JP3521663B2 - カラーペースト、カラーフィルター、および液晶表示装置 - Google Patents

カラーペースト、カラーフィルター、および液晶表示装置

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JP3521663B2
JP3521663B2 JP32404596A JP32404596A JP3521663B2 JP 3521663 B2 JP3521663 B2 JP 3521663B2 JP 32404596 A JP32404596 A JP 32404596A JP 32404596 A JP32404596 A JP 32404596A JP 3521663 B2 JP3521663 B2 JP 3521663B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーペーストお
よびカラーフィルターに関するものであり、さらに詳し
くは、ポリアミック酸を使用したカラーペーストおよ
び、該ペーストを使用した液晶表示装置や撮像素子のカ
ラーフィルター、および該カラーフィルターを用いた液
晶表示装置や撮像素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】耐熱性、耐光性に優れたカラーフィルタ
ーを形成することのできるカラーペーストとして、ポリ
アミック酸の溶液に顔料を分散したカラーぺーストが知
られている(たとえば特開昭60−184202号公
報、特開昭60−184203号公報、特開昭61−1
80203号公報)。
【0003】また、ポリアミック酸の溶液に顔料を分散
したカラーぺーストを使用したカラーフィルターの製造
は、たとえば特開昭60−247603号公報や特開昭
61−77804号公報に示されているように、次のよ
うな工程により行なわれる。まず、遮光パターンが形成
された基板上に、カラーぺースト(たとえば緑色)を塗
布した後、乾燥してポリイミド前駆体着色被膜を形成す
る。ポリイミド前駆体着色被膜上にポジ型フォトレジス
トを塗布し、フォトレジスト被膜を形成する。該フォト
レジスト被膜上にマスクを置き、露光装置を用いて紫外
線を照射する。露光後、ポジ型フォトレジスト用アルカ
リ現像液により、フォトレジスト被膜とポリイミド前駆
体着色被膜のエッチングを同時に行う。エッチング後、
不要となったフォトレジスト被膜を剥離する。その後、
加熱処理することによって、ポリイミド前駆体をポリイ
ミドに変換する。このようにして、1色のポリイミド着
色被膜のパターンを基板上に形成した後、その上に別な
色(たとえば赤色)のカラーぺーストを塗布し、同様の
工程を経て、2色のポリイミド着色被膜のパターンを基
板上に形成する。これをもう一度繰り返すと、赤、青、
緑の3色のポリイミド着色被膜のパターン(画素パター
ン)が得られる。
【0004】以上のような工程によりカラーフィルター
を形成する場合には、フォトレジスト被膜とポリイミド
前駆体着色被膜のエッチングを同時に行う際に、フォト
レジスト被膜に比べるとポリイミド前駆体着色被膜が大
幅にエッチング速度が遅いために、例えば高濃度の現像
液を用いるなど、フォトレジスト被膜に対する最適な現
像条件よりも、より強力な条件での現像を行う必要があ
った。このために、フォトレジスト被膜の解像度が悪く
なり、それに伴い画素パターンの解像度も悪化し、画素
パターンのエッジ部分がギザギザになる場合があった。
このようなカラーフィルターを用いて液晶表示装置を作
製すると、透明導電膜の断線、あるいは液晶配向不良な
どに起因した表示不良が生じるという問題があった。
【0005】また、該着色被膜(画素)のコントラス
ト、色特性は、カラーフィルター、ひいては表示素子の
性能に大きな影響を与える。例えば、直行ニコルと平行
ニコル間のコントラストが高く、画素のそれぞれの色に
対応する光の透過率が高いほど、TN液晶表示装置で
は、より明るく鮮明な表示となる。しかしながら、ポリ
アミック酸溶液に顔料を分散したカラーペーストにおい
ては、顔料を安定に分散させることが困難であり、顔料
の凝集構造を生じやすい。そのため、該カラーペースト
を用いたカラーフィルターにおいては、顔料の凝集に起
因する基板上への塗布膜の平坦性の低下、顔料粒子の光
散乱に起因する画素のコントラスト、光透過率低下が生
じていた。また、ポリイミド自体の光の吸収が、400
nmから500nmの範囲で大きいために、特に青色画
素の光の透過率が小さくなり、表示が暗くなるという問
題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の欠点に鑑み創案されたもので、その目的とすると
ころは、ポリアミック酸の構造を最適化することによ
り、エッチング性、顔料の分散性、及び光の透過率を向
上したカラーペースト、及びこのカラーペーストを使用
した液晶表示装置や撮像素子用のカラーフィルター、及
びこのカラーフィルターを用いた液晶表示装置や撮像素
子を提供せんとすることである。
【0007】
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
ポリアミック酸、溶媒、および顔料を含有するカラーペ
ーストにおいて、該ポリアミック酸の合成に用いられる
ジアミンの25モル%以上がメタ位にアミノ基が配置さ
れた芳香族ジアミンであり、かつ該ポリアミック酸の繰
り返し単位における分子量が500以下であり、該ポリ
アミック酸から生成するポリイミド膜単独の、膜厚1μ
mにおける光の透過率が、波長450nmで80%以
上、波長400nmで65%以上であることを特徴とす
るカラーペースト、及びこのカラーペーストを用いたカ
ラーフィルター、及びこのカラーフィルターを用いた液
晶表示装置および撮像素子により達成される。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の構成要素について
説明する。
【0009】本発明のポリアミック酸は、次の一般式
(1)で表される構造をもつ。
【0010】
【化1】 ここで、R1 は炭素数1〜22の2価の有機基、R2
炭素数2〜22の3価または4価の有機基、nは1もし
くは2を意味する。
【0011】ポリアミック酸は、ジアミンとテトラカル
ボン酸二無水物を反応させることにより得ることができ
る。
【0012】ジアミンは、一般式(2)
【化2】 (式中のR1 は、前記の炭素数1〜22の2価の有機基
を表す。)で示される。また、テトラカルボン酸二無水
物は、一般式(3)
【化3】 (式中のR2 は、前記の炭素数2〜22の4価の有機基
を表す。)で示される。本発明の目的である、パターン
エッジにギザギザがなく、かつ、光の透過率、および、
コントラストが従来よりも高く、また表面粗さが従来よ
りも小さい画素を形成するためには、以下の3点を考慮
したポリアミック酸の設計に基づき、カラーペーストを
作製することが課題となる。すなわち、(1)ポリイミ
ド前駆体着色被膜のエッチング速度を速めること、
(2)顔料を安定微分散させること、(3)ポリイミド
膜自体の光の吸収を小さくすることにより、画素の光の
透過率を大きくすること、の3点である。
【0013】以下、順に、これらの目的達成のための本
発明における方法について説明する。 (1)、すなわ
ち、ポリイミド前駆体着色被膜のエッチング速度を速め
るためには、ポリアミック酸の繰り返し単位における分
子量を小さくするようポリイミド構造を設計するのが効
果的である。分子量が小さいほど、ポリアミック酸の単
位重量当たりに含まれるカルボキシル基の密度が高くな
