JP3628938B2 - タッチ信号プローブ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、三次元測定機等によって被測定物の形状等を測定するために用いられるタッチ信号プローブに関するものである。
【0002】
【背景技術】
被測定物の形状、寸法等の測定を行う測定機として三次元測定機等が知られているが、その場合の座標検出や位置検出を行うために、測定機には、スタイラスの先端部分に接触球を備え、この接触球が被測定物と接触したことを検出するタッチ信号プローブが用いられる。
このタッチ信号プローブの従来例が特開平10−288502号に示されている。
【0003】
この従来例は、図11(A)に示される通り、スタイラス101に4個の圧電素子121〜124を取り付けた構造であり、スタイラス101は、接触球101Aが先端部に取り付けられたロッド101Bと、このロッド101Bの基端部に一体形成された検出素子支持部101Cとを備えている。この検出素子支持部101Cは、その両端側に断面正方形のフランジ部101Dがそれぞれ形成され、これらのフランジ部101Dの各側面に圧電素子121〜124が固着されている。これらの圧電素子121〜124は、図11(B)に示される通り、その長手方向がスタイラス軸と平行な平面矩形状とされている。
この従来例では、接触球101Aが被測定物と接触すると、接触時の衝撃力が圧電素子121〜124で検出される。これらの圧電素子121〜124から出力される信号の和、差及び自乗和に基づいて接触検知信号が発生し、これらの信号を処理することで、方向依存性をなくして精度の高い測定が行える。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来例では、圧電素子121〜124は、その長手方向がスタイラス軸と平行に配置されているため、ロッド101Bを曲げる方向Pの接触による外力の作用に対しては、当該長手方向に沿って伸縮する力が生じて感度が極めて良好となるが、ロッド101Bの作用する外力の方向によっては、必ずしも感度が十分ではない。
実際のプローブには、図12で示される通り、ロッド101Bに径方向に延びて複数の接触球101A1〜101A4が設けられる場合がある。図12で示されるプローブでは、実際の測定動作において、接触球101A1〜101A4のいずれかに外力が作用し、スタイラス本体101Bに矢印Qで示す捻り方向の測定力が付与された場合には、圧電素子121〜124の長手方向に沿って伸縮する力が働かない。そのため、圧電素子121〜124の感度が低くなり、状態量の変化を十分に検出できない。
【0005】
そのため、従来例では、被測定物と接触しているのにもかかわらず、タッチ信号が発生しないという不都合が生じる。
一般的に、タッチ信号プローブを装着した三次元測定機は、タッチ信号をもとに測定動作を停止し回避動作を行う。そのため、図12で示されるプローブにおいて、捻り方向Qの測定力が発生するような場合には、測定動作を停止することができず、被測定物、三次元測定機双方を破損させる虞れがある。
【0006】
本発明の目的は、スタイラスの曲げ方向だけでなく捻り方向の測定力に対しても高感度の検出が行えるタッチ信号プローブを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明は、スタイラスの曲げ方向と捻り方向との双方の測定力に対して検出を行うため、変位検出素子をスタイラスの軸に対して所定の角度傾斜した状態で取り付けることで前記目的を達成しようとするものである。
