JP3572222B2 - ゲートバルブ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、集積回路(IC)やその部品等のワークを一方の真空処理室から他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉することが可能なゲートバルブに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、例えば、半導体ウェハや液晶基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行われており、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉するゲートバルブが設けられている。
【0003】
このゲートバルブは、例えば、特許第2613171号公報(米国特許第5415376号、米国特許第5641149号)に示されるように、シリンダの駆動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁ディスクが弁座の対向位置に到達した後、前記弁ロッドの傾動運動によって前記弁ディスクが弁座に押し付けられて着座することにより、弁箱に形成された通路が閉塞されるように設けられている。
【0004】
すなわち、従来技術に係る前記ゲートバルブ1は、図13および図14に示されるように、ワークを出し入れする通路2が形成された弁箱3と、前記弁箱3内に形成された弁座4に着座することにより前記通路2を閉塞する弁ディスク5と、前記弁ディスク5に連結されて上下動および傾動自在に設けられた弁ロッド6とを有する。
【0005】
前記弁ロッド6の上部にはブロック7が連結され、前記ブロック7の両側面には、一組のシリンダ8a、8bのシリンダチューブ9の両側面にそれぞれ形成されたガイド溝10(図15参照)に沿って変位する枢軸11が固着され、前記ブロック7は、枢軸11が係合するガイド溝10の案内作用下に上下動および傾動するように設けられている。なお、前記シリンダチューブ9、ブロック7および枢軸11はそれぞれ金属製材料によって形成されている。
【0006】
換言すると、前記ブロック7は、枢軸11が係合するガイド溝10の案内作用下に、引張ばね12を介してヨーク13と一体的に上下方向に沿って直進運動するとともに、前記ガイド溝10の湾曲する下端部10a(図15参照)によって支持された枢軸11を支点として矢印A方向に傾動運動するように設けられている。従って、前記弁ディスク5は、枢軸11を支点として矢印B方向に傾動して弁座4に着座することにより、通路2が気密に閉塞される。
【0007】
なお、参照数字14は、断面菱形の板状カムを示し、傾斜した前記板状カム14が略水平に変位することにより、前記ブロック7がガイド溝10の下端部10aを支点として矢印A方向に傾動するように設けられている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来技術に係るゲートバルブでは、シリンダの側面に形成されたガイド溝に沿ってブロックの枢軸が摺動変位するように設けられているため、長年の使用によって前記枢軸が摩耗して変形してしまい、ガイド機能が低下するという不具合がある。
【0009】
また、従来技術に係るゲートバルブでは、弁ブロックの両側に枢軸を設けることにより部品点数が多くなるとともに、シリンダの側面にガイド溝を切り欠く工程が必要となり、製造コストが高騰するという不具合がある。
【0010】
さらに、従来技術に係るゲートバルブでは、金属製材料からなるシリンダチューブのガイド溝に沿って金属製材料からなるブロックの枢軸が摺動変位することにより塵埃等が発生する。換言すると、金属製材料同士の摩擦によってダストが発生することによりクリーンルーム等の清浄性が要求される環境では使用することができないという不具合がある。
【0011】
本発明は、前記の不具合を考慮してなされたものであり、ガイド手段を不要とすることにより部品点数を削減して製造コストを低減し、しかも、塵埃等の発生を抑制することにより清浄性が要求される環境で好適に使用することが可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、略平行に配設された複数の駆動機構を有する駆動源と、