り、アルカリ現像液に対する溶解性が向上するからであ
る。ここで、ポリアミック酸の繰り返し単位における分
子量とは、一般式(1)の括弧内の構造式、すなわち、
一般式(4)で示される構造式の分子量のことである。
【0014】
【化4】 なお、ポリアミック酸が複数のジアミン、酸二無水物か
ら構成された場合には、本発明でのポリアミック酸の繰
り返し単位における分子量とは、一般式(4)で示され
る構造式の分子量の加重平均をさす。
【0015】具体的に、好ましいポリアミック酸の繰り
返し単位における分子量としては、500以下、より好
ましくは490以下、さらに好ましくは480以下であ
る。このような分子量の範囲であれば、ポリイミド前駆
体着色被膜のエッチング速度が十分に速いため、フォト
レジスト被膜とポリイミド前駆体着色被膜のエッチング
を同時に行い、画素パターンを形成せしめる際に、フォ
トレジスト被膜のオーバーエッチングが生じる前にポリ
イミド前駆体着色被膜のエッチングが完了し、得られた
画素パターンエッジがギザギザになることがない。
【0016】(2)の顔料安定微分散を実現するための
方法について説明する。
【0017】顔料の分散状態は、ポリアミック酸、溶
媒、顔料の3者の相互関係により決定され、ポリアミッ
ク酸と顔料の相互作用が他の相互作用に比べて強い場合
には、ポリアミック酸が顔料表面に吸着し、該ポリアミ
ック酸の立体的な反発により、顔料の安定微分散が達成
される。
【0018】したがって、ポリアミック酸と顔料との親
和性を増大させるとともに、ポリアミック酸同士、ある
いは、ポリアミック酸と溶媒との間の相互作用を減少さ
せると、顔料が安定微分散したカラーペーストが得られ
る。このようなカラーペーストを塗布した着色膜は、コ
ントラスト、及び光の透過率が高く、表面の平坦性に優
れている。
【0019】本発明では、顔料の安定微分散を達成する
ための手段として、メタ位にアミノ基が配置された芳香
族ジアミンを使用してポリアミック酸を合成することが
有効であることを見出だした。ここでいう、メタ位と
は、芳香族環を介して2つのアミノ基が対称に位置して
いなく、かつ一直線上に位置しないことをいう。すなわ
ち、具体的には、単環系のジアミンであれば、1,4−
の位置にアミノ基がないジアミンであり、2環系のジア
ミンであれば、4,4´−の位置にアミノ基がないジア
ミンのことをいう。ただし、2つのアミノ基が隣接し
て、オルト位に存在している場合には、アミノ基の隣接
による立体障害によりポリアミック酸の合成がしにくい
ので、好ましくなく、好ましくは、単環系のジアミンで
あれば、1,3−、2環系のジアミンであれば、3,3
´−、あるいは3,4´−の位置にアミノ基が存在して
いるジアミンがよい。また、3環以上を有するジアミン
であっても、2つのアミノ基が直線上に、対称に位置し
ていなければ、好ましく用いることができる。
【0020】また、メタ位にアミノ基が配置された芳香
族ジアミンを使用してポリアミック酸を合成すると、得
られるポリイミドは、剛直性が小さくなるので、結晶性
が小さくなる。したがって、ポリイミド膜中、ひいては
ポリイミド着色塗膜中で、芳香族環のπ電子の重なりに
起因する吸光が小さくなるので、着色塗膜の光の透過率
が大きくなり、(3)の課題を実現することができる。
通常のポリイミドの光の吸収は、波長400nm〜50
0nmの範囲が特に大きい。したがって、本発明のポリ
イミドは、特に青色画素において透過率を大幅に向上さ
せることができる。本発明において好ましいポリイミド
膜単独の光の透過率としては、膜厚1μmにおいて、波
長450nmで80%以上、波長400nmで65%以
上であり、より好ましくは、波長450nmで83%以
上、波長400nmで68%以上、さらに好ましくは、
波長450nmで86%以上、波長400nmで72%
以上である。
【0021】本発明におけるポリアミック酸を合成する
のに、具体的に使用が好ましいメタ位にアミノ基が配置
された芳香族ジアミンとしては、3,3´−ジアミノジ
フェニルスルフォン、3,4´−ジアミノジフェニルス
ルフォン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル]スルフォン、3,3´−ジアミノジフェニルエーテ
ル、3,4´−ジアミノジフェニルエーテル、3,3´
−ジアミノジフェニルメタン、2,4−ジアミノトルエ
ン、2,6−ジアミノトルエン、1,5−ジアミノナフ
タレン、m−フェニレンジアミンなどがあり、これらを
単独で用いてもよく、また、2種以上を同時に用いてポ
リアミック酸を合成してもよい。
【0022】また、ポリアミック酸構造中にメタ位にア
ミノ基が配置された芳香族ジアミン以外に、その他のジ
アミンが含まれていてもよい。好ましくは、ポリアミッ
ク酸の合成に、メタ位にアミノ基が配置された芳香族ジ
アミンを、全ジアミンの25モル%以上、より好ましく
は30モル%以上、さらに好ましくは35モル%以上用
いていれば、必要十分な顔料微分散安定化、及び光透過
率を得ることができる。メタ位にアミノ基が配置された
芳香族ジアミンを2種以上併用する場合には、それらの
合計モル%が、全ジアミンの25モル%以上、より好ま
しくは30モル%以上、さらに好ましくは35モル%以
上であれば、1種使用の場合と同様に、必要十分な顔料
微分散安定化、及び光透過率を得ることができる。
【0023】メタ位にアミノ基が配置された芳香族ジア
ミンと併用して使用できる、それ以外の構造を有するジ
アミンとしては、一般的なジアミンでよく、たとえば芳
香族系以外にも脂肪族系または脂環式系のものが挙げら
れる。具体的な例としては、エチレンジアミン、1,3
−ジアミノシクロヘキサン、1,4−ジアミノシクロヘ
キサン、4,4´−ジアミノ−3,3´−ジメチルジシ
クロヘキシルメタン、4,4´−ジアミノ−3,3´−
ジメチルジシクロヘキシルなどがあげられ、好ましく用
いることができる。芳香族系では、上記のメタ位にアミ
ノ基が配置された芳香族ジアミン以外の一般的なジアミ
ンとしては、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、
4,4´−ジアミノジフェニルメタン、4,4´−ジア
ミノジフェニルサルファイド、p−フェニレンジアミ
ン、2,5−ジアミノトルエン、ベンジジン、3,3´
−ジメチルベンジジン、3,3´−ジメトキシベンジジ
ン、o−トリジン、4,4”−ジアミノターフェニル、
3,3´−ジメチル−4,4´−ジアミノジフェニルメ
タン、4,4´−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェ
ニル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル]プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル]エ−テル、2,2−ビス[4−(4−ア
ミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンな
どがあり、好ましく用いることができる。より好ましく
は、ポリアミック酸の繰り返し単位における分子量を小
さくさせやすいことと、得られるポリイミドの耐溶剤性
から考えて、p−フェニレンジアミン、ベンジジンをメ
タ位にアミノ基が配置された芳香族ジアミンと併用して
ポリアミック酸を合成するのが好ましい。
【0024】また、一般式(5)
【化5】 (式中のR3 は炭素数1〜10の2価の有機基、R4
5 、R6 、およびR7は炭素数1〜10の1価の有機
