JP2001173805A - ゲートバルブ - Google Patents

ゲートバルブ

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JP2001173805A
JP2001173805A JP36306299A JP36306299A JP2001173805A JP 2001173805 A JP2001173805 A JP 2001173805A JP 36306299 A JP36306299 A JP 36306299A JP 36306299 A JP36306299 A JP 36306299A JP 2001173805 A JP2001173805 A JP 2001173805A
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恒雄 石垣
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Abstract

(57)【要約】 【課題】通路を確実にシールすることにより、通路に対
するシール性を向上させることにある。 【解決手段】シリンダ機構４４の駆動作用下に変位する
弁ロッド２４と、前記弁ロッド２４を案内するガイドシ
ャフト７０ａ、７０ｂと、前記弁ロッド２４の変位作用
下に通路３２を開閉する弁ディスク２６と、弁ロッド２
４に連結されて該弁ロッド２４と一体的に変位するラッ
ク９８と、筐体７６に回動自在に軸支され前記ラック９
８に噛合するピニオン１００ａ、１００ｂと、前記弁デ
ィスク２６に連結され前記ピニオン１００ａ、１００ｂ
の内周面に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部が形
成された軸受部材１０６ａ、１０６ｂとを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、圧力流
体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉するこ
とが可能なゲートバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、半導体ウェハや液晶
基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板
等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行
われており、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉す
るゲートバルブが設けられている。
【０００３】この種のゲートバルブは、例えば、特許第
２６１３１７１号公報に示されるように、シリンダの駆
動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁ディ
スクが弁座の対向位置に到達した後、前記弁ロッドの傾
動運動によって前記弁ディスクが弁座に押し付けられて
着座することにより、弁箱に形成された通路が閉塞され
るように設けられている。
【０００４】すなわち、従来技術に係る前記ゲートバル
ブ１は、図８および図９に示されるように、ワークを出
し入れする通路２が形成された弁箱３と、前記弁箱３内
に形成された弁座４に着座することにより前記通路２を
閉塞する弁ディスク５と、前記弁ディスク５に連結され
て上下動および傾動自在に設けられた弁ロッド６とを有
する。
【０００５】前記弁ロッド６の上部にはブロック７が連
結され、前記ブロック７の両側面には、一組のシリンダ
８ａ、８ｂのシリンダチューブ９の両側面にそれぞれ形
成されたガイド溝１０（図１０参照）に沿って変位する
枢軸１１が固着され、前記ブロック７は、枢軸１１が係
合するガイド溝１０の案内作用下に上下動および傾動が
可能なように設けられている。なお、前記シリンダチュ
ーブ９、ブロック７および枢軸１１はそれぞれ金属製材
料によって形成されている。
【０００６】換言すると、前記ブロック７は、枢軸１１
が係合するガイド溝１０の案内作用下に、引張ばね１２
を介してヨーク１３と一体的に上下方向に沿って直進運
動するとともに、前記ガイド溝１０の湾曲する下端部１
０ａ（図１０参照）によって支持された枢軸１１を支点
として矢印Ａ方向に傾動運動するように設けられてい
る。従って、前記弁ディスク５は、枢軸１１を支点とし
て矢印Ｂ方向に傾動して弁座４に着座することにより、
通路２が気密に閉塞される。
【０００７】なお、参照数字１４は、断面菱形の板状カ
ムを示し、傾斜した前記板状カム１４が略水平に変位す
ることにより、前記ブロック７がガイド溝１０の下端部
１０ａを支点として矢印Ａ方向に傾動するように設けら
