JP4711098B2 - ゲートバルブ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、集積回路(IC)やその部品等のワークを一方の真空処理室から他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉することが可能なゲートバルブに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、例えば、半導体ウェハや液晶基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行われており、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉するゲートバルブが設けられている。
【0003】
このゲートバルブは、例えば、シリンダの駆動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって、弁ディスクが弁座の対向位置に到達した後、前記弁ロッドの傾動運動によって前記弁ディスクが弁座に押し付けられて着座することにより、弁箱に形成された通路が閉塞されるように設けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来技術に係るゲートバルブにおいては、ワークを出し入れするための通路に設けられた弁座に弁ディスクを傾動させて着座することにより、前記通路が閉塞される。
【0005】
また、圧力流体の作用下に駆動されるシリンダのピストンロッド外周部にスプライン溝が形成されており、スプライン溝は、その外周側に設けられているボールスプライン軸受により、噛合されている。
【0006】
しかし、ボールスプライン軸受は、スプライン溝が形成された軸部と組み合わされることにより噛合しているため、軸受、軸部ともに高い精度が要求され、その結果として、高価であるという不都合がある。
【0007】
さらに、軸部にボールスプライン軸受を設けているため、複数のボールスプライン軸受の軸線方向に沿った長さの分だけ、シリンダの高さ方向の寸法が大きくなってしまうという不都合がある。
【0008】
本発明は、前記の種々の不都合等を考慮してなされたものであり、ボールスプライン軸受の代わりにローラ軸受を採用することにより、より一層のコスト低減と小型化を図ることが可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、駆動源と、
前記駆動源に連結され、軸線方向に沿ってガイド溝が形成されるケーシングと、
前記駆動源の駆動軸に連結され、該駆動源の駆動作用下に軸線方向に沿って変位する第1変位部材と、
前記第1変位部材にリンクされて該第1変位部材と一体的に直線状に変位するとともに、軸線方向に沿った終端位置において傾動自在に設けられた第2変位部材と、
前記第1変位部材に回動自在に軸支され、前記ガイド溝に沿って変位する第1ローラ部材と、
前記第1ローラ部材と同軸状に回動自在に軸支され、前記第2変位部材に形成された長孔に沿って変位する第2ローラ部材と、
前記第2変位部材に回動自在に軸支され、前記ガイド溝に沿って変位する第3ローラ部材と、
前記第2変位部材に連結された弁ロッドを介して通路を開閉する弁ディスクと、
を備え、
前記第1ローラ部材と前記第3ローラ部材とは、前記ケーシングに設けられた前記ガイド溝に沿って変位し、前記第2ローラ部材が、前記第2変位部材の前記長孔に沿って変位することにより、前記ガイド溝の終端位置に到達した前記第3ローラ部材を支点として前記第2変位部材を傾動させることを特徴とする。
【0010】
また、前記ガイド溝に係合する前記第1ローラ部材と前記長孔に係合する前記第2ローラ部材とを軸支するピン部材を設け、前記ピン部材は前記第1変位部材の相互対向する一組の側面にそれぞれ所定間隔離間して同軸状に軸着されるように設けるとよい。
【0011】
さらに、前記第1変位部材は断面コ字状に形成され、断面略H字状に形成された前記第2変位部材の凹部内に設けるとよい。
【0012】
本発明では、駆動源の駆動作用下に、第1変位部材と第2変位部材とがリンクして一体的に直線状に変位し、その際、第1ローラ部材および第3ローラ部材が、ケーシングのガイド溝に沿って案内される。前記ガイド溝の終端位置に前記第3ローラ部材が当接すると、駆動源の直線運動が第3ローラ部材を支点とする第2変位部材の傾動運動へと変換され、弁ロッドを介して前記第2変位部材に連結された弁ディスクが傾動する。
【0013】
本発明によれば、第3ローラ部材を支点として第2変位部材が傾動する際、ガイド溝に係合する第1ローラ部材を介して駆動軸および第1変位部材が直線状に案内される。従って、駆動軸および第1変位部材に対する横方向の荷重がガイド溝に係合する第1ローラ部材によって好適に吸収され、駆動源からの駆動力が横方向に働く荷重の影響を受けることなく、効率的に弁ディスクへと伝達される。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明に係るゲートバルブについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0015】
