JP3503512B2 - ガラス基板のクリーニング装置およびクリーニング方法 - Google Patents
ガラス基板のクリーニング装置およびクリーニング方法Info
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims description 80
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 60
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 66
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
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- Cleaning In General (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルなどの
ガラス基板の縁部をクリーニングするガラス基板のクリ
ーニング装置およびクリーニング方法に関するものであ
る。
ガラス基板の縁部をクリーニングするガラス基板のクリ
ーニング装置およびクリーニング方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルなどのガラス基板の製造工程
では、ガラス基板の縁部に形成された電極部にサブ基板
を接続することが行われる。この接続の方法として異方
性導電材によってガラス基板の電極部にサブ基板を接合
する方法が用いられる。この接合に先立って、ガラス基
板の縁部の表面に付着した異物を除去するためのクリー
ニングが行われる。このクリーニングは接着剤の接合性
の向上や、電極部に設けられた認識マークの異物による
誤認識を防止することなどを目的として行われるもので
ある。
では、ガラス基板の縁部に形成された電極部にサブ基板
を接続することが行われる。この接続の方法として異方
性導電材によってガラス基板の電極部にサブ基板を接合
する方法が用いられる。この接合に先立って、ガラス基
板の縁部の表面に付着した異物を除去するためのクリー
ニングが行われる。このクリーニングは接着剤の接合性
の向上や、電極部に設けられた認識マークの異物による
誤認識を防止することなどを目的として行われるもので
ある。
【０００３】以下、従来のガラス基板のクリーニング装
置について図面を参照して説明する。図５は従来のガラ
ス基板のクリーニング装置の部分断面図である。図５に
おいて、ガラス基板１は上下２枚のガラス板１Ａ，１Ｂ
より成り、ガラス板１Ａの縁部はガラス板１Ｂの外縁よ
り張り出しており、この縁部の表面にはサブ基板との接
続用の電極が形成されている。この電極部にサブ基板を
異方性導電材によって接合するに先立って、縁部のクリ
ーニングが行われる。このクリーニングは、クリーニン
グローラ２Ａ，２Ｂとガイドローラ３にクリーニング用
のワイパーテープ４を周回させ、クリーニングローラ２
Ａ，２Ｂの間に縁部を位置させてクリーニングローラ２
Ａ，２Ｂをクリーニング対象部位である縁部の表裏両面
に押し付けることにより行っていた。
置について図面を参照して説明する。図５は従来のガラ
ス基板のクリーニング装置の部分断面図である。図５に
おいて、ガラス基板１は上下２枚のガラス板１Ａ，１Ｂ
より成り、ガラス板１Ａの縁部はガラス板１Ｂの外縁よ
り張り出しており、この縁部の表面にはサブ基板との接
続用の電極が形成されている。この電極部にサブ基板を
異方性導電材によって接合するに先立って、縁部のクリ
ーニングが行われる。このクリーニングは、クリーニン
グローラ２Ａ，２Ｂとガイドローラ３にクリーニング用
のワイパーテープ４を周回させ、クリーニングローラ２
Ａ，２Ｂの間に縁部を位置させてクリーニングローラ２
Ａ，２Ｂをクリーニング対象部位である縁部の表裏両面
に押し付けることにより行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】表面のクリーニング
は、縁部をクリーニングローラ２Ａ，２Ｂに対して相対
的にスライドさせることにより、ワイパーテープ４によ
ってガラス板１Ａの表裏面の付着物を拭き取るものであ
る。しかしながら従来のようにクリーニングローラを用
いる方法では、クリーニングローラの外周がＲ形状であ
ることから、ガラス板１Ｂの端面付近の段差部近傍には
ワイパーテープ４を押し付けることができず、この段差
近傍が充分にクリーニングされないままとなり、必要な
クリーニング品質を確保することができないという問題
点があった。