れている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に係るゲートバルブでは、一組のシリンダの駆
動作用下に弁ロッドが上下動および傾動し、前記弁ロッ
ドに連結された弁ディスクによって通路が閉塞されるよ
うに設けられている。このため、従来技術に係るゲート
バルブでは、長年の使用により、弁ディスクが弁座に着
座して通路を閉塞した際に前記通路のシール性が劣化す
るおそれがある。
【０００９】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たものであり、弁箱の弁座に対し弁ディスクが略直交す
る方向から押圧してシールすることにより、擦れによる
塵埃の発生を阻止し、しかも、通路を確実にシールする
ことにより、通路に対するシール性を向上させることが
可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、駆動手段と、前記駆動手段の駆動作用
下に変位する弁ロッドと、前記弁ロッドを案内するガイ
ドシャフトと、前記弁ロッドの変位作用下に、弁箱に形
成された通路を開閉する弁ディスクと、前記ガイドシャ
フトに連結されたブロック体を有し、前記弁ディスクを
弁ロッドの軸線と略直交する方向に変位させる変位機構
と、を備え、前記変位機構は、弁ロッドに連結されて該
弁ロッドと一体的に変位するラック部材と、前記ブロッ
ク体に回動自在に軸支され前記ラック部材に噛合するピ
ニオンと、前記弁ディスクに連結され前記ピニオンの内
周面に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部が形成さ
れた軸受部材とを有することを特徴とする。
【００１１】この場合、前記ガイドシャフトの一端部
に、該ガイドシャフトの変位を規制するストッパを設け
るとよい。また、前記駆動手段をシリンダチューブに沿
って往復動作するピストンが設けられたシリンダ機構に
よって構成し、前記ピストンを略楕円形状に形成すると
よい。
【００１２】さらに、前記ピストンに連結されるロッド
部材と、ガイドシャフトの孔部内に配設され前記ロッド
部材をピストン側に向かって押圧するばね部材とを設
け、ストッパの係止作用下にガイドシャフトの変位が規
制されたとき、前記ばね部材の弾発力に抗してロッド部
材が弁ロッドと一体的に変位するように構成するとよ
い。
【００１３】本発明によれば、駆動手段の駆動作用下に
弁ロッドとガイドシャフトとが一体的に変位し、ガイド
シャフトがストッパによってその変位が規制された後
は、弁ロッドのみが変位する。その際、弁ロッドに連結
されたラック部材とピニオンとの噛合作用下に軸受部材
が通路側に突出する。従って、前記軸受部材に連結され
た弁ディスクによって通路が確実に閉塞され、通路のシ
ール性が向上する。
【００１４】また、前記弁ディスクは、弁箱の弁座に対
して略直交する方向から着座して通路をシールするた
め、着座するときの擦れに起因する塵埃の発生を阻止す
ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明に係るゲートバルブについ
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。
【００１６】図１において、参照数字２０は、本発明の
実施の形態に係るゲートバルブを示す。
【００１７】このゲートバルブ２０は、駆動部２２と、
前記駆動部２２の駆動作用下に上下方向に沿って変位す
る弁ロッド２４と、前記弁ロッド２４の変位作用下に通
路（後述する）を開閉する弁ディスク２６と、前記弁ロ
ッド２４と弁ディスク２６との間に設けられ、前記弁デ
ィスク２６を前記通路側に向かって進退動作させる変位
機構２８とを有する。
【００１８】なお、前記駆動部２２の上部側にはねじ部
材を介して弁箱３０が連設され、前記弁箱３０には大気
側と真空室とを連通させる通路３２が設けられる（図３
参照）。前記弁箱３０の内壁面に形成された弁座３４に
前記弁ディスク２６が着座することにより、前記通路３
２が気密に閉塞される。前記弁ディスク２６には環状溝
に沿ってシール部材３６が装着され、前記シール部材３
６によって弁ディスク２６が弁座３４に着座した際の気
密性が保持される。
【００１９】駆動部２２は、シリンダ機構（駆動手段）
４４からなり、前記シリンダ機構４４は筒状に形成され
たシリンダチューブ４６と、前記シリンダチューブ４６
の一端部に連結されるロッドカバー４８と、該シリンダ
チューブ４６の他端部に連結されるヘッドカバー５０と
を有する。前記シリンダチューブ４６の外壁面には軸線
方向に沿って延在する略平行な２条のセンサ取付用長溝
５２ａ、５２ｂが形成され（図４参照）、前記センサ取
付用長溝５２ａ、５２ｂには後述するピストンの位置を
検出する図示しない一組のセンサが装着される。
【００２０】なお、前記ロッドカバー４８およびヘッド