前記複数の駆動機構の駆動軸にそれぞれ連結され、該複数の駆動機構の駆動作用下に前記駆動軸の軸線方向に沿って変位するヨークと、
前記ヨークと一体的に前記軸線方向に沿って変位するとともに、前記軸線方向に沿った変位終端において支持部材を支点として傾動自在に設けられた変位ブロックと、
前記変位ブロックに連結された弁ロッドを介して通路を開閉する弁ディスクと、
前記ヨークと変位ブロックとを前記軸線方向に沿って位置決めした状態で一体的に保持する位置決め保持手段と、
を備え、
前記位置決め保持手段は、前記ヨークと変位ブロックとの間に介装されたばね部材と、前記ばね部材を間にして前記ヨークに固着された一組の保持ブロックと、前記一組の保持ブロックにそれぞれ固定され前記変位ブロックの側面に沿って延在する一組の保持プレートと、前記一組の保持プレートにそれぞれ係止された一組のピン部材と、前記変位ブロックの側面に形成され前記一組のピン部材がそれぞれ係合する一組の係合用溝部とを含むことを特徴とする。
【0014】
また、前記複数の駆動機構を、シリンダ室に供給される圧力流体の作用下にピストンおよびピストンロッドを軸線方向に沿って変位させる第1シリンダ機構および第2シリンダ機構によって構成するとよい。
【0015】
さらに、前記支持部材は、変位ブロックの一端部に回動自在に軸支された一組の支持ローラからなり、前記支持ローラを、変位ブロックの変位終端位置において湾曲する凹部に係合するように設けるとよい。
【0016】
さらにまた、前記凹部に支持ローラが当接したときの衝撃を吸収する第1緩衝部材を設け、また、ピストンが下死点に到達した際、前記第1シリンダ機構および第2シリンダ機構に前記ピストンに付与される衝撃を吸収する第2緩衝部材を設け、しかも、第1ベースプレートと第2ベースプレートとの間に弁ロッドの外周面を囲繞するシール部材を設けると好適である。
【0017】
本発明によれば、複数の駆動機構の駆動作用下に、位置決め保持手段を介してヨークと変位ブロックとが駆動軸の軸線方向に沿って位置決めされた状態で一体的に前記軸線方向に沿って変位する。前記軸線方向に沿った変位終端位置に到達した後、ヨークのみを前記軸線方向に沿ってさらに変位させることにより、前記変位ブロックは支持部材を支点として所定角度だけ傾動する。この結果、変位ブロックに連結された弁ロッドが傾動し、弁ディスクによって通路が閉塞される。
【0018】
本発明では、ヨークと変位ブロックとの間に介装されたばね部材と、前記ばね部材を間にして前記ヨークに固着された一組の保持ブロックと、前記一組の保持ブロックにそれぞれ固定され前記変位ブロックの側面に沿って延在する一組の保持プレートと、前記一組の保持プレートにそれぞれ係止された一組のピン部材と、前記変位ブロックの側面に形成され前記一組のピン部材がそれぞれ係合する一組の係合用溝部とを含み、前記ヨークと変位ブロックとを前記軸線方向に沿って位置決めした状態で一体的に保持する位置決め保持手段を設けることにより、ガイド手段を不要としたため、部品点数が削減される。
【0019】
【発明の実施の形態】
本発明に係るゲートバルブについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0020】
図1において、参照数字20は、本発明の実施の形態に係るゲートバルブを示す。
【0021】
このゲートバルブ20は、駆動部(駆動源)22と、前記駆動部22の駆動作用下に上下方向に沿って変位するとともに、前記上下方向と略直交する方向に傾動する弁ロッド24と、前記弁ロッド24の一端部に連結された略長方形状の弁ディスク26とを有する。前記弁ロッド24の略中央部の外周面には、下方側に向かって徐々に拡径する環状段部27が形成されている(図3参照)。
【0022】
なお、前記駆動部22の上部側には、図示しないワークを出し入れするための通路28が形成された弁箱30が設けられ(図6および図7参照)、前記弁箱30の内壁面に形成された弁座32に前記弁ディスク26が着座することにより、前記通路28が気密に閉塞される。前記弁ディスク26には環状溝に沿ってシール部材34が装着され、前記シール部材34によって弁ディスク26が弁座32に着座した際の気密性が保持される。
【0023】
駆動部22は、前記弁箱30の底面に図示しないねじ部材を介して固定される第1ベースプレート36および第2ベースプレート38と、前記第2ベースプレート38に装着される有底筒状のケーシング40と、前記ケーシング40内に略平行に配設され、同一構成要素からなる第1シリンダ機構42aおよび第2シリンダ機構42b(駆動機構)とを有する。