具体的には、本発明にかかるタッチ信号プローブは、先端に被測定物と接触する接触球を有するスタイラスに、前記接触球が被測定物に接触したことを検出する変位検出素子を配置したタッチ信号プローブにおいて、前記スタイラスは、前記変位検出素子を支持固定するための検出素子支持部とこの検出素子支持部に設けられたロッドとを有し、この検出素子支持部は前記ロッドの軸と直交する断面がそれぞれ正多角形をなす複数のフランジ部を有し、これらのフランジ部の側面にそれぞれ前記変位検出素子を前記ロッドの軸に対して所定の角度α(0°<α<90°)傾斜した状態で取り付け、これらの変位検出素子から出力される信号の和、差及び自乗和を演算することによって前記スタイラスの軸に作用する曲げ歪成分に対応する信号と、前記スタイラスの軸方向に作用する縦歪成分に対応する信号とをそれぞれ生成し、前記曲げ歪成分に対応する信号から第1の接触信号を生成し、前記縦歪成分に対応する信号から第2の接触信号を生成し、前記第1の接触信号と、前記第2の接触信号を遅延させた信号との論理和に基づいて接触検知信号を発生することを特徴とする。
【0008】
本発明では、複数のフランジ部の側面に変位検出素子がそれぞれロッドの軸に対して所定の角度傾斜した状態で取り付けられた構造なので、接触球を介してロッドに捻り方向の測定力が生じると、この測定力が変位検出素子の略長手方向に沿って伝達される。
そのため、変位検出素子は、確実に伸縮されることで感度が高くなり、状態量の変化を十分に検出することができる。
【0009】
これに対して、接触球を介してロッドに曲げ方向の測定力が生じると、この測定力が変位検出素子の略長手方向に沿って伝達される。
そのため、変位検出素子は、確実に伸縮されることで感度が高くなり、状態量の変化を十分に検出することができる。
つまり、いずれの方向から被測定物に接触球が接触しても、変位検出素子の感度が高いため、タッチ信号が確実に発生する。さらに、多角形体の側面に変位検出素子を取り付けるものであるから、タッチ信号プローブの構造を簡易なものにできる。
【0010】
ここで、本発明では、前記フランジ部の前記ロッドの軸と直交する断面を正方形とするとともに、前記フランジ部の各側面に合計4個の前記変位検出素子を互いに90度間隔離して取り付けた構成が好ましい。
この構成では、スタイラス軸を中心として互いに90度間隔に配置された4個の変位検出素子から出力される信号に基づいて接触検知信号が発生されるため、精度のよい測定が行える。しかも、フランジ部の断面を正方形としたので、タッチ信号プローブの構造を簡易なものとすることができる。
【0011】
また、前記変位検出素子のうち互いに対向する変位検出素子が略鏡面対称となるように前記検出素子支持部に装着されている構成としてもよい。
この構成では、捻り方向の測定力がスタイラスに生じた場合には、フランジ部を挟んで互いに対向配置された一対2個の変位検出素子に正負の異なる出力信号がそれぞれ発生するから、これらの信号の差を2対の変位検出素子毎にとり、これらの差の信号を自乗和することにより、大きな検出信号を得ることができ、測定精度を向上させることができる。
【0012】
さらに、前記変位検出素子のうち互いに対向する変位検出素子が前記スタイラスの軸対称となるように前記検出素子支持部に装着されている構成としてもよい。
この構成では、捻り方向の測定力がスタイラスに生じた場合には、4個の変位検出素子の全てに同じ正又は負の出力信号が発生するから、これらの信号を加算することで簡単に接触信号を得ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1には本発明の第1実施形態にかかるタッチ信号プローブの全体構成が示されている。
図1において、第1実施形態のタッチ信号プローブは、スタイラス1に4個の変位検出素子としての圧電素子21〜24を取り付けた構造であり、スタイラス1は、被測定物と接触する接触球1Aと、この接触球1Aが先端部に取り付けられた円柱状の取付部1Bと、この取付部1Bの基端部にブロック体1Cを介して先端部が取り付けられた断面略円形のロッド1Dと、このロッド1Dの他端部に一体形成された検出素子支持部1Eとを備えた構造である。
【0014】
これらのブロック体1C、ロッド1D及び検出素子支持部1Eはスタイラス軸上に配置されている。
ロッド1Dはブロック体側が円柱状であり検出素子支持部側が円錐状に形成されている。
