JP2003145522A - セラミック積層体製造装置およびセラミック積層体製造方法 - Google Patents
セラミック積層体製造装置およびセラミック積層体製造方法Info
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Abstract
よってセラミックグリーンシートが盛り上がる現象を防
止でき、なおかつ、材料を無駄にせず、積層ジグで積層
体を十分拘束できるようにする。 【解決手段】 セラミック積層体製造装置は、セラミッ
クグリーンシートを保持するための吸着手段を有し、前
記セラミックグリーンシートを積重ねるとともに、第1
の圧力で押圧するための第1の圧着ヘッド21と、積み
重ねられた上記セラミックグリーンシートを第1の圧力
より高い第2の圧力で押圧するための第2の圧着ヘッド
22とを備える。好ましくは、第2の圧着ヘッド22の
セラミックグリーンシートに当接するための領域は、穴
のない平坦面である。
Description
品に用いられるセラミック積層体の製造装置および製造
方法に関するものである。なお、セラミック積層体と
は、キャリアフィルム上に成形されたセラミックグリー
ンシートをキャリアフィルムから剥離し、セラミックグ
リーンシート同士を積み重ねて互いに圧着させたもので
ある。
層体製造装置)図10〜図12を参照して、従来技術に
基づく第1のセラミック積層体製造装置を用いたセラミ
ックグリーンシートの積層方法について説明する。図1
0に示すように、キャリアフィルム1の上面にセラミッ
クグリーンシート2が形成されたキャリアフィルム付き
セラミックグリーンシート10が供給され、圧着ヘッド
21が、キャリアフィルム付きセラミックグリーンシー
ト10に向かって降下する。圧着ヘッド21には吸引穴
3が設けられており、外周を取り囲むように切断刃6が
配置されている。図11に示すように、切断刃6がキャ
リアフィルム1は切断せずにセラミックグリーンシート
2だけを切断する。圧着ヘッド21は、切断された内側
の領域のセラミックグリーンシート2を吸引穴3によっ
て吸着してキャリアフィルム1から剥離し、持ち上げ
る。図12に示すように、圧着ヘッド21は、積層ジグ
5の上方に移動し、積層ジグ5の内部にセラミックグリ
ーンシート2を下ろす。この状態でパンチ53aが圧着
ヘッド21を上側から押圧することによって、いま下ろ
したセラミックグリーンシート2は、既に積層ジグ5内
に形成されているセラミックグリーンシート2の積層体
に仮圧着させられる。
め、吸引穴3で吸着して保持すると、図13に示すよう
に、吸引穴3の形状がセラミックグリーンシート2に転
写される場合がある。セラミックグリーンシート2は、
積層ジグ5内に下ろされた後、仮圧着のために圧着ヘッ
ド21によって押圧されるが、圧着ヘッド21の吸引穴
3に当たる部分は押圧されないため、図13に示すよう
に、圧着されずにセラミックグリーンシート2が盛り上
った形状となる。このような現象が起こる状態のまま、
何枚ものセラミックグリーンシート2を積み重ねていく
と、吸引穴3の位置は毎回同じ位置なので、盛り上がっ
たセラミックグリーンシート2の上に、さらに盛り上が
ったセラミックグリーンシート2を重ねる結果となる。
そのため、図14に示すように、最上層に表れる盛り上
がり量は次第に大きくなり、しまいに、突出した部分の
セラミックグリーンシート2が破れたり、破れてちぎれ
たセラミックグリーンシート2の突起部分が吸引穴3を
塞いだりする場合がある。
には、薄い金属層からなる電極4が印刷される場合があ
る。このような電極4を印刷したセラミックグリーンシ
ート2を圧着ヘッド21で吸着した場合、図15に示す
ように、吸引穴3は、電極4に当接する場合がある。こ
の状態で吸着して、さらに仮圧着のために押圧すると、
図16に拡大して示すように、吸引穴3の形状が電極4
