JP3502328B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP3502328B2 JP2000122097A JP2000122097A JP3502328B2 JP 3502328 B2 JP3502328 B2 JP 3502328B2 JP 2000122097 A JP2000122097 A JP 2000122097A JP 2000122097 A JP2000122097 A JP 2000122097A JP 3502328 B2 JP3502328 B2 JP 3502328B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電界効果トランジ
スタ(field effect transistor:FET)を備えた半
導体集積回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路の消費電力の低減が求め
られている。特に携帯機器では電池容量に制限があるた
め、当該機器に用いられる半導体集積回路の低消費電力
化が強く望まれている。
【0003】米国特許第5,644,266号(発行
日:1997年7月1日)及びPCT国際公開公報WO
97/32399号(公開日:1997年9月4日)
は、MOS(metal oxide semiconductor)型FETの
閾値電圧を制御するように当該FETのバックゲート電
極の電圧を変化させる技術をそれぞれ開示している。こ
れらの公知技術によれば、FETの高速動作と消費電力
の低減を達成できる。
【0004】近年のCMOS(complementary metal ox
ide semiconductor)型の半導体集積回路では、超微細
加工技術の進展に伴って、PチャンネルFETのゲート
電極材料としてP型ポリシリコンを、NチャンネルFE
Tのゲート電極材料としてN型ポリシリコンをそれぞれ
用いたデュアルゲートプロセスの採用が可能になってい
る。P型ポリシリコンは、ポリシリコンに例えばボロン
(B)がドープされたものであって、P型半導体の性質
を示す。
【0005】H.Ushizaka et al.,"The Process Depende
nce on Positive Bias TemperatureAging Instability
of P+(B) Polysilicon-Gate MOS Devices", IEEE Trans
actions on Electron Devices, Vol.40, No.5, pp.932-
937, May 1993は、P型ポリシリコンで形成されたゲー
ト電極を有するPチャンネルFETの電気特性がエージ
ング時の熱ストレスの影響で大きく劣化することを報告
している。P型ポリシリコンゲート電極に正のバイアス
電圧が印加された状態で熱ストレスが加わると、このゲ
ート電極中でボロンイオン(B-)と水素イオン(H+
との結合が切れ、プラス電荷を持つ水素イオンがバイア
ス電圧による電界の影響でゲート酸化膜(SiO2)と
シリコン(Si)基板との界面まで移動する。このよう
なメカニズムにより、PチャンネルFETの閾値電圧の
低下等の特性劣化が起こるものと考えられている。更に
H.Ushizaka et al.は、窒素(N2)ガス中でのアニーリ
ングによって当該PチャンネルFETの特性が改善され
ることをも報告している。
【0006】W.W.Abadeer et al.,"Long-Term Bias Tem
perature Reliability of P+ Polysilicon FET Device
s", IEEE Transactions on Electron Devices, Vol.42,
No.2, pp.360-362, February 1995は、上記窒素ガス中
でのアニーリングの有効性を追認している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】アナログ回路部とデジ
タル回路部とを混載した半導体集積回路において、アナ
ログ回路部を動作させたままデジタル回路部の機能を停
止させ得る状況がある。この状況下では、デジタル回路
部の電源を遮断して該電源の出力電圧をゼロにすれば、
半導体集積回路の消費電力を大幅に削減することができ
る。ところが、デュアルゲートプロセスを採用する場合
には問題が生じる。例えば、デジタル回路部中のPチャ
ンネルFETのソース電極が電源に接続され、かつ該ソ
ース電極に当該PチャンネルFETのバックゲート電極
が直結されているものとする。この場合には、当該電源
が遮断されると、当該PチャンネルFETのソース電極
及びバックゲート電極の各々の電圧がゼロになり、当該
PチャンネルFETはトランジスタとして機能しない状
態となる。この状態で当該PチャンネルFETのゲート
電極にアナログ回路部から正の電圧が与えられ続ける
と、上記メカニズムにより当該PチャンネルFETの電
気特性が劣化し、元の特性に戻らなくなってしまうとい
う問題が生じる。半導体集積回路の製造段階で上記窒素
ガス中でのアニーリングを実施したとしても、この問題
は生じる。
【0008】差動増幅器では、入力トランジスタ対を動
作させるための電流源トランジスタをオフさせることで
消費電力の低減を達成できる。ところが、デュアルゲー
トプロセスを採用する場合には上記と同様の問題が生じ
る。入力トランジスタ対の一方をなすPチャンネルFE
Tのソース電極及びバックゲート電極の各々の電圧がゼ
ロになった状態で、当該PチャンネルFETのゲート電
極に正の電圧が与えられ続けることがあり得るからであ
る。
【0009】本発明の目的は、消費電力低減モードを有
する半導体集積回路において、P型半導体で形成された
ゲート電極を有するPチャンネルFETを回路構成上の
工夫で劣化から保護することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、ドレイン電極と、ソース電極と、P型半
導体で形成されたゲート電極と、バックゲート電極とを
有し、通常動作時には電源からある電圧が前記ソース電
極に、入力信号を表す電圧が前記ゲート電極にそれぞれ
供給されるように構成されたPチャンネルFETを備え
た半導体集積回路において、当該半導体集積回路の消費
電力が低減される際にアサートされる制御信号に応答し
て、トランジスタとして機能しない状態の前記Pチャン
ネルFETを劣化から保護するため、前記ゲート電極の
電圧が前記バックゲート電極の電圧より高くならないよ
うに前記ゲート電極の電圧と前記バックゲート電極の電
圧とのうちの少なくとも一方を制御するための制御手段