図1において、参照符号10は、本発明の実施の形態に係るゲートバルブを示す。
【0016】
このゲートバルブ10は、駆動源として機能するシリンダ12と、前記駆動源の駆動作用下に軸線方向に沿って変位する駆動変換部14と、前記軸線方向と略直交する方向に所定角度だけ傾動する弁ロッド16と、前記弁ロッド16の一端部に連結された略円形状の弁ディスク18とを備える。
【0017】
なお、図2に示されるように、前記駆動変換部14の下部側には、図示しないワークを出し入れするための通路20が形成された弁箱22が設けられ、前記弁箱22の内壁面に形成された弁座24に前記弁ディスク18が着座することにより、前記通路20が気密に閉塞される。前記弁ディスク18には、環状溝に沿ってシール部材28が装着され、前記シール部材28によって弁ディスク18が弁座24に着座した際の気密が保持される。
【0018】
駆動源であるシリンダ12は、図示しないねじ部材を介して、後述するケーシング26の上部に固定される。なお、前記シリンダ12は、単一に限定されるものではなく、略平行に複数設けてもよい。
【0019】
駆動変換部14は、前記弁箱22の上面に第1ねじ部材30を介して固定される第1カバー部材32と、前記第1カバー部材32の上面に第1ねじ部材30を介して固定される筒状のケーシング26と、前記ケーシング26の上部に第2ねじ部材34を介して固定される第2カバー部材36とを有する。
【0020】
前記第1カバー部材32には、弁ロッド16を挿通するための略円形状の貫通孔38が形成され、前記貫通孔38の直径は、弁ロッド16の直径よりも若干大きく形成される。また、該貫通孔38の上部には、弁ロッド16の所定部分を被覆するベローズ40の一端部を保持する第1リング体42が嵌合される。
【0021】
またベローズ40の他端部には、同様に弁ロッド16を囲繞するように第2リング体44が設けられている。
【0022】
前記弁ロッド16の外周面を囲繞するベローズ40および第1リング体42、第2リング体44によって弁箱22の室内の気密性が保持される。
【0023】
前記ケーシング26の両側面の内側には、軸線方向に一定幅のガイド溝46a、46bが形成される。
【0024】
前記シリンダ12は、図示しないねじ部材を介して第2カバー部材36に固定されるシリンダチューブ48と、前記シリンダチューブ48内のシリンダ室50を軸線方向に沿って自在に変位するピストン52と、前記ピストン52の一端部に連結されるピストンロッド(駆動軸)54と、前記シリンダチューブ48の外周部には、前記シリンダ室50へ圧力流体を供給および排出するための上部側ポート56と、同様に前記シリンダ室50へ圧力流体を供給および排出するための下部側ポート58とを有する。
【0025】
さらに駆動変換部14は、前記ピストンロッド54の他端部に第3ねじ部材60を介して連結される断面コ字状の第1変位部材62と、前記弁ロッド16の一端部にナット64を介して固定され、前記第1変位部材62に連結されて軸線方向に一体的に変位する断面H字状の第2変位部材66と、前記第1変位部材62の上端面と第2カバー部材36との間に配設され、第1変位部材62を第2カバー部材36より離間する方向に付勢する第1ばね部材68と、前記第1変位部材62と弁ロッド16を締結する前記ナット64との間に配設され、第1変位部材62と弁ロッド16とを離間する方向に付勢する第2ばね部材70と、第1ピン部材(ピン部材)72a、72bを介して第1変位部材62に回動自在に軸支される第1ローラ部材74a、74bと第2ローラ部材78a、78bとを有する。
【0026】
また、第1変位部材62と第2変位部材66とは、第1ピン部材72a、72bおよび第2ローラ部材78a、78bを介して、一体的に連結されている。
【0027】
前記第1ローラ部材74a、74bと第2ローラ部材78a、78bとは、互いに同軸状に設けられ、第1ローラ部材74a、74bは、ケーシング26側に、第2ローラ部材78a、78bは、第1変位部材62側にそれぞれ設けられている。
【0028】
前記第2変位部材66の両側面の上方には、略長円状に切り欠かれた長孔76がそれぞれ形成され(図2参照)、該長孔76には、前記第2ローラ部材78a、78bが係合するように設けられており、両側面の下方には、第2ピン部材80a、80bを介して前記第2変位部材66に回動自在に軸支される第3ローラ部材82a、82bが設けられており、前記第3ローラ部材82a、82bは、ガイド溝46a、46bの下端部(終端位置)84に当接することにより、軸線方向の変位を規制される。
【0029】