カバー５０には、図４に示されるように、後述する上部
側のシリンダ室および下部側のシリンダ室にそれぞれ連
通する一組の圧力流体出入ポート５４ａ、５４ｂが形成
されている。
【００２１】さらに、前記シリンダ機構４４は、図２に
示されるように、前記シリンダチューブ４６内のシリン
ダ室５８に沿って変位自在に収装されたピストン６０
と、一端部が前記ピストン６０に連結され、他端部が変
位機構２８に連結された弁ロッド２４とを有する。
【００２２】前記ピストン６０には、該ピストン６０に
よって二分割された上部側シリンダ室５８ａと下部側シ
リンダ室５８ｂとをそれぞれ気密に保持するピストンパ
ッキン６２と、シリンダチューブ４６の内壁面に沿って
摺動するウェアリング６４と、環状のマグネット６６と
が装着されている。前記マグネット６６はピストン６０
と一体的に変位し、センサ取付用長溝５２ａ、５２ｂに
取着された図示しないセンサによってマグネット６６の
磁気を検知することにより、ピストン６０の位置が検出
される。
【００２３】さらに、前記ピストン６０には、弁ロッド
２４と略平行に一組のロッド部材６８ａ、６８ｂが連結
され、前記ロッド部材６８ａ、６８ｂの一端側はガイド
シャフト７０ａ、７０ｂの孔部７２内に挿通するように
設けられている。前記ガイドシャフト７０ａ、７０ｂの
孔部７２内にはばね部材７４が配設され、前記ばね部材
７４の弾発力によってロッド部材６８ａ、６８ｂはピス
トン６０側（下方側）に向かって、常時、押圧された状
態にある。従って、ロッド部材６８ａ、６８ｂは、ばね
部材７４の弾発力に抗して孔部７２に沿って変位自在に
設けられている。
【００２４】前記ガイドシャフト７０ａ、７０ｂの一端
部は変位機構２８を構成する筐体（ブロック体）７６に
連結され、反対側の他端部には、半径外方向に向かって
突出する環状膨出部が形成されたストッパ７８が連結さ
れている。この場合、前記ストッパ７８は、ロッドカバ
ー４８に固着された板状の緩衝部材８０に当接してガイ
ドシャフト７０ａ、７０ｂの変位を規制するとともに、
ロッド部材６８ａ、６８ｂの一端部に形成された環状係
止部８２が該ストッパ７８の内周突起部に当接すること
により該ロッド部材６８ａ、６８ｂがガイドシャフト７
０ａ、７０ｂから抜け出ることを防止する機能を営む。
【００２５】ロッドカバー４８の略中央部には弁ロッド
２４が挿通する小径な第１貫通孔８４が形成され、さら
にロッドカバー４８には、前記第１貫通孔８４を間にし
て前記一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂがそれぞれ
挿通する大径な一組の第２貫通孔８６ａ、８６ｂが形成
されている。
【００２６】前記第１貫通孔８４の内周面には、弁ロッ
ド２４の外周面を囲繞することによりシリンダ室５８を
気密に保持するシール部材８８が装着され、さらに、前
記内周面には、弁ロッド２４の外周面に塗布された潤滑
油の逃げ溝として機能する環状凹部９０が形成されてい
る。
【００２７】また、前記第２貫通孔８６ａ、８６ｂの内
周面には、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂの外周面を囲
繞するガイドリング９２が環状溝を介して装着され、前
記ガイドリング９２は、シリンダ室５８を気密に保持す
るシール機能と、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂを直線
状に変位させるためのガイド機能とを併有するように設
けられている。
【００２８】変位機構２８は、一組のガイドシャフト７
０ａ、７０ｂの一端部にそれぞれ連結され、その軸線方
向に沿って前記一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂと
一体的に変位する筐体７６を有し、前記筐体７６は、ね
じ部材９４によって固定されたハウジングとカバー部材
とから構成される。前記筐体７６の内部には、断面略円
形状の室９６が形成され、弁ロッド２４の一端部が前記
室９６内を挿通自在に設けられている。
【００２９】前記弁ロッド２４の一端部には、ねじ部材
を介してラック９８が連結され、前記ラック９８の相互
に対向する側部には、略平行に形成された一組の歯部が
形成されている。前記筐体７６には、前記ラック９８の
一組の歯部にそれぞれ噛合する歯部を有する第１ピニオ
ン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂがそれぞれ回動
自在に軸支され、前記第１ピニオン１００ａおよび第２
ピニオン１００ｂの内周面には雌ねじ部１０２が形成さ
れている（図３参照）。
【００３０】弁ディスク２６には、ねじ部材１０４を介
して一組の軸受部材１０６ａ、１０６ｂが略直交する方
向にそれぞれ連結され、前記一組の軸受部材１０６ａ、