を更に備えた構成を採用したものである。これにより、
熱ストレスの影響で前記ゲート電極中にプラス電荷を持
つ水素イオンが生成されても、この水素イオンは当該ゲ
ート電極中に留まる結果、当該PチャンネルFETの特
性劣化が防止される。
【0011】ある実施形態によれば、前記Pチャンネル
FETのバックゲート電極の電圧が接地電圧(=0V)
になる消費電力低減モードでは、前記制御信号に応答し
て、当該PチャンネルFETのゲート電極の電圧が正で
ない電圧(例えば0V)に固定される。
【0012】他の実施形態によれば、前記制御信号に応
答して、前記PチャンネルFETのバックゲート電極の
電圧が当該PチャンネルFETのゲート電極の電圧より
低くない正の電圧に固定される。なお、この実施形態
は、トランジスタとして機能しない状態のPチャンネル
FETのバックゲート電極の電圧を制御する点で、前記
米国特許第5,644,266号及びPCT国際公開公
報WO97/32399号の公知技術と大きく異なって
いる。
【0013】更に他の実施形態によれば、前記制御信号
に応答して、前記PチャンネルFETのゲート電極とバ
ックゲート電極との間に電位差を生じさせないように制
御される。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図13を参照して本
発明の実施形態を説明する。図1〜図5はCMOSイン
バータを有する半導体集積回路に本発明を適用した例
を、図6〜図13はCMOS差動増幅器を有する半導体
集積回路に本発明を適用した例をそれぞれ示している。
【0015】図1〜図5の半導体集積回路は、いずれも
アナログ回路部とデジタル回路部とが混載され、デュア
ルゲートプロセスで製造され、かつ通常動作モードと消
費電力低減モードとを有するものである。アナログ回路
部用の電源がAVDD及びAVSSであって、両モード
のいずれでもAVDD=3.3V、AVSS=0Vであ
る。デジタル回路部用の電源がVDD及びVSSであっ
て、通常動作モードではVDD=1.8V、VSS=0
Vであり、消費電力低減モードではVDD=VSS=0
Vである。つまり、高電圧電源AVDDは消費電力低減
モードでも遮断されない電源であるが、低電圧電源VD
Dは消費電力低減モードで遮断されてその出力電圧がゼ
ロになる電源である。
【0016】図1の半導体集積回路は、CMOSインバ
ータ10を備えている。このCMOSインバータ10
は、PチャンネルFET11とNチャンネルFET12
とで構成されている。PチャンネルFET11は、ドレ
イン電極Dと、ソース電極Sと、P型ポリシリコンで形
成されたゲート電極Gと、バックゲート電極BGとを有
する。NチャンネルFET12は、ドレイン電極と、ソ
ース電極と、N型ポリシリコンで形成されたゲート電極
と、バックゲート電極とを有する。PチャンネルFET
11のゲート電極GとNチャンネルFET12のゲート
電極とは互いに接続されて、ゲート電圧VGを受け取る
ための入力端子を構成している。PチャンネルFET1
1のドレイン電極DとNチャンネルFET12のドレイ
ン電極とは互いに接続されて、バッファ6を介して出力
(OUT)信号を供給するための出力端子を構成してい
る。PチャンネルFET11のソース電極SはVDDに
接続され、かつ該ソース電極Sに当該PチャンネルFE
T11のバックゲート電極BGが直結されている。Nチ
ャンネルFET12のソース電極はVSSに接続され、
かつ該ソース電極に当該NチャンネルFET12のバッ
クゲート電極が直結されている。なお、バッファ6は、
VDD及びVSSに接続されている。
【0017】図1の半導体集積回路は、電源電圧検知回
路5と、2入力及び1出力を有するNOR回路20とを
更に備えている。電源電圧検知回路5は、デジタル回路
部6及び10の電源の遮断(VDD=0V)を検知して
制御(CONT)信号を論理“H”レベルにアサートす
るための検知回路であって、電源電圧VDDと基準電圧
VREFとを比較するためのコンパレータで構成されて
いる。具体的に説明すると、VREFは例えば0.9V
であって、VDD≧VREFならばCONT=“L”=
0Vであり、VDD<VREFならばCONT=“H”
=3.3Vである。NOR回路20の2入力のうちの1
入力は入力(IN)信号に、他の入力はCONT信号
に、出力は前記PチャンネルFET11のゲート電極G
及び前記NチャンネルFET12のゲート電極にそれぞ
れ接続されている。このNOR回路20は、第1及び第
2のPチャンネルFET21,22と、第1及び第2の
NチャンネルFET23,24とで構成されている。第
1のPチャンネルFET21と第1のNチャンネルFE
T23との各々のゲート電極は互いに接続されて、IN
信号を受け取るための入力端子を構成している。第2の
PチャンネルFET22と第2のNチャンネルFET2
4との各々のゲート電極は互いに接続されて、CONT
信号を受け取るための入力端子を構成している。第1の
PチャンネルFET21のドレイン電極と、第1及び第
2のNチャンネルFET23,24の各々のドレイン電
極とは、CMOSインバータ10へVGを供給するため
の出力端子を構成している。第2のPチャンネルFET
22のソース電極はAVDDに接続され、かつ該ソース
電極に当該第2のPチャンネルFET22のバックゲー
ト電極が直結されている。第1のPチャンネルFET2
1のソース電極は第2のPチャンネルFET22のドレ
イン電極に接続され、第1のPチャンネルFET21の
バックゲート電極はAVDDに接続されている。第1の
NチャンネルFET23のソース電極はAVSSに接続
され、かつ該ソース電極に当該第1のNチャンネルFE
T23のバックゲート電極が直結されている。そして、
第2のNチャンネルFET24のソース電極はAVSS
に接続され、かつ該ソース電極に当該第2のNチャンネ
ルFET24のバックゲート電極が直結されている。
【0018】図1の半導体集積回路によれば、通常動作
モードではVDD=1.8Vであるので、CONT=
“L”である。したがって、第2のPチャンネルFET
22はオン状態を、第2のNチャンネルFET24はオ
フ状態をそれぞれ保持する。このとき、NOR回路20
は、IN信号の論理レベルを反転させて得られた信号の
電圧VGをCMOSインバータ10へ供給するインバー
タとして機能する。VGの“H”レベルは3.3Vであ
り、“L”レベルは0Vである。CMOSインバータ1
0及びバッファ6は、VGの論理レベルを反転させて得
られた信号をOUT信号として出力する。OUT信号の
“H”レベルは1.8Vであり、“L”レベルは0Vで
ある。
【0019】図1の半導体集積回路の消費電力低減モー
ドでは、VDD=0Vであるので、CMOSインバータ