基でこれらは同一であっても異なっていてもよく、mは
1〜10の整数を意味する。)で示されるシロキサンジ
アミンを用いると、無機基板との接着性を良好にするこ
とができる。シロキサンジアミンは、通常、全ジアミン
中の1〜20モル%量用いる。シロキサンジアミンの量
が少なすぎれば接着性向上効果が発揮されず、多すぎれ
ば耐熱性が低下する。シロキサンジアミンの具体例とし
ては、ビス−3−(アミノプロピル)テトラメチルシロ
キサンなどが挙げられる。
【0025】ジアミンと組み合わせてポリアミック酸を
合成するのに、一般的に使用できるテトラカルボン酸二
無水物としては、たとえば、脂肪族系または脂環式系の
ものを挙げることがでる。具体的な例として、1,2,
3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,
2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水
物、1,2,3,5−シクロペンタンテトラカルボン酸
二無水物、1,2,4,5−ビシクロヘキセンテトラカ
ルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテ
トラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b
−ヘキサヒドロ−5−(テトラヒドロ−2,5−ジオキ
ソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−C]フラン−
1,3−ジオンなどが挙げられる。また、芳香族系のも
のを用いると、耐熱性の良好な膜に変換しうるポリアミ
ック酸を得ることができ、その具体的な例として、ピロ
メリット酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテト
ラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニ
ルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4´−オキ
シジフタル酸無水物、3,3´,4,4´−ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレ
ンテトラカルボン酸二無水物、3,3”,4,4”−パ
ラターフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3”,
4,4”−メタターフェニルテトラカルボン酸二無水
物、4,4´−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジ
フタル酸無水物などが挙げられる。
【0026】この中でも特に、ポリアミック酸の繰り返
し単位における分子量を小さく抑え、かつ、耐熱性、耐
溶剤性を良好とするためには、ピロメリット酸二無水
物、あるいは3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物を使用することが好ましい。
【0027】なお、本発明は、これらに限定されずにテ
トラカルボン酸二無水物が1種または2種以上用いられ
る。
【0028】ポリアミック酸の合成は、極性有機溶媒中
でジアミンとテトラカルボン酸二無水物を混合して反応
させることにより行うのが一般的である。この時、ジア
ミンとテトラカルボン酸二無水物の混合比により、得ら
れるポリアミック酸の重合度を調節することができる。
【0029】このほか、テトラカルボン酸ジクロライド
とジアミンを極性有機溶媒中で反応させて、その後、塩
酸と溶媒を除去することによってポリアミック酸を得る
など、ポリアミック酸を得るには種々の方法がある。し
かし、本発明はその合成法によらずにポリアミック酸に
対して適用が可能である。
【0030】本発明のペーストに使用するポリアミック
酸は、膜となった場合、ポリイミドに変換される。ポリ
イミド膜の力学的特性は、構造単位の繰り返し数、言い
換えれば、ポリイミド分子当たりの分子量、すなわち一
般式(1)で表される分子の分子量が大きいほど良好で
ある。このため、ポリイミド前駆体であるポリアミック
酸の1分子当たりの分子量も大きいことが望まれる。一
方、ポリイミド前駆体膜を湿式エッチングによりパター
ン加工を行う場合、ポリアミック酸の1分子当たりの分
子量が大きすぎると、現像に要する時間が長くなりすぎ
るという問題がある。したがって、構造単位の繰り返し
数の好ましい範囲は10〜1000、より好ましくは1
2〜400、さらに好ましくは15〜100である。な
お、ポリアミック酸の1分子当たりの分子量には一般的
にばらつきがあるため、ここでいう構造単位の繰り返し
数の好ましい範囲とは、この範囲の中に全ポリアミック
酸分子の50モル%以上、好ましくは70モル%以上、
さらに好ましくは90モル%以上が入っていることを意
味する。
【0031】本発明のペーストにおける溶媒としては、
ポリアミック酸を溶解するものを使用するのが一般的で
ある。具体的な例としては、N―メチル―2―ピロリド
ン、N,N―ジメチルアセトアミド、N,N―ジメチル
ホルムアミドなどのアミド系極性溶媒、β―プロピオラ
クトン、γ―ブチロラクトン、γ―バレロラクトン、δ
―バレロラクトン、γ―カプロラクトン、ε―カプロラ
クトンなどのラクトン類などが挙げられる。また、これ
らの溶媒とともに、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、メチルカルビトール、エチルカルビトール、プロピ
レングリコールモノエチルエーテルなどのエチレングリ
コールあるいはプロピレングリコール誘導体、あるい
は、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト、アセト酢酸エチル、メチル―3―メトキシプロピオ
ネート、3―メチル―3―メトキシブチルアセテートな
どの脂肪族エステル類などを副溶媒として添加すること
も可能である。
【0032】本発明のカラーペーストに用いられる顔料
には特に制限はないが、耐光性、耐熱性、耐薬品性に優
れたものが好ましい。代表的な顔料の具体的な例をカラ
ーインデックス(CI)ナンバーで示す。黄色顔料の例
としてはピグメントイエロー20、24、83、86、
93、94、109、110、117、125、13
7、138、139、147、148、153、15
4、166、173などが挙げられる。橙色顔料の例と
してはピグメントオレンジ13、31、36、38、4
0、42、43、51、55、59、61、64、65
などが挙げられる。赤色顔料の例としてはピグメントレ
ッド9、97、122、123、144、149、16
6、168、177、180、192、215、21
6、224などが挙げられる。紫色顔料の例としてはピ
グメントバイオレット19、23、29、32、33、
36、37、38などが挙げられる。青色顔料の例とし
てはピグメントブルー15(15:3、15:4、1
5:6など)、21、22、60、64などが挙げられ
る。緑色顔料の例としてはピグメントグリーン7、1
0、36、47などが挙げられる。本発明ではこれらに
限定されずに種々の顔料を使用することができる。な
お、顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸性基処理、塩
基性処理などの表面処理が施されているものを使用して
もよい。
【0033】また、本発明のカラーペーストをカラーフ
ィルターに使用する場合、カラーフィルターのR(レッ
