JP3706558B2 - 半導体装置および半導体モジュール - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置および半導体モジュールに関し、特に半導体素子からの熱を良好に放出でき、且つ半田電極に作用する応力を緩衝する半導体装置および半導体モジュールの構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体装置は携帯機器や小型・高密度実装機器への採用が進み、軽薄短小でしかも放熱性が求められている。しかも半導体装置は、色々な基板に実装され、この基板も含めた半導体モジュールとして、色々な機器に実装されている。基板は、セラミック基板、プリント基板、フレキシブルシート、金属基板またはガラス基板等が考えられ、ここではフレキシブルシートに実装された半導体モジュールとして以下にその一例を述べる。
【0003】
図23に、フレキシブルシートを使った半導体モジュールがハードディスク100に実装されたものを示した。このハードディスク100は、例えば、日経エレクトロニクス 1997年6月16日(No.691)P92〜に詳しく述べられている。
【0004】
このハードディスク100は、金属から成る箱体101に実装されて成り、複数枚の記録ディスク102がスピンドルモータ103に一体で取り付けられ、それぞれの記録ディスク102の表面には、磁気ヘッド104がほんの隙間を介して配置されている。この磁気ヘッド104は、アーム105の先に固定されたサスペンション106の先端に取り付けられている。そして磁気ヘッド104、サスペンション106、アーム105が一体となり、この一体物が、アクチュエータ107に取り付けられている。
【0005】
記録ディスク102は、この磁気ヘッド104を介して書き込み、読み出しを行うため、読み書き増幅用IC108と電気的に接続される必要がある。そのため、フレキシブルシート109にこの読み書き増幅用IC108が実装された半導体モジュール110が用いられ、フレキシブルシート110の上に設けられた配線が最終的には、磁気ヘッド104と電気的に接続される。この半導体モジュール110は、フレキシブル・サーキット・アッセンブリと呼ばれ、一般にFCAと略称される。
【0006】
そして箱体101の裏面には、半導体モジュール110に取り付けられたコネクタ111が顔を出し、このコネクタ(オス型またはメス型)111とメインボード112に取り付けられたコネクタ(メス型またはオス型)が接続される。またこのメインボード112には、配線が設けられ、スピンドルモータ103の駆動用IC、バッファーメモリ、その他駆動のためのIC、例えばASIC等が実装されている。
【0007】
例えば、記録ディスク102は、スピンドルモータ103を介して4500rpmで回転し、磁気ヘッド104は、アクチュエータ107により、その位置が決定される。この回転機構は、箱体101に設けられる蓋体で密閉されるため、どうしても熱がこもり、読み書き増幅用IC108が温度上昇する。それ故、読み書き増幅用IC108は、アクチュエータ107、箱体101等の熱伝導が優れた部分に取り付けられる。またスピンドルモータ103の回転は、5400、7200、10000rpmと高速傾向にあり、この放熱が益々重要となる。
【0008】
前述したFCAを更に説明するため、その構造を図24に示す。図24Aがその平面図であり、図24Bは断面図であり、先端に設けられた読み書き増幅用IC108の部分をA−A線で切ったものである。このFCA110は、折り曲げられて箱体101内の一部に取り付けられるため、折り曲げ加工しやすい平面形状を取った第1のフレキシブルシート109が採用される。
【0009】
このFCA110の左端には、コネクタ111が取り付けられ、第1の接続部となる。このコネクタ111と電気的に接続された第1の配線121が、第1のフレキシブルシート109上に貼り合わされ右端まで延在されている。そして前記第1の配線121が、読み書き増幅用IC108と電気的に接続される。また、磁気ヘッド104と接続される増幅用IC108のリード122は、第2の配線123と接続され、この第2の配線123は、アーム105、サスペンション106の上設けられた第2のフレキシブルシート124上の第3の配線126と電気的に接続される。つまり第1のフレキシブルシート109の右端は、第2の接続部127と成り、ここで第2のフレキシブルシート124と接続される。尚、第1のフレキシブルシート109と第2のフレキシブルシート124は、一体で設けられても良い。この場合、第2の配線123と第3の配線126は、一体で設けられる。
【0010】
また読み書き増幅用IC108が設けられる第1のフレキシブルシート109の裏面には、支持部材128が設けられる。この支持部材128は、セラミック基板、Al基板が用いられる。この支持部材128を介して、箱体101内部に露出する金属と熱的に結合され、読み書き増幅用IC108の熱が外部に放出される。
【0011】
続いて図24Bを参照して、読み書き増幅用IC108と第1のフレキシブルシート109の接続構造を説明する。
【0012】
このフレキシブルシート109は、下層から第1のポリイミドシート130(以下第1のPIシートと呼ぶ。)、第1の接着層131、導電パターン132、第2の接着層133および第2のポリイミドシート134(以下第2のPIシートと呼ぶ)が積層され、第1、第2のPIシート130、134に導電パターン132がサンドウィッチされている。
【0013】
また読み書き増幅用IC108が接続されるために、所望の箇所の第2のPIシート134と第2の接着層133が取り除かれ、開口部135が形成され、そこには導電パターン132が露出される。そして図に示すように、リード122を介して読み書き増幅用IC108が電気的に接続される。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
図24Bに於いて、絶縁性樹脂136でパッケージされた半導体装置は、矢印で示した放熱経路で外部に放出され、特に、絶縁性樹脂136が熱抵抗となり、トータルで見ると読み書き増幅用IC108から発生する熱を効率良く外部に放出できない構造であった。
【0015】
更にハードディスクで説明する。このハードディスクの読み書き転送レートは、500MHz〜1GHz、更にはそれ以上の周波数が求められ、読み書き増幅用IC108の読み書きスピードを高速にしなければならない。そのためには、読み書き増幅用IC108と接続されるフレキシブルシート上の配線の経路を短くし、読み書き増幅用IC108の温度上昇を防止しなければならない。
【0016】
特に記録ディスク102が高速で回転し、しかも箱体101と蓋体で密閉された空間となるため、内部は、70度〜80度程度に温度が上昇する。一方、一般のICの動作許容温度は、約125度であり、読み書き増幅用IC125は、内部温度80度から約45度の温度上昇が許される。しかし図に示すように、半導体装置自身の熱抵抗、FCAの熱抵抗が大きいと、読み書き増幅用IC108は、すぐに動作許容温度を超えてしまい、本来の能力を出し切れない。そのため、放熱性の優れた半導体装置、FCAが求められている。
【0017】
しかも動作周波数が、今後更に高まるため、読み書き増幅用IC108自身も、演算処理により発生する熱で、温度上昇してしまう問題があった。常温では、目的の動作周波数を実現できるにもかかわらず、ハードディスクの内部では、その温度上昇のために、動作周波数を低下させなければならなかった。
【0018】
以上、今後の動作周波数の増加に伴い、半導体装置、半導体モジュール(FCA)は、より放熱性が求められていた。
【0019】
一方、アクチュエータ107自身、またこれに取り付けられるアーム105、サスペンション106および磁気ヘッド104は、慣性モーメントを少なくするために、出来るだけ軽くしなければならない。特に、図17に示すように、読み書き増幅用IC108をアクチュエータ107の表面に実装される場合、このIC108の軽量化、FCA110の軽量化も求められていた。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述した課題に鑑みて成され、第1に、半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと前記半導体素子の表面に位置する放熱用の電極が露出した半導体装置であり、
前記放熱用の電極の露出部に、前記パッドの裏面よりも突出するように金属板が設けられることで解決するものである。
【0021】
この突出された金属板が、第1の支持部材であるフレキシブルシート裏面と面位置に成るため、筐体の内部、特に平面を有する部分、放熱板等に金属板が接着または当接できる構造となる。よって、半導体素子の熱を放熱板に伝えることができる。
【0022】
第2に、前記パッドの裏面と前記放熱用の電極の裏面は、実質同一平面に配置されることで解決するものである。
【0023】
第3に、前記半導体素子と前記放熱用の電極は、絶縁材料で固着されることで解決するものである。
【0024】
第4に、前記放熱用の電極と前記金属板は、絶縁材料または導電材料で固着されることで解決するものである。
