囲R内で走査させることにより計測範囲R内の計測対象物表面の垂直方向位置を連続的に検出し、計測対象物の3次元形状を検出できるようになっている。
【0019】
レーザ計測装置20を前記移動手段によって基板6、マスクプレート12に対して移動させることにより、基板6、マスクプレート12の任意の範囲を対象として3次元形状測定を行うことができる。そして得られた検出データを処理することにより、基板6の特徴部である電極6aの配置パターンおよびスクリーンマスク10の特徴部であるパターン孔12aの配置パターンを検出することができるとともに、スクリーン印刷後の基板6を計測対象として3次元測定を行うことにより、基板6上に印刷されたクリーム半田9の形状を3次元的に検出することができる。
【0020】
レーザ計測装置20を移動させるX軸テーブル21およびY軸テーブル22には、ディスペンサ24(ペースト吐出手段)が装着されている。ディスペンサ24はクリーム半田9を吐出する吐出ノズル25を備えており、上下機構26によって上下動可能となっている。ディスペンサ24をX軸テーブル21およびY軸テーブル22によって移動させ、補修対象部位に対して吐出ノズル25を下降させて下端部を位置あわせした状態でクリーム半田9を吐出させることにより(図6(a)参照)、印刷不良部位に補修用のクリーム半田9を供給することができる。すなわち、ディスペンサ24は印刷不良部位の補修を行う補修手段を構成する。
【0021】
次に、図5を参照してスクリーン印刷装置の制御系の構成について説明する。図5において、CPU30は全体制御部であり以下に説明する各部の全体制御を行う。プログラム記憶部31は、スクリーン印刷の動作プログラムや、レーザ計測装置20の検出信号から基板6やマスクプレート12の形状検出を行うための処理プログラム、以下に説明する各種判定処理のプログラムを記憶する。データ記憶部32はスクリーン印刷条件のデータや、判定処理の基準値データなどの各種データを記憶する。
【0022】
機構制御部33は、基板位置決め部1や搬入コンベア14、搬出コンベア15、X軸テーブル21、Y軸テーブル22などの各機構部の動作を制御する。形状検出部34は、レーザ計測装置20を走査させて得られた検出信号を処理することにより、基板6に設けられた電極6aの平面配置を示す電極配置パターンおよびマスクプレート12に設けられたパターン孔12aの配置を示す開口パターン、印刷後の基板6上のクリーム半田9の形状を検出する。
【0023】
基板・マスク判定部35は、このようにして作成された電極配置パターンと開口パターンとをデータ記憶部32に記憶された設計データ上の基準パターンと比較することにより、スクリーン印刷装置に供給された基板6やマスクプレート12の良否を判定する。すなわち、基板・マスク判定部35は供給材判定部となっている。
【0024】
印刷判定部36は、スクリーン印刷後の基板6をレーザ計測装置20によって測定して得られたクリーム半田9の形状データを予め記憶された基準データと比較することにより、印刷状態の良否を判定する。補修判定部37は、上記印刷判定部によって印刷状態不良と判定された基板について、当該印刷措置による補修の可否判定および補修方法の選択を行う。
【0025】
すなわち、3次元形状測定によって求められたクリーム半田9の形状データをデータ記憶部32の補修適用例ライブラリに記憶されたデータと比較することにより、当該印刷装置に備えられた補修機能によって補修することが可能であるか否かをまず判断する。そして補修可能と判断された基板について、次の2通りの補修方法のどちらを適用するかの選択を行う。
【0026】
まず、補修対象部位が基板6全体から見て部分的である場合には、ディスペンサ24による補修塗布が行われる。また、補修対象部位の数が多数である場合や、印刷不良の程度が甚だしく、ディスペンサ24による追加塗布では補修に時間を要するような場合には、再印刷すなわち当該基板6を再びマスクプレート12に当接させて印刷を行う補修方法が選択される。この場合には、スクリーン印刷装置の印刷機能そのものが印刷不良部位の補修を行う補修手段となっている。このように、印刷不良の状態に応じて適切な補修方法を選択することにより、効率的な補修印刷を行うことができる。
【0027】
上記構成において、基板・マスク判定部35、印刷判定部36は、レーザ計測装置20の測定結果から基板6およびまたはスクリーンマスク10の検査を行う検査手段となっており、補修判定部37は印刷不良部位の補修を行う補修手段を構成するものとなっている。
【0028】
このスクリーン印刷装置は上記のように構成されており、以下スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷後に印刷不良と判定された基板に対して行われる補修印刷について説明する。まず、新たな印刷対象品種への品種切り替えが行われ、当該品種に対応してスクリーンマスク10が装着されると、スクリーンマスク検査が行われる。この検査は、スクリーンマスク10が装着された状態で、レーザ計測装置20をX軸テーブル21およびY軸テーブル22によってスクリーンマスク10上で移動させながらスクリーンマスク10の上面を3次元測定することにより行われる。この検査により、装着されたスクリーンマスク10の良否が判定される。
【0029】
次いで、基板6の検査が行われる。搬入コンベア14より印刷対象の基板6が基板位置決め部1上に搬入されたならば、基板位置決め部1をスクリーンマスク10の下方からY方向に移動させて基板測定位置へ移動させる(図2にて破線で示す基板位置決め部1および基板6参照)。そしてレーザ計測装置20によって同様に基板6の上面の3次元測定を行う。これにより、基板6の良否が判定される。この基板検査は新品種のみを対象として行っても、あるいは抜き取りでサンプリングして実施してもよい。
【0030】
スクリーンマスク10、基板6の双方とも異常のないことが確認されたならば、スクリーン印刷を行う。まずスクリーンマスク10上にクリーム半田9が供給され、スキージ13aを往復動させてクリーム半田9を練る予備スキージングを行った後に、基板位置決め部1のZテーブル5を上昇させて基板6をマスクプレート12の下面に当接させる。次いでスキージヘッド13を移動させて、クリーム半田9をパターン孔12aを介して基板6の電極6a上に印刷する。この後、Z軸テーブル5を下降させて基板6をスクリーンマスク10から分離させる版離れを行うことにより、基板6の電極6a上にはクリーム半田9が印刷される。