に転写されて、電極4に盛上り部41が形成されてしま
う。このような盛上り部41を発生させる条件のまま何
枚ものセラミックグリーンシート2を積み重ねると、図
17に示すようになる。この場合、盛上り部41によっ
て、セラミックグリーンシート2同士の間にすきまがで
き、密着性が悪くなる場合がある。また、吸引穴3は毎
回同じ位置にあるので、盛上り部41が毎回同じ箇所に
でき、これが積層されることによって盛上り部41の箇
所だけ局所的に厚くなって、積層体としての厚みの均一
性が損なわれたりする。
て、特開2000−299244に提案された技術があ
る。この技術を適用すれば、吸引穴によってセラミック
グリーンシートが盛り上がる現象や電極が盛り上がる現
象を防止できるセラミック積層体製造装置およびセラミ
ック積層体製造方法を得ることができる。以下、特開2
000−299244に提案された技術を適用した例を
説明する。
体製造装置)図18〜図23を参照して、従来技術に基
づく第2のセラミック積層体製造装置の構成について説
明する。このセラミック積層体製造装置は、圧着ヘッド
21を備えている。図18に示すように、圧着ヘッド2
1は、セラミックグリーンシート2を保持するための吸
引穴3と、積み重ねられたセラミックグリーンシート2
を押圧するための平坦部7とを含んでいる。このセラミ
ック積層体製造装置は、セラミックグリーンシート2の
積層位置に対する圧着ヘッドの押圧位置の相対位置関係
を変更するための位置変更手段(図示省略)を備えてい
る。位置変更手段としては、たとえば、X軸テーブルお
よびX軸テーブルリニアガイドの組合せが使用可能であ
る。
て、セラミックグリーンシートを積み重ねる方法につい
て説明する。まず、図18に示すように、1枚目のセラ
ミックグリーンシート2hを吸引穴3で吸着した状態
で、積層ジグ5の所定箇所に置く。圧着ヘッド21は、
吸引をやめ、次のセラミックグリーンシートを取りに行
く。しかし、セラミックグリーンシート2hにおいて
は、吸引穴3に対応する部分には突起が残る。次に、図
19に示すように、2枚目のセラミックグリーンシート
2iを1枚目のセラミックグリーンシート2hとは、ず
らした位置に積み重ねる。このずらし量は、吸引穴3の
径より大きな長さとする。この結果、セラミックグリー
ンシート2hの突起は平坦部7によって押しつぶされ、
図20に示すように平坦になる。代わりに、新たに積ん
だセラミックグリーンシート2iには突起が残る。次
に、3枚目のセラミックグリーンシート2jは、図20
に示すように、セラミックグリーンシート2iとさらに
逆向きにずらした位置に積み重ねる。すなわち、セラミ
ックグリーンシート2hとセラミックグリーンシート2
jとは積み重ねた位置が同じとなっている。このよう
に、1枚ごとにずらして、交互に異なる位置に積み重ね
ていくことによって、吸引穴3で生じた突起は、必ず次
の積重ねの際に平坦部7によって押しつぶされ、図21
に示すように、最上層の1枚を除いていずれも平坦にな
る。
り、セラミックグリーンシートに吸引穴に起因する突起
が生じてもその都度押しつぶして平らにしながら積み重
ねることができるため、突起が同じ位置で蓄積し、突出
した部分のセラミックグリーンシート2が破れたり、破
れてちぎれたセラミックグリーンシート2の突起部分が
吸引穴3を塞いだりするなどといった現象を防止するこ
とができる。
積層体の端から長さAの部分には、図21に示すよう
に、1枚おきにしかセラミックグリーンシートが入って
いない状態となるが、このような端部は、耳部として切
り捨て、廃棄するものである。
係を拡大して概念的に示す。上述の例では、図22に示
すように、交互に反対側に吸引穴径に相当する距離ずつ
ずらし、その結果、2通りの位置に交互に積み重ねてい
くというものであったが、これ以外のパターンであって
もよい。たとえば、図23に示すようなパターンでもよ