取付部1Bとロッド1Dとはブロック体1Cを中心として直角に形成されている。なお、本実施形態では、先端に接触球1Aが設けられた取付部1Bをロッド1Dの径方向及び軸方向に延びてブロック体1Cに複数取り付ける構造としてもよい(図12参照)。
【0015】
検出素子支持部1Eは、ロッド1Dの軸と直交する断面がそれぞれ正方形をなす2個のフランジ部1Fと、これらのフランジ部1Fを連結する略円柱状の連結部1Gとから構成されている。
これらのフランジ部1Fの矩形状側面にそれぞれ圧電素子21〜24がロッド1Dの軸に対して所定角度α(0°<α<90°)傾斜した状態で取り付けられている。圧電素子21〜24は、それぞれ平面が略平行四辺形状に形成されており、その長手方向に沿った両端部が互いに対向するフランジ部1Fの側面に接着剤等でそれぞれ固着されている。
【0016】
このうち、圧電素子21と圧電素子24はともに同じ形状であり、圧電素子22と圧電素子23はともに同じ形状であり、圧電素子21,24と圧電素子22,23とは左右対称である点を除いて同じ形状である。
圧電素子21〜24は、その全面が電極を形成するものであって、互いに対向する圧電素子21,23は略鏡面対称となるように検出素子支持部1Eに装着されており、同様に、互いに対向する圧電素子22,24は略鏡面対称となるように検出素子支持部1Eに装着されている。
【0017】
ここで、接触球1Aに被測定物が接触してロッド1Dに曲げ方向Pの力が作用する場合を考えると、この力は各圧電素子21〜24の略長手方向に沿った方向S1に伝達される。そのため、接触球1Aが被測定物と接触後、スタイラス1の固有振動数等によって定まる時点で所定の圧電素子、例えば、圧電素子21の出力は極大値となり、この極大値の大きさは圧電素子21の取付方位とスタイラス1が被測定物と接触する方位とのなす角度、つまり、圧電素子21のスタイラス1の軸周りの角度θによって異なり、360度の周期で正弦波状に変化する。
出力極大値が最大値となるのは、圧電素子21が曲げ変形を受けやすい角度(θ=0)で被測定物とスタイラス1が接触する場合である(特開平10−288502号参照)。
【0018】
図2は4個の圧電素子21〜24からの出力により接触信号を生成するためのブロック図であり、図3は、その回路図である。
図2及び図3において、各圧電素子21〜24から出力される信号は、増幅回路31〜34で増幅されてV1〜V4とされた後、互いに表裏の関係にある圧電素子21,23から出力される信号V1,V3は、その差V13が差動増幅回路41で演算され、互いに表裏の関係にある圧電素子22,24から出力される信号V2,V4は、その差V24が差動増幅回路42で演算される。これらの差動増幅回路41,42で第1の接触信号が生成される。
【0019】
さらに、圧電素子21〜24から出力されて増幅回路31〜34で増幅された信号V1〜V4は、これらの和V1234が加算回路5で演算され、この加算回路5で第2の接触信号が生成される。
ここで、圧電素子21,23(22,24)の出力信号の差V13(V24)を演算するのは、スタイラス軸を中心として180度取付角度の異なる圧電素子21,23(22,24)からの出力信号の位相が180度異なり、この演算によりスタイラス軸に作用する曲げ歪成分を抽出するためである。
【0020】
また、4個の圧電素子21〜24の和V1234を演算するのは、スタイラス軸に作用する曲げ歪成分を除去してスタイラス軸方向に作用する縦歪成分を抽出するためである。ただし、本実施形態では、縦歪成分を抽出するにあたり、4個全ての圧電素子21〜24の出力信号の和を求めるものに限定されるものではなく、互いに表裏関係にある2個の圧電素子21,23又は圧電素子22,24から出力信号の和を演算するものでもよい。
【0021】
差動増幅回路41,42で生成された第1の接触信号と、加算回路5で生成された第2の接触信号とから接触信号検知回路6で検知信号が生成される。
