JP3601933B2

JP3601933B2 - 非接触式検査装置

Info

Publication number: JP3601933B2
Application number: JP11378597A
Authority: JP
Inventors: 平三郎加藤
Original assignee: Eisai Co Ltd; Sankyo Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Eisai Co Ltd; Sankyo Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-05-02
Filing date: 1997-05-01
Publication date: 2004-12-15
Anticipated expiration: 2017-05-01
Also published as: EP0837311B1; DK0837311T3; EP0837311A4; DE69729923D1; DE69729923T2; JPH10142113A; US6055876A; KR19990028688A; BR9702250A; EP0837311A1; WO1997042480A1; TW338104B

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送される被検査体を非接触式検査機器にて検査して、自動的に被検査体の良否を判定するようにした非接触式検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種の検査装置は、例えば薬品とか電子部品等の各種製品を被検査体とし、光の透過性とか反射性等を利用するなどの様々な非接触式検査機器を用いてこれら被検査体の検査を高精度で行い、粗悪品が商品流通経路に流通してしまうことを防止するようにしている（特公昭４７−１０４６６号公報、特開昭５０−１１０９４号公報、特公昭５７−１１４１６号公報、特開昭５７−１４２２５２号公報、特公昭６０−２０６９５号公報、特開昭６０−９８３４１号公報、特開昭６１−２８２２１９号公報、特公昭６２−１５８２１号公報、特開昭６４−３１０４０号公報、特開平３−９６８４１号公報参照）。
【０００３】
ところで、従来の非接触式検査装置では検査機器として例えばＣＣＤカメラを用い、このＣＣＤカメラの撮影範囲を通過するように被検査体を搬送するようにしていて、このＣＣＤカメラで被検査体を撮影し、その画像を画像処理装置によって処理することで被検査体の良否をチェックしていた。
【０００４】
そして特に、かかる非接触式検査装置では、被検査体が医薬品や飲料品等の液体を封入したアンプル，バイアルやガラス製，プラスチック製等の容器である場合に、非接触式検査機器、殊に光学的な検査機器を用いてこれら容器に光を透過させてこれをＣＣＤカメラで撮影することにより、容器内部の液体に異物が混入しているかどうかさえも的確に判定することができる。
【０００５】
図１０，図１１は被検査体がアンプル１である場合の従来の非接触式検査装置２の要部を示し、アンプル１，１…は回転テーブル３の座３ａ，３ａ…に載せられて搬送され、検査作業では、アンプル１，１…を搬送する回転テーブル３を挟んで、その内側のテーブル８に配置したライト４の光をアンプル１，１…の背面から透過させて回転テーブル３外側のテーブル８ａに配置したＣＣＤカメラ５で撮影するようになっている。
【０００６】
当該検査装置２には、回転テーブル３の回転によって搬送されるアンプル１，１…を安定に保持するためにこれらを上方から押さえるキャップ６，６…が備えられていて、これらキャップ６，６…は、前記回転テーブル３上に搭載される円筒体状のドラム７の上部にその周方向に沿って多数取付けられている。そしてドラム７は、回転搬送されるアンプル１，１…とともにキャップ６，６…が回転移動できるように、回転テーブル３とともに回転されるようになっている。尚、前記キャップ６，６…はアンプル１，１…を受け入れその後保持するためにスライドロッド６ａ，６ａ…を介して昇降可能となっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、かかる従来の非接触式検査装置２にあっては、回転テーブル３とともに回転させるべく回転テーブル３上に搭載したドラム７の筒状壁部７ａがアンプル１，１…の背面にあってライト４に対してアンプル１，１…を遮ることとなっていたため、検査作業のためのライト４からの光をアンプル１，１…に照射して透過させるために、この筒状壁部７ａに各キャップ６，６…位置に対応させてそれぞれスリット９，９…を形成し、このスリット９，９…を通してライト４の光をアンプル１，１…の背面に照射するようにしていた。
【０００８】
しかしながら、筒状壁部７ａにスリット９，９…を形成したとはいえ、この筒状壁部７ａのスリット９，９…を介しての光の照射では、光量が制限されるとともに、スリット９，９…に遮られて照射角度も制限され、またこのためにライト４と対応させて配置すべきＣＣＤカメラ５の配置レイアウトも制限を受けることとなって、高い精度でかつ広範に検査を行うことはできないという課題があった。
【０００９】
そこで、本発明はかかる従来の課題に鑑みて、非接触式検査機器の検査能力を十分に発揮させることができるとともに、これら検査機器の配置レイアウトもより自由に設定することができて、当該検査機器による被検査体の検査を高精度にかつ広範に実施することができる非接触式検査装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために本発明の非接触式検査装置は、回転駆動されて被検査体を搬送する環状の回転テーブルと、該回転テーブルを挟んでその内側と外側とに配置され、上記被検査体を検査するための非接触式検査機器が取り付けられた検査機器取付テーブルと、上記回転テーブル上方に、該回転テーブルの回転中心周りに回転可能に支持され、該回転テーブルで搬送される上記被検査体の上部を保持するロータリーヘッドと、該ロータリーヘッドを上記回転テーブルと同期させて回転させる連動機構とを備えた非接触式検査装置であって、前記回転テーブル上方に配置され、上下方向に沿うスライド溝が形成された保持フレームと、該保持フレームに上記スライド溝を介して昇降可能に設けられた環状の昇降枠と、該昇降枠の内周部に設けられ前記ロータリーヘッドの外周部を回転自在に支持するベアリングとを備え、前記ロータリーヘッドは上記保持フレームに対し該昇降枠を介して昇降可能かつ回転可能に吊り下げ支持されていることを特徴とする。