また、第1ローラ部材74a、74bと第3ローラ部材82a、82bとは、ケーシング26の両側面に形成されるガイド溝46a、46bに係合され、第2変位部材66と一体的に軸線方向に沿って変位自在に設けられている。
【0030】
本発明の実施の形態に係るゲートバルブ10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、以下の説明では、シリンダ12の下部側ポート58に圧力流体が供給され、第1ローラ部材74a、74bがガイド溝46a、46bの上端位置に当接している状態で、図4、図5に示されるように、弁箱22に形成された通路20が弁ディスク18によって閉塞されていない開状態を初期位置として説明する。
【0031】
初期位置において、ピストンロッド54の作用下に第1変位部材62は、上方に位置し、また、第2ばね部材70の伸張作用下に第1変位部材62と第2変位部材66とが互いに離間する方向に付勢されているため、図5に示されるように、第2変位部材66に固定される第2ローラ部材78a、78bが長孔76の上方に保持された状態にある。
【0032】
初期位置において、圧力流体供給源(図示せず)から図示しないチューブを介して下部側ポート58に圧力流体(例えば、圧縮空気)が供給されている。シリンダ室50に供給された圧力流体を下部側ポート58から排出することにより、第1ばね部材68の伸張作用下にピストン52が下降し、前記ピストン52に連結されたピストンロッド54も一体的に下降する。なお、この場合、上部側ポート56に連通するシリンダ室50は、大気開放状態にあるものとする。
【0033】
前記ピストンロッド54が下降することにより、該ピストンロッド54とともに第1変位部材62、第2変位部材66、弁ロッド16、弁ディスク18が一体的に下降する。
【0034】
この場合、第1ローラ部材74a、74bと第3ローラ部材82a、82bとが、ケーシング26の両側面のガイド溝46a、46bの内部を軸線方向に沿って下降し、前記ガイド溝46a、46bの幅方向の寸法は、第1ローラ部材74a、74bおよび第3ローラ部材82a、82bが回動自在な最小の寸法で形成されているため、第1変位部材62と第2変位部材66の前後方向の位置ずれが防止される。
【0035】
そして、第3ローラ部材82a、82bがガイド溝46a、46bの下端部84に当接することにより、下方側に対する第2変位部材66の変位が規制される。
【0036】
その際、第2変位部材66の長孔76に係合される第2ローラ部材78a、78bは、図2に示されるように上方に保持されている状態にあり、そこから、さらにピストンロッド54が下降することにより、第1変位部材62が第2ばね部材70を圧縮しながら、さらに下降し、第2ローラ部材78a、78bが長孔76の上方から下方へと変位すると同時に、第1ローラ部材74a、74bは、さらにガイド溝46a、46bに沿って下降する。そして、図3、図6に示されるように、第2変位部材66が第3ローラ部材82a、82bの軸心を支点として、所定角度θだけ傾動し、弁ディスク18は、弁座24から所定間隔離間した状態から弁座24側に向かって略水平に変位する。
【0037】
この際、第2変位部材66は、第3ローラ部材82a、82bがガイド溝46a、46bの下端部84に当接しているため、軸線方向への変位が規制されている。
【0038】
その結果、弁ディスク18に設けられたシール部材28が弁座24に着座して通路20が気密に閉塞される。
【0039】
なお、第2変位部材66が所定角度θだけ傾動する際に発生する横方向の荷重は、第1ローラ部材74a、74bを介してガイド溝46a、46bによって受けている。
【0040】
また、弁ロッド16が第3ローラ部材82a、82bを支点として、所定角度θだけ傾動する際、ベローズ40および第2リング体44は、弁ロッド16と一体的に傾動するため、傾動時においても弁箱22の室の気密を確実に保持する。
【0041】
次に、弁ディスク18を弁座24から離間させて通路20を開口した状態とする場合には、図示しない切換弁の切換作用下に下部側ポート58に圧力流体を供給することによりピストン52が上昇し、ピストンロッド54、第1変位部材62および第2変位部材66が一体的に上昇することにより、図4、図5に示される初期位置に復帰する。なお、この場合、上部側ポート56に連通するシリンダ室50は、大気開放状態にあるものとする。
【0042】
すなわち、第2変位部材66が長孔76に対する第2ローラ部材78a、78bの係合作用下に前記とは反対方向に向かって所定角度θだけ傾動し、弁ディスク18と弁座24とが離間した後、ピストンロッド54と一体的に第1変位部材62および第2変位部材66が上昇することにより図4、図5に示される初期位置に復帰する。
【0043】
