JP3751631B2 - 電子部品の封止方法 - Google Patents
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Description
さらに、封止枠を使用しないポッティング法により形成された樹脂の上面を金属製の切削刃を持つ平削り盤等を用いて切削することによって、封止厚みを制御するという封止方法も行われている。
ポッティング法には、封止枠が必要であるため基板の材料コストが高くなるという欠点がある。また、ディスペンサによる塗布であるため、一度に処理できる枚数が少なく、生産効率が悪いという欠点もある。
請求項3に記載の発明では、請求項1において、炭化珪素製の研磨材により行うことを特徴とする電子部品の封止方法をその要旨としている。
以下、本発明をICカード用の半導体パッケージの製造方法に具体化した一実施例を図1〜図8に基づき詳細に説明する。
図3に示されるように、樹脂印刷工程では、樹脂を印刷するための手段として、一般的なスクリーン印刷機3が使用される。スクリーン印刷機3は、印刷時に電子部品搭載用基板1を固定するためのテーブル4、メタルマスク5及びスキージ6等を備えている。メタルマスク5の所定の箇所(即ち、基板1の電子部品搭載領域Rに対応する箇所)には、複数個の供給口5aが形成されている。各供給口5aは、いずれも封止されるべき電子部品であるICチップ7の投影面積(5mm×5mm=25mm2)よりも大きくなっている。メタルマスク5の厚さは、ICチップ7をワイヤボンディングしたときのワイヤループの高さよりも幾分大きくなるように設定される。この実施例では、メタルマスク5の厚さは500μmに設定されている。ここでは、メタルマスク5の厚さや供給口5aの大きさをあらかじめ設定しておくことにより、樹脂の印刷厚さや印刷範囲が制御されるようになっている。
〔実施例2〕
次に、実施例2の半導体パッケージの製造方法を図1〜図4,図6,図8〜図10に基づき詳細に説明する。
樹脂硬化工程を経た基板1は、上述した平面研削装置30に搬送される。平面研削装置30における平面研削工程では、まず鉄板12を備えたテーブル13の上面に、マグネットシート15を介して基板1が固定される。次に、コンタクトローラ32の高さを調整した後、ベルトコンベア11によってテーブル13を水平方向に往復動させる。すると、基板1がコンタクトローラ32の下側を通過するとき、図9に示されるように、回転する研磨ベルト33が基板1の上面に接触する。その結果、突出部分である封止用樹脂26の上面が研磨材20によって平らに削り取られる。
(1)実施例1の砥石車式の平面研削装置8を乾式として用いたり、実施例2のベルト式の平面研削装置30を湿式として用いてもよい。勿論、これらの実施例において例示した平面研削装置8,30と異なるタイプの平面研削装置を使用することも可能である。即ち、一般的な平面研削装置であれば、平削り盤等といった切削装置よりも高精度に平面研削を行うことができるからである。
(3)実施例1,2の平面研削装置8,30において、ベルトコンベア11以外の駆動手段を使用していもよい。また、ベルトコンベア11等によってテーブル13側を移動させるばかりでなく、砥石車9や研磨ベルト33という研削工具側を移動させてもよい。勿論、研削工具及びテーブル13の双方を移動させてもよい。
(1)テーブル上面の鉄製板材と被加工物との間に配置されるマグネットシートであって、前記被加工物の所定領域の下部と前記鉄製板材の吸引孔とを連通させる連通孔を備えたマグネットシート。このマグネットシートであると、平面研磨装置等の汎用性を向上させることができる。
「電子部品:シリコンやガリウム砒素等からなるICチップやLSIチップなどといった半導体部品をいうほか、例えばチップトランジスタ、チップダイオード、チップ抵抗、チップコンデンサ、チップインダクタ等といったチップ部品もいう。」
Claims (4)
- 基板上に搭載された電子部品が被覆されるように同基板に対して封止用樹脂を印刷し、かつ封止用樹脂を硬化した後、硬化した封止用樹脂の上面を回転する研磨ベルトの表面に固着されている研磨材により研削する電子部品の封止方法。
- 前記研削は、立方晶窒化ほう素CBN製の研磨材により行うことを特徴とする請求項1に記載の電子部品の封止方法。
- 前記研削は、炭化珪素製の研磨材により行うことを特徴とする請求項1に記載の電子部品の封止方法。
- 前記研削は、溶融アルミナ、ガーネット、エメリー、ケイ石、酸化鉄、炭化ジルコニウム、ムライト、窒化チタン、窒化珪素、炭化チタン、ダイヤモンド、炭化ほう素製のいずれか1の研磨材により行うことを特徴とする請求項1に記載の電子部品の封止方法。
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