ド)、G(グリーン)、B(ブルー)の3色の画素は、
CRT蛍光体の色度特性に類似させる必要があるため、
顔料をバックライトと液晶表示素子の光線透過特性に合
うよう、数色組み合わせて調色されて用いられる。たと
えば、R(レッド)は赤色顔料と黄色顔料または橙色顔
料、G(グリーン)は緑色顔料と黄色顔料または橙色顔
料、B(ブルー)は青色顔料と紫色顔料の組み合わせな
どにより調色される。
【0034】また、本発明のポリアミック酸を用いてブ
ラックペーストを作製することもできる。この場合は、
ポリアミック酸着色(黒色)被膜の加工性がよくなり、
パターンエッジのギザギザがなくなるので、パターン解
像度がよくなる。従って、ブラックマトリクスパターン
を形成せしめる際、細線化が図れるので、開口部の面積
を大きくすることができ、結果的に表示が明るく、見や
すいカラーフィルター、および液晶表示素子を形成せし
めることができる。
【0035】ブラックペーストに用いることができる遮
光剤としては、一般的なものでよく、カーボンブラック
や、酸化チタン、四酸化鉄などの金属酸化物粉や、金属
硫化物粉や、金属粉の他に、赤、青、緑色の顔料混合物
などを用いることができる。この中でも特にカーボンブ
ラックは、遮光性に優れており好ましい。カーボンブラ
ックには、チャネルブラック、ローラーブラック、ディ
スクブラック、ファーネストブラック、サーマルブラッ
ク、アセチレンブラックなどの種類があり、これらすべ
てを好ましく用いることができるが、とくに、チャネル
ブラック、ファーネストブラックが好ましい。
【0036】遮光剤として、カーボンブラックを使用し
て、ブラックペーストを作製し、カラーフィルターに使
用する場合、色調を無彩色にするため、カーボンブラッ
クの補色の顔料を混合することが好ましい。補色用の顔
料としては、青色顔料、および、紫色顔料をそれぞれ単
独、あるいは両者を混合して使用することができる。以
下、カラーペーストとブラックペーストをまとめて、ペ
ーストと表記する。本発明のぺーストにおいて、ポリア
ミック酸と顔料は、通常、重量比で1:9〜9:1、好
ましくは2:8〜8:2、より好ましくは3:7〜7:
3の範囲で混合して用いられる。ポリアミック酸の量が
少なすぎると、着色被膜の基板との接着性が不良とな
り、逆に顔料の量が少なすぎると着色度が問題となる。
また、該ペーストにおいては、塗工性、乾燥性などの観
点から、ポリアミック酸、顔料をあわせた固形分濃度
は、2〜30%、好ましくは3〜25%、さらに好まし
くは5〜20%の範囲で使用する。
【0037】本発明のぺーストの製造には、溶媒と顔料
を混合してあらかじめ分散した顔料分散液に、ポリアミ
ック酸溶液を混合する方法、あるいは、ポリアミック酸
と、溶媒と、顔料とを混合して分散する方法などを用い
ることができる。これら製造方法の選択については、顔
料の種類により、適宜、適当なものを選ぶことが好まし
い。
【0038】本発明のペーストにおいては、顔料の分散
方法は特に限定されず、ボールミル、サンドグラインダ
ー、3本ロールミル、高速度衝撃ミルなど、種々の方法
がとりうる。
【0039】本発明のぺーストには、塗布性、着色被膜
の乾燥性の改良、あるいは、顔料の分散性を良好にする
目的で、本発明のぺーストに界面活性剤を添加すること
もできる。界面活性剤の添加量は通常、顔料の0.00
1〜10重量%、好ましくは0.01〜1重量%であ
る。添加量が少なすぎると塗布性、着色被膜の乾燥性の
改良、あるいは顔料の分散性の改良の効果がなく、多す
ぎると逆に塗布性が不良となったり、顔料の凝集が起こ
る。界面活性剤の具体例としては、ラウリル硫酸アンモ
ニウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸トリ
エタノールアミンなどの陰イオン界面活性剤、ステアリ
ルアミンアセテート、ラウリルトリメチルアンモニウム
クロライドなどの陽イオン界面活性剤、ラウリルジメチ
ルアミンオキサイド、ラウリルカルボキシメチルヒドロ
キシエチルイミダゾリウムベタインなどの両性界面活性
剤、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシ
エチレンステアリルエーテル、ソルビタンモノステアレ
ートなどの非イオン界面活性剤などが挙げられる。本発
明では、これらに限定されずに、界面活性剤が1種また
は2種以上用いることができる。界面活性剤の添加は、
顔料の分散工程中またはその工程の前後のどの時点でも
行うことができる。しかし、添加の時点により顔料の分
散性が変わる場合があるので、注意を要する。
【0040】本発明のペーストには、顔料の分散性を向
上させる目的で、分散剤を添加することができる。分散
剤としては、上記の界面活性剤や、その他の化合物、と
くに顔料の表面に吸着しやすい化合物を用いることがで
きる。分散剤の添加は、顔料の分散工程中またはその工
程の前後のどの時点でも行うことができる。
【0041】本発明のぺーストを基板上に塗布する方法
としては、スピンコーター、バーコーター、ブレードコ
ーター、ロールコーター、ダイコーター、スクリーン印
刷法などで基板に塗布する方法、基板を溶液中に浸漬す
る方法、溶液を基板に噴霧するなどの種々の方法を用い
ることができる。基板としては通常、ソーダガラス、無
アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラスなどの
透明基板や、シリコン、ガリウム−ひ素などの半導体基
板などが用いられるが、特にこれらに限定されない。な
お、基板上にペーストを塗布する場合、シランカップリ
ング剤、アルミニウムキレート剤、チタニウムキレート
剤などの接着助剤で基板表面を処理しておくと、着色被
膜と基板の接着力を向上させることができる。
【0042】本発明のぺーストは、液晶ディスプレイや
撮像素子のカラーフィルターのほか、光学素子の遮光
膜、光ファイバーの被覆膜などに用いられる。たとえ
ば、光ファイバーをカラーぺーストを用いて着色被膜で
被覆したものは、高温下での光学センサーとして利用す
ることができる。
【0043】次に本発明のぺーストの代表的な用途であ
る液晶ディスプレイ用カラーフィルターを例に使用方法
の一例を説明する。
【0044】ぺーストを、前記のような方法で透明基板
上に塗布した後、風乾、加熱乾燥、真空乾燥などによ
り、ポリイミド前駆体着色被膜を形成する。加熱乾燥の
場合、オーブン、ホットプレートなどを使用し、50〜
180℃の範囲で1分〜3時間行うのが好ましい。次
に、このようにして得られたポリイミド前駆体着色被膜
に、通常の湿式エッチングによりパターンを形成する。
まず、ポリイミド前駆体着色被膜上にポジ型フォトレジ
ストを塗布し、フォトレジスト被膜を形成する。続いて
該フォトレジスト被膜上にマスクを置き、露光装置を用
いて紫外線を照射する。露光後、ポジ型フォトレジスト
用アルカリ現像液により、フォトレジスト被膜とポリイ
ミド前駆体着色被膜のエッチングを同時に行う。この
際、本発明のカラーペーストでは、ポリイミド前駆体着
色被膜のエッチングが十分に速いため、フォトレジスト
パターンエッジのオーバーエッチングが始まる前に、パ
ターンのエッチングが終了し、パターンエッジがギザギ
ザになることがない。エッチング後は、不要となったフ
ォトレジスト被膜を剥離する。
【0045】ポリイミド前駆体着色被膜パターンは、そ
の後、加熱処理することによって、ポリイミド着色被膜
パターンに変換される。加熱処理は通常、空気中、窒素
雰囲気中、あるいは、真空中などで、150〜450
℃、好ましくは180〜350℃の温度のもとで、0.