10及びバッファ6はその機能を停止する。この状態
は、PチャンネルFET11及びNチャンネルFET1
2のいずれもがトランジスタとして機能しない状態であ
る。一方、VDD=0Vであるので、電源電圧検知回路
5はCONT信号を“H”にアサートする。したがっ
て、第2のPチャンネルFET22はオフ状態を、第2
のNチャンネルFET24はオン状態をそれぞれ保持す
る。つまり、PチャンネルFET11のゲート電極Gと
AVSS(=0V)との間に介在した第2のNチャンネ
ルFET24は、“H”にアサートされたCONT信号
に応答して閉じるスイッチとして機能し、IN信号の論
理レベルの如何にかかわらずVGを接地電圧(=0V)
に固定する。したがって、熱ストレスの影響でPチャン
ネルFET11のゲート電極G中にプラス電荷を持つ水
素イオンが生成されても、この水素イオンは当該ゲート
電極G中に留まる結果、当該PチャンネルFET11の
特性劣化が防止される。
【0020】図2の半導体集積回路では、図1中のNO
R回路20がCMOSインバータ15に置き換えられ、
当該CMOSインバータ15と前記CMOSインバータ
10との間に、NチャンネルFETで構成されたプルダ
ウンスイッチ30と、CMOS構成の入力スイッチ31
とが介在している。CMOSインバータ15は、Pチャ
ンネルFET16とNチャンネルFET17とで構成さ
れている。PチャンネルFET16とNチャンネルFE
T17との各々のゲート電極は互いに接続されて、IN
信号を受け取るための入力端子を構成している。Pチャ
ンネルFET16とNチャンネルFET17との各々の
ドレイン電極は互いに接続されて、IN信号の論理レベ
ルを反転させて得られた反転入力(XIN)信号を入力
スイッチ31へ供給するための出力端子を構成してい
る。PチャンネルFET16のソース電極はAVDD
に、NチャンネルFET17のソース電極はAVSSに
それぞれ接続されている。プルダウンスイッチ30は、
CMOSインバータ10の中のPチャンネルFET11
のゲート電極とAVSS(=0V)との間に介在してお
り、消費電力低減モードで電源電圧検知回路5により
“H”にアサートされたCONT信号に応答して閉じ
て、VGを接地電圧(=0V)に固定する。入力スイッ
チ31は、XIN信号とVGとの間に介在して、“H”
にアサートされたCONT信号に応答して開くように構
成されている。インバータ32は、入力スイッチ31の
一部をなすNチャンネルFETのゲート電極へ反転CO
NT信号を供給するものである。図2の半導体集積回路
でも、図1の場合と同様にPチャンネルFET11の特
性劣化を防止できる。なお、図1及び図2の構成におい
て、消費電力低減モードでVGを負の電圧に固定するよ
うにしてもよい。
【0021】図3の半導体集積回路では、図2中の両C
MOSインバータ15,10が互いに直結され、後段に
位置するCMOSインバータ10の中のPチャンネルF
ET11のソース電極がVDDに、そのバックゲート電
極がAVDDにそれぞれ接続されている。ここでは、図
2中の電源電圧検知回路5、プルダウンスイッチ30、
入力スイッチ31及びインバータ32は不要である。図
3の半導体集積回路の消費電力低減モードでは、Pチャ
ンネルFET11のソース電極の電圧は0Vまで落ちる
が、そのバックゲート電極の電圧はAVDD(=3.3
V)に固定されている。一方、CMOSインバータ15
は通常動作モードだけでなく消費電力低減モードでも動
作するので、PチャンネルFET11のゲート電極の電
圧VGは変動する。VGの“H”レベルは3.3Vであ
り、“L”レベルは0Vである。つまり、Pチャンネル
FET11のバックゲート電極の電圧は、当該Pチャン
ネルFET11のゲート電極の電圧VGを決して下回ら
ない。したがって、図3の半導体集積回路でも、Pチャ
ンネルFET11の特性劣化を防止できる。なお、図3
の構成は通常動作モードにおけるAVDDとVDDとの
差が小さい場合に有効である。
【0022】図4の半導体集積回路では、図3中のPチ
ャンネルFET11のバックゲート電極とソース電極と
の間にカットアウトスイッチ40が、当該Pチャンネル
FET11のバックゲート電極とAVDDとの間にプル
アップスイッチ41がそれぞれ介在している。これらの
スイッチ40,41はいずれもPチャンネルFETで構
成され、その各々のバックゲート電極はAVDDに接続
されている。カットアウトスイッチ40は、消費電力低
減モードで電源電圧検知回路5により“H”にアサート
されたCONT信号に応答して開く。プルアップスイッ
チ41は、“H”にアサートされたCONT信号に応答
して閉じるように構成されている。インバータ42は、
プルアップスイッチ41を構成するPチャンネルFET
のゲート電極へ反転CONT信号を供給するものであ
る。図4の半導体集積回路でも、消費電力低減モードに
おいてPチャンネルFET11のバックゲート電極の電
圧がAVDD(=3.3V)に固定されるので、当該P
チャンネルFET11の特性劣化を防止できる。
【0023】図5の半導体集積回路では、図3中のPチ
ャンネルFET11のバックゲート電極とAVDDとの
接続がなくなり、当該PチャンネルFET11のバック
ゲート電極とソース電極との間にカットアウトスイッチ
50が、当該PチャンネルFET11のゲート電極とバ
ックゲート電極との間にイコライズスイッチ51がそれ
ぞれ介在している。カットアウトスイッチ50はPチャ
ンネルFETで構成され、イコライズスイッチ51はC
MOS構成を有する。カットアウトスイッチ50は、消
費電力低減モードで電源電圧検知回路5により“H”に
アサートされたCONT信号に応答して開く。イコライ
ズスイッチ51は、“H”にアサートされたCONT信
号に応答して閉じるように構成されている。インバータ
52は、イコライズスイッチ51の一部をなすPチャン
ネルFETのゲート電極へ反転CONT信号を供給する
ものである。図5の半導体集積回路では、消費電力低減
モードにおいてPチャンネルFET11のゲート電極と
バックゲート電極との間に電位差を生じさせないように
制御されるので、当該PチャンネルFET11の特性劣
化を防止できる。
【0024】なお、電源電圧検知回路5は、上記コンパ
レータに限らず、インバータ等の他の回路手段でも構成
できる。CONT信号を半導体集積回路の外部から与え
るようにしてもよい。
【0025】図6〜図13の半導体集積回路は、いずれ
もデュアルゲートプロセスで製造され、かつ通常動作モ
ードと消費電力低減モードとを有するものである。電源
は図中の明記・不明記を問わずAVDD及びAVSSで
あって、両モードのいずれでもAVDD=3.3V、A
VSS=0Vである。つまり、AVDDは消費電力低減