【0024】
図2に示されるように、第1ベースプレート36および第2ベースプレート38の略中央部には、弁ロッド24が挿通するための断面略円形状の貫通孔44a、44bがそれぞれ形成されている。また、第2ベースプレート38の下面部には、後述する支持ローラ(支持部材)46を支持するための断面半円状の凹部48が形成された一組の突起部49a、49bが所定間隔離間して設けられている。前記貫通孔44a、44bの直径は、弁ロッド24の直径よりも大きく形成され、また該貫通孔44bには、弁ロッド24の所定部分を被覆するベローズ50の一端部を保持するリング体52が嵌合される。
【0025】
第1ベースプレート36と第2ベースプレート38との間には、図8に示されるように、弁ロッド24の外周面を囲繞するパッキン(シール部材)51が挟持され、前記パッキン51は、一組のピストン60a、60bが上昇した際、弁ロッド24の環状段部27に接触してシール機能を営む。なお、前記パッキン51は、弁ロッド24の環状段部27を除いた他の外周面と接触しないように設けられているため、摩擦による塵埃の発生が阻止される。
【0026】
また、第2ベースプレート38には、図2および図3に示されるように、例えば、ウレタン樹脂またはポリウレタン樹脂等の樹脂製材料によって形成された第1緩衝部材53が孔部内に装着され、前記第1緩衝部材53は第1ベースプレート36と第2ベースプレート38とによって挟持される。前記第1緩衝部材53は、支持ローラ46が凹部48に係合する際、前記支持ローラ46に当接して該支持ローラ46の衝撃を吸収する機能を営む。
【0027】
前記第1シリンダ機構42aおよび第2シリンダ機構42bは、それぞれ、同一構成要素から構成されるため、第1シリンダ機構42aについて詳細に説明し、第2シリンダ機構42bについては同一の構成要素に符号bを付してその詳細な説明を省略する。
【0028】
第1シリンダ機構42aは、図3に示されるように、図示しない固定手段を介して第2ベースプレート38に固定されるシリンダチューブ56aと、前記シリンダチューブ56a内のシリンダ室58に沿って変位自在に収装されたピストン60aと、一端部が前記ピストン60aに連結されたピストンロッド64aと、前記シリンダチューブ56aに保持され、ピストンロッド64aの外周面を囲繞するシール部材66aとを有する。
【0029】
前記ピストン60aの外周面には、該ピストン60aによって二分割された上部側シリンダ室58aと下部側シリンダ室58bとをそれぞれ気密に保持するピストンパッキン70aが装着されている。なお、前記ピストン60aの底面部には、該ピストン60aが下死点に到達した際の衝撃を吸収する図示しない第2緩衝部材を設けてもよい。前記第2緩衝部材は、例えば、ウレタン樹脂、あるいはポリウレタン樹脂等の樹脂製材料によって形成されると好適である。
【0030】
この場合、前記上部側シリンダ室58aおよび下部側シリンダ室58bには、圧力流体供給源(図示せず)に接続された図示しないチューブを介して圧力流体(例えば、圧縮空気)が供給され、図示しない切換弁の切換作用下に上部側シリンダ室58aまたは下部側シリンダ室58bのいずれか一方に圧力流体が供給される。
【0031】
さらに、駆動部22は、図2および図3に示されるように、ロックナット74を介して一組のピストンロッド64a、64bの他端部にそれぞれ固定され、長尺な板状に形成されたヨーク78と、前記ヨーク78と一体的に変位する縦断面略H状に形成された変位ブロック80とを有する。
【0032】
図2および図3に示されるように、前記ヨーク78の略中央部には、後述するばね部材84の一端部が係着される略円形状の凹部86が形成されている。また、前記ヨーク78には、略長円状に切り欠かれた長孔88a、88bを有する一組の保持ブロック90a、90bが所定間隔離間して固着され、前記長孔88a、88bには、ピン部材91を介して変位ブロック80に軸着されたローラ92が係合するように設けられている。なお、前記ローラ92は、ピン部材91を中心として回動自在に軸支されている。
【0033】
さらに、前記一組の保持ブロック90a、90bの上部には、それぞれ、ねじ部材を介して保持プレート93が固定されている。前記保持プレート93には孔部を介して一組のピン部材94が嵌着され、前記ピン部材94の一端部は、変位ブロック80の両側面に形成された係合用溝部96に係合するように設けられている。