5〜5時間、連続的または段階的に行われる。
【0046】以上の工程をR(レッド)、G(グリー
ン)、B(ブルー)の3色のぺースト、および必要に応
じてBk(ブラック)のペーストについて行うと、液晶
ディスプレイ用カラーフィルターが作製できる。
【0047】次に、このカラーフィルターを用いて作成
した液晶表示装置について説明する。上記カラーフィル
ター上に、必要に応じて透明保護膜を形成せしめ、さら
にその上にITO膜などの透明電極を積層せしめる。次
に、このカラーフィルター基板と、ITO膜などの透明
電極が透明基板上に形成された透明電極基板とを、さら
にそれらの基板上に設けられた液晶配向のためのラビン
グ処理を施した液晶配向膜、およびセルギャップ保持の
ためのスペーサーを介して、対向させて貼りあわせしめ
る。なお、透明電極基板上には、透明電極以外に、薄膜
トランジスタ(TFT)素子や薄膜ダイオード(TF
D)素子、および走査線、信号線などを設け、TFT液
晶表示装置や、TFD液晶表示装置を作成することがで
きる。次に、シール部に設けられた注入口から液晶を注
入した後に、注入口を封止する。つぎに、偏光板を基板
の外側に貼りあわせた後にICドライバー等を実装する
ことによりモジュールが完成する。
【0048】本発明のカラーフィルターおよび液晶表示
装置は、パソコン、ワードプロセッサー、エンジニアリ
ング・ワークステーション、ナビゲーションシステム、
液晶テレビ、ビデオなどの表示画面に用いられ、また、
鮮明な画質の液晶プロジェクションなどにも好適に用い
られる。
【0049】
【実施例】以下、実施例によって本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0050】実施例におけるポリアミック酸の原料およ
び溶媒の略称は以下の通りである。
【0051】BPDA:3,3´,4,4´−ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、PMDA:ピロメリット
酸二無水物、BTDA:3,3´,4,4´−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物、DAM:4,4´−
ジアミノジフェニルメタン、3,3´−DDS:3,3
´−ジアミノジフェニルスルフォン、3,4´−DD
S:3,4´−ジアミノジフェニルスルフォン、3,3
´−DAE:3,3´−ジアミノジフェニルエーテル、
3,4´−DAE:3,4´−ジアミノジフェニルエー
テル、4,4´−DAE:4,4´−ジアミノジフェニ
ルエーテル、p−PDA:p−フェニレンジアミン、m
−PDA:m−フェニレンジアミン、SiDA:ビス−3
−(アミノプロピル)テトラメチルシロキサン、PA:
無水フタル酸、NMP:N−メチル−2−ピロリドン、
γBL:γ−ブチロラクトン。
【0052】また、実施例における測定法は以下の通り
である。
【0053】[粘度]東京計器(株)製ELD型粘度計
を使用し、25℃で回転数を変えて測定を行い、(0.
5rpmの粘度指示値)/(2.5rpmの粘度指示
値)の比を粘度比とした。なお、粘度比が1に近いほ
ど、顔料の構造凝集が生じておらず、ニュートン流体に
近いことを示し、従って顔料の分散性がよいことを意味
する。
【0054】[透過率]大塚電子(株)製顕微分光光度
計(MCPD1000)を使用し、C光源、対物レンズ
の倍率10倍、2°視野の条件で測定した。
【0055】[コントラスト比]バックライト(明拓シ
ステム)上で色彩輝度計(トプコンBM−5A)にて、
2度視野で試料の平行ニコル状態と直交ニコル状態での
輝度を測定し、両状態での輝度の比をコントラスト比と
した。
【0056】[表面粗さ]東京精密(株)製サーフコム
1500Aにて測定した。
【0057】[現像時間]画素の現像時、基板を現像液
に浸漬する際、画素ストライプがフォトマスクの設計パ
ターンと同一線幅のエッチングパターンになるまでに要
する浸漬時間を、現像時間として規定した。 実施例1 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP11497.2g、3,3´−DDS744.7
g(3.00mol)、m−PDA292.0g(2.
70mol)、SiDA74.6g(0.30mol)
を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BPDA
1747.7g(5.94mol)を投入し、釜を58
℃に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12m
ol)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することに
より、ポリアミック酸のNMP溶液(A1)を得た。こ
のポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位
における分子量を表1に示す。
【0058】このポリアミック酸のNMP溶液(A1)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0059】実施例2 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP11497.2g、3,3´−DDS744.7
g(3.00mol)、p−PDA292.0g(2.
70mol)、SiDA74.6g(0.30mol)
を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BPDA
1747.7g(5.94mol)を投入し、釜を58
℃に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12m
ol)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することに
より、ポリアミック酸のNMP溶液(A2)を得た。こ
のポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位
における分子量を表1に示す。
【0060】このポリアミック酸のNMP溶液(A2)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0061】実施例3 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP11497.2g、3,4´−DDS744.7
g(3.00mol)、p−PDA292.0g(2.
70mol)、SiDA74.6g(0.30mol)
を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BPDA
1747.7g(5.94mol)を投入し、釜を58
℃に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12m
ol)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することに
より、ポリアミック酸のNMP溶液(A3)を得た。こ
のポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位
における分子量を表1に示す。
【0062】このポリアミック酸のNMP溶液(A3)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0063】実施例4 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP10931.2g、3,3´−DAE600.7
g(3.00mol)、p−PDA292.0g(2.
70mol)、SiDA74.6g(0.30mol)
を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BPDA
1747.7g(5.94mol)を投入し、釜を58
℃に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12m
ol)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することに
より、ポリアミック酸のNMP溶液(A4)を得た。こ
のポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位
における分子量を表1に示す。
【0064】このポリアミック酸のNMP溶液(A4)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0065】実施例5 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP10931.2g、3,4´−DAE600.7
g(3.00mol)、p−PDA292.0g(2.