は、縁部をクリーニングローラ２Ａ，２Ｂに対して相対
的にスライドさせることにより、ワイパーテープ４によ
ってガラス板１Ａの表裏面の付着物を拭き取るものであ
る。しかしながら従来のようにクリーニングローラを用
いる方法では、クリーニングローラの外周がＲ形状であ
ることから、ガラス板１Ｂの端面付近の段差部近傍には
ワイパーテープ４を押し付けることができず、この段差
近傍が充分にクリーニングされないままとなり、必要な
クリーニング品質を確保することができないという問題
点があった。
【０００５】 そこで本発明は、クリーニング品質を確
保することができるガラス基板のクリーニング装置およ
びクリーニング方法を提供することを目的とする。
保することができるガラス基板のクリーニング装置およ
びクリーニング方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板のク
リーニング装置は、ガラス基板の縁部の表面付着物をワ
イパーテープによって除去するガラス基板のクリーニン
グ装置であって、前記縁部の表裏両面に上下２つの押し
付け部材により前記ワイパーテープを押し付けるテープ
押し付け手段と、このテープ押し付け手段を前記ガラス
基板に対して相対的に移動させ位置決めする位置決め手
段と、前記テープ押し付け手段に対してワイパーテープ
を送給するテープ送給手段と、前記押し付け部材の間に
配設され前記押し付け部材に対して送給されたワイパー
テープをガイドして前記押し付け部材のガラス基板に対
する押し付け面に位置させるガイド部材と、このガイド
部材を前記押し付け部材の間で移動させる移動手段とを
備えた。
リーニング装置は、ガラス基板の縁部の表面付着物をワ
イパーテープによって除去するガラス基板のクリーニン
グ装置であって、前記縁部の表裏両面に上下２つの押し
付け部材により前記ワイパーテープを押し付けるテープ
押し付け手段と、このテープ押し付け手段を前記ガラス
基板に対して相対的に移動させ位置決めする位置決め手
段と、前記テープ押し付け手段に対してワイパーテープ
を送給するテープ送給手段と、前記押し付け部材の間に
配設され前記押し付け部材に対して送給されたワイパー
テープをガイドして前記押し付け部材のガラス基板に対
する押し付け面に位置させるガイド部材と、このガイド
部材を前記押し付け部材の間で移動させる移動手段とを
備えた。
【０００７】本発明によれば、ワイパーテープをガラス
基板の縁部に押し付ける押し付け部材の間に配設される
ガイド部材を移動させる移動手段を設けることにより、
押し付け部材の形状を段差部に応じたエッジ形状とした
場合においても、ワイパーテープ送り時にエッジにワイ
パーテープが引掛ることがない。
基板の縁部に押し付ける押し付け部材の間に配設される
ガイド部材を移動させる移動手段を設けることにより、
押し付け部材の形状を段差部に応じたエッジ形状とした
場合においても、ワイパーテープ送り時にエッジにワイ
パーテープが引掛ることがない。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のガラ
ス基板のクリーニング装置の側面図、図２は同ガラス基
板のクリーニング装置の部分平面図、図３（ａ），
（ｂ），（ｃ）、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は同ガラ
ス基板のクリーニング方法の工程説明図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のガラ
ス基板のクリーニング装置の側面図、図２は同ガラス基
板のクリーニング装置の部分平面図、図３（ａ），
（ｂ），（ｃ）、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は同ガラ
ス基板のクリーニング方法の工程説明図である。
【０００９】まず図１、図２を参照してガラス基板のク
リーニング装置について説明する。図１において、上下
２枚のガラス板１Ａ，１Ｂより成るガラス基板１は保持
部６上に載置されている。ガラス板１Ａ，１Ｂの表面に
は保護膜５が形成されている。ガラス板１Ａの縁部はガ
ラス板１Ｂの縁部より張り出しており、ガラス板１Ａの
縁部の表面にはサブ基板との接続用の電極が形成されて
いる。この電極が形成された縁部はサブ基板との接続に
先立って表面付着物を除去するためのクリーニングが行
われる。ガラス基板１を保持する保持部６は、駆動部７
によって水平方向に移動し、これによりガラス基板１は
位置決めされる。
リーニング装置について説明する。図１において、上下
２枚のガラス板１Ａ，１Ｂより成るガラス基板１は保持