い。これは、積層途中のある時点に注目し、これを「1
枚目」としたとき、1枚目から2枚目に移るときには、
第1の向き(図23における右向き)に吸引穴径の半分
の距離だけずらし、2枚目から3枚目に移るときは、先
ほどと逆向きである第2の向き(図23における左向
き)に吸引穴径の距離だけずらし、3枚目から4枚目に
移るときは、再び第1の向きに吸引穴径の半分の距離だ
けずらすというパターンである。このようなずらし方に
よっても、突起を押しつぶしながら積み重ねることは可
能である。
体製造装置)図24を参照して、従来技術に基づく第3
のセラミック積層体製造装置の構成について説明する。
製造装置の説明においては、位置変更手段の一例を示し
たが、位置変更手段は、上述のように1つの圧着ヘッド
でリニアガイドなどを用いて位置をずらして押圧する方
式のものに限らず、図24に示すように2つの圧着ヘッ
ド211,212を備えることとして、各圧着ヘッドご
とにそれぞれ押圧する位置が決まっており、圧着ヘッド
211の押圧する位置と、圧着ヘッド212の押圧する
位置とが、吸引穴径だけずれた位置関係になるように設
定されたものであってもよい。このような構成も位置変
更手段に該当するものとする。なお、図24の例では、
圧着ヘッドは2つであるが、3つ以上として、各圧着ヘ
ッドごとにそれぞれ押圧する位置を決めておいてもよ
い。
ラミックグリーンシート10を手前と奥の双方のYθテ
ーブルから並列して供給し、圧着ヘッド211および圧
着ヘッド212によって交互にセラミックグリーンシー
ト2をプレス機53内に持ち込むようになっている。こ
のようにすれば、新たなセラミックグリーンシート2を
受け取るために一方の圧着ヘッドが積層ジグから離れて
いる間にも他方の圧着ヘッドによって積層作業を進める
ことができ、効率がよい。
において、2つの圧着ヘッド211,212の押圧時の
位置は同じとし、その代わり、2つの圧着ヘッド21
1,212の中で占める吸引穴と平坦部の配置関係を変
えておくこととしてもよい。このようにすれば、2つの
圧着ヘッド211,212が同じ位置で押圧を行なうこ
ととしても、吸引穴によって突出部が生じる位置も平坦
部によって押される領域も圧着ヘッド211,212間
で異なるので、一方の圧着ヘッドの吸引穴で生じる突出
部を毎回他方の圧着ヘッドの平坦部で押しつぶして平ら
にすることができる。
くセラミック積層体製造装置によって得られたセラミッ
ク積層体を、後工程において、より強い圧力で再度圧着
してもよい。
2、第3のセラミック積層体製造装置においては、セラ
ミックグリーンシートをずらして積層するため、図21
に示されるように積層体の端部に遊び部分が生じる。こ
の遊び部分は除去する必要があり、セラミックグリーン
シートの材料の無駄となる。また、積層ジグの枠内の面
積を、圧着ヘッドの圧着面の面積に比べてずらし量の分
だけ大きくする必要があるため、圧着時に積層ジグによ
って積層体を拘束できない部分が存在することとなり、
その部分においては積層体に盛り上がりを生じる。ま
た、積層体を積層ジグによって十分に拘束できないこと
から、高い積み重ね位置精度を維持することは困難であ
る。
ックグリーンシートが盛り上がる現象を防止でき、なお
かつ、材料を無駄にせず、積層ジグで積層体を十分拘束
できる、セラミック積層体製造装置およびセラミック積
層体製造方法を提供することを目的とする。
め、本発明に基づくセラミック積層体製造装置では、セ
ラミックグリーンシートを保持するための吸着手段を有
し、上記セラミックグリーンシートを積重ねるととも
に、第1の圧力で押圧するための第1の圧着ヘッドと、
積み重ねられた上記セラミックグリーンシートを上記第
1の圧力より高い第2の圧力で押圧するための第2の圧
着ヘッドとを備える。この構成を採用することにより、
吸着して搬送する圧着ヘッドと、既に積み重ねられたセ