１０６ｂには第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン
１００ｂの内周面に形成された雌ねじ部１０２にそれぞ
れ螺合する雄ねじ部１０８が形成されている。各軸受部
材１０６ａ、１０６ｂは、一組のベアリング部材１１０
ａ、１１０ｂによって回動自在に軸支され、前記ベアリ
ング部材１１０ａ、１１０ｂには、環状に配置された複
数のコロが設けられている。
【００３１】なお、前記一組の軸受部材１０６ａ、１０
６ｂに形成された雄ねじ部１０８は、第１ピニオン１０
０ａおよび第２ピニオン１００ｂの雌ねじ部１０２に対
応して、ねじの切り込み方向が反対となる右ねじおよび
左ねじに形成されている。
【００３２】変位機構２８では、弁ロッド２４と一体的
にラック９８が上昇することにより、該ラック９８の歯
部と第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂ
の歯部とがそれぞれ噛合し、前記第１ピニオン１００ａ
および第２ピニオン１００ｂがそれぞれ反対方向に回転
する。前記第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１
００ｂがそれぞれ回転することにより、該第１ピニオン
１００ａおよび第２ピニオン１００ｂの雌ねじ部１０２
と軸受部材１０６ａ、１０６ｂの雄ねじ部１０８との螺
合作用下に前記軸受部材１０６ａ、１０６ｂが通路３２
側に向かって突出する。従って、前記一組の軸受部材１
０６ａ、１０６ｂに連結された弁ディスク２６が通路３
２側に略水平方向に変位し、シール部材３６が弁座３４
に着座することにより通路３２が閉塞される。
【００３３】この場合、前記変位機構２８では、弁ディ
スク２６が弁ロッド２４の軸線と略直交する方向（略水
平方向）に変位する際、弁ロッド２４に対して偏荷重が
付与されることがなく、一組の第１ピニオン１００ａお
よび第２ピニオン１００ｂを均等に回転させて弁ディス
ク２６を変位させることができるという利点がある。
【００３４】本発明の実施の形態に係るゲートバルブ２
０は、基本的には以上のように形成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、
以下の説明では、図５に示されるように、ピストン６０
がシリンダ室５８の最下端位置（下死点）にあり、弁箱
３０に形成された通路３２が弁ディスク２６によって閉
塞されていない開成状態を初期位置として説明する。
【００３５】前記初期位置において、圧力流体供給源
（図示せず）から圧力流体出入ポート５４ｂを介して下
部側シリンダ室５８ｂに圧力流体（例えば、圧縮空気）
を供給する。下部側シリンダ室５８ｂに供給された圧力
流体の作用下にピストン６０が上昇し、前記ピストン６
０に連結された弁ロッド２４も一体的に上昇する。な
お、この場合、上部側シリンダ室５８ａは、図示しない
切換弁の作用下に大気開放状態にあるものとする。
【００３６】前記弁ロッド２４が上昇することにより、
該弁ロッド２４とともに一組のロッド部材６８ａ、６８
ｂ、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂ、変位機構２８およ
び弁ディスク２６が一体的に上昇する。この場合、ガイ
ドシャフト７０ａ、７０ｂの孔部７２内に配設されたば
ね部材７４のばね力を所定値に設定しておくことによ
り、ピストン６０に連結されたロッド部材６８ａ、６８
ｂとガイドシャフト７０ａ、７０ｂとが共に上昇するよ
うに設けられている。換言すると、図５に示す初期状態
から弁ディスク２６が通路３２に対峙する図２の状態と
なるまでの間は、ロッド部材６８ａ、６８ｂの変位がば
ね部材７４の弾発力に打ち勝つことがなく、前記ロッド
部材６８ａ、６８ｂとガイドシャフト７０ａ、７０ｂと
が一体的に変位するように設けられている。
【００３７】なお、一組のガイドシャフト７０ａ、７０
ｂが上昇する際、前記一組のガイドシャフト７０ａ、７
０ｂがガイドリング９２によってそれぞれ支持されるこ
とにより、一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂ間に配
置された弁ロッド２４の直線精度が保持される。
【００３８】弁ロッド２４とともにガイドシャフト７０
ａ、７０ｂが上昇する際、ガイドシャフト７０ａ、７０
ｂの一端部に設けられたストッパ７８がロッドカバー４
８に固着された緩衝部材８０に当接することにより、一
組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂの変位動作が規制さ
れる（図２参照）。従って、前記一組のガイドシャフト
７０ａ、７０ｂの端部に連結された変位機構２８および
弁ディスク２６も静止し、弁ディスク２６が弁箱３０の