【００１１】
前記ロータリーヘッドは昇降自在に支持される。
【００１２】
前記連動機構は、前記回転テーブルおよび前記ロータリーヘッドにそれぞれ設けられた一対の第１，第２インターナルギアと、これら第１，第２インターナルギアにそれぞれ噛合される一対の第１，第２遊星ギアと、前記検査機器取付テーブルに回転自在に支持され上記第１，第２遊星ギアを互いに一体的に連結する連結軸とからなる遊星歯車装置を備える。
【００１３】
前記第１，第２インターナルギアは同一モジュールのギアで、それぞれ前記回転テーブルの内周および前記ロータリーヘッドの内周に一体的に形成されるとともに、前記第１，第２遊星ギアも同一モジュールのギアであり、これらを連結する前記連結軸は前記検査機器取付テーブルに設けた軸受体に回転自在に支持される。
【００１４】
前記ロータリーヘッドが昇降自在に支持されるとともに、該ロータリーヘッドの前記第２インターナルギアに噛合される前記第２遊星ギアは該ロータリーヘッドの昇降量に対応させて軸方向に長く形成される。
【００１５】
前記回転テーブル上方に配置され、上下方向に沿うスライド溝が形成された保持フレームと、該保持フレームに上記スライド溝を介して昇降可能に設けられた環状の昇降枠と、該昇降枠の内周部に設けられ前記ロータリーヘッドの外周部を回転自在に支持するベアリングとを備え、前記ロータリーヘッドは上記保持フレームに対し該昇降枠を介して昇降可能かつ回転可能に吊り下げ支持される。
【００１６】
前記保持フレームに前記スライド溝を介して回転不能かつ昇降可能に設けられた前記昇降枠と、上記保持フレームに回転可能に支持され上記昇降枠に螺合されたボルトと、該ボルトに設けられたスプロケットおよび該スプロケットに掛け回されて駆動力を伝達するチェーンとからなる動力伝達機構とを備える。
【００１７】
また、かかる目的を達成するために本発明の非接触式検査装置は、回転駆動されて被検査体を搬送する環状の回転テーブルと、該回転テーブルを挟んでその内側と外側とに配置され、上記被検査体を検査するための非接触式検査機器が取り付けられた検査機器取付テーブルと、上記回転テーブル上方に、該回転テーブルの回転中心周りに回転可能に支持され、該回転テーブルで搬送される上記被検査体の上部を保持するロータリーヘッドと、該ロータリーヘッドを上記回転テーブルと同期させて回転させる連動機構とを備えた非接触式検査装置であって、前記検査機器取付テーブルが前記回転テーブルの回転中心周りに回転可能に設けられるとともに、連続回転駆動カムと揺動回転駆動カムとがその軸方向に併設され、回転駆動される回転入力軸と、上記連続回転駆動カムに摺接するターレットを介して連続回転される連続回転出力軸と、上記揺動回転駆動カムに摺接するターレットを介して揺動回転される揺動回転出力軸とを備え、上記連続回転出力軸で上記回転テーブルを連続回転駆動するとともに、上記揺動回転出力軸で上記検査機器取付テーブルを揺動回転駆動し、かつ該検査機器取付テーブルが該回転テーブルと同方向に回転駆動されるときに、該検査機器取付テーブルを、該回転テーブルと同期回転させるようにしたことを特徴とする。
【００１８】
前記回転テーブルには入力ギアが設けられ、該入力ギアには前記連続回転出力軸に設けられた出力ギアが噛合され、該連続回転出力軸には円形の前記ターレットが設けられ、該ターレットの外周には前記連続回転駆動カムに摺接するカムフォロワが回転自在に設けられる。
【００１９】
前記検査機器取付テーブルにはその回転中心位置に支持軸が設けられ、該支持軸には前記揺動回転出力軸が連結され、該揺動回転出力軸には扇形の前記ターレットが設けられ、該ターレットの外周には前記揺動回転駆動カムに摺接するカムフォロワが回転自在に設けられる。
【００２０】
前記回転テーブルおよび前記検査機器取付テーブルの回転運動速度を決定する前記連続回転駆動カムおよび前記揺動回転駆動カムの各カム曲線は、該検査機器取付テーブルが該回転テーブルの回転方向と同方向に運動するタイミングでは該検査機器取付テーブルと該回転テーブルの運動速度が等しくなるように設定され、該検査機器取付テーブルが該回転テーブルの回転方向と反対方向に運動するタイミングでは該検査機器取付テーブルの運動速度が該回転テーブルの運動速度よりも速くなるように設定される。
【００２１】
前記回転テーブルは環状に形成されるとともに、前記検査機器取付テーブルは該回転テーブルを挟んで、その内側空間に配置される内側テーブルと、該内側テーブルと相対向させて該回転テーブルの外側空間に配置される外側テーブルとからなり、上記内側テーブルにはその回転中心位置に支持軸が一体的に設けられ、該支持軸には上記回転テーブルの外側へ延長されたアームが一体的に設けられるとともに、該アームには上記外側テーブルが一体的に取り付けられる。
【００２２】
前記非接触式検査機器は、前記回転テーブルを挟んで相対向して配置された前記内側テーブルおよび前記外側テーブルに、当該回転テーブルによって搬送される前記被検査体を挟んで配置される。
【００２３】
前記非接触式検査機器は、前記内側テーブルおよび前記外側テーブルにそれぞれ配設される、前記被検査体で反射される光線を照射する投光器および映像を撮影するためのＣＣＤカメラからなり、上記投光器から照射され上記被検査体で反射された反射光の映像を上記ＣＣＤカメラで撮影することにより該被検査体の検査を行う。
【００２４】
前記非接触式検査機器は、前記内側テーブルおよび前記外側テーブルにそれぞれ配設される、前記被検査体を透過する光線を照射するバックライトおよび透過光を検知するための透過型検知器からなり、上記バックライトから照射され上記被検査体を透過した透過光を上記透過型検知器で検知することにより該被検査体の検査を行う。
【００２５】
前記非接触式検査機器はＸ線や電磁波を用いた検査機器であってもよい。
【００２６】
前記ロータリーヘッドは、これに上下スライド可能に挿通されたステムと、該ステムを下方に付勢するスプリングとを備え、該ステムの下端部には前記被検査体の上部を保持するためのキャップが設けられる。
【００２７】
前記回転テーブルの周りには、その周方向に沿って互いに間隔を隔てて、該回転テーブルへ前記被検査体を搬入するための供給ラインと、該回転テーブルから上記被検査体を排出するための排出ラインとが配置される。
【００２８】