モードでも遮断されない電源である。ここで、消費電力
低減モードにおいて制御(XCONT)信号が“L”に
アサートされるものとする。通常動作モードではXCO
NT=“H”=3.3Vであり、消費電力低減モードで
はXCONT=“L”=0Vである。
【0026】図6の半導体集積回路は、CMOS差動増
幅器2を備えている。このCMOS差動増幅器2は、第
1、第2及び第3のPチャンネルFET60,61,6
2と、第1及び第2のNチャンネルFET63,64と
を基本構成としている。当該3個のPチャンネルFET
60,61,62は、各々ドレイン電極と、ソース電極
と、P型ポリシリコンで形成されたゲート電極と、バッ
クゲート電極とを有する。当該2個のNチャンネルFE
T63,64は、各々ドレイン電極と、ソース電極と、
N型ポリシリコンで形成されたゲート電極と、バックゲ
ート電極とを有する。第1のPチャンネルFET60
は、通常動作モードでは電流源トランジスタとして、消
費電力低減モードではパワーダウンスイッチとしてそれ
ぞれ機能するものであり、そのソース電極及びバックゲ
ート電極がAVDDに接続されている。第2及び第3の
PチャンネルFET61,62は1対の差動入力トラン
ジスタを構成している。第2のPチャンネルFET61
は正入力(INP)信号を、第3のPチャンネルFET
62は負入力(INM)信号を各々のゲート電極に受け
取るための入力トランジスタである。第2のPチャンネ
ルFET61のソース電極及びバックゲート電極と、第
3のPチャンネルFET62のソース電極及びバックゲ
ート電極とは互いに直結され、かつ更に第1のPチャン
ネルFET60のドレイン電極に接続されている。第1
及び第2のNチャンネルFET63,64は、カレント
ミラー回路を構成している。これら第1及び第2のNチ
ャンネルFET63,64の各々のゲート電極は互いに
接続され、かつ更に第2のNチャンネルFET64のド
レイン電極及び第3のPチャンネルFET62のドレイ
ン電極に接続されている。第2のPチャンネルFET6
1と第1のNチャンネルFET63との各々のドレイン
電極は互いに接続されて、出力(AOUT)信号を供給
するための出力端子を構成している。第1のNチャンネ
ルFET63のソース電極はAVSSに接続され、かつ
該ソース電極に当該第1のNチャンネルFET63のバ
ックゲート電極が直結されている。同様に、第2のNチ
ャンネルFET64のソース電極はAVSSに接続さ
れ、かつ該ソース電極に当該第2のNチャンネルFET
64のバックゲート電極が直結されている。
【0027】図6のCMOS差動増幅器2は、バイアス
回路65と、モード制御スイッチ70と、プルダウンス
イッチ71,72と、入力スイッチ73,74と、イン
バータ75とを更に備えている。バイアス回路65は、
通常動作モードで電流源トランジスタとして機能する第
1のPチャンネルFET60のゲート電極へ適正なバイ
アス電圧を供給するものである。モード制御スイッチ7
0はPチャンネルFETで構成され、消費電力低減モー
ドで“L”にアサートされたXCONT信号に応答して
閉じることで、第1のPチャンネルFET60をオフさ
せるように、当該第1のPチャンネルFET60のゲー
ト電極の電圧をAVDDに引き上げる。この場合、第2
及び第3のPチャンネルFET61,62の各々のソー
ス電極とAVDDとの間に介在した第1のPチャンネル
FET60は、“L”にアサートされたXCONT信号
に応答して開くことにより、CMOS差動増幅器2の消
費電力を低減するためのパワーダウンスイッチとして機
能する。プルダウンスイッチ71は、第2のPチャンネ
ルFET61のゲート電極とAVSS(=0V)との間
に介在したNチャンネルFETで構成され、消費電力低
減モードで“L”にアサートされたXCONT信号に応
答して閉じて、第2のPチャンネルFET61のゲート
電極の電圧を接地電圧(=0V)に固定する。他のプル
ダウンスイッチ72は、第3のPチャンネルFET62
のゲート電極とAVSS(=0V)との間に介在したN
チャンネルFETで構成され、“L”にアサートされた
XCONT信号に応答して閉じて、第3のPチャンネル
FET62のゲート電極の電圧を接地電圧(=0V)に
固定する。入力スイッチ73は、INP信号と第2のP
チャンネルFET61のゲート電極との間に介在して、
“L”にアサートされたXCONT信号に応答して開く
ようにCMOS構成されている。他の入力スイッチ74
は、INM信号と第3のPチャンネルFET62のゲー
ト電極との間に介在して、“L”にアサートされたXC
ONT信号に応答して開くようにCMOS構成されてい
る。インバータ75は、スイッチ71〜74のオン/オ
フ制御のためにXCONT信号からその反転信号を生成
するものである。
【0028】図6の半導体集積回路によれば、通常動作
モードではXCONT=“H”であるので、モード制御
スイッチ70及びプルダウンスイッチ71,72はいず
れも開いており、入力スイッチ73,74はいずれも閉
じている。このとき、第1のPチャンネルFET60は
バイアス回路65から供給されたバイアス電圧を受け
て、第2及び第3のPチャンネルFET61,62を動
作させるための電流源トランジスタとして機能する。し
たがって、第2及び第3のPチャンネルFET61,6
2並びに第1及び第2のNチャンネルFET63,64
で構成されたCMOS差動増幅器2は、INP信号とI
NM信号との間の電位差に応じたAOUT信号を供給す
ることができる。
【0029】図6の半導体集積回路の消費電力低減モー
ドでは、“L”にアサートされたXCONT信号に応答
してモード制御スイッチ70が閉じる結果、第1のPチ
ャンネルFET(電流源トランジスタ/パワーダウンス
イッチ)60がオフするので、CMOS差動増幅器2は
その機能を停止する。この状態は、第2及び第3のPチ
ャンネルFET61,62のいずれもがトランジスタと
して機能しない状態である。
【0030】ここで、第1のPチャンネルFET60が
オフする消費電力低減モードでもプルダウンスイッチ7
1,72が依然として開いており、かつ入力スイッチ7
3,74が依然として閉じているものと仮定する。ま
た、INP信号の電圧レベルがAVDD(=3.3V)
に、INM信号の電圧レベルがAVSS(=0V)にそ
れぞれ固定されるものとする。この場合には、第2のP
チャンネルFET61のソース電極及びバックゲート電
極の電圧が、第3のPチャンネルFET62及び第2の
NチャンネルFET64を介してAVSS(=0V)に
引き下げられる。一方、第2のPチャンネルFET61
のゲート電極には正の電圧レベル(=3.3V)のIN
P信号が与えられ続ける。したがって、前記メカニズム