【0034】
図2および図3に示されるように、変位ブロック80の略中央部には、弁ロッド24の他端部が嵌挿される断面略円形状の孔部100が形成され、前記弁ロッド24のねじ部に締結されるロックナット102を介して前記弁ロッド24が変位ブロック80に固定される。前記変位ブロック80とヨーク78との間には、弁ロッド24とばね部材84が介装され、前記ばね部材84の一端部は、前記ロックナット102に係着され、該ばね部材84の他端部は、ヨーク78の凹部86に係着されている。
【0035】
なお、前記弁ロッド24の他端部側には、その外周面を被覆するベローズ50が設けられ、前記ベローズ50の一端部は第2ベースプレート38に保持されたリング体52に固着され、他端部は弁ロッド24に外嵌されたリング体104に固着されている。
【0036】
また、変位ブロック80の両側面には、保持ブロック90a、90bおよび保持プレート93を介してヨーク78に係止されたピン部材94の一端部が係合する係合用溝部96がそれぞれ形成されている。前記係合用溝部96の下端部96aにピン部材94が係合することにより、ヨーク78と変位ブロック80との上下方向および前後方向(図3において、紙面と略直交する方向)の位置ずれを防止し且つ上下方向に沿って所定間隔離間した状態で位置決めされ、このように位置決めされた状態で一体的に上下動する。そして、前記ピン部材94が係合用溝部96の下端部96aから離脱し該係合用溝部96に沿って上昇することにより、弁ディスク26が傾動可能となる。
【0037】
さらに、二股に分岐した変位ブロック80の上部には、一組の支持ローラ46が回動自在に軸支され、前記支持ローラ46は、変位ブロック80の変位終端位置において第2ベースプレート38の突起部49a、49bに形成された湾曲する凹部48に挿入され、前記凹部48に係合する支持ローラ46を支点として、弁ディスク26、弁ロッド24および変位ブロック80が所定角度θだけ傾動する。
【0038】
本発明の実施の形態に係るゲートバルブ20は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、以下の説明では、一組のピストン60a、60bがそれぞれシリンダ室58の最下端にあり、弁箱30に形成された通路28が弁ディスク26によって閉塞されていない開成状態を初期位置として説明する。
【0039】
この場合、前記初期位置では、ばね部材84の弾発力によってヨーク78が下方側に向かって押圧されているため、保持ブロック90a、90bおよび保持プレート93を介してヨーク78に係止されたピン部材94が変位ブロック80の係合用溝部96の下端部96aに保持された状態にある。また、前記初期位置では、保持ブロック90a、90bに形成された長孔88a、88bの上部にローラ92が係合した状態にある。
【0040】
前記初期位置において、圧力流体供給源(図示せず)から図示しないチューブを介して第1シリンダ機構42aおよび第2シリンダ機構42bの下部側シリンダ室58bに圧力流体をそれぞれ供給する。前記下部側シリンダ室58bに供給された圧力流体の作用下に一組のピストン60a、60bがそれぞれ上昇し、前記ピストン60a、60bに連結された一組のピストンロッド64a、64bもそれぞれ上昇する。なお、この場合、上部側シリンダ室58aは、図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にあるものとする。
【0041】
前記一組のピストンロッド64a、64bが略平行にそれぞれ上昇することにより、該ピストンロッド64a、64bとともにヨーク78、変位ブロック80、弁ロッド24および弁ディスク26が一体的に上昇する。この場合、ヨーク78はばね部材84の弾発力によって下方側に押圧された状態にあり、保持ブロック90a、90bおよび保持プレート93を介して前記ヨーク78に係止された一組のピン部材94が変位ブロック80の係合用溝部96の下端部96aに保持されることにより、ヨーク78と変位ブロック80とは、それぞれ、上下方向および前後方向(図3において、紙面と略直交する方向)の位置ずれを防止した所定位置に位置決め保持された状態にある。従って、ヨーク78および変位ブロック80は、前記所定位置に位置決め保持された状態で一体的に上昇する。
【0042】