以上の構成により本発明の非接触式検査装置にあっては、回転テーブルの上方に、当該回転テーブルの回転中心周りに回転自在に支持させてロータリーヘッドが配置されていて、このロータリーヘッドは連動機構によって回転テーブルと同期回転されるようになっている。これにより被検査体は、回転テーブルによって搬送される際に、その上部が回転テーブルと同期して回転するロータリーヘッドに保持されて移動されることになる。そしてこれら回転テーブルとロータリーヘッドとによって搬送される被検査体は、搬送途中において、環状の回転テーブルを挟んでその内側と外側とに配置された検査機器取付テーブルの間を通過する際に、当該検査機器取付テーブルに取り付けられた非接触式検査機器によって検査されるようになっている。
【００２９】
そして特に、被検査体の上部を保持するロータリーヘッドが回転テーブルの上方に支持されることから、回転テーブルの上であってかつロータリーヘッドの下にはこれら回転テーブルおよびロータリーヘッドの周方向全周に亘って何ら遮るもののない開放された空間が形成されることとなる。したがって、ロータリーヘッドでその上部が保持されつつ回転テーブルに載せられて搬送される被検査体に対して非接触式検査機器で検査を行う際、この検査機器と被検査体との間にはこれら間を遮るものがまったくないので、検査機器の検査能力を被検査体に対し何らの喪失なく十分に発揮させることが可能であるとともに、被検査体に対して検査機器を自由にレイアウトすることが可能となり、当該検査機器による被検査体の検査を高精度にかつ広範に実施することが可能となる。
【００３０】
また、回転テーブルの上方は被検査体の搬送経路の上方でもあって、装置構造上支障となるものがないデッドスペースとなっており、このデッドスペースにロータリーヘッドを支持させることで装置が構成されるようになっている。
【００３１】
また、前記ロータリーヘッドを昇降自在に支持するようにすると、このロータリーヘッドによる被検査体の保持位置が上下に変化して、高さの異なる複数異種の被検査体を同一の装置で検査することが可能となる。
【００３２】
さらに、前記連動機構を、回転テーブルおよびロータリーヘッドにそれぞれ設けた第１，第２インターナルギアと、これら第１，第２インターナルギアにそれぞれ噛合され、かつ互いに連結された一対の第１，第２遊星ギアとで構成し、これら第１，第２遊星ギアを前記検査機器取付テーブルに支持させるようにしていて、回転テーブルとともに第１インターナルギアが回転されると、これに噛合する第１遊星ギアおよびこれに連結した第２遊星ギアが回転され、さらにこの第２遊星ギアに噛合する第２インターナルギアも回転されて、これによってロータリーヘッドが回転テーブルと同期して回転されるようになっている。
【００３３】
特に、前記第１，第２遊星ギアを検査機器取付テーブルで支持させているので、この検査機器取付テーブルが固定式であっても、また前記回転テーブルに対して必要に応じて相対回転される回転式の場合であっても、第１インターナルギアと第２インターナルギアとを等速回転させることが可能であり、回転テーブルとロータリーヘッドとは常に同期して回転されることになる。
【００３４】
また、本発明の非接触式検査装置にあっては、回転入力軸を回転駆動して連続回転駆動カムおよび揺動回転駆動カムを回転駆動させると、ターレットおよび連続回転出力軸を介して前者の連続回転駆動カムにより回転テーブルが連続回転すると共に、ターレットおよび揺動回転出力軸を介して後者の揺動回転駆動カムにより検査機器取付テーブルが、回転テーブルの回転と同方向および反対方向に往復揺動回転する。連続回転する回転テーブルは、被検査体を連続的に搬送する。一方、揺動回転する検査機器取付テーブルは、回転テーブルと同方向に回転するとき、この回転テーブルと同期して回転駆動される。これによって、検査機器取付テーブルに取付けた非接触式検査機器は、回転テーブルで搬送される被検査体と同期して一体に移動されることになる。この両テーブルの同期回転は、このときに非接触式検査機器で被検査体を検査することで、あたかも静止している検査機器によって静止している被検査体を検査している状態を創出する。
【００３５】
また上記したように、非接触式検査機器で被検査体に対する検査を実施している間も、連続回転する回転テーブルは被検査体を間断なく搬送することになる。
【００３６】
揺動回転駆動される検査機器取付テーブルは、回転テーブルと同方向に回転駆動され非接触式検査機器を被検査体と一体に移動させて検査を実施した後には、回転テーブルと反対方向に回転駆動されて元の位置に復帰され、次回の検査作業に臨むようになっている。
【００３７】
殊に、連続回転駆動カムおよび揺動回転駆動カムを採用して回転テーブルの連続回転および検査機器取付テーブルの揺動回転を得るようにしている。このようなカム構成は、一連の運動伝達におけるバックラッシュがないので常に正確な動作を再現する機能を有していて、両テーブルの回転運動の精度が向上する。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。図１から図９は本発明の非接触式検査装置の一実施形態を示し、図１は装置全体を示す断面正面図、図２は被検査体の流れを示す平面図、図３は要部を示す断面平面図、図４はカム機構を示す平面図、図５は回転テーブルと検査機器取付テーブルの運動関係を示すタイムチャート、図６は要部拡大断面図、図７は非接触式検査機器を用いた被検査体の検査態様の一例を示す要部斜視図、図８は非接触式検査機器を用いた被検査体の検査態様の他の例を示す要部斜視図、図９は被検査体を自転させる機構の概略を示す平面図である。
【００３９】
本実施形態の非接触式検査装置１０は、内側に円形の開口部が形成されて、回転駆動される環状の回転テーブル１２と、この回転テーブル１２を挟むように隣接させてその内側に、当該回転テーブル１２の回転中心周りに回転可能に配置される内側テーブル１４ａ、および外側にこれも回転テーブル１２の回転中心周りに回転可能に配置される外側テーブル１４ｂとを備える。そしてこれら内側テーブル１４ａと外側テーブル１４ｂとによって検査機器取付テーブル１４が構成される。
【００４０】
前記回転テーブル１２は図２に示すようにその上面に被検査体１８が載置されてこれを搬送するようになっており、この回転テーブル１２には供給ライン１６から被検査体１８が取込まれ、この被検査体１８を載置した状態で回転テーブル１２が回転し、検査が終了した被検査体１８は排出ライン２０から排出されるようになっている。