通路３２と対峙した状態となる（図３参照）。
【００３９】図２に示す状態からピストン６０がさらに
上昇すると、ばね部材７４の弾発力に打ち勝ったロッド
部材６８ａ、６８ｂと弁ロッド２４とが一体的に上昇し
て図６に示す状態となる。この場合、ストッパ７８の係
止作用下にガイドシャフト７０ａ、７０ｂおよび筐体７
６が静止した状態を保持しながら、ロッド部材６８ａ、
６８ｂおよび弁ロッド２４のみが上昇する。
【００４０】従って、変位機構２８を構成する筐体７６
が静止した状態で、弁ロッド２４の一端部に連結された
ラック９８が一体的に上昇することにより、該ラック９
８の歯部と第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１
００ｂの歯部とがそれぞれ噛合し、前記第１ピニオン１
００ａおよび第２ピニオン１００ｂがそれぞれ反対方向
に回転する。
【００４１】前記第１ピニオン１００ａおよび第２ピニ
オン１００ｂがそれぞれ反対方向に回転することによ
り、該第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００
ｂの雌ねじ部１０２と軸受部材１０６ａ、１０６ｂの雄
ねじ部１０８との螺合作用下に該軸受部材１０６ａ、１
０６ｂが通路３２側に向かって突出する。従って、前記
一組の軸受部材１０６ａ、１０６ｂに連結された弁ディ
スク２６が略水平方向に変位し、シール部材３６が弁座
３４に着座することにより通路３２が閉塞される。
【００４２】なお、変位機構２８の付勢作用下に弁ディ
スク２６のシール部材３６を通路３２側に向かって押圧
する際、弁ロッド２４に付与される横荷重は、略長円状
に形成されたピストン６０の平面部１１２（図１参照）
とシリンダチューブ４６の内壁面とによって吸収され
る。また、一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂにそれ
ぞれ付与される横荷重は、ガイドリング９２およびウェ
アリング６４によって吸収されるため、前記ガイドリン
グ９２およびウェアリング６４に低摩擦処理を施してお
くとよい。
【００４３】次に、弁ディスク２６を弁座３４から離間
させて通路３２を開成する場合には、図示しない切換弁
の切換作用下に上部側のシリンダ室５８ａに圧力流体を
供給することにより、ピストン６０、弁ロッド２４、ロ
ッド部材６８ａ、６８ｂおよびラック９８が一体的に下
降する。なお、上部側のシリンダ室５８ａは、図示しな
い切換弁の切換作用下に大気開放状態にある。この場
合、前記ラック９８の歯部に噛合する第１ピニオン１０
０ａと第２ピニオン１００ｂが前記と反対方向に回転
し、第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂ
にそれぞれ螺合する軸受部材１０６ａ、１０６ｂが前記
とは反対方向に変位することにより、弁ディスク２６が
通路３２から離間する方向に変位して図３に示す状態に
至る。
【００４４】なお、ピストン６０が下降する際、ばね部
材７４の弾発力の作用下に一組のガイドシャフト７０
ａ、７０ｂが上方側に向かって押圧されているため、弁
ロッド２４のみが下降し、一組のガイドシャフト７０
ａ、７０ｂはその変位が規制された状態にある。
【００４５】上部側のシリンダ室５８ａに圧力流体を供
給してさらにピストン６０を下降させることにより、弁
ロッド２４、ロッド部材６８ａ、６８ｂ、ガイドシャフ
ト７０ａ、７０ｂ、変位機構２８および弁ディスク２６
が一体的に下降して初期位置に復帰する。なお、ピスト
ン６０に連結された弁ロッド２４が下降する際、前記弁
ロッド２４の一端部に形成された環状係止部８２がスト
ッパ７８の内周突起部に係合することにより、弁ロッド
２４とガイドシャフト７０ａ、７０ｂとが一体的に変位
する。
【００４６】本実施の形態では、弁ディスク２６を通路
３２側に向かって略水平方向に進退動作させる変位機構
２８を弁ロッド２４の端部に設けることにより、弁ディ
スク２６のシール部材３６によって確実に通路３２が閉
塞され、通路３２に対するシール性を向上させることが
できる。この場合、弁ディスク２６のシール部材３６
は、弁座３４に対して略直交する方向から着座するた
め、シール部材３６が着座するときに滑ることがなく、
塵埃の発生を阻止することができる。この結果、弁箱３
０内の清浄性を保持することができる。
【００４７】また、本実施の形態では、変位機構２８の
付勢作用下に弁ディスク２６を通路３２側に向かって進
退動作させてシール部材３６を弁座３４に着座させるよ
うにしている。このため、弁ロッド２４は傾動すること
がなく往復直線運動を行うだけであることから、シリン
ダ機構４４に付与される負荷を減少させることができ、
シリンダ機構４４の耐久性を向上させることができる。
【００４８】さらに、弁ディスク２６によって通路３２