部６上に載置されている。ガラス板１Ａ，１Ｂの表面に
は保護膜５が形成されている。ガラス板１Ａの縁部はガ
ラス板１Ｂの縁部より張り出しており、ガラス板１Ａの
縁部の表面にはサブ基板との接続用の電極が形成されて
いる。この電極が形成された縁部はサブ基板との接続に
先立って表面付着物を除去するためのクリーニングが行
われる。ガラス基板１を保持する保持部６は、駆動部７
によって水平方向に移動し、これによりガラス基板１は
位置決めされる。
【００１０】ガラス基板１の側方にはクリーニングユニ
ット１０が配設されている。クリーニングユニット１０
はチャック動作を行う２つのチャック爪１１ａを備えた
チャック機構１１を有しており、チャック爪１１ａには
押し付け部材１２が装着されている。チャック爪１１ａ
は先端部に設けられた平面部１２ａを対向させる向きに
装着されており、平面部１２ａの先端はエッジ形状の突
部１２ｂとなっている。押し付け部材１２には、上方に
配設されたテープ送給手段であるワイパーテープの供給
リール１６Ａよりガイドローラ１４，１５を介してワイ
パーテープ４が送給される。
ット１０が配設されている。クリーニングユニット１０
はチャック動作を行う２つのチャック爪１１ａを備えた
チャック機構１１を有しており、チャック爪１１ａには
押し付け部材１２が装着されている。チャック爪１１ａ
は先端部に設けられた平面部１２ａを対向させる向きに
装着されており、平面部１２ａの先端はエッジ形状の突
部１２ｂとなっている。押し付け部材１２には、上方に
配設されたテープ送給手段であるワイパーテープの供給
リール１６Ａよりガイドローラ１４，１５を介してワイ
パーテープ４が送給される。
【００１１】ワイパーテープ４は、上側の押し付け部材
１２の外周に沿って送られ、押し付け部材１２の間に配
設されたガイド１３を周回して下側の押し付け部材１２
の外周に沿って導出される。この後、ワイパーテープ４
はガイドローラ１４，１５を介して回収リール１６Ｂに
回収される。押し付け部材１２の上方には洗浄剤の吐出
ヘッド１９が配設されており、吐出ヘッド１９のノズル
２０からはエタノールなどの洗浄用の液体がワイパーテ
ープ４に対して滴下される。
１２の外周に沿って送られ、押し付け部材１２の間に配
設されたガイド１３を周回して下側の押し付け部材１２
の外周に沿って導出される。この後、ワイパーテープ４
はガイドローラ１４，１５を介して回収リール１６Ｂに
回収される。押し付け部材１２の上方には洗浄剤の吐出
ヘッド１９が配設されており、吐出ヘッド１９のノズル
２０からはエタノールなどの洗浄用の液体がワイパーテ
ープ４に対して滴下される。
【００１２】駆動部７を駆動することにより、ガラス基
板１は水平移動しクリーニング対象部位であるガラス板
１Ａの縁部を押し付け部材１２の間に位置決めすること
ができる。この状態でチャック機構１１を駆動すること
により押し付け部材１２は閉じ、平面部１２ａによって
ワイパーテープ４をガラス板１Ａの縁部の表裏両面に押
し付ける。すなわちチャック機構１１および押し付け部
材１２はテープ押し付け手段となっている。また駆動部
７はこのテープ押し付け手段をガラス基板１に対して相
対的に位置決めする位置決め手段となっている。
板１は水平移動しクリーニング対象部位であるガラス板
１Ａの縁部を押し付け部材１２の間に位置決めすること
ができる。この状態でチャック機構１１を駆動すること
により押し付け部材１２は閉じ、平面部１２ａによって
ワイパーテープ４をガラス板１Ａの縁部の表裏両面に押
し付ける。すなわちチャック機構１１および押し付け部
材１２はテープ押し付け手段となっている。また駆動部
７はこのテープ押し付け手段をガラス基板１に対して相
対的に位置決めする位置決め手段となっている。
【００１３】押し付け部材１２の間に配設されたガイド
１３は、図２に示すようにシリンダ１７のロッド１７ａ
に固着されたブロック１８に装着されている。シリンダ
１７のロッド１７ａを突没させることにより、ガイド１
３は上下２つの押し付け部材１２の間で水平移動する。
ロッド１７ａが没入した状態では図１に示すようにガイ
ド１３はワイパーテープ４をガイドして押し付け部材１
２の平面部１２ａ、すなわちガラス板１Ａに対する押し
付け面に位置させる。ロッド１７ａが突出した状態で
は、ガイド１３は押し付け部材１２の先端部より外に位
置する。したがってシリンダ１７はガイド１３を移動さ
せる移動手段となっている。
１３は、図２に示すようにシリンダ１７のロッド１７ａ
に固着されたブロック１８に装着されている。シリンダ
１７のロッド１７ａを突没させることにより、ガイド１
３は上下２つの押し付け部材１２の間で水平移動する。
ロッド１７ａが没入した状態では図１に示すようにガイ
ド１３はワイパーテープ４をガイドして押し付け部材１
２の平面部１２ａ、すなわちガラス板１Ａに対する押し
付け面に位置させる。ロッド１７ａが突出した状態で
は、ガイド１３は押し付け部材１２の先端部より外に位
置する。したがってシリンダ１７はガイド１３を移動さ
せる移動手段となっている。
【００１４】このガラス基板のクリーニング装置は上記
の様に構成され、以下動作について図３、図４を参照し
て説明する。まず図３（ａ）において、保持部６上にガ
ラス基板１を載置する。このとき、クリーニングユニッ
ト１０の押し付け部材１２に沿ってワイパーテープ４が
送給され、ワイパーテープ４はガイド１３にガイドされ
て押し付け部材１２の平面部１２ａに沿って位置してい
る。
の様に構成され、以下動作について図３、図４を参照し
て説明する。まず図３（ａ）において、保持部６上にガ
ラス基板１を載置する。このとき、クリーニングユニッ
ト１０の押し付け部材１２に沿ってワイパーテープ４が
送給され、ワイパーテープ４はガイド１３にガイドされ
て押し付け部材１２の平面部１２ａに沿って位置してい
る。
【００１５】次いで駆動部（図外）を駆動して保持部６
上のガラス基板１を移動させ、クリーニング対象部位で
あるガラス板１Ａの縁部を押し付け部材１２の間に位置
決めする。そしてチャック機構１１を駆動することによ
り、押し付け部材１２によってワイパーテープ４をガラ
ス板１Ａの縁部の表裏両面に押し付ける。この状態でガ
ラス基板１を水平移動させることにより、ガラス板１Ａ
の縁部の表面付着物はワイパーテープ４によって除去さ
れ、クリーニングが行われる。このとき、押し付け部材
１２の押し当て面である平面部１２ａの先端はエッジ形
状の突部１２ｂとなっているため、ガラス板１Ａ上のガ
ラス板１Ｂとの段差部までワイパーテープ４を押し当て
ることができ、従来のローラを用いてワイパーテープを
押し付ける方法と比較して、未クリーニング部分を生じ
ることなく良好なクリーニングを行うことができる。
上のガラス基板１を移動させ、クリーニング対象部位で
あるガラス板１Ａの縁部を押し付け部材１２の間に位置
決めする。そしてチャック機構１１を駆動することによ
り、押し付け部材１２によってワイパーテープ４をガラ
ス板１Ａの縁部の表裏両面に押し付ける。この状態でガ
ラス基板１を水平移動させることにより、ガラス板１Ａ
の縁部の表面付着物はワイパーテープ４によって除去さ
れ、クリーニングが行われる。このとき、押し付け部材
１２の押し当て面である平面部１２ａの先端はエッジ形
状の突部１２ｂとなっているため、ガラス板１Ａ上のガ
ラス板１Ｂとの段差部までワイパーテープ４を押し当て
ることができ、従来のローラを用いてワイパーテープを
押し付ける方法と比較して、未クリーニング部分を生じ
ることなく良好なクリーニングを行うことができる。
【００１６】この後、当該部分のクリーニングが完了す
ると、図４（ａ）に示すように押し付け部材１２を開
き、ワイパーテープ４の押し当て状態を解除する。次い
で、図４（ｂ）に示すようにガラス基板１を移動させて
ガラス基板１Ａを押し付け部材１２の外部に位置させる
とともに、シリンダ１７のロッド１７ａ（図２）を突出
させる。この結果、図４（ｃ）に示すようにガイド１３
は押し付け部材１２の外側に位置する。そしてこの状態
で回収リール１６Ｂを駆動してワイパーテープ４を所定
ピッチだけ巻き取る。これにより前述のクリーニング動
作によって汚れたワイパーテープ４が回収されるととも
に、新しい未使用のワイパーテープ４が送給される。
ると、図４（ａ）に示すように押し付け部材１２を開
き、ワイパーテープ４の押し当て状態を解除する。次い
で、図４（ｂ）に示すようにガラス基板１を移動させて
ガラス基板１Ａを押し付け部材１２の外部に位置させる
とともに、シリンダ１７のロッド１７ａ（図２）を突出
させる。この結果、図４（ｃ）に示すようにガイド１３
は押し付け部材１２の外側に位置する。そしてこの状態
で回収リール１６Ｂを駆動してワイパーテープ４を所定
ピッチだけ巻き取る。これにより前述のクリーニング動
作によって汚れたワイパーテープ４が回収されるととも
に、新しい未使用のワイパーテープ４が送給される。
【００１７】このワイパーテープ４の送給動作におい
て、ワイパーテープ４は押し付け部材１２の外側に沿っ
て送られるのみであり、ワイパーテープ４が押し付け部
材１２の先端部を周回する必要がない。したがって先端
部の突部１２ｂを鋭角的に周回する場合に生じるワイパ
ーテープ４への損傷が発生することなく、常に安定して
ワイパーテープ４を送給することができる。