【００４１】
前記内側テーブル１４ａは円盤状を成しており、図１および図２に示したようにその中心部下側に支軸２２が一体に垂設されている。一方、前記外側テーブル１４ｂは図２および図３に示すように回転テーブル１２のほぼ１／６周を超える円弧状の帯体に形成され、その下側から一体に突設された扇状のアーム２４の要部分が前記内側テーブル１４ａの支軸２２下部に一体に嵌着されることにより、内側テーブル１４ａと外側テーブル１４ｂとが一体化される。また、前記回転テーブル１２は下面からボス部２６が一体に形成され、このボス部２６は前記支軸２２の上部にベアリング２８を介して回転自在に嵌合される。
【００４２】
前記内側テーブル１４ａには図２に示したように投光器３０および透過型検知器３１が取付けられると共に、前記外側テーブル１４ｂにはＣＣＤカメラ３２およびバックライト３３が取付けられ、被検査体１８を検査するためのこれら非接触式検査機器としての前記投光器３０と前記ＣＣＤカメラ３２および前記透過型検知器３１と前記バックライト３３はそれぞれ、回転テーブル１２によって搬送される被検査体１８を挟んで相対向させて配置される。
【００４３】
前記回転テーブル１２および前記検査機器取付テーブル１４の下側には、これら両テーブル１２，１４を駆動するためのカム機構３６が配置される。前記カム機構３６は、図外の回転駆動源からの回転力が入力される回転入力軸３８を備え、この回転入力軸３８には軸方向に離隔して連続回転駆動カム４０と揺動回転駆動カム４２とが併設される。
【００４４】
一方、前記連続回転駆動カム４０および前記揺動回転駆動カム４２のそれぞれの側方には、図４に示すように連続回転出力軸４４および揺動回転出力軸４６が回転入力軸３８と直交させて配置される。連続回転出力軸４４には円形のターレット４８が嵌着され、このターレット４８の外周に回転自在に設けたカムフォロア５０が前記連続回転駆動カム４０に摺接される。また、前記揺動回転出力軸４６には扇形のターレット５２が嵌着され、このターレット５２の外周に回転自在に設けたカムフォロア５４が前記揺動回転駆動カム４２に摺接される。従って、前記回転入力軸３８の回転により前記連続回転出力軸４４は連続回転駆動カム４０およびターレット４８を介して連続回転駆動されると共に、前記揺動回転出力軸４６は揺動回転駆動カム４２およびターレット５２を介して揺動回転駆動される。
【００４５】
前記連続回転出力軸４４の上端には出力ギア５６が固設される一方、前記回転テーブル１２のボス部２６下端に入力ギア５８が固設され、これら出力ギア５６と入力ギア５８とが噛合されることにより、連続回転出力軸４４の回転が回転テーブル１２に伝達されて、この回転テーブル１２が連続回転される。一方、前記揺動回転出力軸４６の上端は前記内側テーブル１４ａの支軸２２の下端に一体的に連結され、この揺動回転出力軸４６の揺動回転が支軸２２に伝達されて、内側テーブル１４ａおよび外側テーブル１４ｂからなる検査機器取付テーブル１４が揺動回転される。
【００４６】
ここで、前記検査機器取付テーブル１４は、その往路で前記回転テーブル１２と同方向に回転され、その後の復路で回転テーブル１２の回転方向とは反対方向に回転されるようになっている。そしてこのように検査機器取付テーブル１４を往復揺動回転させる揺動回転駆動カム４２のカム面は次のように設定されている。すなわち、回転テーブル１２と同方向に回転する検査機器取付テーブル１４の往路の揺動回転を、回転テーブル１２と同期するように回転テーブル１２の回転速度と等速に設定し、かつ、復路の揺動回転では迅速に元の位置に復帰するように設定してある。この設定に従う前記回転テーブル１２と前記検査機器取付テーブル１４の運動関係は図５のタイムチャートで示されていて、同図中斜線で示した領域で両者の回転角度の傾斜（回転速度）を同一として、回転テーブル１２と前記検査機器取付テーブル１４とが同方向に等速で同期回転されるようになっている。
【００４７】
そして、前記検査機器取付テーブル１４に取付けたＣＣＤカメラ３２で被検査体１８の映像を撮影するには、例えば図７に示すようにＣＣＤカメラ３２と投光器３０とを組みにして、投光器３０から照射した光線を被検査体１８で反射させ、この反射光をＣＣＤカメラ３２で撮影するようにする。また、前記被検査体１８がアンプルとかバイヤル等のように液体を収納した透明容器である場合などには、図８に示すように透過型検知器３１とバックライト３３とを組みにし、バックライト３３から照射した光線を被検査体１８に透過させるようにし、この透過光を透過型検知器３１で検知するようにする。そして、ＣＣＤカメラ３２で撮影した画像を画像処理装置に送って、また透過型検知器３１で検知した信号を処理装置に送って処理することで、被検査体１８の外観の良否や内容物に混入した異物を検出して当該被検査体１８の良否を判定するようになっている。
【００４８】
他方、前記回転テーブル１２に被検査体１８を供給する供給ライン１６は、図２に示したように被検査体１８を一列に並べて整然と移動させるガイド６０と、このガイド６０の出口部分に配置される第１スターホイル６２とを備えて構成される。そして、ガイド６０から順次押出される被検査体１８は、第１スターホイル６２の外周に等間隔で形成された凹部６２ａに１つづつ取り込まれ、この状態で第１スターホイル６２が回転して被検査体１８を回転テーブル１２の所定位置、つまり、この回転テーブル１２には被検査体１８を自転させるための回転座６４を設けてあり、これら回転座６４に被検査体１８を順次１つづつ載置するようになっている。
【００４９】
一方、検査を終了した被検査体１８を前記回転テーブル１２から排出する前記排出ライン２０は、第２スターホイル６６と、この第２スターホイル６６に連なる選別装置６８とで構成される。そして、回転テーブル１２から順次送り出される被検査体１８は、第２スターホイル６６の外周に等間隔で形成された凹部６６ａに１つづつ取り込まれ、この状態で第２スターホイル６６が回転することにより前記選別装置６８に被検査体１８を１つづつ渡すようになっている。
【００５０】