【0025】
第5に、前記放熱用の電極と前記金属板は、同一材料で一体で形成されることで解決するものである。
【0026】
第6に、前記パッドの裏面よりも前記絶縁性樹脂の裏面が突出することで解決するものである。
【0027】
第7に、前記パッドの側面と前記パッドの側面から延在される前記絶縁性樹脂の裏面は、同一曲面を描くことで解決するものである。
【0028】
第8に、導電パターンが設けられた第1の支持部材と、
前記導電パターンと電気的に接続される半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと前記半導体素子の表面に位置する放熱用の電極が露出した半導体装置とを有する半導体モジュールであり
前記第1の支持部材の上に設けられた導電パターンと前記パッドが電気的に接続され、前記放熱用の電極に対応する前記第1の支持部材には、開口部が設けられ、前記開口部には、前記放熱用の電極と固着された金属板が設けられることで解決するものである。
【0029】
第9に、前記第1の支持部材の裏面には、前記金属板が固着された第2の支持部材が貼着されることで解決するものである。
【0030】
第10に、前記放熱用の電極と前記金属板は、同一材料で一体で形成されることで解決するものである。
【0031】
第11に、前記金属板に対応する前記第2の支持部材には、導電材料から成る固着板が設けられ、前記固着板と前記金属板が熱的に結合されることで解決するものである。
【0032】
第12に、前記金属板は、Cuを主材料とし、前記第2の支持部材は、Alを主材料とし、前記固着板は、前記第2の支持部材に形成されたCuを主材料とするメッキ膜から成ることで解決するものである。
【0033】
第13に、前記パッドの裏面よりも前記絶縁性樹脂の裏面が突出することで解決するものである。
【0034】
第14に、前記パッドの側面と前記パッドの側面から延在される前記絶縁性樹脂の裏面は、同一曲面を描くことで解決するものである。
【0035】
第15に、前記半導体素子は、ハードディスクの読み書き増幅用ICであることで解決するものである。
【0036】
第16に、半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと、前記パッドと一体の配線を介して延在された外部接続電極と、前記半導体素子の表面に配置された放熱用の電極が露出した半導体装置であり、
前記放熱用の電極の露出部に、前記外部接続電極の裏面よりも突出するように金属板が設けられることで解決するものである。
【0037】
第17に、前記外部接続電極の裏面と前記放熱用の電極の裏面は、実質同一平面に配置されることで解決するものである。
【0038】
第18に、前記半導体素子と前記放熱用の電極は、絶縁材料で固着されることで解決するものである。
【0039】
第19に、前記放熱用の電極と前記金属板は、絶縁材料または導電材料で固着されることで解決するものである。
【0040】
第20に、前記放熱用の電極と前記金属板は、同一材料で一体で形成されることで解決するものである。
【0041】
第21に、前記外部接続電極の裏面よりも前記絶縁性樹脂の裏面が突出することで解決するものである。
【0042】
第22に、前記外部接続電極の側面と前記外部接続電極の側面から延在される前記絶縁材料の裏面は、同一曲面を描くことで解決するものである。
【0043】
第23に、導電パターンが設けられた第1の支持部材と、
前記導電パターンと電気的に接続される半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと、前記パッドと一体の配線を介して設けられた外部接続電極と、前記半導体素子の表面に位置する放熱用の電極が露出した半導体装置とを有する半導体モジュールであり、
前記第1の支持部材の上に設けられた導電パターンと前記外部接続電極が電気的に接続され、前記放熱用の電極に対応する前記第1の支持部材には、開口部が設けられ、前記開口部には、前記放熱用の電極と固着された金属板が設けられることで解決するものである。
【0044】
第24に、前記第1の支持部材の裏面には、前記金属板が固着された第2の支持部材が貼着されることで解決するものである。
【0045】
第25に、前記放熱用の電極と前記金属板は、同一材料で一体で形成されることで解決するものである。
【0046】
第26に、前記金属板に対応する前記第2の支持部材には、導電材料から成る固着板が設けられ、前記固着板と前記金属板が熱的に結合されることで解決するものである。
【0047】
第27に、前記金属板は、Cuを主材料とし、前記第2の支持部材は、Alを主材料とし、前記固着板は、前記第2の支持部材に形成されたCuを主材料とするメッキ膜から成ることで解決するものである。
【0048】
第28に、前記外部接続電極の裏面よりも前記絶縁性接着手段の裏面が突出することで解決するものである。
【0049】
第29に、前記外部接続電極の側面と前記前記外部接続電極と接着された絶縁性接着手段の裏面は、同一曲面を描くことで解決するものである。
【0050】
第30に、前記半導体素子は、ハードディスクの読み書き増幅用ICであることで解決するものである。
【0051】
第31に、本発明の半導体装置は、半導体素子のボンディング電極と対応して設けられたボンディングパッドと、前記ボンディングパッドの裏面に設けられた外部接続電極と、前記半導体素子の配置領域に設けられたパッドと、前記パッドの裏面に設けられた応力緩衝用の外部接続電極と、前記パッド上に設けられた接着手段と、前記接着手段に固着され、前記ボンディングパッドと電気的に接続された前記半導体素子と、前記パッドの裏面、前記外部接続電極の裏面および前記接着手段の裏面を露出して一体化するように前記半導体素子を封止する絶縁性樹脂とを有し、
前記応力緩衝用の外部接続電極は、前記外部接続電極より充分に大きく形成され、前記絶縁性樹脂の熱膨張による応力が、前記外部接続電極に緩衝して伝わることで解決するものである。
【0052】
第32に、前記パッドおよび前記応力緩衝用の外部接続電極は、4つに分割されることで解決するものである。
【0053】
第33に、本発明の半導体装置は、半導体素子のボンディング電極と対応して設けられたボンディングパッドと、前記ボンディングパッドの裏面に設けられた外部接続電極と、前記半導体素子の配置領域に設けられたパッドと、前記パッド上に設けられた接着手段と、前記接着手段に固着され、前記ボンディングパッドと電気的に接続された前記半導体素子と、前記パッドの裏面、前記外部接続電極の裏面および前記接着手段の裏面を露出して一体化するように前記半導体素子を封止する絶縁性樹脂とを有し、
前記外部接続電極は細長に形成されることで解決するものである。
【0054】
第34に、本発明の半導体装置は、半導体素子のボンディング電極と対応して設けられたボンディングパッドと、前記ボンディングパッドの裏面に設けられた外部接続電極と、前記半導体素子の配置領域に設けられたパッドと、前記パッド上に設けられた接着手段と、前記接着手段に固着され、前記ボンディングパッドと電気的に接続された前記半導体素子と、前記パッドの裏面、前記外部接続電極の裏面および前記接着手段の裏面を露出して一体化するように前記半導体素子を封止する絶縁性樹脂とを有し、
前記外部接続電極の側面が同一の曲面を有することで解決するものである。
【0055】
第35に、前記外部接続電極は半田電極であることで解決するものである。
【0056】
【発明の実施の形態】
本発明は、高放熱性で且つ軽薄短小の半導体装置を提供すると同時に、この半導体装置を実装した半導体モジュール、例えばフレキシブルシートに実装された半導体モジュール(以下FCAと呼ぶ)を提供し、このFCAが実装された機器、例えばハードディスクの特性改善を実現するものである。
【0057】
また、本発明は、半導体装置の中央部に応力緩衝用の電極を設け、更に外部接続電極をくびれの無い形状にすることによって、外部接続電極にクラックが発生するのを防止するものである。
【0058】
まずFCAが実装される機器の一例として、ハードディスク100を図17で参照し、FCAを、図1に示す。またこのFCAに実装される半導体装置、またはその製造方法を図2〜図16に示す。
FCAが実装される機器を説明する第1の実施の形態
この機器として、従来の技術の欄で説明した図17のハードディスク100を再度説明する。
【0059】
ハードディスク100は、コンピュータ等に実装されるため、必要によってメインボード112に実装される。このメインボード112は、メス型(またはオス型)のコネクタが実装される。そしてFCAに実装され、箱体101の裏面から露出したオス型(またはメス型)のコネクタ111と前記メインボード112上のコネクタが接続される。また箱体101の中には、記録媒体である記録ディスク102がその容量に従い複数枚積層されている。磁気ヘッド104は、20〜30nm前後で記録ディスク102の上を浮上し、走査されるため、記録ディスク102間の間隔は、この走査に問題が発生しない間隔に設定される。そしてこの間隔でスピンドルモータ103に取り付けられる。尚、このスピンドルモータ103は、実装用基板に取り付けられ、実装基板の裏面に配置されたコネクタが箱体101の裏面から顔を出している。そしてこのコネクタもメインボード112のコネクタと接続される。よってメインボード112には、磁気ヘッド104の読み書き増幅用IC108を駆動するIC、スピンドルモータ103を駆動するIC、アクチュエータを駆動するIC、データを一時保管するバッファーメモリ、メーカー独自の駆動を実現するASIC等が実装される。当然、その他の受動素子、能動素子が実装されても良い。