ラミックグリーンシートを強く押圧するための圧着ヘッ
ドと、役割が明確に分担されているので、各圧着ヘッド
をその役割に応じた設計とすることができる。特に、第
2の圧着ヘッドの方からは吸着に関する構造を廃し、よ
り高い圧力に対応した設計とすることができる。
よび第2の圧着ヘッドを所定の積層位置に移動させるた
めの圧着ヘッド移動手段と、上記第1および第2の圧着
ヘッドのうち上記積層位置に位置するものに、上記セラ
ミックグリーンシートに向けて押圧を行なわせるための
圧着ヘッド加圧手段とを備える。この構成を採用するこ
とにより、第1と第2の圧着ヘッドを圧着ヘッド移動手
段によって入れ替えて、同一の圧着ヘッド加圧手段によ
って押圧を行なうことができるので、装置の省スペース
化を実現することができる。また、2種類の圧着ヘッド
による押圧を一つの圧着ヘッド加圧手段で兼ねて行なう
ことは、すなわち、積層したセラミックグリーンシート
を移動させずに一ヶ所に設置したまま積み重ね作業を進
めていくことができるということでもある。したがっ
て、積み重ね位置精度が良くなる。
圧着ヘッドの上記セラミックグリーンシートに当接する
ための領域は平坦面である。この構成を採用することに
より、第2の圧着ヘッドは、セラミックグリーンシート
の圧着のための押圧に適した形状とすることができる。
は、穴のない平坦面である。この構成を採用することに
より、第2の圧着ヘッドは、穴がないために構造的に圧
縮に強くなり、高い圧力で押圧できる圧着ヘッドとする
ことができる。
セラミック積層体製造方法の一つの局面では、セラミッ
クグリーンシートを保持するための吸着手段を有する第
1の圧着ヘッドと、積み重ねられた上記セラミックグリ
ーンシートを押圧するための平坦面を有する第2の圧着
ヘッドとを用い、上記第1の圧着ヘッドで上記セラミッ
クグリーンシートを保持し、搬送し、積重ね、第1の圧
力で押圧した後に、上記第2の圧着ヘッドで上記第1の
圧力より高い第2の圧力で押圧する。この方法を採用す
ることにより、吸着して搬送する圧着ヘッドと、既に積
み重ねられたセラミックグリーンシートを強く押圧する
ための圧着ヘッドとで役割を明確に分担して積層および
圧着の作業を進めていけるので、各圧着ヘッドとして各
役割に応じた設計のものを使用することができ、効率良
くセラミック積層体を製造することができる。
セラミック積層体製造方法の他の局面では、供給される
セラミックグリーンシートを、吸引穴を有する第1の圧
着ヘッドで吸着する第1吸着工程と、上記第1の圧着ヘ
ッドに吸着した上記セラミックグリーンシートを所定の
積層位置に搬送し、上記第1の圧着ヘッドに吸着したま
ま降ろす第1設置工程と、上記第1の圧着ヘッドによる
上記セラミックグリーンシートの吸着をやめ、上記セラ
ミックグリーンシートを残して上記第1の圧着ヘッドを
退避させる退避工程と、上記セラミックグリーンシート
の上記吸引穴が当接していた位置に第2の圧着ヘッドの
平坦面を重ね合わせて、前記第1の圧着ヘッドで押圧し
た圧力より強い圧力で押圧する押圧工程とを含む。この
方法を採用することにより、吸引穴によって生じた突出
部を平坦面によって強く押しつぶすことができるので、
突出部が成長して破れるなどといった問題を解消するこ
とが可能となる。
圧着ヘッドは、上記セラミックグリーンシートに当接す
るための領域内に穴のない平坦面を含む。この方法を採
用することにより、第2の圧着ヘッドとして圧縮に強い
構造のものを用いることができるので、第2の圧着ヘッ
ドによってより確実に圧着しながら積層することができ
る。
におけるセラミック積層体製造装置の構成について説明
する。このセラミック積層体製造装置は、X方向に位置
変更可能なように圧着ヘッド21,22を備えている。
圧着ヘッド21は、図2に示すように、セラミックグリ
ーンシート2を吸着する吸引穴3とヒータ(図示省略)