70mol)、SiDA74.6g(0.30mol)
を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BPDA
1747.7g(5.94mol)を投入し、釜を58
℃に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12m
ol)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することに
より、ポリアミック酸のNMP溶液(A5)を得た。こ
のポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位
における分子量を表1に示す。
【0066】このポリアミック酸のNMP溶液(A5)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0067】実施例6 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP10378.4g、3,4´−DAE300.3
g(1.50mol)、p−PDA454.2g(4.
20mol)、SiDA74.6g(0.30mol)
を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BPDA
1747.7g(5.94mol)を投入し、釜を58
℃に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12m
ol)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することに
より、ポリアミック酸のNMP溶液(A6)を得た。こ
のポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位
における分子量を表1に示す。
【0068】このポリアミック酸のNMP溶液(A6)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0069】実施例7 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP10488.8g、3,4´−DAE360.4
g(1.80mol)、p−PDA421.7g(3.
90mol)、SiDA74.6g(0.30mol)
を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BPDA
1747.7g(5.94mol)を投入し、釜を58
℃に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12m
ol)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することに
より、ポリアミック酸のNMP溶液(A7)を得た。こ
のポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位
における分子量を表1に示す。
【0070】このポリアミック酸のNMP溶液(A7)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0071】実施例8 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP10710.4g、3,4´−DAE480.6
g(2.40mol)、p−PDA356.9g(3.
30mol)、SiDA74.6g(0.30mol)
を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BPDA
1747.7g(5.94mol)を投入し、釜を58
℃に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12m
ol)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することに
より、ポリアミック酸のNMP溶液(A8)を得た。こ
のポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位
における分子量を表1に示す。
【0072】このポリアミック酸のNMP溶液(A8)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0073】実施例9 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP11630.8g、3,3´−DDS372.3
g(1.50mol)、4,4´−DAE841.0g
(4.20mol)、SiDA74.6g(0.30m
ol)を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、B
TDA966.7g(3.00mol)、PMDA64
1.3g(2.94mol)を投入し、釜を58℃に加
熱した。3時間後、PA17.8g(0.12mol)
を添加し、58℃でさらに1時間加熱することにより、
ポリアミック酸のNMP溶液(A9)を得た。このポリ
アミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位におけ
る分子量を表1に示す。
【0074】このポリアミック酸のNMP溶液(A9)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以上、波長400nmで65%以上であ
った。
【0075】実施例10〜18 ピグメントブルー15 5.4g、γ−ブチロラクトン
84gをガラスビーズ90gとともにホモジナイザーを
用い、7000rpmで30分間分散処理後、ガラスビ
ーズを濾過により除去し、顔料分散液を得た。
【0076】得られた顔料分散液20gに、実施例1〜
9で得られたポリアミック酸溶液(A1〜A9)20g
を添加し、カラーペースト(C1〜C9)を得た。
【0077】得られた9種類のカラーペーストを、顕微
鏡下1000倍で観察したところ、顔料の凝集は認めら
れず、一様に分散していることが確認できた。また、粘
度比は表2に示したように、いずれも1に近い値であっ
た。
【0078】また、カラーぺーストC1〜C9をブラッ
クマトリクスを設けた無アルカリガラス基板上にスピン
コートし、50℃で10分間、90℃で10分間、11
0℃で20分間オーブンを用いて空気中で加熱乾燥し
て、膜厚1.6μmのポリイミド前駆体着色膜を得た。
この膜上にポジ型フォトレジスト(東京応化社製OFP
R−800)を塗布し、80℃で20分間加熱乾燥して
膜厚1μmのレジスト膜を得た。キャノン社製紫外線露
光機PLA−501Fを用い、クロム製のフォトマスク
を介して、波長365nmでの強度が50mJ/cm2
の紫外線を照射した。露光後、テトラメチルアンモニウ
ムハイドロオキサイドの2.38wt%の水溶液からな
る現像液に浸漬し、フォトレジストおよびポリイミド前
駆体着色被膜の現像を同時に行った。C1〜C9の各ペ
ーストでの現像所要時間は、表2のようであった。エッ
チング後、不要となったフォトレジスト層をメチルセロ
ソルブアセテートで剥離した。さらにこのようにして得
られたポリイミド前駆体着色パターンニング被膜を窒素
雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、膜厚1.2μ
mのポリイミド着色パターンニング被膜を得た。
【0079】このようにして、C1〜C9より得られた
ポリイミド着色パターンニング被膜は、高い透過率、及
び高いコントラスト比を有すること、かつ、表面の平坦
性に優れていることがわかった(表2)。また、パター
ン形状は、エッジのギザギザがなく、良好であった(表
2)。
【0080】さらに、この基板にR(レッド)、G(グ
リーン)画素パターンを積層せしめて、カラーフィルタ
ーを得た。該カラーフィルターを用いて作成した液晶表
示装置は、表示不良もなく、表示品位は良好であった
(表2)。
【0081】比較例1 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP12259.2g、4,4´−DAE961.1
g(4.80mol)、p−PDA97.3g(0.9
0mol)、SiDA74.6g(0.30mol)を
投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、BTDA1
914.0g(5.94mol)を投入し、釜を58℃
に加熱した。3時間後、PA17.8g(0.12mo