【0060】
そして磁気ヘッド104と読み書き増幅用IC108とをつなぐ配線ができる限り短くなるように考慮され、読み書き増幅用IC108は、アクチュエータ107に配置される。しかしこれから説明する本発明の半導体装置は、非常に薄型で且つ軽量であるので、アクチュエータ以外にも、アーム105やサスペンション106の上に実装されても良い。この場合、図1Bに示すように、半導体装置10の裏面が第1の支持部材11の開口部12から露出されるので、半導体装置10の裏面がアーム105またはサスペンション106と熱的に結合され、半導体装置10の熱がアーム105、箱体101を介して外部に放出される。
【0061】
図17の様に、アクチュエータ107に実装される場合、読み書き増幅用IC108は、複数の磁気センサが読み書き出来るように、各チャンネル毎の読み書き用の回路が1チップで形成されている。しかし、このサスペンション106毎に取り付けられた磁気ヘッド104専用の読み書き用回路がそれぞれのサスペンションに実装されていればよい。この様にすれば、磁気ヘッド104と読み書き増幅用IC108との配線距離を図18の構造よりも遙かに短くでき、その分インピーダンスの低下が実現でき、読み書き速度の向上が可能となる。
半導体装置を説明する第2の実施の形態
まず本発明の半導体装置について図2を参照しながら説明する。尚、図2Aは、半導体装置の平面図であり、図2Bは、A−A線の断面図である。
【0062】
図2には、絶縁性樹脂13に以下の構成要素が埋め込まれている。つまりパッド14…と、このパッド14に囲まれた領域に設けられた放熱用の電極15と、この放熱用の電極15の上に設けられた半導体素子16が埋め込まれている。尚、半導体素子16は、フェイスダウンで実装され、絶縁性接着手段17を介して前記放熱用の電極15と固着され、接着性が考慮されて4分割されている。この4分割により形成される分離溝が符号18Aで示されている。また半導体素子16と放熱用の電極15の隙間が狭く、絶縁性接着手段17が浸入しにくい場合は、18Bのように、その表面に、前記分離溝18Aよりも浅い溝を放熱用の電極15の表面に形成しても良い。
【0063】
また半導体素子16のボンディング電極19とパッド14は、半田等のロウ材を介して電気的に接続されている。尚、半田の代わりにAuのスタッドバンプを使用しても良い。
【0064】
尚、この接続方法は、他にもある。例えば、半導体素子のボンディング電極19にバンプを付け、このバンプを超音波や圧接により接続しても良い。また、圧接されたバンプの周囲に、半田、導電ペースト、異方性導電性粒子を設けても良い。これらの構造は、発明の実施の形態の欄の最後に、図16を使って詳述する。
【0065】
またパッド14の裏面は、絶縁性樹脂13から露出し、そのまま外部接続電極21となり、パッド14…の側面は、非異方性でエッチングされ、ここではウェットエッチンクで形成されるため湾曲構造を有し、この湾曲構造によりアンカー効果を発生している。
【0066】
本構造は、半導体素子16と、複数の導電パターン14、放熱用の電極15と、絶縁性接着手段17、これらを埋め込む絶縁性樹脂13の5つの材料で構成される。また半導体素子16の配置領域に於いて、放熱用の電極15の上、パッド14の上およびその間には、前記絶縁性接着手段17が形成され、特にエッチングにより形成された分離溝18に前記絶縁性接着手段17が設けられ、絶縁性接着手段の裏面が半導体装置10Aの裏面から露出されている。またこれらを含む全てが絶縁性樹脂13で封止されている。そして絶縁性樹脂13、絶縁性接着手段17により前記パッド14…、放熱用の電極15、半導体素子16が支持されている。
【0067】
絶縁性接着手段17としては、絶縁材料から成る接着剤、またはアンダーフィル材が好ましい。接着剤の場合は、予め半導体素子16の表面に塗布し、半田20の代わりにAuバンプを用いパッド14を接続する際に固着すればよい。またアンダーフィル材17は、半田20(またはバンプ)とパッド14を接続した後、その隙間へ浸透させればよい。
【0068】
絶縁性樹脂としては、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド等の熱可塑性樹脂を用いることができる。
【0069】
また絶縁性樹脂13は、金型を用いて固める樹脂、ディップ、塗布して被覆できる樹脂であれば、全ての樹脂が採用できる。また導電パターン14としては、Cuを主材料とした導電箔、Alを主材料とした導電箔、またはFe−Ni合金、Al−Cuの積層体、Al−Cu−Alの積層体等を用いることができる。もちろん、他の導電材料でも可能であり、特にエッチングできる導電材、レーザで蒸発する導電材が好ましい。またハーフエッチング性、メッキの形成性、熱応力を考慮すると圧延で形成されたCuを主材料とする導電材料が好ましい。
【0070】
本発明では、絶縁性樹脂13および絶縁性接着手段17が前記分離溝18にも充填されているために、導電パターンの抜けを防止できる特徴を有する。またエッチングとしてドライエッチング、あるいはウェットエッチングを採用して非異方性的なエッチングを施すことにより、パッド14…の側面を湾曲構造とし、アンカー効果を発生させることもできる。その結果、パッド14、放熱用の電極15が絶縁性樹脂13から抜けない構造を実現できる。
【0071】
しかも放熱用の電極15の裏面は、パッケージの裏面に露出している。よって、放熱用の電極15の裏面は、後ほど説明する金属板23、第2の支持部材24または第2の支持部材24に形成された固着板25と当接または固着できる構造となる。よってこの構造により、半導体素子16から発生する熱を放熱でき、半導体素子16の温度上昇を防止でき、その分半導体素子16の駆動電流や駆動周波数を増大させることができる。
【0072】
本半導体装置10Aは、パッド14、放熱用の電極15を封止樹脂である絶縁性樹脂13で支持しているため、支持基板が不要となる。この構成は、本発明の特徴である。従来の半導体装置の導電路は、支持基板(フレキシブルシート、プリント基板またはセラミック基板)で支持されていたり、リードフレームで支持されているため、本来不要にしても良い構成が付加されている。しかし、本回路装置は、必要最小限の構成要素で構成され、支持基板を不要としているため、薄型・軽量となり、しかも材料費が抑制できるために安価となる特徴を有する。よって、第1の実施の形態でも説明したように、ハードディスクのアームやサスペンションにも実装可能となる。
【0073】
また、パッケージの裏面は、パッド14、放熱用の電極15が露出している。この領域に例えば半田等のロウ材を被覆すると、放熱用の電極15の方が面積が広いため、ロウ材の膜厚が異なって濡れる。そのため、半導体装置10Aの裏面に絶縁被膜26を形成し、ロウ材の膜厚を均一にしている。図2Aで示した点線27は、絶縁被膜26から露出した露出部を示し、ここでは、パッド14の裏面が矩形で露出されているため、これと同一サイズが絶縁被膜26から露出されている。
【0074】
よってロウ材の濡れる部分が実質同一サイズであるため、ここに形成されたロウ材の厚みは実質同一になる。これは、半田印刷後、リフロー後でも同様である。またAg、Au、Ag−Pd等の導電ペーストでも同様のことが言える。この構造により、金属板23の裏面がパッド14の裏面よりもどれだけ突出するか精度良く計算できる。
【0075】
また金属板23と導電パターン32を同一面で設定しておけば、パッド14と放熱用の電極15の両方を一度に半田付けできる。 また放熱用の電極15の露出部27は、半導体素子の放熱性が考慮され、パッド14の露出サイズよりも大きく形成されても良い。
【0076】
また絶縁被膜26を設けることにより、第1の支持部材11に設けられる導電パターンを本半導体装置10Aの裏面に延在させることができる。一般に、第1の支持部材11側に設けられた配線は、短絡を防止するために、前記半導体装置10Aの固着領域を迂回して配置されるが、前記絶縁被膜26の形成により導電パターンを迂回せずに配置できる。しかも絶縁性樹脂13、絶縁性接着手段17が導電パターンよりも飛び出しているため、半導体装置10A裏面に設けられた半田SDは、それぞれ短絡することがない。
半導体装置10Bを説明する第3の実施の形態
図3に本半導体装置10Bを示す。図3Aは、その平面図であり、図3Bは、A−A線に於ける断面図である。尚、図2の構造と類似しているため、ここでは異なった部分のみを説明する。
【0077】
図2では、パッド14の裏面がそのまま外部接続電極21として機能したが、本実施の形態では、パッド14には、一体で形成された配線30、配線30と一体で形成された外部接続電極31が形成されている。
【0078】