前記選別装置６８は、前記第２スターホイル６６から受け渡される被検査体１８を搬送するためのスクリュー６８ａと、このスクリュー６８ａから１つづつ送り出される被検査体１８を第１選別通路７０ａ若しくは第２選別通路７０ｂへと振り分ける振り子式選別機構７０とを備える。振り子式選別機構７０は振り子７０ｆを備えていて、この振り子７０ｆはその回動中心Ｏ周りに往復回動可能に設けられるとともに、この回動中心Ｏを挟んで二股状に一対の通路７０ｃ，７０ｄを有している。そして、前記振り子７０ｆの回動中心Ｏを中心とした回動により、入口７０ｅを択一的に、通路７０ｃを介して第１選別通路７０ａに連通させるか、あるいは通路７０ｄを介して第２選別通路７０ｂに連通させるようになっている。第１選別通路７０ａに案内された被検査体１８は第１選別収納部７２に収容されると共に、第２選別通路７０ｂに案内された被検査体１８は第２選別収納部７２ａに収容されるようになっている。このとき、例えば第１選別収納部７２は良品の収納部とされ、また第２選別収納部７２ａは不良品の収納部とされる。
【００５１】
一方、図２、図６および図９に示すように、前記回転テーブル１２に回転自在に設けられ被検査体１８を自転可能に載置する回転座６４から垂設したスピン軸６４ａは、この回転テーブル１２の下面から突設され、被検査体１８が検査機器取付テーブル１４位置に到達したときに、モータ７４とプーリ７６との間に周回されて循環駆動されるベルト７８に摺接されるようになっている。そして、スピン軸６４ａがベルト７８に摺接されることにより、このスピン軸６４ａが回転して回転座６４を回転させ、これにより被検査体１８を自転させる。このように被検査体１８を回転テーブル１２上で自転させることにより、被検査体１８の外周全体を一台のＣＣＤカメラ３２で撮影したり、透過型検知器３１による検知作業を行うことができる。また、前記被検査体１８がアンプルやバイヤル等であって内容物を透過光により検査する場合、自転させた被検査体１８を瞬時に制止させると、被検査体１８内で内容物のみが旋回し続けて異物の混入をより正確に検査することができる。
【００５２】
ところで、前記回転テーブル１２の回転に伴って移動する被検査体１８は、ロータリーヘッド８０に設けられたキャップ８２によってそれぞれの上部が押さえられて保持されるようになっている。一方、前記非接触式検査装置１０は全体を取り囲むフレーム８４に組付けられるようになっており、この装置１０の運用上何ら支障のないデッドスペースとなっているフレーム８４の頂部に、前記ロータリーヘッド８０が吊下げ状態で支持されるようになっている。
【００５３】
前記ロータリーヘッド８０は、回転テーブル１２の上方に当該回転テーブル１２の回転中心周りに回転可能に支持され、その周縁部には回転テーブル１２に設けた回転座６４にそれぞれ対応させて前記キャップ８２が設けられている。キャップ８２は図６に示すように、ロータリーヘッド８０に上下スライド自在に挿通されたステム８２ａの下端部に形成され、それぞれのステム８２ａはスプリング８２ｂを介して下方に押圧されている。
【００５４】
前記ロータリーヘッド８０は、その外周部が環状の昇降枠８６の内周にベアリング８６ａを介して回転自在に取付けられ、かつ、この昇降枠８６は保持フレーム８８を介して前記フレーム８４の頂部下側に取付けられる。前記昇降枠８６は保持フレーム８８のスライド溝８８ａに上下スライド可能に嵌合されると共に、保持フレーム８８に回転自在に取付けた複数本のボルト９０が螺入されている。これらボルト９０のうちの１本には、フレーム８４上方へ突出させたその上端部にハンドル９０ａが設けられ、かつ、これらのボルト９０間にはスプロケット９１ａおよびチェーン９１ｂでなる伝動機構９１が設けられて、全ボルト９０が連動されるようになっている。従って、前記ハンドル９０ａを回転することにより、前記昇降枠８６がロータリーヘッド８０と共に昇降するようになっている。
【００５５】
さらに、前記回転テーブル１２と前記ロータリーヘッド８０との間には連動機構９２が設けられ、この連動機構９２はロータリーヘッド８０を回転テーブル１２と同期させて回転させるようになっている。連動機構９２は、回転テーブル１２およびロータリーヘッド８０にそれぞれ設けた第１，第２インターナルギア９４，９６を、これらにそれぞれ噛合される第１，第２遊星ギア９８，１００を介して互いに連結することにより構成される。
【００５６】
前記第１，第２インターナルギア９４，９６はそれぞれ同径に形成され、第１インターナルギア９４は回転テーブル１２の内周に一体に形成されると共に、第２インターナルギア９６はロータリーヘッド８０の内周に一体に形成される。一方、前記第１，第２遊星ギア９８，１００も同径に形成され、これら遊星ギア９８，１００は図３に示したように、揺動回転駆動カム４２で揺動回転される外側テーブル１４ｂと干渉しないように、その往復揺動範囲外方に配置される。そして、これら第１，第２遊星ギア９８，１００は連結軸１０２を介して一体に結合され、この連結軸１０２は内側テーブル１４ａに固定した軸受体１０４に回転自在に支持されるようになっている。また、前記第２遊星ギア１００はロータリーヘッド８０の昇降量を考慮して軸方向に長く形成されている。
【００５７】
以上の構成により本実施形態の非接触式検査装置１０にあっては、回転入力軸３８を回転駆動して連続回転駆動カム４０および揺動回転駆動カム４２を回転駆動させると、ターレット４８および連続回転出力軸４４を介して連続回転駆動カム４０により回転テーブル１２が連続回転すると共に、ターレット５２および揺動回転出力軸４６を介して揺動回転駆動カム４２により検査機器取付テーブル１４が、回転テーブル１２の回転と同方向および反対方向に往復揺動回転する。そして、供給ライン１６から回転テーブル１２の回転座６４上に被検査体１８が順次１つづつ取込まれ、これら被検査体１８は連続回転する回転テーブル１２によって連続的に搬送される。このとき、回転テーブル１２上の被検査体１８の上部はロータリーヘッド８０のキャップ８２に保持され、これら被検査体１８は安定的に搬送される。
【００５８】
揺動回転する検査機器取付テーブル１４は、回転テーブル１２と同方向に回転する往路において、回転テーブル１２と同期して回転されるため、この検査機器取付テーブル１４に取付けられた第１ライト３０，透過型検知器３１，ＣＣＤカメラ３２および第２ライト３３は、回転テーブル１２で搬送される被検査体１８と同期して一体となって移動することになる。そしてこの両テーブル１２，１４の同期回転時に上記ＣＣＤカメラ３２等の非接触式検査機器で被検査体１８を検査することで、あたかも静止している検査機器によって静止している被検査体１８を検査している状態を創出することができて、高い検査精度で検査を実施することができる。また、前記回転テーブル１２と前記検査機器取付テーブル１４とが同期して移動する区間では、被検査体１８とＣＣＤカメラ３２および透過型検知器３１との相対移動がないので、この区間で連続的に撮影を行って多数の画像を得たり、多数の検知信号を得るなどすれば、同一条件下での複数の画像や検知信号相互で比較対照を行うことができ、この面からも高い検査精度を得ることができる。近年では医薬品や飲料品等の品質に関する基準の厳しさが増して来ているが、本実施形態の装置によりガラスのピンホールチェックや微小なひび、割れ等を高精度で検査することができる。被検査体１８としては、上記のものに限られず、電子部品やその他様々な物品を対象とすることができることはもちろんである。