を閉塞した際に弁ロッド２４に付与される横荷重は、略
楕円形状に形成されたピストン６０の平面部１１２とシ
リンダチューブ４６との内壁面とによって好適に吸収さ
れる。従って、シリンダ機構４４に付与される負荷を減
少させることができ、耐久性をより一層向上させること
ができる。また、前記横荷重を吸収する構成部材を特別
に付設する必要がなく、部品点数を削減して製造コスト
を低減することができる。
【００４９】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
【００５０】すなわち、弁ディスクによって確実に通路
が閉塞され、通路に対するシール性を向上させることが
できる。この場合、弁ディスクは、弁箱の弁座に対して
略直交する方向から着座するため、弁ディスクが着座す
るときに滑ることがなく、塵埃の発生を阻止することが
できる。この結果、弁箱内の清浄性を保持することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略
斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。
【図４】図２の軸線方向に沿った一部縦断面図である。
【図５】ピストンが下死点にある初期位置の状態を示す
動作説明図である。
【図６】ピストンが上死点に到達した状態を示す動作説
明図である。
【図７】図３に示す状態から弁ディスクが通路側に向か
って略水平方向に変位した状態を示す部分拡大図であ
る。
【図８】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿っ
た縦断面図である。
【図９】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿っ
た縦断面図である。
【図１０】従来技術に係るゲートバルブを構成するシリ
ンダチューブの斜視図である。
【符号の説明】
２０…ゲートバルブ ２２…駆動部 ２４…弁ロッド ２６…弁ディ
スク ２８…変位機構 ３２…通路 ３４…弁座 ３６、８８…
シール部材 ４４…シリンダ機構 ４６…シリン
ダチューブ ５４ａ、５４ｂ…圧力流体出入ポート ５８、５８
ａ、５８ｂ…シリンダ室 ６０…ピストン ６４…ウェア
リング ６８ａ、６８ｂ…ロッド部材 ７０ａ、７０
ｂ…ガイドシャフト ７４…ばね部材 ７８…ストッ
パ ８２…環状係止部 ９８…ラック １００ａ、１００ｂ…ピニオン １０２…雌ね
じ部 １０６ａ、１０６ｂ…軸受部材 １０８…雄ね
じ部 １１０ａ、１１０ｂ…ベアリング １１２…平面
部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】駆動手段と、 前記駆動手段の駆動作用下に変位する弁ロッドと、 前記弁ロッドを案内するガイドシャフトと、 前記弁ロッドの変位作用下に、弁箱に形成された通路を
    開閉する弁ディスクと、 前記ガイドシャフトに連結されたブロック体を有し、前
    記弁ディスクを弁ロッドの軸線と略直交する方向に変位
    させる変位機構と、 を備え、前記変位機構は、弁ロッドに連結されて該弁ロ
    ッドと一体的に変位するラック部材と、前記ブロック体
    に回動自在に軸支され前記ラック部材に噛合するピニオ
    ンと、前記弁ディスクに連結され前記ピニオンの内周面
    に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部が形成された
    軸受部材とを有することを特徴とするゲートバルブ。
  2. 【請求項２】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記ガイドシャフトの一端部には、該ガイドシャフトの
    変位を規制するストッパが設けられることを特徴とする
    ゲートバルブ。
  3. 【請求項３】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記駆動手段は、シリンダチューブに沿って往復動作す
    るピストンが設けられたシリンダ機構からなり、前記ピ
    ストンは略楕円形状に形成されることを特徴とするゲー
    トバルブ。
  4. 【請求項４】請求項２または３記載のゲートバルブにお
    いて、 前記ピストンに連結されるロッド部材と、ガイドシャフ
    トの孔部内に配設され前記ロッド部材をピストン側に向
    かって押圧するばね部材とを有し、ストッパの係止作用
    下にガイドシャフトの変位が規制されたとき、前記ばね
    部材の弾発力に抗してロッド部材が弁ロッドと一体的に
    変位するように設けられることを特徴とするゲートバル
    ブ。
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