【0031】
この版離れを行った後、印刷状態の検査が行われる。この検査は、基板位置決め部1を再びスクリーンマスク10の下方から基板計測位置へ移動させ、レーザ計測装置20によって印刷後の基板6の上面を3次元測定することによって行われる。そしてこの検査により印刷状態が良好であると判定されたならば、基板位置決め部1はスクリーンマスク下面の印刷位置に戻り、ここで搬出コンベア15に印刷後の基板6を渡し、クリーム半田の印刷作業を完了する。
【0032】
また、検査により不良であると判定された基板6については、当該スクリーン印刷装置での補修の可否が判定され、ここで補修不可であると判定されたならば、当該基板6は不良品であるとの報知を行った後に良品基板と同様にして搬出され、後工程にて必要な補修等の処置を行う。そしてこの後スクリーンマスク10の検査を行う。すなわち、不良であると判定された基板6に対してスクリーン印刷を行った後のスクリーンマスク10のパターン孔12a内の状態をレーザ計測装置20によって検査する。
【0033】
図6は、この検査において得られる情報の1例について示すものである。図6に示すように、印刷後の基板6の3次元測定により、電極6a上の印刷部の形状が3次元的に求められ、これにより部分的にクリーム半田9が存在しない「欠け」(矢印a)などの形状不良が検出される。そしてマスクプレート12を対象とする3次元測定により、当該形状不良の電極6aに応当するパターン孔12a内の状態が検出される。
【0034】
そして電極6a上の印刷部の形状検出結果と、パターン孔12aの内部状態の検出結果とを対比することにより、当該不良が発生した原因を特定するデータを得ることができる。すなわち、「欠け」が検出された電極6aに応当するパターン孔12a内に、この「欠け」の形状に相当するクリーム半田9の残量が検出された場合には、「欠け」はパターン孔12a内へのクリーム半田充填後の版離れ工程において発生したものであると推察できる。これに対し、「欠け」に応当するパターン孔12a内にクリーム半田9の残留が検出されない場合には、この「欠け」は版離れ時点で発生したものではなく、パターン孔12a内への充填不良によって発生したものであると推定できる。
【0035】
次に、前述の印刷後の3次元測定結果により補修可能であると判定された場合の処理について図7を参照して説明する。まず不良の範囲が部分的であり、クリーム半田9の局部的な追加供給によって補修が可能であると判定されたらならば、ディスペンサ24による補修を行う。すなわち、X軸テーブル21およびY軸テーブル22を駆動してディスペンサ24を補修対象部位に移動させ、吐出ノズル25を当該部位に対して下降させ、必要な微動を行わせながら吐出ノズル25からクリーム半田9を吐出させる。
【0036】
そして吐出後には、レーザ計測装置20によって再び補修部位の計測を行い、補修結果の良否を判定する。この結果、良好であると判定されたならば、補修後の基板6は良品基板と同様に搬出される。またこの良否判定によりなお不良と判定された場合には、必要な再補修を反復して行う。
【0037】
また、同一基板上での補修対象部位が多数に上り、追加供給による補修では時間がかかる場合には、再塗布が行われる。すなわち基板位置決め部1を再びスクリーンマスク10の下方の印刷位置に移動させ、図7(b)に示すように再びZ軸テーブル5を上昇させてマスクプレート12に当接させる。これにより、基板6上の既印刷部位はマスクプレート12のパターン孔12a内に再び押し込まれる。そしてこの状態でスキージを移動させてスクリーン印刷が行われる。
【0038】
この結果、既に正常に印刷が行われていた正常印刷部位はそのままの状態を保ち、印刷不良が生じていた部位に相当するパターン孔、すなわちクリーム半田9の未充填が生じていたパターン孔12aの不足部分にはクリーム半田9が新たに充填される。そしてこの後基板6をマスクプレート12から離す版離れを行うことにより、印刷不良部位にクリーム半田9が追加されて補修印刷が終了する。
【0039】
このように、クリーム半田9の印刷状態を検査する印刷後検査において、印刷後の基板のみならずスクリーンマスクをも計測対象とし、この印刷後検査をレーザ計測装置20を用いて行うことにより、基板6上のクリーム半田9の印刷部の形状を3次元的に詳細に求めることができるとともに、スクリーンマスク10のパターン孔12a内におけるクリーム半田9の残留状態をも併せて検出することができる。これにより、印刷不良部位について印刷部とこの印刷部に応当するパターン孔の内部状態を対比することができることから、不良発生原因の特定に有用なデータが得られる。
【0040】
また、印刷後検査において不良と判定された基板に対しての補修印刷の可否を判定する補修判定部を備え、補修可と判定された基板については同一装置内で補修を行うことにより、後工程における補修作業を不要にして繁雑な不良品管理を容易にすることができる。さらに補修印刷の方法を不良状態に応じて適切に選択することにより、補修作業を効率よく行うことができる。
【0041】
なお、上記実施の形態ではスキージヘッドの種類として板状のスキージ13aを備えた開放型のスキージヘッドの例を示しているが、これに限定されず、内部にクリーム半田を貯溜してこのクリーム半田を加圧しながらマスクプレート上で摺動してパターン孔内にクリーム半田を充填する密閉型のスキージヘッドを用いてもよい。
【0042】
【発明の効果】
本発明は、印刷が終了して基板をスクリーン印刷から版離れさせた後、基板の電極部の印刷部の形状とスクリーンマスクの内部状態の双方を3次元測定手段により検出し、その検出結果を対比することにより、印刷不良発生時の原因特定を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図
【図2】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図3】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図
【図4】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のレーザ計測装置の斜視図