l)を添加し、58℃でさらに1時間加熱することによ
り、ポリアミック酸のNMP溶液(B1)を得た。この
ポリアミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位に
おける分子量を表1に示す。
【0082】このポリアミック酸のNMP溶液(B1)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以下、波長400nmで65%以下であ
った。
【0083】続いて、ピグメントブルー15 5.4
g、γ−ブチロラクトン84gをガラスビーズ90gと
ともにホモジナイザーを用いて、7000rpmで30
分間分散処理後、ガラスビーズを濾過することにより除
去し得られた顔料分散液のうち、20gを、上で得られ
たポリアミック酸溶液(B1)20gに添加し、カラー
ペースト(D1)を得た。
【0084】得られたカラーペーストを、顕微鏡下10
00倍で観察したところ、部分的に顔料の凝集が認めら
れた。また、粘度比は表1に示したように、顔料の凝集
を示唆していた。
【0085】また、このカラーぺーストをブラックマト
リクスを設けた無アルカリガラス基板上にスピンコート
し、50℃で10分間、90℃で10分間、110℃で
20分間オーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚
1.6μmのポリイミド前駆体着色膜を得た。この膜上
にポジ型フォトレジスト(東京応化社製OFPR−80
0)を塗布し、80℃で20分間加熱乾燥して膜厚1μ
mのレジスト膜を得た。キャノン社製紫外線露光機PL
A−501Fを用い、クロム製のフォトマスクを介し
て、波長365nmでの強度が50mJ/cm2 の紫外
線を照射した。露光後、テトラメチルアンモニウムハイ
ドロオキサイドの2.38wt%の水溶液からなる現像
液に浸漬し、フォトレジストおよびポリイミド前駆体着
色被膜の現像を同時に行った。エッチング後、不要とな
ったフォトレジスト層をメチルセロソルブアセテートで
剥離した。さらにこのようにして得られたポリイミド前
駆体着色パターンニング被膜を窒素雰囲気中で300℃
で30分間熱処理し、膜厚1.2μmのポリイミド着色
パターンニング被膜を得た。
【0086】このようにして得られたポリイミド着色パ
ターンニング被膜は、透過率、及びコントラスト比とも
比較的低く、また、表面あれも大きいことがわかった
(表1)。また、フォトレジストのオーバーエッチング
に起因すると考えられる、パターンエッジのギザギザが
生じていた(表2)。
【0087】さらに、この基板にR(レッド)、G(グ
リーン)画素パターンを積層せしめて、カラーフィルタ
ーを得た。該カラーフィルターを用いて作成した液晶表
示装置は、コントラスト比が低く、表示が暗く、さらに
液晶配向不良あるいは透明電極の断線に由来すると考え
られる表示品位の低下が生じていた(表2)。
【0088】比較例2 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP12138.2g、3,3´−DDS297.8
8g(1.20mol)、4,4’−DAE324.3
7g(1.62mol)、4,4´−DAM559.0
g(2.82mol)、SiDA89.5g(0.36
mol)を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、
BPDA1730.0g(5.88mol)を投入し、
釜を58℃に加熱した。3時間後、PA33.8g
(0.228mol)を添加し、58℃でさらに1時間
加熱することにより、ポリアミック酸のNMP溶液(B
2)を得た。このポリアミック酸のモノマー組成比、及
び繰り返し単位における分子量を表1に示す。
【0089】このポリアミック酸のNMP溶液(B2)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以下、波長400nmで65%以下であ
った。
【0090】続いて、ピグメントブルー15 5.4
g、γ−ブチロラクトン84gをガラスビーズ90gと
ともにホモジナイザーを用いて、7000rpmで30
分間分散処理後、ガラスビーズを濾過することにより除
去し得られた顔料分散液のうち、20gを、上で得られ
たポリアミック酸溶液(B2)20gに添加し、カラー
ペースト(D2)を得た。
【0091】得られたカラーペーストを、顕微鏡下10
00倍で観察したところ、部分的に顔料の凝集が認めら
れた。また、粘度比は表1に示したように、顔料の凝集
を示唆していた。
【0092】また、このカラーぺーストをブラックマト
リクスを設けた無アルカリガラス基板上にスピンコート
し、50℃で10分間、90℃で10分間、110℃で
20分間オーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚
1.6μmのポリイミド前駆体着色膜を得た。この膜上
にポジ型フォトレジスト(東京応化社製OFPR−80
0)を塗布し、80℃で20分間加熱乾燥して膜厚1μ
mのレジスト膜を得た。キャノン社製紫外線露光機PL
A−501Fを用い、クロム製のフォトマスクを介し
て、波長365nmでの強度が50mJ/cm2 の紫外
線を照射した。露光後、テトラメチルアンモニウムハイ
ドロオキサイドの2.38wt%の水溶液からなる現像
液に浸漬し、フォトレジストおよびポリイミド前駆体着
色被膜の現像を同時に行った。エッチング後、不要とな
ったフォトレジスト層をメチルセロソルブアセテートで
剥離した。さらにこのようにして得られたポリイミド前
駆体着色パターンニング被膜を窒素雰囲気中で300℃
で30分間熱処理し、膜厚1.2μmのポリイミド着色
パターンニング被膜を得た。
【0093】このようにして得られたポリイミド着色パ
ターンニング被膜は、透過率、及びコントラスト比とも
比較的低く、また、表面あれも大きいことがわかった
(表1)。また、フォトレジストのオーバーエッチング
に起因すると考えられる、パターンエッジのギザギザが
生じていた(表2)。
【0094】さらに、この基板にR(レッド)、G(グ
リーン)画素パターンを積層せしめて、カラーフィルタ
ーを得た。該カラーフィルターを用いて作成した液晶表
示装置は、コントラスト比が低く、表示が暗く、さらに
液晶配向不良あるいは透明電極の断線に由来すると考え
られる表示品位の低下が生じていた(表2)。
【0095】比較例3 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP12519.6g、4,4´−DAE1141.
3g(5.70mol)、SiDA74.6g(0.3
0mol)を投入し、釜を30℃に加熱した。30分
後、BTDA1914.0g(5.94mol)を投入
し、釜を58℃、3時間加熱することにより、ポリアミ
ック酸のNMP溶液(B3)を得た。このポリアミック
酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位における分子量
を表1に示す。
【0096】このポリアミック酸のNMP溶液(B3)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以下、波長400nmで65%以下であ
った。
【0097】続いて、ピグメントブルー15 5.4
g、γ−ブチロラクトン84gをガラスビーズ90gと
ともにホモジナイザーを用いて、7000rpmで30
分間分散処理後、ガラスビーズを濾過することにより除
去し得られた顔料分散液のうち、20gを、上で得られ
たポリアミック酸溶液(B3)20gに添加し、カラー
ペースト(D3)を得た。
【0098】得られたカラーペーストを、顕微鏡下10
00倍で観察したところ、部分的に顔料の凝集が認めら
れた。また、粘度比は表1に示したように、顔料の凝集
を示唆していた。
【0099】また、このカラーぺーストをブラックマト
リクスを設けた無アルカリガラス基板上にスピンコート
し、50℃で10分間、90℃で10分間、110℃で
20分間オーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚
1.6μmのポリイミド前駆体着色膜を得た。この膜上
にポジ型フォトレジスト(東京応化社製OFPR−80
0)を塗布し、80℃で20分間加熱乾燥して膜厚1μ
mのレジスト膜を得た。キャノン社製紫外線露光機PL
A−501Fを用い、クロム製のフォトマスクを介し
て、波長365nmでの強度が50mJ/cm2 の紫外
線を照射した。露光後、テトラメチルアンモニウムハイ
ドロオキサイドの2.38wt%の水溶液からなる現像