と切断刃6を備えている。図4に示すように、圧着ヘッ
ド21は、Xテーブル21aがX軸テーブルリニアガイ
ド54に載ることによって支持されており、Xテーブル
21aに設けられた4本の圧着ヘッドガイドポスト21
bによって水平方向の動きを拘束されている。プレス機
53は、ベース53cの上方で、油圧シリンダ53bに
よってパンチ53aを押し下げることができるようにな
っている。したがって、圧着ヘッド21がパンチ53a
の真下に位置するときにパンチ53aを押し下げれば、
圧着ヘッド21が積層ジグ5に向けて押し下げられる。
着ヘッド21とは独立して動作可能であり、吸引穴3と
切断刃6は備えていない。圧着ヘッド22は、圧着ヘッ
ド21と似た構造で支持されているが、圧着ヘッド22
の圧着面には、吸引穴も突起もなく、平坦な面となって
いる。
シート10は、図1に示すように、一定形状のシート状
で、Yθテーブル51に載せられて供給される。キャリ
アフィルム付きセラミックグリーンシート10は、Yθ
テーブル51によって吸引保持されている。Yθテーブ
ル51が圧着ヘッド21の下方に移動する途中で、カメ
ラ(図示省略)でキャリアフィルム付きセラミックグリ
ーンシート10に予め設けられたマークを撮影し、キャ
リアフィルム付きセラミックグリーンシート10の載置
位置を検出する。この検出結果は、Yθテーブル51お
よび圧着ヘッド21にフィードバックされ、載置位置の
ずれが補正される。
ラミックグリーンシート10の上面に向けて下りること
によって、図2に示すように、切断刃6によって、キャ
リアフィルム付きセラミックグリーンシート10のうち
セラミックグリーンシート2だけに切込みが入れられ
る。圧着ヘッド21の吸引穴3でセラミックグリーンシ
ート2を吸着し、Yθテーブル51による吸引をやめる
ことによって、キャリアフィルム1を含めたキャリアフ
ィルム付きセラミックグリーンシート10全体が持ち上
げられる。このように圧着ヘッド21はキャリアフィル
ム付きセラミックグリーンシート10を保持したままで
X方向に移動し、積層ジグ5に向かう途中、キャリアフ
ィルム剥離ブロック52によってキャリアフィルム1が
剥離される。この剥離作業は、具体的には、図2、図3
に示すように、行なわれる。すなわち、図2に示すよう
に、チャック52aがキャリアフィルム付きセラミック
グリーンシート10の前方で待ち構えており、圧着ヘッ
ド21が移動してくることによって、キャリアフィルム
付きセラミックグリーンシート10の前端を把持する。
図3に示すように、チャック52aは圧着ヘッド21の
移動と同期するように下に向けて移動し、ロール52b
によってキャリアフィルム1を曲げながらキャリアフィ
ルム1をセラミックグリーンシート2から剥離する。
21は、セラミックグリーンシート2のみを保持した状
態で、積層ジグ5の上方に到達する。プレス機53(図
1、図4参照)がパンチ53aを押し下げ、圧着ヘッド
21の先端が、セラミックグリーンシート2を保持した
まま、図6に示すように、積層ジグ5の中に挿入され
る。このとき、たとえば、圧着ヘッド21の先端および
積層ジグ5は、セラミックグリーンシート2同士を短時
間で圧着するため、セラミックグリーンシート2中に含
まれるバインダのガラス転移温度付近またはそれ以上の
温度に設定され、圧力を3〜8MPaとして圧着する。
所定の圧着時間が経過した後、パンチ53aを持ち上
げ、図7に示すように、圧着ヘッド21を上昇させる。
セラミックグリーンシート2は、積層ジグ5の中に積み
重ねられて残る。
を積層ジグ5の上方に移動させる。プレス機53(図
1、図4参照)がパンチ53aを押し下げ、圧着ヘッド
22の先端が、図9に示すように、積層ジグ5の中に挿
入される。圧着ヘッド22の先端および積層ジグ5は、
セラミックグリーンシート2同士を短時間で圧着するた