により当該第2のPチャンネルFET61の電気特性が
劣化し、元の特性に戻らなくなってしまうという問題が
生じる。INM信号が正の電圧レベルに固定される場合
には、第3のPチャンネルFET62の特性劣化の問題
が生じる。
【0031】ところが、図6の半導体集積回路の消費電
力低減モードでは、“L”にアサートされたXCONT
信号に応答して、プルダウンスイッチ71,72が閉
じ、かつ入力スイッチ73,74が開く。したがって、
INP信号及びINM信号の電圧レベルの如何にかかわ
らず、第2及び第3のPチャンネルFET61,62の
各々のゲート電極の電圧が接地電圧(=0V)に固定さ
れる結果、これら第2及び第3のPチャンネルFET6
1,62の特性劣化が防止される。なお、第2及び第3
のPチャンネルFET61,62の各々のゲート電極の
電圧を消費電力低減モードで負の電圧に固定するように
してもよい。
【0032】図7の半導体集積回路では、図6中のプル
ダウンスイッチ71,72及び入力スイッチ73,74
に代えて、カットアウトスイッチ81,82と、イコラ
イズスイッチ83,84とが設けられている。カットア
ウトスイッチ81は第2のPチャンネルFET61のバ
ックゲート電極とソース電極との間に介在したCMOS
スイッチであり、他のカットアウトスイッチ82は第3
のPチャンネルFET62のバックゲート電極とソース
電極との間に介在したCMOSスイッチであって、いず
れも消費電力低減モードで“L”にアサートされたXC
ONT信号に応答して開く。イコライズスイッチ83は
第2のPチャンネルFET61のゲート電極とバックゲ
ート電極との間に介在したCMOSスイッチであり、他
のイコライズスイッチ84は第3のPチャンネルFET
62のゲート電極とバックゲート電極との間に介在した
CMOSスイッチであって、いずれも“L”にアサート
されたXCONT信号に応答して閉じるように構成され
ている。インバータ85は、スイッチ81〜84のオン
/オフ制御のためにXCONT信号からその反転信号を
生成するものである。図7の半導体集積回路では、第1
のPチャンネルFET60がオフする消費電力低減モー
ドにおいて第2及び第3のPチャンネルFET61,6
2の各々のゲート電極とバックゲート電極との間に電位
差を生じさせないように制御されるので、これら第2及
び第3のPチャンネルFET61,62の特性劣化を防
止できる。
【0033】図8の半導体集積回路では、図7中のカッ
トアウトスイッチ82の位置が変更されている。すなわ
ち、図8では、第2のPチャンネルFET61のバック
ゲート電極と第3のPチャンネルFET62のバックゲ
ート電極との間にカットアウトスイッチ82が介在して
いる。図8の半導体集積回路でも、図7の場合と同様に
第2及び第3のPチャンネルFET61,62の特性劣
化を防止できる。
【0034】図9の半導体集積回路では、図6中のプル
ダウンスイッチ71,72及び入力スイッチ73,74
に代えて、カットアウトスイッチ90と、プルアップス
イッチ91とが設けられている。カットアウトスイッチ
90は、第2のPチャンネルFET61のバックゲート
電極と第3のPチャンネルFET62のバックゲート電
極との接続ノード(第1のノード)と、第1のPチャン
ネルFET60のドレイン電極と第2のPチャンネルF
ET61のソース電極と第3のPチャンネルFET62
のソース電極との接続ノード(第2のノード)との間に
介在したCMOS構成のスイッチであって、消費電力低
減モードで“L”にアサートされたXCONT信号に応
答して開く。プルアップスイッチ91は、前記第1のノ
ードとAVDD(=3.3V)との間に介在したPチャ
ンネルFETで構成され、“L”にアサートされたXC
ONT信号に応答して閉じるように構成されている。イ
ンバータ92は、カットアウトスイッチ90のオン/オ
フ制御のためにXCONT信号からその反転信号を生成
するものである。図9の半導体集積回路でも、消費電力
低減モードにおいて第2及び第3のPチャンネルFET
61,62の各々のバックゲート電極の電圧がAVDD
(=3.3V)に固定されるので、これら第2及び第3
のPチャンネルFET61,62の特性劣化を防止でき
る。
【0035】なお、図9の構成によれば、大きいサイズ
を有する第2及び第3のPチャンネルFET61,62
を互いに近接配置し、その近傍にカットアウトスイッチ
90及びプルアップスイッチ91を構成する小サイズの
複数FETを配置することができるので、チップレイア
ウト上で好都合である。
【0036】図10の半導体集積回路では、図9中の第
1のノードと第2のノードとが直結され、カットアウト
スイッチ90に代えて電流カットスイッチ93,94が
設けられている。電流カットスイッチ93は、第2のP
チャンネルFET61のドレイン電極と第1のNチャン
ネルFET63のドレイン電極との間に介在したNチャ
ンネルFETで構成され、消費電力低減モードで“L”
にアサートされたXCONT信号に応答して開く。他の
電流カットスイッチ94は、第3のPチャンネルFET
62のドレイン電極と第2のNチャンネルFET64の
ドレイン電極との間に介在したNチャンネルFETで構
成され、“L”にアサートされたXCONT信号に応答
して開く。
【0037】図10の半導体集積回路によれば、通常動
作モードではXCONT=“H”であるので、モード制
御スイッチ70及びプルアップスイッチ91はいずれも
開いており、電流カットスイッチ93,94はいずれも
閉じている。このとき、第2及び第3のPチャンネルF
ET61,62並びに第1及び第2のNチャンネルFE
T63,64で構成されたCMOS差動増幅器2は、I
NP信号とINM信号との間の電位差に応じたAOUT
信号を供給することができる。
【0038】図10の半導体集積回路の消費電力低減モ
ードでは、“L”にアサートされたXCONT信号に応
答してモード制御スイッチ70が閉じる結果、第1のP
チャンネルFET(電流源トランジスタ/パワーダウン
スイッチ)60がオフするので、CMOS差動増幅器2
はその機能を停止する。この状態は、第2及び第3のP
チャンネルFET61,62のいずれもがトランジスタ
として機能しない状態である。一方、プルアップスイッ
チ91が閉じるので、第2のPチャンネルFET61の
バックゲート電極及びソース電極並びに第3のPチャン
ネルFET62のバックゲート電極及びソース電極の電
圧、すなわち第1及び第2のノードの電圧がいずれもA
VDD(=3.3V)に引き上げられる。ただし、電流
カットスイッチ93,94が依然として閉じたままであ
ると、第2及び第3のPチャンネルFET61,62に
ドレイン電流が流れることにより第1及び第2のノード
の電圧が引き下げられてしまう。そこで、図10の半導