ピストンロッド64a、64bが略同時に上昇して変位ブロック80の一端部が第2ベースプレート38に当接することにより前記変位ブロック80は変位終端位置に到達し、弁ディスク26は、通路28の開口部に対峙した状態となる(図6参照)。その際、変位ブロック80の上部に設けられた一組の支持ローラ46は、第2ベースプレート38の突起部49a、49bに形成された湾曲する凹部48にそれぞれ係合するとともに、第1緩衝部材53に当接することによりその衝撃が吸収される。
【0043】
変位ブロック80が変位終端位置に到達した後、一組のピストンロッド64a、64bがさらにそれぞれ上昇することにより、該変位ブロック80は、ヨーク78の長孔88a、88bに対するローラ92の係合作用下に、凹部48に係合する支持ローラ46を支点として所定角度θだけ傾動し、弁ディスク26が弁座32に着座することにより通路28が閉塞される(図7参照)。
【0044】
すなわち、変位ブロック80が変位終端位置に到達した後、ばね部材84の弾発力に抗して一組のピストンロッド64a、64bをさらに略同時に上昇させることによりヨーク78のみが上昇し、その際、変位ブロック80は、ヨーク78の両側面に形成された長孔88a、88bに対するローラ92の係合作用下に、支持ローラ46を支点として所定角度θだけ傾動する(図7参照)。なお、変位ブロック80が支持ローラ46を支点として所定角度傾動する際、ヨーク78に係止されたピン部材94は、変位ブロック80の係合用溝部96の下端部96aから離脱し該係合用溝部96に沿って上昇する。
【0045】
従って、弁ロッド24を介して変位ブロック80に固定された弁ディスク26は、前記変位ブロック80が所定角度θだけ傾動することにより、通路28から所定間隔離間して対峙した状態から通路28側に向かって略水平に変位する。この結果、弁ディスク26に設けられたシール部材34が弁座32に着座して通路28が気密に閉塞される。
【0046】
次に、弁ディスク26を弁座32から離間させて通路28を開成する場合には、図示しない切換弁の切換作用下に第1シリンダ機構42aおよび第2シリンダ機構42bの上部側シリンダ室58aに圧力流体をそれぞれ供給することにより一組のピストン60a、60bが略同時に下降し、ピストンロッド64a、64b、ヨーク78および変位ブロック80が一体的に下降することにより、初期位置に復帰する。なお、この場合、下部側シリンダ室58bは、図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にある。
【0047】
すなわち、変位ブロック80が長孔88a、88bに対するローラ92の係合作用下に前記とは反対方向に向かって所定角度θだけ傾動して弁ディスク26が確実に弁座32から離間した後、係合用溝部96に対するピン部材94の係合作用下に、一組のピストンロッド64a、64bと一体的にヨーク78および変位ブロック80が下降することにより初期位置に復帰する。その際、ピストン60a、60bの底面部に設けられた図示しない第2緩衝部材によって該ピストン60a、60bが下死点に到達したときの衝撃を吸収するとよい。
【0048】
本実施の形態では、保持ブロック90a、90bおよび保持プレート93を介してヨーク78に係止されたピン部材94を変位ブロック80の係合用溝部96に係合させることにより、前記ヨーク78と前記変位ブロック80とを上下方向に沿った所定位置に位置決めした状態で保持し、両者が一体的に上下動するように設けられている。従って、本実施の形態では、ヨーク78および変位ブロック80を上下動させる際に前記ヨーク78および変位ブロック80を案内するガイド手段を設ける必要がないため、従来技術と比較して部品点数を削減して製造コストを低減することができる。
【0049】
また、本実施の形態では、従来技術のようにシリンダチューブ9の側面にガイド溝10(図14参照)を切り欠く工程を省略することにより、製造工程を簡素化して製造コストを低減することができる。
【0050】
さらに、本実施の形態では、従来技術のようにガイド溝10に沿って摺動変位する際に塵埃等を発生させるガイド手段を設けていないため、塵埃等の発生を抑制することにより、例えば、クリーンルーム等の清浄性が要求される環境で好適に使用することができる。
【0051】
次に、本発明の他の実施の形態に係るゲートバルブ110を図9乃至図12に示す。なお、図1に示す前記の実施の形態に係るゲートバルブ20と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【0052】
この他の実施の形態に係るゲートバルブ110では、前記実施の形態に係るゲートバルブ20を構成するヨーク78に係止されたピン部材94と変位ブロック80の両側面に形成された係合用溝部96とに代替して、前記ヨーク78および変位ブロック80をそれぞれ上下方向および前後方向の位置ずれがない所定位置に位置決めした状態で一体的に保持する一組の連結ピン112a、112bが設けられている点に特徴がある。
【0053】
前記一組の連結ピン112a、112bは、それぞれ、一端部が変位ブロック80の底面部にねじ締結されて固定され、他端部がヨーク78の長孔114内にクリアランスを介して遊嵌されている。従って、連結ピン112a、112bの他端部は、長孔114に沿って変位自在に設けられている。また、断面テーパ状に形成された前記連結ピン112a、112bの頭部は、長孔114に形成されたテーパ部116によって係止されるように設けられている。
【0054】
この場合、ヨーク78はばね部材84の弾発力によって下方側に押圧された状態にあり、前記ヨーク78の底面に固着された一組の連結ピン112a、112bの頭部が変位ブロック80の長孔114のテーパ部116に係止されることにより、ヨーク78と変位ブロック80とが共に所定間隔離間した上下方向等に沿った所定位置に位置決めされた状態で保持される。従って、ヨーク78および変位ブロック80は、前記位置決め保持された状態で一体的に上下動する。
【0055】
なお、変位ブロック80が変位終端位置に到達した後、ヨーク78はばね部材84の弾発力に抗してさらに上昇し、その際、連結ピン112a、112bの頭部がヨーク78の長孔114から抜け出して突出することにより、変位ブロック80は支持ローラ46を支点として所定角度θだけ傾動する(図12参照)。
【0056】
他の実施の形態では、一組の連結ピン112a、112bという簡素な構造によってヨーク78と変位ブロック80とを上下方向に沿った所定位置に位置決めした状態で保持することができ、より一層製造コストを低減することができる。
【0057】
その他の構成並びに作用効果は、前記実施の形態と同一であるため、その詳細な説明を省略する。
【0058】
なお、本発明の実施の形態では、複数の駆動機構として圧力流体の作用下にピストン60a、60bおよびピストンロッド64a、64bを一体的に変位させる第1シリンダ機構42aおよび第2シリンダ機構42bを用いて説明しているが、これに限定されるものではなく、前記複数の駆動機構として、例えば、図示しないリニアアクチュエータ、回転駆動源、または電動アクチュエータ等を用いてもよいことは勿論である。
【0059】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【0060】
すなわち、ヨークと変位ブロックとを位置決めした状態で一体的に保持する位置決め保持手段を設けることにより、ガイド手段を不要としたため、部品点数を削減して製造コストを低減することができる。
【0061】
また、ガイド溝を切り欠く工程を省略することができることから、製造工程が簡素化され、より一層製造コストを低減することができる。
【0062】
さらに、塵埃の発生を抑制することにより、クリーンルーム等の清浄性が要求される環境で好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略斜視図である。
【図2】図1に示すゲートバルブの分解斜視図である。
【図3】前記ゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図4】図3のIV−IV線に沿った横断面図である。
【図5】図3のV−V線に沿った横断面図である。
【図6】図3のVI−VI線に沿った縦断面図である。
【図7】図6に示す状態から弁ロッドが角度θだけ傾動して弁ディスクが弁座に着座した状態を示す縦断面図である。
【図8】弁ロッドをシールするパッキンを示す部分拡大縦断面図である。
【図9】本発明の他の実施の形態に係るゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図10】図9のX−X線に沿った横断面図である。
【図11】図9のXI−XI線に沿った縦断面図である。
【図12】図11に示す状態から弁ロッドが角度θだけ傾動して弁ディスクが弁座に着座した状態を示す縦断面図である。
【図13】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図14】図13に示すゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図15】図13に示すゲートバルブを構成するシリンダチューブの斜視図である。
【符号の説明】
20、110…ゲートバルブ 22…駆動部
24…弁ロッド 26…弁ディスク
28…通路 30…弁箱
32…弁座 36、38…ベースプレート
40…ケーシング 42a、42b…シリンダ機構
44a、44b…貫通孔 46…支持ローラ
48、86…凹部 50…ベローズ
51…パッキン 53…緩衝部材
56a、56b…シリンダチューブ 58、58a、58b…シリンダ室
60a、60b…ピストン 64a、64b…ピストンロッド
70a、70b…ピストンパッキン 78…ヨーク
80…変位ブロック 84…ばね部材
88a、88b、114…長孔 90a、90b…保持ブロック
91、94…ピン部材 92…ローラ
93…保持プレート 96…係合用溝部
112a、112b…連結ピン
Claims (7)
- 略平行に配設された複数の駆動機構を有する駆動源と、
前記複数の駆動機構の駆動軸にそれぞれ連結され、該複数の駆動機構の駆動作用下に前記駆動軸の軸線方向に沿って変位するヨークと、
前記ヨークと一体的に前記軸線方向に沿って変位するとともに、前記軸線方向に沿った変位終端において支持部材を支点として傾動自在に設けられた変位ブロックと、
前記変位ブロックに連結された弁ロッドを介して通路を開閉する弁ディスクと、
前記ヨークと変位ブロックとを前記軸線方向に沿って位置決めした状態で一体的に保持する位置決め保持手段と、
を備え、
前記位置決め保持手段は、前記ヨークと変位ブロックとの間に介装されたばね部材と、前記ばね部材を間にして前記ヨークに固着された一組の保持ブロックと、前記一組の保持ブロックにそれぞれ固定され前記変位ブロックの側面に沿って延在する一組の保持プレートと、前記一組の保持プレートにそれぞれ係止された一組のピン部材と、前記変位ブロックの側面に形成され前記一組のピン部材がそれぞれ係合する一組の係合用溝部とを含むことを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1記載のゲートバルブにおいて、
前記位置決め保持手段は、一端部が前記ヨークの長孔に遊嵌され、他端部が前記変位ブロックに固着された連結ピンを含むことを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1または2記載のゲートバルブにおいて、
前記複数の駆動機構は、シリンダ室に供給される圧力流体の作用下にピストンおよびピストンロッドを前記軸線方向に沿って変位させる第1シリンダ機構および第2シリンダ機構からなることを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1記載のゲートバルブにおいて、
前記支持部材は、変位ブロックの一端部に回動自在に軸支された一組の支持ローラからなり、前記支持ローラは、変位ブロックの変位終端位置において湾曲する凹部に係合するように設けられていることを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項4記載のゲートバルブにおいて、
前記凹部には、支持ローラが当接したときの衝撃を吸収する第1緩衝部材が設けられることを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項3記載のゲートバルブにおいて、
前記第1シリンダ機構および第2シリンダ機構には、それぞれ、ピストンが下死点に到達した際、前記ピストンに付与される衝撃を吸収する第2緩衝部材が設けられることを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項3記載のゲートバルブにおいて、
前記第1シリンダ機構および第2シリンダ機構が連結され、積層されて一体的に形成された第1ベースプレートおよび第2ベースプレートを有し、前記第1ベースプレートと前記第2ベースプレートとの間には、前記弁ロッドの外周面を囲繞するシール部材が設けられることを特徴とするゲートバルブ。
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