【図5】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図
【図6】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の基板とスクリーンマスクの部分斜視図
【図7】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置による補修印刷の説明図
【符号の説明】
1 基板位置決め部
6 基板
10 スクリーンマスク
12 マスクプレート
12a パターン孔
13 スキージヘッド
20 レーザ計測装置
24 ディスペンサ
34 形状検出部
35 基板・マスク判定部
36 印刷判定部
37 補修判定部
Claims (1)
- パターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接させ、このスクリーンマスク上でスキージヘッドを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷し、次いで基板をスクリーンマスクから分離させて版離れを行った後に、3次元測定手段により基板の電極上に印刷された印刷部の形状とマスクプレートのパターン孔の内部状態を検出し、印刷部の形状検出結果とパターン孔の内部状態の検出結果とを対比することにより、印刷不良の発生原因を特定するスクリーン印刷の検査方法であって、
前記印刷部に「欠け」が検出され、前記パターン孔内にこの「欠け」の形状に相当するペーストの残量が検出された場合には、この「欠け」は版離れ工程において発生したものと特定し、
また前記印刷部に「欠け」が検出され、前記パターン孔内にこの「欠け」の形状に相当するペーストの残留が検出されない場合は、この「欠け」はパターン孔内へのペーストの充填不良によって発生したものと特定することを特徴とするスクリーン印刷の検査方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000135697A JP3758463B2 (ja) | 2000-05-09 | 2000-05-09 | スクリーン印刷の検査方法 |
GB0111311A GB2362132B8 (en) | 2000-05-09 | 2001-05-09 | Apparatus and method of screen printing |
US09/851,585 US6715413B2 (en) | 2000-05-09 | 2001-05-09 | Apparatus and method of screen printing |
US10/760,469 US6820545B2 (en) | 2000-05-09 | 2004-01-20 | Apparatus and method of screen printing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000135697A JP3758463B2 (ja) | 2000-05-09 | 2000-05-09 | スクリーン印刷の検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001315310A JP2001315310A (ja) | 2001-11-13 |
JP3758463B2 true JP3758463B2 (ja) | 2006-03-22 |
Family
ID=18643741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000135697A Expired - Fee Related JP3758463B2 (ja) | 2000-05-09 | 2000-05-09 | スクリーン印刷の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3758463B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101226609B1 (ko) | 2011-01-10 | 2013-01-28 | (주)펨트론 | 표면 형상 측정 장치 및 이를 이용한 스크린 프린터 관리 시스템 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE518642C2 (sv) * | 2000-07-11 | 2002-11-05 | Mydata Automation Ab | Förfarande, anordning för att förse ett substrat med visköst medium, anordning för korrigering av applikationsfel samt användningen av utskjutnings- organ för korrigering av appliceringsfel |
SE518640C2 (sv) * | 2000-07-11 | 2002-11-05 | Mydata Automation Ab | Förfarande, anordning för applicering av ett visköst medium på ett substrat, anordning för applicering av ytterligare visköst medium samt användningen av screentryckning |
GB2403003B (en) * | 2003-06-19 | 2006-06-07 | Dek Int Gmbh | Inspection system for and method of inspecting deposits printed on workpieces |
FR2858253A1 (fr) * | 2003-07-30 | 2005-02-04 | Novatec | Procede et dispositif de remplissage par un produit visqueux de zones situees en creux ou interpistes sur un circut imprime |