液に浸漬し、フォトレジストおよびポリイミド前駆体着
色被膜の現像を同時に行った。エッチング後、不要とな
ったフォトレジスト層をメチルセロソルブアセテートで
剥離した。さらにこのようにして得られたポリイミド前
駆体着色パターンニング被膜を窒素雰囲気中で300℃
で30分間熱処理し、膜厚1.2μmのポリイミド着色
パターンニング被膜を得た。
【0100】このようにして得られたポリイミド着色パ
ターンニング被膜は、透過率、及びコントラスト比とも
比較的低く、また、表面あれも大きいことがわかった
(表1)。また、フォトレジストのオーバーエッチング
に起因すると考えられる、パターンエッジのギザギザが
生じていた(表2)。
【0101】さらに、この基板にR(レッド)、G(グ
リーン)画素パターンを積層せしめて、カラーフィルタ
ーを得た。該カラーフィルターを用いて作成した液晶表
示装置は、コントラスト比が低く、表示が暗く、さらに
液晶配向不良あるいは透明電極の断線に由来すると考え
られる表示品位の低下が生じていた(表2)。
【0102】比較例4 温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷
却装置、および、攪拌装置を付した20Lの反応釜に、
NMP12492.0g、3,3´−DDS297.9
g(1.20mol)、4,4´−DAE901.0g
(4.50mol)、SiDA74.6g(0.30m
ol)を投入し、釜を30℃に加熱した。30分後、B
TDA966.7g(3.00mol)、BPDA86
5.0g(2.94mol)を投入し、釜を58℃に加
熱した。3時間後、PA17.8g(0.12mol)
を添加し、58℃でさらに1時間加熱することにより、
ポリアミック酸のNMP溶液(B4)を得た。このポリ
アミック酸のモノマー組成比、及び繰り返し単位におけ
る分子量を表1に示す。
【0103】このポリアミック酸のNMP溶液(B4)
を、無アルカリガラス基板上にスピンコートし、50℃
で10分間、90℃で10分間、110℃で20分間オ
ーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.6μm
のポリイミド前駆体膜を得た。さらにこのポリイミド前
駆体膜を窒素雰囲気中で300℃で30分間熱処理し、
膜厚1.0μmのポリイミド膜を得た。このポリイミド
膜の透過率を測定したところ、表1のように、波長45
0nmで80%以下、波長400nmで65%以下であ
った。
【0104】続いて、ピグメントブルー15 5.4
g、γ−ブチロラクトン84gをガラスビーズ90gと
ともにホモジナイザーを用いて、7000rpmで30
分間分散処理後、ガラスビーズを濾過することにより除
去し得られた顔料分散液のうち、20gを、上で得られ
たポリアミック酸溶液(B4)20gに添加し、カラー
ペースト(D4)を得た。
【0105】得られたカラーペーストを、顕微鏡下10
00倍で観察したところ、部分的に顔料の凝集が認めら
れた。また、粘度比は表1に示したように、顔料の凝集
を示唆していた。
【0106】また、このカラーぺーストをブラックマト
リクスを設けた無アルカリガラス基板上にスピンコート
し、50℃で10分間、90℃で10分間、110℃で
20分間オーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚
1.6μmのポリイミド前駆体着色膜を得た。この膜上
にポジ型フォトレジスト(東京応化社製OFPR−80
0)を塗布し、80℃で20分間加熱乾燥して膜厚1μ
mのレジスト膜を得た。キャノン社製紫外線露光機PL
A−501Fを用い、クロム製のフォトマスクを介し
て、波長365nmでの強度が50mJ/cm2 の紫外
線を照射した。露光後、テトラメチルアンモニウムハイ
ドロオキサイドの2.38wt%の水溶液からなる現像
液に浸漬し、フォトレジストおよびポリイミド前駆体着
色被膜の現像を同時に行った。エッチング後、不要とな
ったフォトレジスト層をメチルセロソルブアセテートで
剥離した。さらにこのようにして得られたポリイミド前
駆体着色パターンニング被膜を窒素雰囲気中で300℃
で30分間熱処理し、膜厚1.2μmのポリイミド着色
パターンニング被膜を得た。
【0107】このようにして得られたポリイミド着色パ
ターンニング被膜は、透過率、及びコントラスト比とも
比較的低く、また、表面あれも大きいことがわかった
(表1)。また、フォトレジストのオーバーエッチング
に起因すると考えられる、パターンエッジのギザギザが
生じていた(表2)。
【0108】さらに、この基板にR(レッド)、G(グ
リーン)画素パターンを積層せしめて、カラーフィルタ
ーを得た。該カラーフィルターを用いて作成した液晶表
示装置は、コントラスト比が低く、表示が暗く、さらに
液晶配向不良あるいは透明電極の断線に由来すると考え
られる表示品位の低下が生じていた(表2)。
【0109】
【表1】
【表2】
【0110】
【発明の効果】本発明は上述のごとく構成したので、光
の透過率、及び顔料の分散安定性に優れたカラーペース
トを得ることができ、また、該カラーペーストを用いる
ことにより、画素において、色の表示が明るく、かつコ
ントラスト比が高く、さらに表面の平坦性が高いことを
特徴とするカラーフィルターを得ることができる。ま
た、本発明のカラーペーストは、エッチング速度が十分
に速いため、ポジ型フォトレジストのオーバーエッチン
グに引き続いて生じる、画素パターンのギザギザが生じ
ないので、液晶表示素子を形成せしめた際には、液晶配
向不良や透明導電膜の断線などが生じず、良好な表示品
質を得ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 (56)参考文献 特開 平7−198927(JP,A) 特開 昭61−141731(JP,A) 特開 平3−153786(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 7/00 - 7/42 G02B 5/20

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ポリアミック酸、溶媒、および顔料を含
    有するカラーペーストにおいて、該ポリアミック酸の合
    成に用いられるジアミンの25モル%以上が、メタ位に
    アミノ基が配置された芳香族ジアミンであり、かつ該ポ
    リアミック酸の繰り返し単位における分子量が500以
    下であり、該ポリアミック酸から生成するポリイミド膜
    の、膜厚1μmにおける光の透過率が、波長450nm
    で80%以上、波長400nmで65%以上であること
    を特徴とするカラーペースト。
  2. 【請求項2】 顔料が少なくとも青色顔料を含有するこ
    とを特徴とする請求項1に記載のカラーペースト。
  3. 【請求項3】 メタ位にアミノ基が配置された芳香族ジ
    アミンとして、3,3´−ジアミノジフェニルエーテ
    ル、3,4´−ジアミノジフェニルエーテル、3,3´
    −ジアミノジフェニルスルフォン、3,4´−ジアミノ
    ジフェニルスルフォン、ビス[4−(3−アミノフェノ
    キシ)フェニル]スルフォン、m−フェニレンジアミン
    の一種以上を使用することを特徴とする請求項に記載
    のカラーペースト。
  4. 【請求項4】 メタ位にアミノ基が配置された芳香族ジ
    アミン以外のジアミンとして、p−フェニレンジアミン
    を使用することを特徴とする請求項に記載のカラーペ
    ースト。
  5. 【請求項5】 ポリアミック酸の合成に使用する酸二無
    水物として、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,
    4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の中の一種
    以上を使用していることを特徴とする請求項に記載の
    カラーペースト。
  6. 【請求項6】 任意の色数で各色別に所望のパターン状
    に設けられた着色層からなる画素を有するカラーフィル
    タにおいて、少なくとも1つの画素を形成する着色層が
    請求項1〜記載のカラーペーストから構成されるポリ
    イミド着色被膜であることを特徴とするカラーフィルタ
    ー。
  7. 【請求項7】 請求項記載のカラーフィルターを具備
    する液晶表示装置。
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