尚、点線で示す矩形が半導体素子16であり、半導体素子16の裏面に前記外部接続電極31が配置され、外部接続電極31は、図のようにリング状に配置される。この配置は、公知のBGAと同一または類似の構造となる。
【0079】
また半導体素子16をそのまま導電パターン14、30、31および放熱用の電極15上に配置すると、両者は半導体素子16の裏面を介して短絡する可能性がある。よって絶縁性接着手段17は、絶縁材料のみを採用すべきであり、導電材料は使用できない。
【0080】
また第1の支持部材11の導電パターン32は、外部接続電極31と接続され、パッド14の裏面、配線30の裏面は、絶縁被膜26で被覆される。外部接続電極31に点線で示した丸印、放熱用の電極15に示した点線の○印は、絶縁被膜26から露出する部分である。
【0081】
更に放熱用の電極15は、外部接続電極31が半導体素子16の裏面に延在されるため、その分、図2の放熱用の電極15よりも小さく形成される。また絶縁性接着手段17は、放熱用の電極15、外部接続電極31および配線30を覆う。そして絶縁性樹脂13は、パッド14、配線30、半導体素子16、金属細線20を被覆する。
【0082】
本実施の形態は、パッド14の数が非常に多く、そのサイズが小さくなる場合、配線を介して外部接続電極として再配置でき、外部接続電極31のサイズを大きくできるメリットを有する。また配線を設けることで、ボンディング部に加わる歪みを緩和することが出来る。とくに波状に形成すると良い。また半導体素子16と放熱用の電極15は、絶縁性接着手段17で固着され、絶縁材であるため、その熱抵抗が問題となる。しかしSi酸化物や酸化アルミニウム等の熱伝導に寄与するフィラーを混入したシリコーン樹脂で絶縁性接着手段を構成すれば、半導体素子16の熱を放熱用の電極15に良好に伝えることが出来る。
【0083】
また放熱用の電極15と半導体素子16の裏面の間隔は、前記フィラーの径を統一させることで均一に形成できる。よって熱伝導を考慮した微小の隙間を形成する場合、絶縁性接着手段が軟化状態の時に半導体素子16を軽く押圧し、そのまま硬化する事で、その隙間を形成することができる。
半導体装置10A、10Bの製造方法を説明する第4の実施の形態
本製造方法は、パッド14、放熱用の電極15で構成されるパターンか、またこれに配線30、外部接続電極31が追加されたパターンかで異なるだけである。いずれにしてもハーフエッチングにより凸状に形成されるので、このパターン形状以外は、実質同じである。
【0084】
ここでは、図3の半導体装置10Bを使ってその製造方法を説明する。尚、図4から図9は、図3AのA−A線に対応する断面図である。
【0085】
まず図4の様に導電箔40を用意する。厚さは、10μm〜300μm程度が好ましく、ここでは70μmの圧延銅箔を採用した。続いてこの導電箔40の表面に、耐エッチングマスクとして導電被膜41またはホトレジストを形成する。尚、このパターンは、図3Aのパッド14…、配線30…、外部接続電極31…、放熱用の電極15と同一パターンである。また導電被膜41の代わりにホトレジストを採用する場合、ホトレジストの下層には、少なくともパッドに対応する部分にAu、Ag、PdまたはNi等の導電被膜が形成される。これは、ボンディングを可能とするために設けられるものである。(以上図4を参照)
続いて、前記導電被膜41またはホトレジストを介して導電箔40をハーフエッチングする。エッチング深さは、導電箔40の厚みよりも浅ければよい。尚、エッチングの深さが浅ければ浅いほど、微細パターンの形成が可能である。
【0086】
そしてハーフエッチングすることにより、導電パターン14、30、31、放熱用の電極15が導電箔40の表面に凸状に現れる。尚、導電箔40は、前述したように、ここでは圧延で形成されたCuを主材料とするCu箔を採用した。しかしAlから成る導電箔、Fe−Ni合金から成る導電箔、Cu−Alの積層体、Al−Cu−Alの積層体でも良い。特に、Al−Cu−AlまたはCu−Al−Cuの積層体は、熱膨張係数の差により発生する反りを防止できる。
【0087】
そして図3の矩形の点線で対応する部分に、絶縁性接着手段17を設ける。この絶縁性接着手段17は、放熱用の電極15と外部接続電極31の分離溝22、放熱用の電極15と配線30の間の分離溝、配線30間の分離溝およびこれらの上に設けられる。また符号DMは、ここに固着される半田SD1の流れ防止膜である。この流れ防止膜DMを設けないと、半導体素子16が斜めにつき、半導体素子と導電箔の間に絶縁性接着手段17が注入できなかったり、洗浄が出来なかったりする。(以上図5を参照)
続いて絶縁性接着手段17が設けられた領域に半導体素子16を固着し、半導体素子16のボンディング電極19とパッド14を電気的に接続する。図面では、半導体素子16がフェィスダウンで実装されるため、接続手段として半田SD1が採用される。
【0088】
このボンデイングに於いて、パッド14…は導電箔40と一体であり、しかも導電箔40の裏面は、フラットであるため、ボンディングマシーンのテーブルに面で当接される。従って導電箔40がボンディングテーブルに完全に固定されれば、全てのパッド14…と半導体素子16に形成された半田ボールが全て当接され、半田不良もなく固着できる。またボンディングテーブルの固定は、例えばテーブル全面に複数の真空吸引孔を設けることで可能となる。尚、接続方法は、他にもあり、この構造については、最後に、図16を参照しながら説明する。
【0089】
また、支持基板を採用するしない点、金属細線の代わりに半田ボールを使う点により、半導体素子16の高さは、その分低く配置される。よって後述するパッケージ外形の厚さを薄くすることが出来る。
【0090】
また絶縁性接着手段17としてアンダーフィルを使う場合は、半導体素子16とパッド14を固着し、この後でアンダーフィルを浸透させる。(以上図6を参照)
そして半導体素子16を含む全領域に絶縁性樹脂13が形成される。絶縁性樹脂としては、熱可塑性、熱硬化性のどちらでも良い。
【0091】
また、トランスファーモールド、インジェクションモールド、ディッピングまたは塗布により実現できる。樹脂材料としては、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂がトランスファーモールドで実現でき、液晶ポリマー、ポリフェニレンサルファイド等の熱可塑性樹脂はインジェクションモールドで実現できる。
【0092】
本実施の形態では、絶縁性樹脂の厚さは、半導体素子の裏面から上に約100μmが被覆されるように調整されている。この厚みは、半導体装置の強度を考慮して厚くすることも、薄くすることも可能である。また図14Bの様に、半導体素子16の裏面を露出させても良い。この場合、放熱フィンを取り付けたり、直接半導体素子の熱を外部に放出できる。
【0093】
尚、樹脂注入に於いて、パッド14、配線30、外部接続電極31および放熱用の電極15は、シート状の導電箔40と一体で成るため、導電箔40のずれが無い限り、これら銅箔パターンの位置ずれは全くない。しかもリードフレームと異なり、これらの導電パターンの間からは、全く樹脂バリを発生しない。
【0094】
以上、絶縁性樹脂13には、凸部として形成されたパッド14、配線30、外部接続電極31、放熱用の電極15、半導体素子16が埋め込まれ、凸部よりも下方の導電箔40が裏面から露出されている。(以上図7を参照)
続いて、前記絶縁性樹脂13の裏面に露出している導電箔40を取り除き、パッド14、配線30、外部接続電極31、放熱用の電極15を個々に分離する。
【0095】
ここの分離工程は、色々な方法が考えられ、裏面をエッチングにより取り除いて分離しても良いし、研磨や研削で削り込んでも分離しても良い。また、両方を採用しても良い。例えば、絶縁性樹脂13が露出するまで削り込んでいくと、導電箔40の削りカスや外側に薄くのばされたバリ状の金属が、絶縁性樹脂13や絶縁性接着手段17に食い込んでしまう問題がある。そのため、エッチングにより分離すれば、Cuのパターンの間に位置する絶縁性樹脂13や絶縁性接着手段17の表面に、導電箔40の金属が食い込むこと無く形成できる。これにより、微細間隔のパターン同士の短絡を防止することができる。
【0096】
また半導体装置10Bと成る1ユニットが複数一体で形成されている場合は、この分離の工程の後に、ダイシング工程が追加される。
【0097】
ここではダイシング装置を採用して個々に分離しているが、チョコレートブレークでも、プレスやカットでも可能である。
【0098】
ここでは、Cuのパターンを分離した後、分離され裏面に露出したパターン14、30、31、15に絶縁被膜26を形成し、図3Aの点線の丸で示した部分が露出されるように絶縁被膜26がパターニングされる。そしてこの後、矢印で示す部分でダイシングされ半導体装置10Bとして切り出される。
【0099】
尚、半田42は、ダイシングされる前、またはダイシングされた後に形成されても良い。
【0100】
以上の製造方法によりパッド、配線、外部接続電極、放熱用の電極、半導体素子が絶縁性樹脂に埋め込まれ、軽薄短小で且つ放熱性の優れたパッケージが実現できる。
【0101】