て、ワイパーテープ４は押し付け部材１２の外側に沿っ
て送られるのみであり、ワイパーテープ４が押し付け部
材１２の先端部を周回する必要がない。したがって先端
部の突部１２ｂを鋭角的に周回する場合に生じるワイパ
ーテープ４への損傷が発生することなく、常に安定して
ワイパーテープ４を送給することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、ワイパーテープをガラ
ス基板の縁部に押し付ける押し付け部材の間に配設され
るガイド部材を移動させる移動手段を設けたので、押し
付け部材の形状をガラス基板の段差部に応じたエッジ形
状とした場合においても、ワイパーテープ送り時にエッ
ジにワイパーテープが引掛ることがない。したがって、
常に安定してワイパーテープを送りながら未クリーニン
グ部の少ない良好なクリーニングを行うことができる。
ス基板の縁部に押し付ける押し付け部材の間に配設され
るガイド部材を移動させる移動手段を設けたので、押し
付け部材の形状をガラス基板の段差部に応じたエッジ形
状とした場合においても、ワイパーテープ送り時にエッ
ジにワイパーテープが引掛ることがない。したがって、
常に安定してワイパーテープを送りながら未クリーニン
グ部の少ない良好なクリーニングを行うことができる。
【図１】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置の側面図
ング装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置の部分平面図
ング装置の部分平面図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態のガラス基板のク
リーニング方法の工程説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図 （ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図
リーニング方法の工程説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図 （ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態のガラス基板のク
リーニング方法の工程説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図 （ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図
リーニング方法の工程説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図 （ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図
【図５】従来のガラス基板のクリーニング装置の部分断
面図
面図
１ ガラス基板
４ ワイパーテープ
７ 駆動部
１０ クリーニングユニット
１１ チャック機構
１２ 押し付け部材
１３ ガイド
１６Ａ 供給リール
１７ シリンダ
Claims (4)
- 【請求項１】ガラス基板の縁部の表面付着物をワイパー
テープによって除去するガラス基板のクリーニング装置
であって、前記縁部の表裏両面に上下２つの押し付け部
材により前記ワイパーテープを押し付けるテープ押し付
け手段と、このテープ押し付け手段を前記ガラス基板に
対して相対的に移動させ位置決めする位置決め手段と、
前記テープ押し付け手段に対してワイパーテープを送給
するテープ送給手段と、前記押し付け部材の間に配設さ
れ前記押し付け部材に対して送給されたワイパーテープ
をガイドして前記押し付け部材のガラス基板に対する押
し付け面に位置させるガイド部材と、このガイド部材を
前記押し付け部材の間で移動させる移動手段とを備えた
ことを特徴とするガラス基板のクリーニング装置。 - 【請求項２】前記押し付け部材が、前記表裏両面に押し
付けられる平面部と、この平面部の先端にあってガラス
基板の段差部までワイパーテープを押し当てるエッジ形
状の突部を有することを特徴とする請求項１記載のガラ
ス基板のクリーニング装置。 - 【請求項３】前記移動手段は、前記ガイド部材をガラス
基板に対する押し付け面に位置させ、また前記押し付け
部材の先端部より外に位置させることを特徴とする請求
項１又は２記載のガラス基板のクリーニング装置。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載のガラス
基板のクリーニング装置を用いるガラス基板のクリーニ
ング方法であって、 押し付け部材に沿ってワイパーテープを送給し、ワイパ
ーテープをガイド部材にガイドさせて押し付け部材の平
面部に沿って位置させる工程と、 ガラス基板の縁部を上下２つの押し付け部材の間に位置
決めし、押し付け部材によってワイパーテープをガラス
基板の縁部の表裏両面に押し付ける工程と、 位置決め手段により押し付け手段をガラス基板に対して
相対的に水平移動させることにより縁部の表面付着物を
ワイパーテープによって除去してクリーニングする工程
と、 クリーニングが完了したならば、押し付け部材を開いて
ワイパーテープの押し当て状態を解除する工程と、 ガラス基板を押し付け部材の外部に位置させるととも
に、移動手段によりガイド部材を押し付け部材の外側に
位置させ、その状態でワイパーテープを巻き取る工程
と、 を含むことを特徴とするガラス基板のクリーニング方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03835399A JP3503512B2 (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | ガラス基板のクリーニング装置およびクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03835399A JP3503512B2 (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | ガラス基板のクリーニング装置およびクリーニング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000237699A JP2000237699A (ja) | 2000-09-05 |
| JP3503512B2 true JP3503512B2 (ja) | 2004-03-08 |
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ID=12522928
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03835399A Expired - Fee Related JP3503512B2 (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | ガラス基板のクリーニング装置およびクリーニング方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3503512B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009136728A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | 基板洗浄装置及び洗浄方法 |
| US8025737B2 (en) | 2008-10-31 | 2011-09-27 | Panasonic Corporation | Substrate cleaning apparatus and method employed therein |
| CN102596434A (zh) * | 2009-11-04 | 2012-07-18 | 夏普株式会社 | 擦拭清扫装置和擦拭清扫方法 |
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| JP6526947B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2019-06-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 拭き取り装置および積層体の作製装置 |
| JP6151303B2 (ja) * | 2015-05-21 | 2017-06-21 | 日鉄住金ドラム株式会社 | ドラム缶用汚れ拭き取り装置 |
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| CN102596434A (zh) * | 2009-11-04 | 2012-07-18 | 夏普株式会社 | 擦拭清扫装置和擦拭清扫方法 |
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|---|---|
| JP2000237699A (ja) | 2000-09-05 |
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