ITUD20080136A1 (it) * | 2008-06-13 | 2009-12-14 | Baccini S P A | Impianto per la lavorazione di piastre per circuiti elettronici |
US8555783B2 (en) | 2008-11-19 | 2013-10-15 | Illinois Tool Works Inc. | Apparatus for depositing viscous material including transport system with upper and lower tracks |
JP6258699B2 (ja) * | 2013-12-31 | 2018-01-10 | 日本電子精機株式会社 | 印刷版検査方法および装置、およびそれらを使用する方法 |
WO2017085830A1 (ja) * | 2015-11-19 | 2017-05-26 | 富士機械製造株式会社 | 配線形成方法および焼成装置 |
KR20170106859A (ko) * | 2016-03-14 | 2017-09-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 미세패턴전극 |
JP7091010B2 (ja) * | 2020-06-18 | 2022-06-27 | Ckd株式会社 | スクリーンマスク検査装置 |
-
2000
- 2000-05-09 JP JP2000135697A patent/JP3758463B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101226609B1 (ko) | 2011-01-10 | 2013-01-28 | (주)펨트론 | 표면 형상 측정 장치 및 이를 이용한 스크린 프린터 관리 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001315310A (ja) | 2001-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4869776B2 (ja) | 印刷検査装置及び印刷装置 | |
EP0919375B1 (en) | Method for controlling screen printing machine | |
JP3758463B2 (ja) | スクリーン印刷の検査方法 | |
JP6387100B2 (ja) | スクリーン印刷装置 | |
US8860456B2 (en) | Non-destructive tilt data measurement to detect defective bumps | |
CN114430717B (zh) | 焊料膏印刷***以及焊料膏印刷方法 | |
US6775899B1 (en) | Method for inspecting printing state and substrate | |
JP3750484B2 (ja) | スクリーン印刷方法 | |
JP4743172B2 (ja) | 半田検査方法 | |
US6119337A (en) | Method of mounting conductive balls | |
JPH1058649A (ja) | はんだペースト認識方法及びスクリーン印刷機 | |
JP4161884B2 (ja) | 半田検査装置 | |
JP7203300B2 (ja) | 印刷システムおよび印刷方法 | |
JPH09201953A (ja) | クリーム半田印刷機におけるメタルマスクのクリーニング方法 | |
KR20220085725A (ko) | 부품 높이 편차 결정 | |
JPH1086322A (ja) | クリームハンダ印刷検査方法およびその装置 | |
JP2982617B2 (ja) | クリーム半田の印刷量検査方法 | |
JP7198975B2 (ja) | 印刷システムおよび印刷方法 | |
JPH10337843A (ja) | スクリーン印刷方法及びその装置 | |
JP4187332B2 (ja) | スクリーン印刷検査方法およびスクリーン印刷装置 | |
JP7113183B2 (ja) | 印刷結果の表示方法及びスクリーン印刷方法 | |
JP2002029033A (ja) | 印刷検査装置の検査用データの作成方法 | |
JPH05200991A (ja) | スクリーン印刷状態の検査方法 | |
JP2936618B2 (ja) | スクリーン印刷方法および装置 | |
JPH06161372A (ja) | ディスプレイパネル検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050412 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050523 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050630 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051226 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090113 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100113 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110113 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110113 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120113 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130113 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130113 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |