JP2016161526A - 接触型プローブ - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構成で接触型プローブの測定力を調整すること。【解決手段】接触型プローブ１００は、スタイラス４、ばね２、磁性体６及び永久磁石７を有する。スタイラス４は、先端が被測定物と接触し、Ｘ方向に変位可能である。ばね２は、一端が固定され、他端がスタイラス４にＸ方向に沿ったばね力を与える。磁性体６は、スタイラス４に対して位置が固定されている。永久磁石７は、磁性体６との間でＸ方向に沿って磁力が作用するように磁性体６と離隔して配置される。【選択図】図１

Description

本発明は、接触型プローブに関する。

三次元測定機（Coordinate measuring machine）では、倣いプローブを被測定物の表面に接触させて倣い測定が行われる。倣いプローブのガイド機構(Ｘ、Ｙ、Ｚの３軸方向)に弾性ヒンジを用いる場合、プローブの測定力は、弾性ヒンジの曲げ方向のばね定数によって生じる。ガイド機構の剛性が高いほど、ばね定数が大きくなり、プローブの測定力が大きくなる。プローブの測定力が大きくなると、測定時にワークとスタイラスとの間に生じる摩擦力による影響や、プローブが取り付けられたスタイラスの撓みによる影響が大きくなる。その結果、高精度な測定を実現することが困難になってしまう。

これに対し、検出器の測定力の変動を抑えるため、測定力を検出して制御を行うことで、測定力を安定化する手法が知られている（特許文献１）。

また、弾性ヒンジ機構を用いた計測装置において、磁石を用いて弾性ヒンジの復元特性を調整する技術が提案されている（特許文献２）。

特開２０１０−２８６４７５号公報 特開平１１−１４１５３７号公報

しかし、発明者は、上述の手法には以下で説明する問題点が有ることを見出した。例えば、測定力を調整する為に、測定力を与えるばねや弾性ヒンジの剛性を低くして、曲げ方向のばね定数を小さくすると、ねじりやたわみなど他の方向の剛性まで低くなってしまう。その結果、測定力による曲げ方向以外の変形の影響が大きくなり、測定精度の劣化を招いてしまう。よって、倣いプローブの高精度化の為には、剛性が高く、かつ曲げ方向のばね定数が小さい倣いプローブが求められる。

これに対し、特許文献１に記載の手法では、測定力を調整できるものの、測定力の制御に伴って熱が発生するため形状測定機の熱変形などの熱による影響が生じ、測定精度が低下してしまう。かつ、制御の実施に伴う電気的ノイズも生じるので、更なる測定精度の低下を招く。また、制御装置を搭載する必要が有るので、形状測定機の高コスト化を招いてしまう。

本発明は、上記の事情に鑑みて成されたものであり、本発明の目的は、簡易な構成で接触型プローブの測定力を調整することである。

本発明の第１の態様である接触型プローブは、先端が被測定物と接触する、第１の方向に変位可能なスタイラスと、一端が固定され、他端が前記スタイラスに前記第１の方向に沿った力を与える弾性体と、前記スタイラスに対して位置が固定された第１の磁性部材と、前記第１の磁性部材との間で前記第１の方向に沿った磁力が作用するように前記第１の磁性部材と離隔して配置された第２の磁性部材と、を備えるものである。これにより、スタイラスに作用する測定力を、ばね力と磁力との合力とすることができる。よってスタイラスの変位に応じてばね力及び磁力が変化することで、測定力を簡易な構成で調整することができる。

本発明の第２の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との間には、磁力による引力が作用するものである。これにより、ばね力をキャンセルするように磁力が作用する。よって、スタイラスに作用する力の大きさを抑制し、力の大きさを平均化することが可能となる。その結果、被測定物に作用する測定力を抑制、平均化することができる。

本発明の第３の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記弾性体が前記スタイラスに与える力と前記引力との合力の大きさは、前記スタイラスの変位に対して一定であるものである。これにより、測定時のスタイラスの測定力を安定化することができる。

本発明の第４の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との間には、磁力による斥力が作用するものである。これにより、ばね力と同じ方向に磁力が作用する。よって、第２の部材に作用する力の大きさを増大させることが可能となる。その結果、被測定物に作用する測定力を大きくし、測定の応答性を変化させることができる。

本発明の第５の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記弾性体が前記スタイラスに与える力と前記引力との合力の大きさは、前記スタイラスの変位に対して線形に変化するものである。これにより、測定時のスタイラスの測定力を、スタイラスの変位に応じて変化させることができる。

本発明の第６の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記第１の磁性部材及び第２の磁性部材の両方は永久磁石であるものである。これにより、電磁石やアクチュエータを用いた場合の熱や制御ノイズの発生を防止することができる。

本発明の第７の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記第１の磁性部材及び第２の磁性部材の一方は永久磁石であり、他方は磁性体であるものである。これにより、電磁石やアクチュエータを用いた場合の熱や制御ノイズの発生を防止することができる。

本発明の第８の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記第１の磁性部材は、前記スタイラスの前記先端と反対側の端部に設けられ、前記第２の磁性部材は、前記第１の磁性部材に対して前記第１の方向に離隔して設けられるものである。これにより、第１の方向の測定力を、簡易な構成で調整することができる。

本発明の第９の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、一端が前記スタイラスの前記先端と反対側の端部と接合され、前記第１の方向と直交する第２の方向に延在するステムと、一端が前記ステムの他端と接合され、前記第２の方向に延在するアームと、前記第１の方向及び前記第２の方向と直交する第３の方向を回転軸として回転可能に前記ステム及び前記アームを保持する支点部と、を更に備え、前記第１の磁性部材は、前記ステム又は前記アームの前記支点部から離隔した位置に設けられるものである。これにより、てこ式の接触型プローブにおいても、簡易な構成でスタイラスに作用する測定力を調整することができる。

本発明の第１０の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との接触を防止する接触防止部を更に備えるものである。これにより、前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材とが近接した場合に、前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材とが接触することを防止できる。特に、前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との間に引力が作用する際に、スタイラスの変位が不安定になることを防止できる。

本発明の第１１の態様である接触型プローブは、上述の接触型プローブであって、前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との間の距離は、測定毎に変更可能であるものである。これにより、測定の目的に応じて、測定量を調整することができる。

本発明によれば、簡易な構成で接触型プローブの測定力を調整することができる。

本発明の上述及び他の目的、特徴、及び長所は以下の詳細な説明及び付随する図面からより完全に理解されるだろう。付随する図面は図解のためだけに示されたものであり、本発明を制限するためのものではない。

実施の形態１にかかる接触型プローブの構成を模式的に示す正面図である。 実施の形態１にかかる接触型プローブに作用する力を示すグラフである。 実施の形態２にかかる接触型プローブの構成を模式的に示す正面図である。 実施の形態３にかかる接触型プローブの構成を模式的に示す正面図である。 実施の形態３にかかる接触型プローブに作用する力を示すグラフである。 実施の形態４にかかる接触型プローブの構成を模式的に示す正面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。各図面においては、同一要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略される。

実施の形態１
まず、実施の形態１にかかる接触型プローブ１００について説明する。図１は、実施の形態１にかかる接触型プローブ１００の構成を模式的に示す正面図である。図１では、紙面鉛直方向に沿って下から上へ向かう方向をＸ方向とする。また、図１のＸ方向を第１の方向とも称する。

接触型プローブ１００は、固定部１、ばね２、ガイド３、スタイラス４、磁性体６及び永久磁石７を有する。

固定部１は、測定装置（例えば、三次元測定機）に固定される部分である。図１では、図面の簡略化のため、測定装置の詳細については表示を省略している。

スタイラス４は、Ｘ方向を長手方向とし、Ｘ（−）側の端部が被測定物に接触する。スタイラス４は、ガイド３により、Ｘ方向のみに移動可能に保持されている。スタイラス４のＸ（＋）側の端部には、磁性体６が固定されている。この例では、磁性体６は球形である。ばね連結部５は、スタイラス４の一部であり、スタイラス４からＸ方向と直交する方向に突き出して、固定部１の上方（Ｘ（＋）側）に達する位置まで延在する部材である。

ばね２は、伸縮方向がＸ方向に沿うように、一端が固定部１と連結され、他端がばね連結部５と連結される。

永久磁石７は、磁性体６の上方（Ｘ（＋）側）に、磁性体６と離隔して配置される。永久磁石７は、固定部１と同様に、例えば測定装置（例えば、三次元測定機）に固定される。この例では、永久磁石７のＸ（＋）側の面がＮ極、Ｘ（−）側の面がＳ極である。よって、磁性体６のＸ（＋）側は、Ｎ極となる。

接触型プローブ１００では、ばね２が伸びることで、スタイラス４が被測定物に測定力を与えつつ、被測定物を走査する。そして、基準位置に対するＸ方向の変位を検出することで、被測定物のプロファイルを測定する。

図２は、実施の形態１にかかる接触型プローブ１００に作用する力を示すグラフである。図２に示すように、スタイラス４が基準位置からＸ（＋）側に変位すると、ばね２が更に伸びるので、スタイラス４に加わるＸ（−）方向のばね力Ｆｓが強くなる。また、磁性体６が永久磁石７に近づくので、磁性体６と永久磁石７との間に作用する磁力による引力Ｆｍが強くなる。

スタイラス４が基準位置からＸ（−）側に変位すると、ばね２が縮むので、スタイラス４に加わるＸ（−）方向のばね力Ｆｓが弱くなる。また、磁性体６が永久磁石７から遠ざかるので、磁性体６と永久磁石７との間に作用する磁力による引力Ｆｍが弱くなる。

以上より、スタイラス４には、Ｘ（−）方向のばね力とＸ（＋）方向の磁力が作用する。つまり、スタイラス４には、ばね力をキャンセルするように磁力が作用することが理解できる。また、スタイラス４のＸ（＋）方向への変位が大きくなるのにともない、ばね力及び磁力が大きくなる。スタイラス４のＸ（−）方向への変位が大きくなるのにともない、ばね力及び磁力が小さくなる。これにより、スタイラス４に実質的に作用する力Ｆａの大きさを抑制し、力の大きさを平均化することが可能となる。その結果、被測定物に作用する測定力を抑制、平均化することができる。

また、図２示す範囲ＭＲを測定範囲とすれば、測定範囲内の測定力Ｆａを概ね一定にすることができる。

上述の通り、接触型プローブ１００では、平板状弾性部材（板バネ）と永久磁石とを組み合わせた簡易な構成で、測定力の調整を行う。つまり、測定力の調整のために、アクチュエータなどのアクティブ制御を行う構成を導入する必要がない。したがって、制御に伴い熱やノイズの発生を防止できるので、高精度の測定を行うことができる。

また、上述の永久磁石７の極性は、例示に過ぎない。例えば、永久磁石７の磁極を入れ換えてもよい。この場合、永久磁石７のＸ（＋）側の面がＳ極、Ｘ（−）側の面がＮ極である。よって、磁性体６のＸ（＋）側は、Ｓ極となる。

また、ばね２は、弾性体の一例に過ぎない。すなわち、コイルばねなどの様々な種類のばねや、他の弾性体を用いることが可能である。

なお、本実施の形態及び以降の実施の形態では、永久磁石と磁性材料からなる部材（磁性体）とを、磁性部材とも称するものとする。

実施の形態２
実施の形態２にかかる接触型プローブ２００について説明する。図３は、実施の形態２にかかる接触型プローブ２００の構成を模式的に示す正面図である。接触型プローブ２００は、接触型プローブ１００の磁性体６を、永久磁石８に置換した構成を有する。

この例では、永久磁石８のＸ（＋）側の面がＮ極、Ｘ（−）側の面がＳ極である。永久磁石７のＸ（＋）側の面がＮ極、Ｘ（−）側の面がＳ極である。よって、永久磁石７と永久磁石８との間には、接触型プローブ１００と同様に、磁力による引力が作用する。

以上より、スタイラス４には、接触型プローブ１００と同様に、Ｘ（−）方向のばね力とＸ（＋）方向の磁力が作用し、その結果ばね力をキャンセルするように磁力が作用することが理解できる。かつ、接触型プローブ１００と同様に、スタイラス４に実質的に作用する力の大きさを抑制し、力の大きさを平均化することが可能となる。その結果、被測定物に作用する測定力を抑制、平均化することができる。

また、上述の永久磁石７及び８の極性は、例示に過ぎない。例えば、永久磁石７及び８の極性をそれぞれ入れ換えてもよい。この例では、永久磁石７及び８のＸ（＋）側の面がＳ極、Ｘ（−）側の面がＮ極となる。

実施の形態３
実施の形態３にかかる接触型プローブ３００について説明する。図４は、実施の形態３にかかる接触型プローブ３００の構成を模式的に示す正面図である。接触型プローブ３００は、接触型プローブ１００の磁性体６を、永久磁石９に置換した構成を有する。

この例では、永久磁石９のＸ（＋）側の面がＳ極、Ｘ（−）側の面がＮ極である。永久磁石７のＸ（＋）側の面がＮ極、Ｘ（−）側の面がＳ極である。よって、永久磁石７と永久磁石９との間には、磁力による斥力が作用する。

図５は、実施の形態３にかかる接触型プローブ３００に作用する力を示すグラフである。図５に示すように、スタイラス４が基準位置からＸ（＋）側に変位すると、ばね２が更に伸びるので、スタイラス４に加わるＸ（−）方向のばね力が強くなる。また、永久磁石９が永久磁石７に近づくので、永久磁石９と永久磁石７との間に作用する磁力による斥力が強くなる。

スタイラス４が基準位置からＸ（−）側に変位すると、ばね２が縮むので、スタイラス４に加わるＸ（−）方向のばね力が弱くなる。また、永久磁石９が永久磁石７から遠ざかるので、永久磁石９と永久磁石７との間に作用する磁力による斥力が弱くなる。

以上より、スタイラス４には、Ｘ（−）方向のばね力とＸ（−）方向の磁力（斥力）が作用する。つまり、スタイラス４には、ばね力に加算されるように磁力が作用することが理解できる。また、スタイラス４のＸ（＋）方向への変位が大きくなるのにともない、ばね力及び磁力が大きくなる。スタイラス４のＸ（−）方向への変位が大きくなるのにともない、ばね力及び磁力が小さくなる。これにより、スタイラス４がＸ（＋）方向側に変位するに従って、スタイラス４に実質的に作用する力の大きさを増大させることが可能となる。その結果、被測定物に作用する測定力をスタイラスの変位に応じて線形に変化させ、その結果、測定の応答性を変化させることが可能となる。なお、図５示す範囲ＭＲは、測定範囲の例である。

また、上述の永久磁石７及び９の極性は、例示に過ぎない。例えば、永久磁石７及び９の極性をそれぞれ入れ換えてもよい。この例では、永久磁石７のＸ（＋）側の面がＮ極、Ｘ（−）側の面がＳ極となる。永久磁石９のＸ（＋）側の面がＳ極、Ｘ（−）側の面がＮ極となる。

実施の形態４
実施の形態４にかかる接触型プローブ４００について説明する。図６は、実施の形態４にかかる接触型プローブ４００の構成を模式的に示す正面図である。図６では、紙面水平方向に沿って左から右へ向かう方向をＸ方向、紙面に対して垂直方向に沿って手前から奥に向かう方向をＹ方向、紙面鉛直方向に沿って下から上へ向かう方向をＺ方向とする。すなわち、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向は互いに直交する方向である。なお、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向の関係は、以下の説明及び以下で参照する図面において同様である。また、この例では、Ｘ方向を第２の方向、Ｙ方向を第３の方向、Ｚ方向を第１の方向とも称する。

接触型プローブ４００は、支点部１１、ばね１２、ステム１３、アーム１４、スタイラス１５、固定部１６、磁性体１８及び永久磁石１９を有する。

Ｘ方向に延伸するステム１３の一端（Ｘ（−）側の端部）には、下方（Ｚ（−）側）に突き出したスタイラス１５が取り付けられる。スタイラス１５のＺ（−）側の端部は、被測定物に接触する。Ｘ方向に延伸するアーム１４の一端（Ｘ（−）側の端部）は、ステム１３の他端（Ｘ（＋）側の端部）と連結される。ステム１３とアーム１４とは、連結部付近が支点部１１により保持される。これにより、ステム１３とアーム１４とは、支点部１１を中心として、かつ、Ｙ方向を回転軸として回転することができる。

固定部１６は、測定装置（例えば、三次元測定機）に固定される部分である。図６では、図面の簡略化のため、測定装置の詳細については表示を省略している。ばね１２は、伸縮方向がＺ方向に沿うように、一端がアーム１４と連結され、他端が固定部１６と連結される。

アーム１４には、アーム１４の一部である、上方（Ｚ（＋）側）に突き出す磁性体取付け部１７が取り付けられる。磁性体取付け部１７のＺ（＋）側の端部には、磁性体１８が設けられる。この例では、磁性体１８は球形を有する。これにより、上述の実施の形態において磁性体６及び永久磁石７がスタイラス４に対して位置が固定されているのと同様に、磁性体１８はスタイラス１５に対して位置が固定される。

永久磁石１９は、磁性体１８に対してＸ（＋）方向に離隔して設けられる。永久磁石１９は、固定部１６と同様に、例えば測定装置（例えば、三次元測定機）に固定される。この例では、永久磁石１９のＸ（＋）側の面がＮ極、Ｘ（−）側の面がＳ極となる。よって、磁性体１８のＸ（＋）側は、Ｎ極となる。

接触型プローブ４００の動作について説明する。ここでは、スタイラス１５の変位量について、基準位置に対して反時計回りの変位を−、基準位置に対して時計回りの変位を＋としている。

ステム１３及びアーム１４が基準位置にある場合、ばね１２は伸びている状態なので、−方向（反時計回り）のトルクが生じる。このとき、磁性体１８と永久磁石１９との間の引力は、Ｘ方向のみとなる。したがって、Ｚ方向回りのトルクは生じない。

測定時には、スタイラス１５が被測定物の形状に応じて変位する。これに伴い、ばね１２及び磁力によるトルクが変化する。スタイラス１５が−方向（反時計回り）に変位するにつれて、ばね１２による−方向（反時計回り）のトルクが小さくなる。また、磁性体１８は反時計回りに回転変位する。このとき、磁性体１８と永久磁石１９との間の引力には、Ｚ方向に沿った成分が生じる。このため、磁性体１８と永久磁石１９との間の引力による＋方向（時計回り）のトルクが生じる。

スタイラス１５が＋方向（時計回り）に変位するにつれて、ばね１２による−方向（反時計回り）のトルクが大きくなる。また、磁性体１８は時計回りに回転変位する。このとき、磁性体１８と永久磁石１９との間の引力には、Ｚ方向に沿った成分が生じる。このため、磁性体１８と永久磁石１９との間の引力による−方向（反時計回り）のトルクが生じる。

以上より、スタイラス１５の測定力は、ばね１２によるトルクと磁力によるトルクとを合成した−方向（反時計回り）のトルクにより生じる。スタイラス１５のＺ（−）方向への変位が大きくなるのに伴い、ばね力は小さくなり、かつ、ばね力に対して反対方向の磁力が小さくなり、ばね力と磁力とは打ち消し合う。スタイラス１５のＺ（＋）方向への変位が大きくなるのに伴い、ばね力は大きくなり、かつ、ばね力と反対方向の磁力が大きくなる。これにより、スタイラス１５がＺ（＋）方向側に変位するに従って、スタイラス４に実質的に作用する力の大きさを測定範囲内でほぼ一定にさせることが可能となる。その結果、測定力変化の少ない高精度な測定が可能となる。

なお、ばね１２は、弾性体の一例に過ぎない。すなわち、コイルばねなどの様々な種類のばねや、他の弾性体を用いることが可能である。

なお、上述では、磁性体１８がアーム１４に取り付けられているが、これは例示に過ぎない。磁性体１８は、測定に支障がない限り、ステム１３に取り付けられてもよい。また、磁性体１８は、測定に支障がない限り、支点部１１からＺ方向に離隔した位置に配置されていてもよい。なお、磁性体取付け部１７は必須ではなく、スタイラス１５に対する位置が固定されるように、磁性体１８がステム１３又はアーム１４に取り付けられていればよい。また、永久磁石１９は、磁性体１８に対して、磁性体１８が変位する軌道（円軌道）の径方向に離隔して配置されていればよい。