【００５９】
そしてまた、被検査体１８に対する検査を実施している間も、連続回転している回転テーブル１２によって被検査体１８を間断なく搬送することができるため、高い生産性を確保することができる。そして、前記被検査体１８の検査を終了した後には、前記検査機器取付テーブル１４は回転テーブル１２と反対方向に速やかに回転駆動されて元の位置に復帰され、次回の検査作業に臨むようになっている。
【００６０】
そして、回転テーブル１２上で検査が終了した被検査体１８は排出ライン２０から送り出され、良品は選別装置６８のスクリュー６８ａを通過した後、図示する振り子７０ｆで通路７０ｃおよび第１選別通路７０ａを介して第１選別収納部７２に格納される。一方、不良品は振り子７０ｆが揺動されて通路７０ｄ，第２選別通路７０ｂを介して第２選別収納部７２ａに格納されることになる。
【００６１】
尚、本実施形態にあっては、第１，第２ライト３０，３３から照射される光線を利用して被検査体１８を検査する場合を開示したが、これに限ることなく、Ｘ線や電磁波等を利用した検査機器を備えて構成してもよいことはもちろんである。
【００６２】
ここで、本実施形態にあっては、被検査体１８の上部を保持するキャップ８２を備えたロータリーヘッド８０を、フレーム８４の頂部から保持フレーム８８および昇降枠８６を介して吊下げ状態で回転テーブル１２の上方に支持させるようにしたので、回転テーブル１２の上であってかつロータリーヘッド８０の下にはこれら回転テーブル１２およびロータリーヘッド８０の周方向全周に亘って何ら遮るもののない開放された空間を形成することができる。これにより、被検査体１８に対して第１ライト３０，透過型検知器３１，ＣＣＤカメラ３２および第２ライト３３等で構成した非接触式検査機器で検査を行う際に、回転テーブル１２を挟むように配置されるこれら検査機器と、回転テーブル１２上の被検査体１８との間にはこれら間を遮るものがまったくなく、したがって検査機器の検査能力を十分に発揮させることができるとともに、被検査体１８に対する検査機器の配置レイアウトも自由に設定することができて、当該検査機器による被検査体１８の検査を高精度にかつ広範に実施することができる。
【００６３】
また、前記ロータリーヘッド８０は、これを回転自在に保持する昇降枠８６がフレーム８４に固定された保持フレーム８８にボルト９０，９０…を介して昇降可能に取付けられていて、ハンドル９０ａを操作することで昇降自在に昇降されるようになっている。そしてこのロータリーヘッド８０を昇降させてその高さを調整することにより、高さの異なる複数異種の被検査体１８を同一の装置で検査することができる。
【００６４】
さらに、フレーム８４の頂部に吊下げ状態で支持した前記ロータリーヘッド８０は、連動機構９２により回転テーブル１２と連動されるが、この連動機構９２を、回転テーブル１２およびロータリーヘッド８０にそれぞれ設けた第１，第２インターナルギア９４，９６と、これら第１，第２インターナルギア９４，９６にそれぞれ噛合され、かつ互いに連結された一対の第１，第２遊星ギア９８，１００とで構成し、これら第１，第２遊星ギア９８，１００を検査機器取付テーブル１４に支持させるようにしたので、回転テーブル１２と共に第１インターナルギア９４が回転されると、これに噛合する第１遊星ギア９８およびこれに連結軸１０２を介して連結した第２遊星ギア１００が回転し、さらにこの第２遊星ギア１００に噛合する第２インターナルギア９６も回転して、これによってロータリーヘッド８０を回転テーブル１２と同期させて回転させることができる。
【００６５】
このとき、前記第１，第２遊星ギア９８，１００を、軸受体１０４を介して検査機器取付テーブル１４に支持させるようにしたので、検査機器取付テーブル１４が前記回転テーブル１２に対して相対回転しても、第１インターナルギア９４と第２インターナルギア９６とを等速回転させることができて、回転テーブル１２とロータリーヘッド８０とを常に同期回転させることができる。特に回転テーブル１２と検査機器取付テーブル１４とが同期回転する検査機器による検査期間中は、これらテーブル１２，１４間に相対回転がないので第１，第２遊星ギア９８，１００が回転することがなく、連動機構９２を設備しているものの、これに起因する振動が発生しない、無振動状態で検査を行うことができ、きわめて高精度の検査作業を保証することができる。
【００６６】
そしてまた、本実施形態では回転テーブル１２および検査機器取付テーブル１４を駆動するに、連続回転駆動カム４０および揺動回転駆動カム４２を用いることによって、回転入力軸３８の回転を回転テーブル１２の連続回転および検査機器取付テーブル１４の揺動回転に変換するようにしたので、運動伝達におけるバックラッシュがなく常に正確な動作を再現することができる。また、回転テーブル１２のテーブル面に被検査体１８の位置決め溝や穴等を加工しておくことにより、被検査体１８の位置決め精度を高めて画像のブレとかピントのズレをなくすことができる。更に、検査機器取付テーブル１４にはＣＣＤカメラ３２や透過型検知器３１を検査したい方向に自由に取付けることができるので、一度に多項目の検査を行うことができる。
【００６７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかる非接触式検査装置にあっては、被検査体の上部を保持するロータリーヘッドを回転テーブルの上方に支持させるようにしたので、回転テーブルの上であってかつロータリーヘッドの下にはこれら回転テーブルおよびロータリーヘッドの周方向全周に亘って何ら遮るもののない開放された空間を形成することができ、被検査体に対して非接触式検査機器で検査を行う際に、この検査機器と被検査体との間にはこれら間を遮るものがまったくなく、したがって検査機器の検査能力を十分に発揮させることができるとともに、被検査体に対する検査機器の配置レイアウトも自由に設定することができて、当該検査機器による被検査体の検査を高精度にかつ広範に実施することができる。