め、セラミックグリーンシート2中に含まれるバインダ
のガラス転移温度付近またはそれ以上の温度に設定さ
れ、圧力を10〜130MPaとして圧着する。この間
に圧着ヘッド21は、次のセラミックグリーンシート2
を取りに行っている。所定の圧着時間が経過した後、パ
ンチ53aを持ち上げ、圧着ヘッド22を上昇させる。
圧着ヘッド22を退避させ、次のセラミックグリーンシ
ート2を保持した圧着ヘッド21が、積層ジグ5の上方
に移動する。
なセラミックグリーンシート2の積み重ねおよび小さな
圧力での圧着と、圧着ヘッド22による大きな圧力での
圧着とを繰り返すことによって、所定枚数までセラミッ
クグリーンシート2を積み重ねる。所定枚数まで積み重
ね終えたら、積層ジグ5をプレス機53から取り出し、
代わりに新しい積層ジグ5を設置する。こうして、同様
の作業を繰り返す。
3を備えているのに対し、圧着ヘッド22は、吸引穴な
どのない平坦な面であるため、構造的に圧縮に強くなっ
ており、圧着ヘッド21より高い圧力で押圧できる。
まで搬送してくる圧着ヘッド21の吸引穴3によってセ
ラミックグリーンシート2自身や電極4に変形が生じた
としても、平坦な圧着ヘッド22で高い圧力で押圧する
ことができるため、変形を押しならして平坦な状態に戻
すことができる。
台のプレス機で使用することができるため、装置を効率
良く構成することができ、装置を安価に抑えることがで
きる。また、圧着ヘッドが移動し、入れ替わることによ
り、積層ジグ5自体は、積重ね終了時まで同じ場所で固
定しておけるので、セラミックグリーンシートの積重ね
位置精度が良い。
層体製造装置では、圧着ヘッド22で大きな圧力を加え
ている間に、圧着ヘッド21が次のセラミックグリーン
シートを取りに行くようにできるので、圧着ヘッドが1
つしかない場合に比べて、セラミックグリーンシートの
1枚当たりの積層に要する時間を短縮することができ
る。
ての点で例示であって制限的なものではない。本発明の
範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって
示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での
すべての変更を含むものである。
ヘッドと、既に積み重ねられたセラミックグリーンシー
トを押圧するための圧着ヘッドと、役割が明確に分担さ
れているので、各圧着ヘッドをその役割に応じた設計と
することができる。特に、第2の圧着ヘッドの方からは
吸着に関する構造を廃し、より高い圧力に対応した設計
とすることができる。第2の圧着ヘッドには吸引穴のな
い構造とすることができるため、吸引穴によってある層
のセラミックグリーンシートに突出部が生じても次の層
の積層時に、圧着ヘッドの平坦部によって前の層の突出
部を押しつぶして平らにしながら積み重ねることができ
る。その結果、突出部同士が積み重なって大きな突起と
なって、しまいに破れたりといった現象を防止すること
ができる。
ック積層体製造装置の斜視図である。
ック積層体製造装置の圧着ヘッドがセラミックグリーン
シートを保持して搬送する様子の説明図である。
ック積層体製造装置のキャリアフィルムを剥離する動作
の説明図である。
ック積層体製造装置のプレス機の部分の正面図である。
ック積層体製造装置による積層方法の第1の説明図であ
る。
ック積層体製造装置による積層方法の第2の説明図であ
る。
ック積層体製造装置による積層方法の第3の説明図であ
る。
ック積層体製造装置による積層方法の第4の説明図であ
る。
ック積層体製造装置による積層方法の第5の説明図であ
る。
製造装置による積層方法の第1の説明図である。
製造装置による積層方法の第2の説明図である。
製造装置による積層方法の第3の説明図である。
製造装置による積層方法においてセラミックグリーンシ
ートに吸引穴が転写される様子の説明図である。