体集積回路は、これらのドレイン電流を断ち切るよう
に、“L”にアサートされたXCONT信号に応答して
電流カットスイッチ93,94が開くように構成されて
いる。この結果、図10の半導体集積回路でも、消費電
力低減モードにおいて第2及び第3のPチャンネルFE
T61,62の各々のバックゲート電極の電圧がAVD
D(=3.3V)に固定されるので、これら第2及び第
3のPチャンネルFET61,62の特性劣化を防止で
きる。
【0039】図11の半導体集積回路では、図10中の
2個の電流カットスイッチ93,94に代えて、1個の
電流カットスイッチ95と、第1及び第2のNチャンネ
ルFET63,64のオフ制御のための1個のモード制
御スイッチ96とが設けられている。電流カットスイッ
チ95は、第2のNチャンネルFET64のドレイン電
極とゲート電極との間の接続経路上に介在したCMOS
構成のスイッチであって、消費電力低減モードで“L”
にアサートされたXCONT信号に応答して開く。モー
ド制御スイッチ96はNチャンネルFETで構成され、
“L”にアサートされたXCONT信号に応答して閉じ
ることで、第1及び第2のNチャンネルFET63,6
4をいずれもオフさせるように、当該第1及び第2のN
チャンネルFET63,64の各々のゲート電極の電圧
をAVSS(=0V)に引き下げる。この場合の第1及
び第2のNチャンネルFET63,64は、第2及び第
3のPチャンネルFET61,62に流れようとするド
レイン電流を断ち切るための電流カットスイッチとして
機能する。インバータ97は、電流カットスイッチ95
及びモード制御スイッチ96のオン/オフ制御のために
XCONT信号からその反転信号を生成するものであ
る。図11の半導体集積回路でも、消費電力低減モード
において第2及び第3のPチャンネルFET61,62
の各々のバックゲート電極の電圧がAVDD(=3.3
V)に固定されるので、これら第2及び第3のPチャン
ネルFET61,62の特性劣化を防止できる。
【0040】図12の半導体集積回路は、図10中のプ
ルアップスイッチ91の機能を第1のPチャンネルFE
T60に、当該第1のPチャンネルFET60のパワー
ダウン機能を電流カットスイッチ93,94にそれぞれ
肩代わりさせたものである。なお、第1のPチャンネル
FET60は、通常動作モードで電流源トランジスタと
して機能するものである。図12の半導体集積回路で
は、消費電力低減モードで“L”にアサートされたXC
ONT信号に応答して第1のPチャンネルFET60が
導通するように制御される。そのために、モード制御ス
イッチ98とインバータ99とが設けられている。モー
ド制御スイッチ98はNチャンネルFETで構成され、
“L”にアサートされたXCONT信号に応答して閉じ
ることで、第1のPチャンネルFET60を完全に導通
させるように、当該第1のPチャンネルFET60のゲ
ート電極の電圧をAVSS(=0V)に引き下げる。こ
の場合の第1のPチャンネルFET60は、互いに直結
された、第2のPチャンネルFET61のソース電極及
びバックゲート電極並びに第3のPチャンネルFET6
2のソース電極及びバックゲート電極の各々の電圧をA
VDD(=3.3V)に固定するためのプルアップスイ
ッチとして機能する。一方、“L”にアサートされたX
CONT信号に応答して開く電流カットスイッチ93,
94は、CMOS差動増幅器2の消費電力を低減するた
めのパワーダウンスイッチとして機能する。図12の半
導体集積回路でも、消費電力低減モードにおいて第2及
び第3のPチャンネルFET61,62の各々のバック
ゲート電極の電圧がAVDD(=3.3V)に固定され
るので、これら第2及び第3のPチャンネルFET6
1,62の特性劣化を防止できる。
【0041】図13の半導体集積回路は、図11中のプ
ルアップスイッチ91の機能を第1のPチャンネルFE
T60に、当該第1のPチャンネルFET60のパワー
ダウン機能を電流カットスイッチ95並びに第1及び第
2のNチャンネルFET63,64にそれぞれ肩代わり
させたものである。なお、第1のPチャンネルFET6
0は、通常動作モードで電流源トランジスタとして機能
するものである。図13の半導体集積回路では、消費電
力低減モードで“L”にアサートされたXCONT信号
に応答して第1のPチャンネルFET60が導通するよ
うに制御される。そのために、モード制御スイッチ98
が設けられている。モード制御スイッチ98はNチャン
ネルFETで構成され、“L”にアサートされたXCO
NT信号に応答して閉じることで、第1のPチャンネル
FET60を完全に導通させるように、当該第1のPチ
ャンネルFET60のゲート電極の電圧をAVSS(=
0V)に引き下げる。この場合の第1のPチャンネルF
ET60は、互いに直結された、第2のPチャンネルF
ET61のソース電極及びバックゲート電極並びに第3
のPチャンネルFET62のソース電極及びバックゲー
ト電極の各々の電圧をAVDD(=3.3V)に固定す
るためのプルアップスイッチとして機能する。一方、
“L”にアサートされたXCONT信号に応答して開く
電流カットスイッチ95と、“L”にアサートされたX
CONT信号に応答してオフする第1及び第2のNチャ
ンネルFET63,64とは、CMOS差動増幅器2の
消費電力を低減するためのパワーダウンスイッチとして
機能する。なお、第1及び第2のNチャンネルFET6
3,64は、通常動作モードでカレントミラー回路とし
て機能するものである。図13の半導体集積回路でも、
消費電力低減モードにおいて第2及び第3のPチャンネ
ルFET61,62の各々のバックゲート電極の電圧が
AVDD(=3.3V)に固定されるので、これら第2
及び第3のPチャンネルFET61,62の特性劣化を
防止できる。
【0042】なお、本発明は、消費電力低減モードを備
え、かつP型半導体で形成されたゲート電極を有するP
チャンネルFETを備えた半導体集積回路である限り、
上記の各例とは異なる機能を有するものにも適用可能で
ある。
【0043】
【発明の効果】以上説明してきたとおり、本発明によれ
ば、消費電力低減モードを有する半導体集積回路におい
て、PチャンネルFETのP型半導体で形成されたゲー
ト電極の電圧が当該PチャンネルFETのバックゲート
電極の電圧より高くならないように前記ゲート電極の電
圧と前記バックゲート電極の電圧とのうちの少なくとも
一方を制御することとしたので、当該PチャンネルFE
Tの特性劣化を防止でき、ひいては当該半導体集積回路
の安定動作を保証することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体集積回路の構成例を示す回
路図である。