接触信号検出回路6では、第1の接触信号である出力信号の差(V13,V24)は、自乗回路71,72でそれぞれ自乗された後、加算回路8で加算されて1つの信号となる。ここで、自乗して加算するのは、90度取付角度が異なる圧電素子21,23(22,24)からの出力の最大値を角度θによらず一定にするためである。
即ち、圧電素子21,23の差動出力の極大値を
【0022】
【数1】
【0023】
圧電素子22,24の差動出力の極大値を
【0024】
【数2】
【0025】
と、それぞれ表すと、
【0026】
【数3】
【0027】
であるから、角度によらず、所定時間における出力の極大値は(Vmax)2となる。
以上の説明はスタイラス1がスタイラス軸と直交する方向から接触球1Aに被測定物が接触した場合であり、スタイラス軸と角度βの角度で接する場合の出力の極大値は{Vmax×COSβ}2となる。ここで、角度βとは、スタイラス軸(ロッド1Dの軸)と直交する方向と接触球1Aとが被測定物に接触する方向とがなす角度である。
第1の接触信号V13(V24)はスタイラス軸に表裏に貼られた圧電素子21,23(22,24)の差動信号であるから、Vmax×COSβは検出素子支持部1Eの曲げ歪成分を表す信号といえる。
【0028】
図3において、加算回路5で演算された和の信号V1234は、Kを増幅率とすると、次の式で求められる。
【0029】
【数4】
【0030】
V1234は、曲げ歪成分を除いた縦歪成分を表す信号であり、βが90度、即ち、スタイラス軸の方向から被測定物に接触球1Aが接触した場合に最大値VMとなり、スタイラス軸とβの角度で接する場合の出力の極大値は、
【0031】
【数5】
【0032】
となる。
ただし、{Vmax×COSβ}2の極大値を形成する時間とV1234が極大値を形成する時間は一般的に異なっている。つまり、曲げ剛性より縦方向の剛性が一般的に高いので、V1234の方が時間的に早い。
従って、VM=Vmaxとなるようにゲイン調整した後、遅延回路9でV1234信号に適当な時間遅れをもたせ、さらに、しかる後、自乗回路73で自乗する。
自乗回路73で自乗した(V1234)2信号と、{Vmax×COSβ}2信号とを加算回路10で加算すると、
【0033】
【数6】
【0034】
となり、接触角度βによらず、一定の信号となる。
つまり、時間的に早く極大値を形成する縦歪に相当する信号を所定の時間だけ遅らせることにより、曲げ歪に相当する信号と同じタイミングで極大値を形成するようにして測定球1Aのどこと接触しても同じ出力が発生できるようにした。その後、比較回路11で所定の基準値と比較し、この基準値を越えた場合に接触信号が発生する。
なお、本実施形態では、(V1234)信号を自乗した後に適当な時間遅れをかける手法に限定されるものではなく、遅延させた後に自乗する等、本実施形態の趣旨に従って変更してもよい。
さらに、(V1234)信号に適当な時間遅れをかけた後に
【0035】
【数7】
【0036】
の演算をしてもよい。この場合でも前述と同じ結果を得ることができる。
【0037】
ここで、図4に示される通り、接触球1Aに被測定物が接触してロッド1Dに捻り方向Qの力が作用する場合を考えると、この力Qによって2個のフランジ部1Fは互いに反対方向に力Q2が働き、これにより、各圧電素子21〜24の略長手方向に沿った方向S2に力が伝達される。本実施形態では、互いに対向する圧電素子21,23は、検出素子支持部1Eを挟んで互いに鏡面対称とされているため、図4(A)に示される通り、圧電素子21にはS2方向に沿って外向き(伸びる方向)の剪断力が働き、図4(B)に示される通り、圧電素子23にはS2方向に沿って内向き(縮む方向)の剪断力が働く。捻り方向がQと逆になる場合には圧電素子21,23に働く剪断力の方向がぞれぞれ逆となる。
つまり、圧電素子21から出力される振幅信号V1に対して圧電素子23から出力される振幅信号V3は反転された状態となる。同様に、圧電素子22から出力される振幅信号V2に対して圧電素子24から出力される振幅信号V4は反転された状態となる。
【0038】