以上により本実施の形態では、弁ロッド16および第2変位部材66の傾動時において、第1ローラ部材74a、74bの同軸状に設けられる第2ローラ部材78a、78bが第2変位部材66の長孔76に沿って変位する際、第1ローラ部材74a、74bがガイド溝46a、46bに係合されているため、ピストンロッド54に対する横方向の荷重を受けることがなく、該ピストンロッド54が直線状に案内される。その結果、ピストンロッド54にかかる横方向の荷重が減少し、ピストンロッド54の耐久性が向上するとともに、シリンダ12からの駆動力が横荷重による摩擦力を受けることがなく、ピストンロッド54を介して、より効率よく伝達される。
【0044】
また、第1ローラ部材74a、74bにおいて、第2変位部材66の傾動時に発生する横方向の荷重分担部分が第1ローラ部材74a、74bのみであり、横方向の荷重を負担するための高価な高強度の部材を採用する範囲を従来より減少させることができるため、より一層コストを低減することができる。
【0045】
さらに、ボールスプライン軸受の代わりにローラ軸受を採用することにより、シリンダ12の高さ方向の寸法を抑えることができるため、より一層の小型化を図ることができるとともに、より一層コストを低減することができる。
【0046】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【0047】
すなわち、本発明では、ボールスプライン軸受の代わりにローラ軸受を採用することにより、より一層コストを低減することができるとともに、高さ方向の寸法を抑えることができるため、より一層の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁ディスクシール前における部分縦断面図である。
【図2】図1のII−II線に沿った部分横断面図である。
【図3】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁ディスク着座時における部分横断面図である。
【図4】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの初期位置における部分縦断面図である。
【図5】図4のV−V線に沿った部分横断面図である。
【図6】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁ディスク着座時における部分側面図である。
【符号の説明】
10…ゲートバルブ 12…シリンダ
14…駆動変換部 16…弁ロッド
18…弁ディスク 20…通路
22…弁箱 24…弁座
26…ケーシング 32…第1カバー部材
36…第2カバー部材 40…ベローズ
46a、46b…ガイド溝 48…シリンダチューブ
50…シリンダ室 52…ピストン
54…ピストンロッド 62…第1変位部材
64…ナット 66…第2変位部材
68…第1ばね部材 70…第2ばね部材
72a、72b…第1ピン部材 74a、74b…第1ローラ部材
76…長孔 78a、78b…第2ローラ部材
80a、80b…第2ピン部材 82a、82b…第3ローラ部材
84…下端部
Claims (3)
- 駆動源と、
前記駆動源に連結され、軸線方向に沿ってガイド溝が形成されるケーシングと、
前記駆動源の駆動軸に連結され、該駆動源の駆動作用下に軸線方向に沿って変位する第1変位部材と、
前記第1変位部材に連結されて該第1変位部材と一体的に直線状に変位するとともに、軸線方向に沿った終端位置において傾動自在に設けられた第2変位部材と、
前記第1変位部材に回動自在に軸支され、前記ガイド溝に沿って変位する第1ローラ部材と、
前記第1ローラ部材と同軸状に回動自在に軸支され、前記第2変位部材に形成された長孔に沿って変位する第2ローラ部材と、
前記第2変位部材に回動自在に軸支され、前記ガイド溝に沿って変位する第3ローラ部材と、
前記第2変位部材に連結された弁ロッドを介して通路を開閉する弁ディスクと、
を備え、
前記第1ローラ部材と前記第3ローラ部材とは、前記ケーシングに設けられた前記ガイド溝に沿って変位し、前記第2ローラ部材が、前記第2変位部材の前記長孔に沿って変位することにより、前記ガイド溝の終端位置に到達した前記第3ローラ部材を支点として前記第2変位部材を傾動させることを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1記載のゲートバルブにおいて、
前記ガイド溝に係合する前記第1ローラ部材と前記長孔に係合する前記第2ローラ部材とを軸支するピン部材が設けられ、前記ピン部材は前記第1変位部材の相互対向する一組の側面にそれぞれ所定間隔離間して同軸状に軸着されることを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1または2記載のゲートバルブにおいて、
前記第1変位部材は断面コ字状に形成され、断面略H字状に形成された前記第2変位部材の凹部内に設けられることを特徴とするゲートバルブ。
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