【００６８】
また、被検査体の搬送経路の上方でもあって装置構造上支障となるものがなくデッドスペースとなっている回転テーブルの上方にロータリーヘッドを支持させるようにしたので、ロータリーヘッドを設備するために特別の設置スペースを確保する必要なく、このデッドスペースを有効利用して適切にロータリーヘッドをレイアウトすることができる。
【００６９】
また、本発明にかかる非接触式検査装置にあっては、前記ロータリーヘッドを昇降自在に支持するようにしたので、このロータリーヘッドによる被検査体の保持位置を上下に変化させることができ、高さの異なる複数異種の被検査体を同一の装置で検査することができる。
【００７０】
さらに、本発明にかかる非接触式検査装置にあっては、前記連動機構を、回転テーブルおよびロータリーヘッドにそれぞれ設けた第１，第２インターナルギアと、これら第１，第２インターナルギアにそれぞれ噛合され、かつ互いに連結された一対の第１，第２遊星ギアとで構成し、これら第１，第２遊星ギアを前記検査機器取付テーブルに支持させるようにしたので、回転テーブルとともに第１インターナルギアが回転されると、これに噛合する第１遊星ギアおよびこれに連結した第２遊星ギアが回転し、さらにこの第２遊星ギアに噛合する第２インターナルギアも回転して、これによってロータリーヘッドを回転テーブルと同期させて回転させることができる。
【００７１】
特に、前記第１，第２遊星ギアを検査機器取付テーブルで支持させるようにしたので、この検査機器取付テーブルが固定式であっても、また前記回転テーブルに対して必要に応じて相対回転される回転式の場合であっても、第１インターナルギアと第２インターナルギアとを等速回転させることができて、回転テーブルとロータリーヘッドとを常に同期回転させることができる。
【００７２】
また本発明にあっては、回転入力軸を回転駆動して連続回転駆動カムおよび揺動回転駆動カムを回転駆動させ、ターレットおよび連続回転出力軸を介して回転テーブルを連続回転させると共に、同様にターレットおよび揺動回転出力軸を介して検査機器取付テーブルを往復揺動回転させ、これにより連続回転する回転テーブルによって被検査体を連続的に搬送させる一方で、検査機器取付テーブルを、これが回転テーブルと同方向に回転駆動されるときにこの回転テーブルと同期回転させることができるので、検査機器取付テーブルに取付けた非接触式検査機器を、回転テーブルで搬送される被検査体と同期させて一体に移動させることができ、この両テーブルの同期回転時に非接触式検査機器で被検査体を検査させることで、あたかも静止している検査機器によって静止している被検査体を検査している状態を創出することができて、高い検査精度で検査を実施することができる。
【００７３】
また、非接触式検査機器で被検査体に対する検査を実施している間も、連続回転する回転テーブルによって被検査体を間断なく搬送することができるため、高い生産性を確保することができる。
【００７４】
さらに、連続回転駆動カムおよび揺動回転駆動カムを採用して回転テーブルの連続回転および検査機器取付テーブルの揺動回転を得るようにしているので、一連の運動伝達におけるバックラッシュがなく、常に正確な動作を再現させることができ、両テーブルの回転運動を高精度なものとすることができて、これにより両テーブルの回転運動の精度に影響を受ける検査作業の検査精度を著しく向上させることができるという各種優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す装置全体の断面正面図である。
【図２】本発明の一実施形態の被検査体の流れを説明する平面図である。
【図３】本発明の一実施形態の要部を示す断面平面図である。
【図４】本発明の一実施形態に用いられるカム機構を示す平面図である。
【図５】本発明の一実施形態の回転テーブルと検査機器取付テーブルの運動関係を示すタイムチャートである。
【図６】本発明の一実施形態の要部拡大断面図である。
【図７】非接触式検査機器を用いた被検査体の検査態様の一例を示す要部斜視図である。
【図８】非接触式検査機器を用いた被検査体の検査態様の他の例を示す要部斜視図である。
【図９】被検査体を自転させる機構の概略を示す平面図である。
【図１０】従来の検査装置を示す要部斜視図である。
【図１１】従来の検査装置を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１０非接触式検査装置
１２回転テーブル
１４検査機器取付テーブル
１８被検査体
３０第１ライト
３１透過型検知器
３２ＣＣＤカメラ
３３第２ライト
３６カム機構
３８回転入力軸
４０連続回転駆動カム
４２揺動回転駆動カム
４４連続回転出力軸
４６揺動回転出力軸
４８ターレット
５０カムフォロワ
５２ターレット
５４カムフォロワ
８０ロータリーヘッド
８６昇降枠
８８保持フレーム
９０ボルト
９０ａハンドル
９２連動機構
９４第１インターナルギア
９６第２インターナルギア
９８第１遊星ギア
１００第２遊星ギア

Claims

回転駆動されて被検査体を搬送する環状の回転テーブルと、
該回転テーブルを挟んでその内側と外側とに配置され、上記被検査体を検査するための非接触式検査機器が取り付けられた検査機器取付テーブルと、
上記回転テーブル上方に、該回転テーブルの回転中心周りに回転可能に支持され、該回転テーブルで搬送される上記被検査体の上部を保持するロータリーヘッドと、
該ロータリーヘッドを上記回転テーブルと同期させて回転させる連動機構とを備えた非接触式検査装置であって、
前記回転テーブル上方に配置され、上下方向に沿うスライド溝が形成された保持フレームと、
該保持フレームに上記スライド溝を介して昇降可能に設けられた環状の昇降枠と、
該昇降枠の内周部に設けられ前記ロータリーヘッドの外周部を回転自在に支持するベアリングとを備え、
前記ロータリーヘッドは上記保持フレームに対し該昇降枠を介して昇降可能かつ回転可能に吊り下げ支持されていることを特徴とする非接触式検査装置。
前記連動機構は、
前記回転テーブルおよび前記ロータリーヘッドにそれぞれ設けられた一対の第１，第２インターナルギアと、
これら第１，第２インターナルギアにそれぞれ噛合される一対の第１，第２遊星ギアと、
前記検査機器取付テーブルに回転自在に支持され上記第１，第２遊星ギアを互いに一体的に連結する連結軸と
からなる遊星歯車装置を備えることを特徴とする請求項１に記載の非接触式検査装置。