各圧電素子21〜24で出力された信号は、図3の制御回路によって処理されて接触信号が生成される。
つまり、各圧電素子21〜24は、増幅回路31〜34で増幅されてV1〜V4とされた後、互いに表裏の関係にある圧電素子21,23から出力される信号V1,V3は、その差V13が差動増幅回路41で演算され、互いに表裏の関係にある圧電素子22,24から出力される信号V2,V4は、その差V24が差動増幅回路42で演算される。これらの差動増幅回路41,42で演算された差V13(V1−V3)は自乗回路71で自乗演算され、差V24(V2−V4)は自乗回路72で自乗演算され、これらの自乗演算された値は、加算回路8で加算されて1つの信号となる(図5のグラフ参照)。
【0039】
この信号は、比較回路11で所定の基準値と比較され、この基準値を越えた場合に接触信号が発生する。なお、増幅回路31〜34で増幅された信号V1〜V4は加算回路5に送られるが、本実施形態では、互いに表裏の関係にある圧電素子21(22),23(24)から出力される信号V1(V2),V3(V4)は互いに反転された状態にあるため、これらの信号を単純に加算すると0又は極めて小さな値となり、加算回路5から自乗回路73及び加算回路10に送られる信号を無視することができる。
【0040】
従って、(1)第1実施形態では、接触球1Aが被測定物に接触したことを検出するスタイラス1に変位検出素子(圧電素子21〜24)を配置したタッチ信号プローブにおいて、スタイラス1は、変位検出素子を支持固定するための検出素子支持部1Eと、この検出素子支持部1Eに設けられたロッド1Dとを有し、この検出素子支持部1Eはロッド1Dの軸と直交する断面がそれぞれ正多角形をなす複数のフランジ部1Fを有し、これらのフランジ部1Fの側面にそれぞれ変位検出素子をロッド1Dの軸に対して所定角度α傾斜した状態で取り付け、これらの変位検出素子から出力される信号に基づいて接触検知信号を発生する構成としたから、接触球1Aを介してロッド1Dに捻り方向Qの測定力が生じると、この測定力が変位検出素子の略長手方向に沿って伝達されるため、変位検出素子が確実に伸縮されることで状態量の変化を十分に検出することができる。これに対して、接触球1Aを介してロッド1Dに曲げ方向Pの測定力が生じると、この測定力が変位検出素子の略長手方向に沿って伝達されるため、変位検出素子が確実に伸縮されることで状態量の変化を十分に検出することができる。
【0041】
(2)変位検出素子として圧電素子21〜24を用いたから、スタイラス1の接触球1Aが被測定物に接触した際の衝撃力を確実に検出することができるため、精度の高い測定が行える。
(3)フランジ部1Fのロッド1Dの軸と直交する断面を正方形とするとともに、フランジ部1Fの各側面に合計4個の圧電素子21〜24を90度間隔で取り付けたから、スタイラス軸を中心として互いに90度間隔に配置された4個の圧電素子21〜24から出力される信号に基づいて接触検知信号が発生されるため、精度のよい測定が行える。しかも、フランジ部1Fの断面が正方形であるため、タッチ信号プローブの構造を簡易なものとすることができる。
【0042】
(4)曲げ方向Pの測定力がスタイラス1に生じた場合には、表裏に位置する2組の圧電素子21,23(22,24)から出力される2つの差動信号V13,V24より第1の接触信号を生成するとともに、4個の圧電素子21〜24から出力される和の信号V1234あるいは表裏に位置する2個の変位検出素子21,23(22,24)から出力される和の信号より第2の接触信号を生成し、第2の接触信号を所定の時間だけ遅延させた後、第1の接触信号との論理和により接触検知信号を発生する構成としたから、第1の接触信号と第2の接触信号とから論理和により接触検知信号を生成するにあたり、時間的に早く極大値を形成する縦歪に相当する第2の検知信号を所定の時間だけ遅らせることにより、接触球のどこと接触しても同じ出力が発生するから、この点からも測定の高精度化を図ることができる。
【0043】
(5)ロッド1Dの曲げ方向に測定力が生じた場合に接触検知信号を生成する回路構成、つまり、互いに表裏の関係にある圧電素子21,23(22,24)から出力される信号の差を演算する差動増幅回路41,42と、全ての圧電素子21〜24から出力される信号の和を演算する加算回路5と、差動増幅回路41,42で生成された接触信号と加算回路5で生成された接触信号とから検知信号を生成する接触信号検知回路6とを備えた回路構成によって、ロッド1Dに捻り方向の測定力が生じた場合の接触検知信号を生成するので、回路構造を共通化してタッチ信号プローブの構造を簡易なものとすることができる。
(6)圧電素子21〜24のうち互いに対向する圧電素子21,23(22,24)が略鏡面対称となるように検出素子支持部1Eに装着されているため、捻り方向Qの測定力がスタイラスに生じた場合には、フランジ部1Fを挟んで互いに対向配置された一対2個の圧電素子21,23(22,24)に正負の異なる出力信号がそれぞれ発生するから、これらの信号の差を2対の圧電素子21,23(22,24)毎にとり、これらの差の信号を自乗和することにより、大きな検出信号を得ることができ、測定精度を向上させることができる。
【0044】
次に、本発明の第2実施形態を図6に基づいて説明する。
第2実施形態は圧電素子の構成が第1実施形態と異なるもので、他の構成は第1実施形態と同じである。そのため、第2実施形態の説明においては、第1実施形態と同一構成部分は同一符号を付して説明を省略若しくは簡略する。
図6において、第2実施形態は、変位検出素子が圧電素子21,220,230,24から構成され、このうち互いに対向する一対の圧電素子21,230がスタイラスの軸対称となるように検出素子支持部1Eに装着され、残り一対の圧電素子220,24もスタイラスの軸対称となるように検出素子支持部1Eに装着されている。これらの圧電素子21,220,230,24は、同一形状とされている。
【0045】
第2実施形態では、第1実施形態と同様に、圧電素子21,220,230,24からの出力により接触信号を生成するための構造は図2及び図3で示される構造である。
第2実施形態において、接触球1Aに被測定物が接触してロッド1Dに曲げ方向Pの測定力が作用する場合に接触信号が生成される手順は第1実施形態の場合と同じである。
【0046】
接触球1Aに被測定物が接触してロッド1Dに捻り方向Qの力が作用する場合では、この力Qによって各圧電素子21、220,230,24の略長手方向に沿った方向S2に力が伝達される。
全ての圧電素子21,220,230,24にはS2方向に沿って同じ方向の剪断力が働き、これらの圧電素子21,220,230,24から同じ検出信号が出力される。
【0047】
これらの検出信号は、増幅回路31〜34で増幅されてV1〜V4とされた後、これらの和V1234が加算回路5で演算される。
加算回路5で演算された和の信号は、遅延回路9で適当な時間遅れをもたされた後、自乗回路73で自乗される。自乗回路73から出力された信号は比較回路11で所定の基準値と比較され、この基準値を越えた場合に接触信号が発生される。なお、増幅回路31〜34で増幅された信号V1〜V4は差動増幅回路41,42に送られるが、これらの信号V1〜V4は同じ値の検出信号であるため、差動増幅回路41,42において、0又は極めて小さな値となり、加算回路8,10に送られる信号を無視することができる。なお、圧電素子21,220,230,24から負の信号が出力されることもあるが、この場合には、適宜な手段により、信号の絶対値をとるようにする。
【0048】
従って、第2実施形態では、第1実施形態の(1)(2)(3)(4)(5)と同様の作用効果を奏することができる他に、(7)圧電素子21,220,230,24のうち互いに対向する圧電素子21,230(220,24)がスタイラスの軸対称となるように検出素子支持部1Eに装着したから、捻り方向Qの測定力がスタイラス1に生じた場合には、4個の圧電素子21,220,230,24 の全てに同じ正又は負の出力信号が発生するので、これらの信号を加算することで簡単に接触信号を得ることができる。