尚、図9に示すように、絶縁性樹脂13を用いず、絶縁性接着手段17を使って封止しても良い。また図10に示すパターンPTNは、バッド、配線、外部接続電極を示し、この上にハッチングで示した部分は、半田流れ防止膜の形成パターンを示すものである。半田の流れを防止すると同時に、他の領域にも被着させ、絶縁性接着手段の密着性を向上させているものである。タイプとしてA〜Eまで示したが、これ以外のパターンを採用しても良い。また半田の接続部を除いて導電箔全域に流れ防止膜を形成しても良い。
次に、以上の製造方法により発生する効果を説明する。
【0102】
まず第1に、導電パターンは、ハーフエッチングされ、導電箔と一体となって支持されているため、従来支持用に用いた基板を無くすことができる。
【0103】
第2に、導電箔には、ハーフエッチングされて凸部となった導電パターンが形成されるため、この導電パターンの微細化が可能となる。従って幅、間隔を狭くすることができ、より平面サイズの小さいパッケージが形成できる。
【0104】
第3に、導電パターン、半導体素子、接続手段および封止材で構成されるため、必要最小限で構成でき、極力無駄な材料を無くすことができ、コストを大幅に抑えた軽薄短小の半導体装置が実現できる。
【0105】
第4に、パッド、配線、外部接続電極、放熱用の電極は、ハーフエッチングで凸部と成って形成され、個別分離は封止の後に行われるため、タイバー、吊りリードは不要となる。よって、タイバー(吊りリード)の形成、タイバー(吊りリード)のカットは、本発明では全く不要となる。
【0106】
第5に、凸部となった導電パターンが絶縁性樹脂に埋め込まれた後、絶縁性樹脂の裏面から導電箔を取り除いて、導電パターンを分離しているため、従来のリードフレームのように、リードとリードの間に発生する樹脂バリを無くすことができる。
【0107】
第6に、半導体素子は、絶縁性接着手段を介して放熱用の電極と固着され、この放熱用の電極が裏面から露出するので、本半導体装置から発生する熱を、本半導体装置の表面から放熱用の電極へ効率よく放出することができる。更には、絶縁性接着手段にSi酸化膜や酸化アルミニウム等のフィラーが混入されることで更にその放熱性を向上させることができる。またフィラーサイズを統一すれば、半導体素子16と導電パターンとの隙間を一定に保つことが出来る。
【0108】
金属板23が固定された半導体装置10A、10B、およびこれを用いた半導体モジュールを説明する第5の実施の形態
図1にこの半導体モジュール(FCA)50を示す。尚、実装された半導体装置は、図3に示す半導体装置10Bである。
【0109】
まずフレキシブルシートから成る第1の支持部材11について説明する。ここでは、下層から第1のPIシート51、第1の接着層52、導電パターン53、第2の接着層54および第2のPIシート55が順に積層されている。尚、導電パターンを多層にする場合、接着層が更に使用され、上と下の導電パターンはスルーホールを介して電気的に接続される場合もある。そしてこの第1の支持部材11には、図1Cに示すように、少なくとも金属板23が露出できるだけの第1の開口部12が形成される。
【0110】
そして導電パターンが露出されるように、第2の開口部56が形成される。この第2の開口部56に対応する導電パターン32が全て露出されても良いし、接続される部分だけを露出して良い。例えば、第2のPIシート55、第2の接着層54を全て取り除いても良いし、また図に示すように、第2のPIシート55は、全て除き、第2の接着層54だけ露出する部分を取り除いても良い。このようにすれば、半田27が流れずにすむ。
【0111】
本発明の半導体装置は、放熱用の電極15の裏面に金属板23を貼り合わせることにある。また本発明の半導体モジュールは、第1の支持部材の裏面と金属板23がほぼ面位置と成ることにある。
【0112】
金属板23は、第1の支持部材11と固着板25の厚みが考慮されてその厚みが決定される。そして、パッド14と導電パターン32が半田27を介して固着された時、第1の開口部12から露出する金属板23が第1の支持部材11の裏面と実質同一面をなす様にそれぞれの厚みが決定されている。よって第2の支持部材と当接させることも可能となり、更には固着板25のある第2の支持部材と当接固着することも可能となる。
【0113】
この接続構造を具体的に何例か説明する。
【0114】
第1の例は、第2の支持部材24として、Al、ステンレス等の軽量金属板またはセラミック基板を採用し、この上に半導体装置10の裏面に固着された前記金属板23を当接させる構造である。つまり固着板25を介さず直接第2の支持部材24に当接させる構造である。そして放熱用の電極15と金属板23、金属板23と第2の支持部材24は、半田等のロウ材、またはフィラー入りの熱伝導性の優れた絶縁性接着手段が選択されて固着される。
【0115】
第2の例は、第2の支持部材24として、Al、ステンレス等の軽量金属板またはセラミック基板を採用し、この上に固着板25を形成し、この固着板25と金属板23を固着する構造である。
【0116】
例えばAlを第2の支持部材24として採用する場合、固着板25は、Cuが好ましい。これはAlの上にCuメッキが可能であるからである。膜厚は、〜10μm程度で良い。しかもメッキ膜であるため、第2の支持部材24上に密着して形成でき、固着板25と第2の支持部材24の間の熱抵抗は非常に小さくできる。また固着板25として導電ペーストを塗布し、その代用としても良い。
【0117】
一方、Cuの固着板25とAl基板は、接着剤を介して固着することも可能であるが、この場合、熱抵抗が大きくなる。
【0118】
また第2の支持部材24としてセラミック基板を採用する場合、固着板25は、導電ペーストの印刷焼成で形成された電極の上に形成される。
【0119】
尚、第2の支持部材24と第1の支持部材11は、第3の接着層57で固着される。
【0120】
例えば、
第1のPIシート51:25μm
第2のPIシート55:25μm
第1〜第3の接着層52、54、57:25μm(焼成後)
材料としてアクリル系の接着剤を採用
半田27:50μm
また第3の接着層57:25μm
材料としてアクリル系の接着剤を採用
固着板25:約25μmとする。
このように、それぞれの膜厚を調整して決定すれば、第1の支持部材11に半導体装置10Aを固着した後、簡単に固着板25が設け競れた第2の支持部材24を貼り合わせることが出来る。
【0121】
また第2の支持部材24が第1の支持部材11に貼り合わされたモジュールを用意し、このモジュールに形成されている開口部56に半導体装置10を配置し、その後半田溶融すれば、一度に半田溶融でき、しかも接続不良無く固着できる。
【0122】
従って、半導体素子16から発生する熱は、放熱用の電極15、金属板23、固着板25を介して第2の支持部材24へ放出することが出来る。しかも従来の構造(図17B)と比べ大幅に熱抵抗が小さくなるため、半導体素子16の駆動電流、駆動周波数を高めることが出来る。またこの第2の支持部材24の裏面を、図17に示すアクチュエータ107、箱体101の底面またはアーム105にも取り付け可能である。よって最終的には、この箱体101を介して半導体素子の熱を外部に放出することが可能となる。従ってハードディスク100に半導体モジュールが実装されても、半導体素子自身は、比較的高温に成らず、ハードディスク100としての読み書き速度を更にアップすることが可能となる。尚、このFCAは、ハードディスク以外の機器に実装されても良い。この場合、第2の支持部材は、熱抵抗の小さい部材に当接される。また他の機器に実装される場合、フレキシブルシートの代わりにプリント基板やセラミック基板を採用しても良い。
金属板23の代わりに放熱用の電極15を飛び出させた半導体装置10Cおよびその半導体モジュール50Aを説明する第6の実施の形態
図11に放熱用の電極15Aがパッド14の裏面よりも突出し、あたかも放熱用の電極15と固着板25が一体になった構造を示す。
【0123】
まず、この製造方法を図12〜図14で説明する。尚、図4〜図8までは同一の製造方法であるため、ここまでの説明は、省略する。
【0124】
図12は、導電箔40の上に絶縁性樹脂13が被覆された状態を示し、放熱用の電極15に対応する部分にホトレジストPRを被覆している。このホトレジストPRを介して導電箔40をエッチングすれば、図13に示すように、放熱用の電極15Aは、パッド14の裏面よりも突出した構造にできる。尚、ホトレジストPRの代わりに、Ag、Au等の導電被膜を選択的に形成し、これをマスクとしても良い。この被膜は、酸化防止膜としても機能する。
【0125】
図1に示す様な金属板23を貼り合わせる構造では、金属板23が125μm前後と非常に薄いため、作業性が非常に悪い。しかし、この様に、エッチングにより突出された放熱用の電極15Aを形成すると、前述した金属板23の張り合わせが不要となる。
【0126】
そして図14に示す如く、パッド14、配線30、外部接続電極31が完全に分離された後、絶縁被膜26が被覆され、半田が配置される部分が露出される。そして半田42が固着された後、矢印で示す部分でダイシングされる。
【0127】