その他の実施の形態
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、上述の実施の形態では、対向配置される磁性部材の間の距離は、測定の目的に応じて変化させることができる。すなわち、対向配置される磁性部材の間の距離を可変とする機構を上述の実施の形態にかかる接触型プローブに付加し、測定の開始に先立って、対向配置される磁性部材の間の距離を適宜変更させてもよい。すなわち、上述の実施の形態において、磁性体６と永久磁石７との間の距離、及び、永久磁石７と永久磁石８との間の距離、永久磁石７と永久磁石９との間の距離、磁性体１８と永久磁石１９との間の距離は、それぞれ可変とすることができる。測定の目的に応じて、対向する磁性部材間の距離を変えることで、大きな測定力が必要な測定に対応したり、測定力を小さくすることで測定の応答性を変化させることが可能である。その結果、簡易な構成で様々な測定や被測定物に対応することが可能となる。

上述の実施の形態４では、ステム１３とアーム１４とが独立しているが、これは例示に過ぎない。よって、ステム１３とアーム１４とは、一体の部材とすることができる。

上述の実施の形態にかかる接触型プローブにおいて、第１の磁性部材（磁性体６、永久磁石８及び永久磁石９）と第２の磁性部材（永久磁石７）との接触を防止するための接触防止部を設けてもよい。特に、第１の磁性部材と第２の磁性部材との間に引力が作用する場合に効果的である。

１００ 接触型プローブ
２００ 接触型プローブ
３００ 接触型プローブ
４００ 接触型プローブ
１、１６ 固定部
２、１２ ばね
３ ガイド
４、１５ スタイラス
５ ばね連結部
６、１８ 磁性体
７−９、１９ 永久磁石
１１ 支点部
１３ ステム
１４ アーム
１７ 磁性体取付け部

Claims (11)

1. 先端が被測定物と接触する、第１の方向に変位可能なスタイラスと、
   一端が固定され、他端が前記スタイラスに前記第１の方向に沿った力を与える弾性体と、
   前記スタイラスに対して位置が固定された第１の磁性部材と、
   前記第１の磁性部材との間で前記第１の方向に沿った磁力が作用するように前記第１の磁性部材と離隔して配置された第２の磁性部材と、を備える、
   接触型プローブ。
2. 前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との間には、磁力による引力が作用する、
   請求項１に記載の接触型プローブ。
3. 前記弾性体が前記スタイラスに与える力と前記引力との合力の大きさは、前記スタイラスの変位に対して一定である、
   請求項２に記載の接触型プローブ。
4. 前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との間には、磁力による斥力が作用する、
   請求項１に記載の接触型プローブ。
5. 前記弾性体が前記スタイラスに与える力と前記引力との合力の大きさは、前記スタイラスの変位に対して線形に変化する、
   請求項３に記載の接触型プローブ。
6. 前記第１の磁性部材及び第２の磁性部材の両方は永久磁石である、
   請求項１乃至５のいずれか一項に記載の接触型プローブ。
7. 前記第１の磁性部材及び第２の磁性部材の一方は永久磁石であり、他方は磁性体である、
   請求項１乃至３のいずれか一項に記載の接触型プローブ。
8. 前記第１の磁性部材は、前記スタイラスの前記先端と反対側の端部に設けられ、
   前記第２の磁性部材は、前記第１の磁性部材に対して前記第１の方向に離隔して設けられる、
   請求項１乃至７のいずれか一項に記載の接触型プローブ。
9. 一端が前記スタイラスの前記先端と反対側の端部と接合され、前記第１の方向と直交する第２の方向に延在するステムと、
   一端が前記ステムの他端と接合され、前記第２の方向に延在するアームと、
   前記第１の方向及び前記第２の方向と直交する第３の方向を回転軸として回転可能に前記ステム及び前記アームを保持する支点部と、を更に備え、
   前記第１の磁性部材は、前記ステム又は前記アームの前記支点部から離隔した位置に設けられる、
   請求項１乃至８のいずれか一項に記載の接触型プローブ。
10. 前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との接触を防止する接触防止部を更に備える、
    請求項１乃至９のいずれか一項に記載の接触型プローブ。
11. 前記第１の磁性部材と前記第２の磁性部材との間の距離は、測定毎に変更可能である、
    請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の接触型プローブ。

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