【図2】本発明に係る半導体集積回路の他の構成例を示
す回路図である。
【図3】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成例
を示す回路図である。
【図4】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成例
を示す回路図である。
【図5】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成例
を示す回路図である。
【図6】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成例
を示す回路図である。
【図7】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成例
を示す回路図である。
【図8】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成例
を示す回路図である。
【図9】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成例
を示す回路図である。
【図10】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成
例を示す回路図である。
【図11】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成
例を示す回路図である。
【図12】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成
例を示す回路図である。
【図13】本発明に係る半導体集積回路の更に他の構成
例を示す回路図である。
【符号の説明】
2 CMOS差動増幅器 5 電源電圧検知回路 10,15 CMOSインバータ 11 PチャンネルFET 12 NチャンネルFET 20 NOR回路 24,30,71,72 プルダウンスイッチ 31,73,74 入力スイッチ 40,50,81,82,90 カットアウトスイッチ 41,91 プルアップスイッチ 51,83,84 イコライズスイッチ 60 電流源トランジスタ(パワーダウンスイッチ/プ
ルアップスイッチ) 61,62 PチャンネルFET(入力トランジスタ
対) 63,64 NチャンネルFET(カレントミラー回
路) 70,96,98 モード制御スイッチ 93,94,95 電流カットスイッチ AVDD,AVSS 高電圧電源 BG バックゲート電極 CONT,XCONT 制御信号 D ドレイン電極 G ゲート電極 IN,INP,INM 入力信号 OUT,AOUT 出力信号 S ソース電極 VDD,VSS 低電圧電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡 浩二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 松澤 昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平9−214316(JP,A) 特開 平9−51262(JP,A) 特開 平9−135160(JP,A) 特開 平11−122092(JP,A) 特開 平8−186180(JP,A) 特開 平7−86905(JP,A) 特開 平10−229165(JP,A) 特開 平8−17183(JP,A) 特開 平5−108194(JP,A) 特開 平10−233675(JP,A) 特開 平8−148986(JP,A) 特開 平9−172362(JP,A) 特開 平2−292914(JP,A) 米国特許5004936(US,A) 米国特許6046627(US,A) Ushizaka H. et al ,The process depe ndence on positive bias temperature aging instability of p+(B) polysilic on−gate MOS ,IEEE Transactions on El ectron Devices,米国, 1993年 5月,Volume: 40 I ssue: 5 ,Pages 932 −937 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03K 19/00 H03K 17/00

Claims (20)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ドレイン電極と、ソース電極と、P型半
    導体で形成されたゲート電極と、バックゲート電極とを
    有し、通常動作時には電源からある電圧が前記ソース電
    極に、入力信号を表す電圧が前記ゲート電極にそれぞれ
    供給されるように構成されたPチャンネル電界効果トラ
    ンジスタ(FET)を備えた半導体集積回路であって、 前記半導体集積回路の消費電力が低減される際にアサー
    トされる制御信号に応答して、トランジスタとして機能
    しない状態の前記PチャンネルFETを劣化から保護す
    るため、前記ゲート電極の電圧が前記バックゲート電極
    の電圧より高くならないように前記ゲート電極の電圧と
    前記バックゲート電極の電圧とのうちの少なくとも一方
    を制御するための制御手段を更に備えたことを特徴とす
    る半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記PチャンネルFETのゲート電極はP型ポリシリコ
    ンで形成されたことを特徴とする半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記PチャンネルFETは、CMOSインバータの一部
    をなすトランジスタであることを特徴とする半導体集積
    回路。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記PチャンネルFETは、差動増幅器中の入力トラン
    ジスタ対の一方をなすトランジスタであることを特徴と
    する半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記電源は、前記半導体集積回路の消費電力が低減され
    る際に遮断されて、その出力電圧がゼロになる電源であ
    ることを特徴とする半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の半導体集積回路におい
    て、 前記電源の遮断を検知して前記制御信号をアサートする
    ための検知回路を更に備えたことを特徴とする半導体集