そしてここに分離された半導体装置は、図11の如く、第1の支持部材11に実装される。そして前にも述べたように、第2の支持部材24が固着される。この時、放熱用の電極15Aが突出しているので、固着板25とも簡単に半田等を介して接合できる。
【0128】
尚、図14Bは、絶縁性樹脂から半導体素子16の裏面を露出させたものである。例えば上金型に半導体素子の裏面が当接されてモールドすれば、図のような封止構造が実現できる。
半導体装置を説明する第7の実施の形態
図15Aは、本発明による半導体装置の平面図であり、図15Bは、図15AのA−A線に対応する断面図である。
【0129】
本発明は、第1の放熱用の電極70Aと第2の放熱用の電極70Bが実質同一平面に配置され、この周囲には、パッド14が設けられている。このパッド14は、裏面がそのまま外部接続電極となり、また半導体チップのボンディング電極19の真下に位置する。また、図3に示すように再配置用の配線を採用しても良い。そしてチップとチップの間には、少なくとも1つのブリッヂ71が設けられている。このブリッヂ71の両端には、パッド14が一体で形成され、このパッド14もボンディング電極19と接続される。
【0130】
また第1の放熱用の電極70Aの上には、第1の半導体チップ16Aが固着され、第2の放熱用の電極70Bには第2の半導体チップ16Bが固着され、半田を介して接続されている。
【0131】
前述した製造方法の説明からも明らかな様に、導電箔をハーフエッチングし、完全に分離する前に絶縁性樹脂13でモールドして支持するため、ブリッヂ71の落下、脱離は全く不要となる。
【0132】
本実施例のように、本発明は、複数のチップを1パッケージにすることも可能となる。
【0133】
この様に、今までの実施例は、読み書き増幅用IC1つの熱放出を考えて、その構造を説明してきた。しかし色々な機器を想定した場合、その特性を向上させるのに、複数の半導体素子の放熱を考慮しなければならない場合も想定できる。当然、それぞれをパッケージしてもよいが、複数の半導体素子を図15のように1パッケージにしても良い。
【0134】
当然、金属板は、図1の様に前記放熱用の電極と接続される場合と、図11の様に、放熱用の電極自身が突出した構造を採用できる。そしてこれらは、フレキシブルシートに実装されたり、第2の支持部材が取り付けられたフレキシブルシートに実装される。
【0135】
図16は、全実施例に於いて、応用できるもので、半導体素子16に形成されたバンプBとパッド14との接続方法を示すものである。尚、Pは、Au、Ag等のメッキ膜を示し、必要によって形成される。
【0136】
Aは、ACP方式(アニソトロピック・コンダクティブ・ペースト/フィルム)で、バンプBとパッド14(またはメッキ膜P)の間に導電性粒子を介在させ、押圧により電気的導通を取るものである。
【0137】
Bは、SBB方式(スタンド・バンプ・ボンディング)で、バンプBとパッド14(またはメッキ膜)が接続されると同時に、周囲に導電ペーストCPが配置されるものである。
【0138】
Cは、ESP方式(エポキシ・エンキャブシュレーテド・ソルダー・コネクション)で、バンプBの圧接固定の時に、その周囲に半田SDも溶かして配置するものである。
【0139】
Dは、NCP方式(ノン・コンダクティブ・ペースト)で圧接導通されたバンプの周囲に、絶縁性接着手段を配置するものである。
【0140】
Eは、GGI方式(ゴールド・ゴールド・インターコネクション)で、AuのバンプとAuメッキ膜Pとを超音波で接合するものである。
【0141】
最後のFは、ソルダーバンプ方式で、半田接合し、間に絶縁性接着手段やアンダーフィルを浸入させるものである。本願は、この方式を採用している。
【0142】
以上、接続方法は色々あるが、接続強度を考慮し、これらの中から選択される。また外部接続電極の裏面と第1の支持部材11との間もこの様な構造が採用できる。
半導体装置を説明する第8の実施の形態
本実施の形態に係る半導体装置を図17に示す。図17Aはその平面図であり、図17Bは半導体装置10Eを実装基板43に実装した際のA−A線に於ける断面図である。
【0143】
前述の説明では、半導体素子16の領域の裏面に設けられる電極は、放熱作用を高めるために設けられていた。しかし、これらの電極は放熱作用を有すると共に、半導体装置の周辺部に設けられた外部接続電極21に作用する応力を緩衝する働きも有する。
【0144】
図17に示す如く、この半導体装置10Eの特徴は、外部接続電極21に囲まれた放熱用の電極15の裏面に、裏面全域を覆うように応力緩衝用の電極21Bが設けられていることである。つまり、外部接続電極21よりも大きいサイズの半田電極21Bが設けられている。また、このサイズは半導体素子と同等、あるいはそれ以上でも良い。また若干小さくても良い。このことによる作用を以下に説明する。なお、この外部接続電極は、半田、半田バンプ、導電性接着剤でも良い。
【0145】
本発明に係る半導体装置10Eは、絶縁性樹脂13で装置全体が支持されている。実装基板43と絶縁性樹脂13の熱膨張係数は違うことが多いので、なるべくその差を小さくするが、同一にすることは非常に難しいので両者の熱膨張係数はどうしても異なってしまう。従って、半導体装置10Eと実装基板43の両方の温度が上昇すると、両者を接続する外部接続電極21に応力が作用する。例えば、外部接続電極のみで半導体装置が半田固着された場合、この応力の大きさはパッケージサイズが大きくなる程、大きくなる。具体的には、半導体素子の中央から半導体装置の周辺までの距離に比例する。
【0146】
本願は、応力緩衝用の電極21Bを半導体素子16と実質同等のサイズにすることで、前述した応力の緩和が可能となる。応力緩衝用の電極21Bによってその領域は実装基板と強固に固定される。従って、外部接続電極21に作用する応力は、応力緩衝用の電極21B周辺から外部接続電極21の中央までの距離に比例することになる。応力シミュレーションの結果では、25〜30%程の外部接続電極21に加わる最大応力が低減される。よって、外部接続電極21にクラックが発生するのを防止することができる。尚、この応力緩衝用の電極21Bは、半導体素子16よりも若干大きいか、若干小さくても良い。
【0147】
図22は、ヒートサイクル試験によるサイクル数(横軸)とクラック発生率(縦軸)の関係を示したグラフである。ここで、ヒートサイクル試験の手法を説明する。先ず、半田電極を介して実装基板に実装した半導体装置を気相に晒す。次に、その気相の温度を変化させ、温度変化により半田電極にクラックが発生した半導体装置の個数を計測する。以上の作業を行うことにより、半田電極の温度変化に対する寿命を評価することができる。なお、気相の温度変化の範囲は−40℃〜125℃であり、1サイクルの時間は、約1時間である。
【0148】
以下に図22のケース1およびケース2の構造について説明する。
【0149】
ケース1:絶縁被膜を介して露出したパッド裏面と放熱用電極の大きさが同じものである。従って、放熱用電極の露出部には、半田が多数設けられ、この半田電極が図3のように実装基板に実装された構造になる。
【0150】
ケース2:ケース1に於いて、放熱用電極の裏面が実質全域に渡り露出し、この放熱電極と実装基板の電極が全面で固着されたものである。
【0151】
ケース1の場合は、サイクル数が250回を越えた時点からクラック発生率が上昇し、サイクル数が400回になった時点でクラック発生率が100%になった。つまり、サイクル数が400回になった時点で全ての半導体装置の半田電極にクラックが発生したことになる。
【0152】
ケース2の場合は、サイクル数が450回を越えた時点からクラック発生率が上昇し、サイクル数が600回になった時点でクラック発生率は100%と成った。
【0153】
このことから、ケース2の半導体装置がケース1の半導体装置よりも半田クラックが発生しにくい構造であると言える。従って、応力緩衝用の電極としては、チップと実質同程度のサイズの大型の半田電極を用いたほうが効果的である。これは、前述した様に半田電極の離間距離が短縮されたからである。
【0154】
ここで半田電極は、半田材料から成るが、ここの材料は、一般に言われるロウ材、Ag、金等の導電ペースト、導電性接着剤でも良い。また放熱用電極と実装基板とを固着する材料は、放熱用の電極15がチップ裏面と電気的に接続されなければ、絶縁性接着剤でも良い。
半導体装置を説明する第9の実施の形態
本実施の形態に係る半導体装置を図18に示す。図18Aはその平面図であり、図18Bは半導体装置10Fを実装基板43に実装した際のA−A線に於ける断面図である。
【0155】
図18Aおよび図18Bに示す如く、この半導体装置10Fの特徴は、溝44で分割された放熱用の電極15に、応力緩和用の電極21Bが設けられていることである。つまり、応力緩衝用の電極21Bを介して半導体装置10Fの裏面と実装基板43が強固に結合される。従って、外部接続電極21に作用する応力は、応力緩衝用の電極21Bの周辺から外部接続電極21の中央部までの距離に比例することにある。このことから、半導体装置10Fが熱膨張した際に、外部接続電極21に作用する応力を緩衝することができ、外部接続電極21にクラックが発生するのを防止することができる。
【0156】
更に、溝44を設けることにより、絶縁性接着手段17と放熱用の電極15との接着力を向上させることができる。