前記第１，第２インターナルギアは同一モジュールのギアで、それぞれ前記回転テーブルの内周および前記ロータリーヘッドの内周に一体的に形成されるとともに、前記第１，第２遊星ギアも同一モジュールのギアであり、これらを連結する前記連結軸は前記検査機器取付テーブルに設けた軸受体に回転自在に支持されることを特徴とする請求項２に記載の非接触式検査装置。
前記ロータリーヘッドが昇降自在に支持されるとともに、該ロータリーヘッドの前記第２インターナルギアに噛合される前記第２遊星ギアは該ロータリーヘッドの昇降量に対応させて軸方向に長く形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の非接触式検査装置。
前記保持フレームに前記スライド溝を介して回転不能かつ昇降可能に設けられた前記昇降枠と、
上記保持フレームに回転可能に支持され上記昇降枠に螺合されたボルトと、
該ボルトに設けられたスプロケットおよび該スプロケットに掛け回されて駆動力を伝達するチェーンとからなる動力伝達機構とを備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の非接触式検査装置。
回転駆動されて被検査体を搬送する環状の回転テーブルと、
該回転テーブルを挟んでその内側と外側とに配置され、上記被検査体を検査するための非接触式検査機器が取り付けられた検査機器取付テーブルと、
上記回転テーブル上方に、該回転テーブルの回転中心周りに回転可能に支持され、該回転テーブルで搬送される上記被検査体の上部を保持するロータリーヘッドと、
該ロータリーヘッドを上記回転テーブルと同期させて回転させる連動機構とを備えた非接触式検査装置であって、
前記検査機器取付テーブルが前記回転テーブルの回転中心周りに回転可能に設けられるとともに、
連続回転駆動カムと揺動回転駆動カムとがその軸方向に併設され、回転駆動される回転入力軸と、
上記連続回転駆動カムに摺接するターレットを介して連続回転される連続回転出力軸と、
上記揺動回転駆動カムに摺接するターレットを介して揺動回転される揺動回転出力軸とを備え、
上記連続回転出力軸で上記回転テーブルを連続回転駆動するとともに、上記揺動回転出力軸で上記検査機器取付テーブルを揺動回転駆動し、かつ該検査機器取付テーブルが該回転テーブルと同方向に回転駆動されるときに、該検査機器取付テーブルを、該回転テーブルと同期回転させるようにしたことを特徴とする非接触式検査装置。
前記回転テーブルには入力ギアが設けられ、該入力ギアには前記連続回転出力軸に設けられた出力ギアが噛合され、該連続回転出力軸には円形の前記ターレットが設けられ、該ターレットの外周には前記連続回転駆動カムに摺接するカムフォロワが回転自在に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の非接触式検査装置。
前記検査機器取付テーブルにはその回転中心位置に支持軸が設けられ、該支持軸には前記揺動回転出力軸が連結され、該揺動回転出力軸には扇形の前記ターレットが設けられ、該ターレットの外周には前記揺動回転駆動カムに摺接するカムフォロワが回転自在に設けられていることを特徴とする請求項６又は７に記載の非接触式検査装置。
前記回転テーブルおよび前記検査機器取付テーブルの回転運動速度を決定する前記連続回転駆動カムおよび前記揺動回転駆動カムの各カム曲線は、該検査機器取付テーブルが該回転テーブルの回転方向と同方向に運動するタイミングでは該検査機器取付テーブルと該回転テーブルの運動速度が等しくなるように設定され、該検査機器取付テーブルが該回転テーブルの回転方向と反対方向に運動するタイミングでは該検査機器取付テーブルの運動速度が該回転テーブルの運動速度よりも速くなるように設定されていることを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載の非接触式検査装置。
前記回転テーブルは環状に形成されるとともに、前記検査機器取付テーブルは該回転テーブルを挟んで、その内側空間に配置される内側テーブルと、該内側テーブルと相対向させて該回転テーブルの外側空間に配置される外側テーブルとからなり、
上記内側テーブルにはその回転中心位置に支持軸が一体的に設けられ、該支持軸には上記回転テーブルの外側へ延長されたアームが一体的に設けられるとともに、該アームには上記外側テーブルが一体的に取り付けられることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の非接触式検査装置。
前記非接触式検査機器は、前記回転テーブルを挟んで相対向して配置された前記内側テーブルおよび前記外側テーブルに、当該回転テーブルによって搬送される前記被検査体を挟んで配置されることを特徴とする請求項１０に記載の非接触式検査装置。
前記非接触式検査機器は、前記内側テーブルおよび前記外側テーブルにそれぞれ配設される、前記被検査体で反射される光線を照射する投光器および映像を撮影するためのＣＣＤカメラからなり、
上記投光器から照射され上記被検査体で反射された反射光の映像を上記ＣＣＤカメラで撮影することにより該被検査体の検査を行うことを特徴とする請求項１１に記載の非接触式検査装置。
前記非接触式検査機器は、前記内側テーブルおよび前記外側テーブルにそれぞれ配設される、前記被検査体を透過する光線を照射するバックライトおよび透過光を検知するための透過型検知器からなり、
上記バックライトから照射され上記被検査体を透過した透過光を上記透過型検知器で検知することにより該被検査体の検査を行うことを特徴とする請求項１１に記載の非接触式検査装置。
前記非接触式検査機器はＸ線や電磁波を用いた検査機器であることを特徴とする請求項１１に記載の非接触式検査装置。
前記ロータリーヘッドは、これに上下スライド可能に挿通されたステムと、該ステムを下方に付勢するスプリングとを備え、
該ステムの下端部には前記被検査体の上部を保持するためのキャップが設けられていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載の非接触式検査装置。
前記回転テーブルの周りには、その周方向に沿って互いに間隔を隔てて、該回転テーブルへ前記被検査体を搬入するための供給ラインと、該回転テーブルから上記被検査体を排出するための排出ラインとが配置されることを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載の非接触式検査装置。