【0049】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲であれば次に示す変形例を含むものである。
例えば、前記各実施形態では、圧電素子21〜24,220,230自体をロッド1Dの軸に対して所定角度α傾斜した状態で取り付けた構造としたが、本発明では、変位検出素子を構成する電極20Aがロッド1Dの軸に対して所定角度α傾斜して形成されていれば、図7に示される通り、平面矩形状の圧電素子211、221,23,241自体を、その長手方向がロッド1Dの軸と平行となるように配置してもよい。
【0050】
また、前記各実施形態では、圧電素子21〜24,220,230を平面平行四辺形としたが、本発明では、ロッド1Dの軸に対して所定角度α傾斜して形成されていれば、図8に示される通り、圧電素子212,222,232,242を長方形状に形成してもよい。
さらに、前記各実施形態では、変位検出素子を圧電素子21〜24,220,230としたが、本発明では、スタイラス1の曲げ方向及び捻り方向の変位を検出できるものであれば、図9に示される通り、圧電素子に代えて歪みゲージ213,223,233,243を用いてもよい。
要するに、本発明では、変位検出素子の種類、大きさ、形状、取付角度α、縦横比等は、スタイラス1の形状、その他の条件に従って設定される。
【0051】
さらに、本発明では、図10に示される通り、加算回路8から出力された信号{Vmax×COSβ}2を比較回路12で基準値と比較し、その基準値を越えた場合にOR回路13を経由して接触信号を発生し、他方、加算回路5で演算された和の信号V1234を比較回路14で基準値と比較し、この信号が基準値を越えた場合に、遅延回路15で所定時間遅らせてOR回路13を経由して接触信号を発生する構成でもよい。
さらに、図3及び図10では、接触信号生成回路をアナログ回路から構成したが、この接触信号生成回路をデジタル回路から構成してもよい。
【0052】
さらに、前記各実施形態では、圧電素子21〜24、220,230を4個設置する場合について説明したが、本発明では、検出素子支持部1Eの互いに隣り合う2側面に2個の圧電素子を固着する構造でもよい。
また、本発明では、検出素子支持部1Eの断面を正三角形とするとともに、その各側面に合計3個の圧電素子を取り付けた構造でもよく、さらには、検出素子支持部1Eの断面を正五角形、正六角形等に形成するものでもよい。
さらに、フランジ部1Fの数を2個としたが、本発明では、3個以上の複数個としてもよい。
【0053】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、先端に被測定物と接触する接触球を有するスタイラスに、前記接触球が被測定物に接触したことを検出する変位検出素子を配置したタッチ信号プローブにおいて、前記スタイラスは、前記変位検出素子を支持固定するための検出素子支持部とこの検出素子支持部に設けられたロッドとを有し、この検出素子支持部は前記ロッドの軸と直交する断面がそれぞれ正多角形をなす複数のフランジ部を有し、これらのフランジ部の側面にそれぞれ前記変位検出素子を前記ロッドの軸に対して所定角度傾斜した状態で取り付け、これらの変位検出素子から出力される信号に基づいて接触検知信号を発生する構成としたので、接触球を介してロッドに捻り方向の測定力が生じると、この測定力が変位検出素子の略長手方向に沿って伝達されて変位検出素子の感度が高くなる。これに対して、接触球を介してロッドに曲げ方向の測定力が生じると、この測定力が変位検出素子の略長手方向に沿って伝達されるため、変位検出素子の感度が高くなる。