【0157】
なお、この構造のサイクル試験は実施していないが、図17の構造と同等の効果が発生すると思われる。応力緩衝用の電極21Bの分割数が増加していくと図2の構造になるが、本効果を有する分割数はせいぜい2〜8分割程度である。この分割を行うことにより、全面ベタで固着される構造に比べ、塗布した半田の量(厚み)が薄くなり、実装性が向上する。
半導体装置を説明する第10の実施の形態
本実施の形態に係る半導体装置を図19に示す。図19Aはその平面図であり、図19Bは半導体装置10Fを実装基板43に実装した際のA−A線に於ける断面図である。
【0158】
図19Aに示す如く、この半導体装置の特徴は、外部接続電極21が細長の形状を有していることである。ここでも応力の緩衝の原因は2つある。
1つ目は外部接続電極21の接着面積が大きくなったこと、
2つ目はクラックの発生箇所CKが、半田の外周部で且つ半導体素子側に発生するため、その発生箇所CKの離間距離を短くしたことである。
【0159】
また、電極間の半田ブリッジの防止を考えると、放熱用の電極15とパッド14との離間距離は0.3m程度が必要である。しかし、ボンディングに必要な金属細線20の最短長は、半導体素子16の厚みにも依るが1mm〜0.5mm程度必要である。例えば、0.33mm厚の半導体素子16では、金属細線の最短長は、1mmである。また半導体素子の厚みが、0.1mm厚の時は、0.5mm程度の最短長が必要と成る。従って、パッド14のボンディング部から内側に0.2〜0.4mm程度パッド14が入る必要がある。つまりできる限りクラックの発生箇所CKは、できる限り内側である必要があるが、ワイヤーボンディングの制約から有る程度長さが必要となる。しかもまた図面ではパッド14の数が少ないので、正方形でも可能となるが、200ピンを超えるパッドが必要となる場合、ボンデイングパッドの幅が狭くする必要がある。よってパッド14の形状は必然的に細長の形状となる。
【0160】
このことにより、接着面積が増加すると同時にクラックの発生箇所が内側になり、クラックの発生が抑制されることになる。
半導体装置を説明する第11の実施の形態
本実施の形態に係る半導体装置を図20および図21に示す。図20Aはその平面図であり、図20Bは半導体装置10Gを実装基板43に実装した際のA−A線に於ける断面図である。図21A〜図21Cは外部接続電極21の構造を示す。
【0161】
図21A、Bに示す如く、半導体装置10Jの特徴は、外部接続電極21の構造にある。問題となる点は、図21Cに示すように、半田延面に絶縁被膜26が当たり、くびれNKを形成しないことである。外部接続電極21がくびれNKを有さない構造であれば、図21A、図21Bの如き構造でも良い。
【0162】
このくびれNKは応力が集中し易く、従ってクラックも発生しやすいことが判った。また、厚さが0.5mm以下の薄型パッケージでは、薄型故に半導体装置の構成材料に対して絶縁性樹脂の構成比率が少なく、極端ではあるが半導体素子16を直づけにした様なものである。半導体素子16の材料であるシリコンと、実装基板の熱膨張率は大きく異なるので、両者を接続する外部接続電極21に作用する応力は大きくなる。従って、全ての発明の実施の形態で半田延面はくびれの無いスムーズな曲面を有することが重要である。
【0163】
次に、ヒートサイクル試験の結果を図22を用いて説明する。先ず、ケース3とケース4の試験に用いた半導体装置の構造を説明する。
【0164】
ケース3とケース4の両方の半導体装置の外部接続電極も、くびれを有しない構造である。両者の違いは、応力緩衝用の電極の構造にある。ケース3の半導体装置の応力緩衝用の電極は、外部接続電極と同じ大きさの電極が複数設けられている。ケース4の半導体装置の応力緩衝用の電極は、半導体素子と同程度の大きさである。
【0165】
ケース3の場合は、現在試験中であるが、サイクル数が750回を超えても半田クラックは発生していない。
【0166】
ケース4の場合は、サイクル数が1400回になった時点でもクラック発生率は0%である。つまり、サイクル数が1400回になっても半田電極にクラックが全く発生しないことになる。
【0167】
次に、ケース1〜ケース4の構造の違いについて説明する。
【0168】
ケース1とケース2の構造の違いは、応力緩衝用の電極の形状にある。ケース1の応力緩衝用の電極は、外部接続電極21と同じ大きさである。それに対して、ケース2の応力緩衝用の電極は、半導体素子とほぼ同じ大きさを有している。つまり、ケース2の応力緩衝用の電極の方がケース1のものよりも大きい。
【0169】
ケース1とケース3の構造の違いは、外部接続電極の形状にある。ケース1の外部接続電極は、円形で且つくびれを有する構造である。それに対して、ケース2の外部接続電極は、細長で且つくびれを有さない構造である。
【0170】
ケース2とケース4の構造の違いは、両者ともに半導体素子とほぼ同等の大きさの応力緩衝用の電極を有しているが、外部接続電極の形状にある。ケース2の外部接続電極は、円形で且つくびれを有する構造である。それに対して、ケース4の外部接続電極は、細長で且つくびれを有さない構造である。
【0171】
このことから、応力緩衝用の電極の形状の特徴と、外部接続電極の形状の特徴の2つの特徴を組み合わせることにより半田クラックを防止できることが判る。つまり、応力緩衝用の電極の大きさを半導体素子と同じ程度の大きさとし、外部接続電極の形状を細長にし、且つくびれのない形状にすることである。
【0172】
以上、説明したように、本発明の特徴は本来放熱用の電極として有効であった電極が、半田を介して実装基板にベタ付けで強固に固着されることで、外部接続電極のクラック防止に有効であることが判った。
【0173】
また、外部接続電極をくびれを有さない構造にすることにより、外部接続電極の強度を向上させることができることが判った。
【0174】
それにより、薄型パッケージの実装性の著しい向上を実現し、軽薄短小のパッケージの実用化に大きく寄与する。
【0175】
なお、上記した全ての実施例では、半導体素子16と放熱用の電極15との接着手段として絶縁性接着手段17を用いた。しかし、この接着手段は絶縁性のものに限られない。半導体装置の裏面電極がショートしなければ、導電性の接着手段をもちいてもよい。
【0176】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明では、パッケージの裏面に露出した放熱用の電極に金属板を固着し、外部接続電極またはパッドの裏面よりも金属板が突出した半導体装置を提供することにより、FCAへの実装が容易になるメリットを有する。
【0177】
特に、FCAに開口部を設け、このFCAの裏面と前記半導体装置の放熱用の電極が面位置に成ることで、第2の支持部材との当接が容易になる特徴を有する。
【0178】
また第2の支持部材としてAlを用い、ここにCuから成る固着板を形成し、この固着板に放熱用の電極、または金属板を固着することにより、半導体素子から発生する熱を第2の支持部材を介して外部に放出することが出来る。
【0179】
よって、半導体素子の温度上昇を防止でき、本来の能力に近い性能を引き出せる。特にハードディスクの中に実装されたFCAは、その熱を効率よく外部に放出できるため、ハードディスクの読み書き速度をアップさせることが出来る。
【0180】
更に、半導体装置の中央部のパッドの裏面に、半導体素子と同等の大きさを有する応力緩衝用の電極を設けることによって、外部接続電極に作用するストレスを小さくすることができる。このことにより、半田クラックが発生するのを防止することができる。
【0181】
更に、半導体装置の外部接続電極を細長の形状にし、且つくびれを有さない構造にすることにより、半田電極に作用する応力を緩衝できると同時に、半田電極自体の強度を向上させることができる。従って、半田クラックを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体モジュールを説明する図である。
【図2】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図3】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図4】本発明の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図5】本発明の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図6】本発明の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図7】本発明の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図8】本発明の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図9】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図10】導電パターンに形成される流れ防止膜を説明する図である。