製造装置による積層方法においてセラミックグリーンシ
ートの盛り上がり量が大きくなる様子の説明図である。
製造装置による積層方法において電極を吸着する様子の
説明図である。
製造装置による積層方法において電極に吸引穴が転写さ
れる様子の説明図である。
製造装置による積層方法において盛上り部を有するセラ
ミックグリーンシートを積み重ねた状態を示す説明図で
ある。
製造装置による積層方法の第1の説明図である。
製造装置による積層方法の第2の説明図である。
製造装置による積層方法の第3の説明図である。
製造装置による積層方法の第4の説明図である。
製造装置による積層方法の一例での吸引穴の位置関係を
示す概念図である。
製造装置による積層方法の他の例での吸引穴の位置関係
を示す概念図である。
製造装置の一例の斜視図である。
ックグリーンシート、3 吸引穴、4 電極、5 積層
ジグ、6 切断刃、10 キャリアフィルム付きセラミ
ックグリーンシート、21,22,211,212 圧
着ヘッド、21a X軸テーブル、21b 圧着ヘッド
ガイドポスト、41 盛上り部、51Yθテーブル、5
2 キャリアフィルム剥離ブロック、52a チャッ
ク、52b ロール、53 プレス機、53a パン
チ、53b 油圧シリンダ、53cベース、54 X軸
テーブルリニアガイド。
Claims (7)
- 【請求項1】 セラミックグリーンシートを保持するた
めの吸着手段を有し、前記セラミックグリーンシートを
積重ねるとともに、第1の圧力で押圧するための第1の
圧着ヘッドと、 積み重ねられた前記セラミックグリーンシートを前記第
1の圧力より高い第2の圧力で押圧するための第2の圧
着ヘッドとを備える、セラミック積層体製造装置。 - 【請求項2】 前記第1および第2の圧着ヘッドを所定
の積層位置に移動させるための圧着ヘッド移動手段と、 前記第1および第2の圧着ヘッドのうち前記積層位置に
位置するものに、前記セラミックグリーンシートに向け
て押圧を行なわせるための圧着ヘッド加圧手段とを備え
る、請求項1に記載のセラミック積層体製造装置。 - 【請求項3】 前記第2の圧着ヘッドの前記セラミック
グリーンシートに当接するための領域は平坦面である、
請求項1または2に記載のセラミック積層体製造装置。 - 【請求項4】 前記平坦面は、穴のない平坦面である、
請求項1から3のいずれかに記載のセラミック積層体製
造装置。 - 【請求項5】 セラミックグリーンシートを保持するた
めの吸着手段を有する第1の圧着ヘッドと、 積み重ねられた前記セラミックグリーンシートを押圧す
るための平坦面を有する第2の圧着ヘッドとを用い、 前記第1の圧着ヘッドで前記セラミックグリーンシート
を保持し、搬送し、積重ね、第1の圧力で押圧した後
に、前記第2の圧着ヘッドで前記第1の圧力より高い第
2の圧力で押圧する、セラミック積層体製造方法。 - 【請求項6】 供給されるセラミックグリーンシート
を、吸引穴を有する第1の圧着ヘッドで吸着する吸着工
程と、 前記第1の圧着ヘッドに吸着した前記セラミックグリー
ンシートを所定の積層位置に搬送し、前記第1の圧着ヘ
ッドに吸着したまま降ろす設置工程と、 前記第1の圧着ヘッドによる前記セラミックグリーンシ
ートの吸着をやめ、前記セラミックグリーンシートを残
して前記第1の圧着ヘッドを退避させる退避工程と、 前記セラミックグリーンシートの前記吸引穴が当接して
いた位置に第2の圧着ヘッドの平坦面を重ね合わせて、
前記第1の圧着ヘッドで押圧した圧力より強い圧力で押
圧する押圧工程とを含む、セラミック積層体製造方法。 - 【請求項7】 前記第2の圧着ヘッドは、前記セラミッ
クグリーンシートに当接するための領域内に穴のない平
坦面を含む、請求項6に記載のセラミック積層体製造方
法。
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