さらに、互いに表裏の関係にある変位検出素子から出力される信号の差を演算する差動増幅回路と、全ての変位検出素子から出力される信号の和を演算する加算回路と、差動回路で生成された接触信号と加算回路で生成された接触信号とから検知信号を生成する接触信号検知回路とを備えた回路構成によって、ロッドに曲げ方向の測定力が生じた場合と捻り方向の測定力が生じた場合との双方で接触検知信号が生成できるので、回路構造を共通化してタッチ信号プローブの構造を簡易なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係るタッチ信号プローブを示すもので、変位検出素子としての圧電素子が取り付けられる前の状態を示す斜視図である。
【図2】変位検出素子(圧電素子)から出力された信号から接触信号を生成する構成を示すブロック図である。
【図3】変位検出素子(圧電素子)から出力された信号から接触信号を生成する構成を示す回路図である。
【図4】互いに対向配置された変位検出素子の取付状態を示す概略図とこれらの変位検出素子から出力される出力信号の波形を示すグラフである。
【図5】4個の変位検出素子(圧電素子)の取付状態を示す模式図と、これらの変位検出素子から出力される出力信号の波形を示すグラフ並びにこれらの波形を合成した波形を示すグラフである。
【図6】本発明の第2実施形態に係るタッチ信号プローブを示すもので、変位検出素子としての圧電素子が取り付けられる前の状態を示す斜視図である。
【図7】本発明の変形例を示す斜視図である。
【図8】本発明の異なる変形例を示す斜視図である。
【図9】本発明のさらに異なる変形例を示す斜視図である。
【図10】本発明のさらに異なる変形例を示すもので、変位検出素子から出力された信号から接触信号を生成する構成を示す回路図である。
【図11】従来例を示すもので、(A)は変位検出素子が取り付けられる前の状態を示す斜視図であり、(B)は変位検出素子が取り付けられた後の状態を示す斜視図である。
【図12】従来例の不具合を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
1 スタイラス
1A 接触球
1D ロッド
1E 検出素子支持部
1F フランジ部
21〜24,220,230,211,221,231,241 変位検出素子(圧電素子)
213,223,233,243 変位検出素子(歪みゲージ)
Claims (4)
- 先端に被測定物と接触する接触球を有するスタイラスに、前記接触球が被測定物に接触したことを検出する変位検出素子を配置したタッチ信号プローブにおいて、前記スタイラスは、前記変位検出素子を支持固定するための検出素子支持部とこの検出素子支持部に設けられたロッドとを有し、この検出素子支持部は前記ロッドの軸と直交する断面がそれぞれ正多角形をなす複数のフランジ部を有し、これらのフランジ部の側面にそれぞれ前記変位検出素子を前記ロッドの軸に対して所定の角度傾斜した状態で取り付け、これらの変位検出素子から出力される信号の和、差及び自乗和を演算することによって前記スタイラスの軸に作用する曲げ歪成分に対応する信号と、前記スタイラスの軸方向に作用する縦歪成分に対応する信号とをそれぞれ生成し、前記曲げ歪成分に対応する信号から第1の接触信号を生成し、前記縦歪成分に対応する信号から第2の接触信号を生成し、前記第1の接触信号と、前記第2の接触信号を遅延させた信号との論理和に基づいて接触検知信号を発生することを特徴とするタッチ信号プローブ。
- 請求項1記載のタッチ信号プローブにおいて、前記フランジ部の前記ロッドの軸と直交する断面を正方形とするとともに、前記フランジ部の各側面に合計4個の前記変位検出素子を互いに90度間隔離して取り付けたことを特徴とするタッチ信号プローブ。
- 請求項2記載のタッチ信号プローブにおいて、前記変位検出素子のうち互いに対向する変位検出素子が略鏡面対称となるように前記検出素子支持部に装着されていることを特徴とするタッチ信号プローブ。
- 請求項2記載のタッチ信号プローブにおいて、前記変位検出素子のうち互いに対向する変位検出素子が前記スタイラスの軸対称となるように前記検出素子支持部に装着されていることを特徴とするタッチ信号プローブ。
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