    積回路。
  7. 【請求項7】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記電源は、前記半導体集積回路の消費電力が低減され
    る際でも遮断されない電源であり、 前記PチャンネルFETのソース電極と前記電源との間
    に介在し、かつ前記アサートされた制御信号に応答して
    開くように構成されたスイッチを更に備えたことを特徴
    とする半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記制御手段は、前記PチャンネルFETのゲート電極
    の電圧を正でない電圧に固定するための固定手段を備え
    たことを特徴とする半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 請求項8記載の半導体集積回路におい
    て、 前記PチャンネルFETのバックゲート電極は、当該P
    チャンネルFETのソース電極に直結された電極である
    ことを特徴とする半導体集積回路。
  10. 【請求項10】 請求項8記載の半導体集積回路におい
    て、 前記固定手段は、前記PチャンネルFETのゲート電極
    と前記正でない電圧との間に介在し、かつ前記アサート
    された制御信号に応答して閉じるように構成されたスイ
    ッチを備えたことを特徴とする半導体集積回路。
  11. 【請求項11】 請求項10記載の半導体集積回路にお
    いて、 前記固定手段は、前記入力信号と前記PチャンネルFE
    Tのゲート電極との間に介在し、かつ前記アサートされ
    た制御信号に応答して開くように構成されたスイッチを
    更に備えたことを特徴とする半導体集積回路。
  12. 【請求項12】 請求項8記載の半導体集積回路におい
    て、 前記固定手段は、2入力及び1出力を有するNOR回路
    を備え、 前記NOR回路の2入力のうちの1入力は前記入力信号
    に、前記NOR回路の他の入力は前記制御信号に、前記
    NOR回路の出力は前記PチャンネルFETのゲート電
    極にそれぞれ接続されたことを特徴とする半導体集積回
    路。
  13. 【請求項13】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記制御手段は、前記PチャンネルFETのバックゲー
    ト電極の電圧を当該PチャンネルFETのゲート電極の
    電圧より低くない正の電圧に固定するための固定手段を
    備えたことを特徴とする半導体集積回路。
  14. 【請求項14】 請求項13記載の半導体集積回路にお
    いて、 前記固定手段は、 前記PチャンネルFETのバックゲート電極と当該Pチ
    ャンネルFETのソース電極との間に介在し、かつ前記
    アサートされた制御信号に応答して開くように構成され
    たスイッチと、 前記PチャンネルFETのバックゲート電極と前記正の
    電圧との間に介在し、かつ前記アサートされた制御信号
    に応答して閉じるように構成されたスイッチとを備えた
    ことを特徴とする半導体集積回路。
  15. 【請求項15】 請求項13記載の半導体集積回路にお
    いて、 前記PチャンネルFETのバックゲート電極は、当該P
    チャンネルFETのソース電極に直結された電極であ
    り、 前記固定手段は、 前記PチャンネルFETのソース電極と前記電源との間
    に介在し、かつ前記アサートされた制御信号に応答して
    開くように構成されたスイッチと、 前記PチャンネルFETのバックゲート電極と前記正の
    電圧との間に介在し、かつ前記アサートされた制御信号
    に応答して閉じるように構成されたスイッチとを備えた
    ことを特徴とする半導体集積回路。
  16. 【請求項16】 請求項15記載の半導体集積回路にお
    いて、 前記PチャンネルFETのドレイン電極に接続され、か
    つ前記アサートされた制御信号に応答して開くように構
    成されたスイッチを更に備えたことを特徴とする半導体
    集積回路。
  17. 【請求項17】 請求項13記載の半導体集積回路にお
    いて、 前記PチャンネルFETのバックゲート電極は、当該P
    チャンネルFETのソース電極に直結された電極であ
    り、 前記固定手段は、前記PチャンネルFETのソース電極
    と前記電源との間に介在し、かつ前記アサートされた制
    御信号に応答して導通するように構成されたトランジス
    タを備えたことを特徴とする半導体集積回路。
  18. 【請求項18】 請求項17記載の半導体集積回路にお
    いて、 前記PチャンネルFETのドレイン電極に接続され、か
    つ前記アサートされた制御信号に応答して開くように構
    成されたスイッチを更に備えたことを特徴とする半導体
    集積回路。
  19. 【請求項19】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記制御手段は、前記PチャンネルFETのバックゲー
    ト電極の電圧を当該PチャンネルFETのゲート電極の
    電圧に等しくするための等化手段を備えたことを特徴と
    する半導体集積回路。
  20. 【請求項20】 請求項19記載の半導体集積回路にお
    いて、 前記等化手段は、 前記PチャンネルFETのバックゲート電極と当該Pチ
    ャンネルFETのソース電極との間に介在し、かつ前記
    アサートされた制御信号に応答して開くように構成され
    たスイッチと、 前記PチャンネルFETのゲート電極と当該Pチャンネ
    ルFETのバックゲート電極との間に介在し、かつ前記
    アサートされた制御信号に応答して閉じるように構成さ
    れたスイッチとを備えたことを特徴とする半導体集積回
    路。
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Ushizaka H. et al ,The process dependence on positive bias temperature aging instability of p+(B) polysilicon−gate MOS ,IEEE Transactions on Electron Devices,米国,1993年 5月,Volume: 40 Issue: 5 ,Pages 932 −937

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