【図11】本発明の半導体モジュールを説明する図である。
【図12】本発明の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図13】本発明の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図14】本発明の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図15】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図16】半導体素子とパッドの接続構造を説明する図である。
【図17】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図18】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図19】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図20】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図21】本発明の半導体装置を説明する図である。
【図22】本発明の半導体装置を用いたヒートサイクルの実験結果を説明する図である。
【図23】ハードディスクを説明する図である。
【図24】図23に採用される従来の半導体モジュールを説明する図である。
【符号の説明】
10 半導体装置
11 第1の支持部材
12 第1の開口部
14 パッド
16 半導体素子
23 金属板
24 第2の支持部材
56 第2の開口部
Claims (30)
- 半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと前記半導体素子の表面に位置する放熱用の電極が露出した半導体装置であり、
前記半導体素子の下方には前記絶縁性樹脂とは異なる絶縁性接着手段が設けられ、
前記絶縁性接着手段が前記パッドよりも外部に突出することを特徴とした半導体装置。 - 半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと前記半導体素子の表面に位置する放熱用の電極が露出した半導体装置であり、
前記放熱用の電極の露出部に、前記パッドの裏面よりも突出するように金属板が設けられ、
前記パッドの裏面よりも前記絶縁性樹脂の裏面が突出することを特徴とした半導体装置。 - 前記パッドの裏面と前記放熱用の電極の裏面は、実質同一平面に配置されることを特徴とした請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記半導体素子と前記放熱用の電極は、前記絶縁性接着手段で固着されることを特徴とした請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記放熱用の電極と前記金属板は、絶縁材料または導電材料で固着されることを特徴とした請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記放熱用の電極と前記金属板は、同一材料で一体で形成されることを特徴とした請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記パッドの側面と前記パッドの側面から延在される前記絶縁性樹脂の裏面は、同一曲面を描くことを特徴とした請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 導電パターンが設けられた第1の支持部材と、前記導電パターンと電気的に接続される半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと前記半導体素子の表面に位置する放熱用の電極が露出した半導体装置とを有する半導体モジュールであり、
前記第1の支持部材の上に設けられた導電パターンと前記パッドが電気的に接続され、前記放熱用の電極に対応する前記第1の支持部材には、開口部が設けられ、前記開口部には、前記放熱用の電極と固着された金属板が設けられることを特徴とした半導体モジュール。 - 前記第1の支持部材の裏面には、前記金属板が固着された第2の支持部材が貼着されることを特徴とした請求項8に記載の半導体モジュール。
- 前記放熱用の電極と前記金属板は、同一材料で一体で形成されることを特徴とした請求項8または請求項9に記載の半導体モジュール。
- 前記金属板に対応する前記第2の支持部材には、導電材料から成る固着板が設けられ、前記固着板と前記金属板が熱的に結合されることを特徴とした請求項9または請求項10に記載の半導体モジュール。
- 前記金属板は、Cuを主材料とし、前記第2の支持部材は、Alを主材料とし、前記固着板は、前記第2の支持部材に形成されたCuを主材料とするメッキ膜から成ることを特徴とした請求項11に記載の半導体モジュール。
- 前記パッドの裏面よりも前記絶縁性樹脂の裏面が突出することを特徴とした請求項8から請求項12のいずれかに記載の半導体モジュール。
- 前記パッドの側面と前記パッドの側面から延在される前記絶縁性樹脂の裏面は、同一曲面を描くことを特徴とした請求項8に記載の半導体モジュール。
- 前記半導体素子は、ハードディスクの読み書き増幅用ICであることを特徴とした請求項8から請求項14のいずれかに記載の半導体モジュール。
- 半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと、前記パッドと一体の配線を介して延在された外部接続電極と、前記半導体素子の表面に配置された放熱用の電極が露出した半導体装置であり、
前記半導体素子の下方には前記絶縁性樹脂とは異なる絶縁性接着手段が設けられ、
前記絶縁性接着手段が前記パッドよりも外部に突出することを特徴とした半導体装置。 - 半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと、前記パッドと一体の配線を介して延在された外部接続電極と、前記半導体素子の表面に配置された放熱用の電極が露出した半導体装置であり、前記放熱用の電極の露出部に、前記外部接続電極の裏面よりも突出するように金属板を設け、
前記外部接続電極の裏面よりも前記絶縁性樹脂の裏面が突出することを特徴とした半導体装置。 - 前記外部接続電極の裏面と前記放熱用の電極の裏面は、実質同一平面に配置されることを特徴とした請求項16または請求項17に記載の半導体装置。
- 前記半導体素子と前記放熱用の電極は、前記絶縁性接着手段で固着されることを特徴とした請求項16または請求項17に記載の半導体装置。
- 前記放熱用の電極と前記金属板は、絶縁材料または導電材料で固着されることを特徴とした請求項16または請求項17に記載の半導体装置。
- 前記放熱用の電極と前記金属板は、同一材料で一体で形成されることを特徴とした請求項16または請求項17に記載の半導体装置。
- 前記外部接続電極の側面と前記外部接続電極の側面から延在される前記絶縁材料の裏面は、同一曲面を描くことを特徴とした請求項16または請求項17に記載の半導体装置。
- 導電パターンが設けられた第1の支持部材と、前記導電パターンと電気的に接続される半導体素子がフェイスダウンで絶縁性樹脂と一体に封止され、その裏面に、前記半導体素子のボンディング電極と電気的に接続されたパッドと、前記パッドと一体の配線を介して設けられた外部接続電極と、前記半導体素子の表面に位置する放熱用の電極が露出した半導体装置とを有する半導体モジュールであり、
前記第1の支持部材の上に設けられた導電パターンと前記外部接続電極が電気的に接続され、前記放熱用の電極に対応する前記第1の支持部材には、開口部が設けられ、前記開口部には、前記放熱用の電極と固着された金属板が設けられることを特徴とした半導体モジュール。 - 前記第1の支持部材の裏面には、前記金属板が固着された第2の支持部材が貼着されることを特徴とした請求項23に記載の半導体モジュール。
- 前記放熱用の電極と前記金属板は、同一材料で一体で形成されることを特徴とした請求項23または請求項24に記載の半導体モジュール。
- 前記金属板に対応する前記第2の支持部材には、導電材料から成る固着板が設けられ、前記固着板と前記金属板が熱的に結合されることを特徴とした請求項24または請求項25に記載の半導体モジュール。
- 前記金属板は、Cuを主材料とし、前記第2の支持部材は、Alを主材料とし、前記固着板は、前記第2の支持部材に形成されたCuを主材料とするメッキ膜から成ることを特徴とした請求項26に記載の半導体モジュール。
- 前記外部接続電極の裏面よりも前記絶縁性接着手段の裏面が突出することを特徴とした請求項23から請求項27のいずれかに記載の半導体モジュール。
- 前記外部接続電極の側面と前記前記外部接続電極と接着された絶縁性接着手段の裏面は、同一曲面を描くことを特徴とした請求項23に記載の半導体モジュール。
- 前記半導体素子は、ハードディスクの読み書き増幅用ICであることを特徴とした請求項23から請求項29のいずれかに記載の半導体モジュール。
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