JP3467563B2 - インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法Info
- Publication number
- JP3467563B2 JP3467563B2 JP21663597A JP21663597A JP3467563B2 JP 3467563 B2 JP3467563 B2 JP 3467563B2 JP 21663597 A JP21663597 A JP 21663597A JP 21663597 A JP21663597 A JP 21663597A JP 3467563 B2 JP3467563 B2 JP 3467563B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- elastic plate
- recording head
- pressure generating
- thick
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
圧電振動子をアクチュエータに使用して、圧力発生室を
膨張収縮させてノズル開口からインク滴を吐出させるイ
ンクジェット式記録ヘッドに関する。
ータに使用するインクジェット式記録ヘッドは、図5に
示したようにスペーサAとともに圧力発生室B、インク
供給口C、共通のインク室Dを形成する弾性板Eの、圧
力発生室Bの中心線上に周囲を薄肉部Fで取り囲まれ、
相対的に剛性が高く形成されたアイランド部Gを設け、
これに圧電振動子Hを当接させて、圧電振動子Hの変位
を高い効率で圧力発生室Bの容積変化に変換するように
構成されている。このうように弾性板Eのアイランド部
Gを介して圧電振動子Hの変位を弾性板Eに伝達するこ
とにより、圧力発生室Bの広い範囲を効率的に変形させ
ることが可能となる。
G、厚肉部Kは金属薄板を等方性のエッチングして形成
する製造方法がとられている。
チングでは、エッチングにより抜く寸法が小さくなるほ
どエッチング液の濃度差が顕著になり、形状を一定に管
理することが難しい。よって等方性のエッチングによっ
て形成されたアイランド部、厚肉部の誤差は大きくな
る。このため弾性板のコンプライアンスのばらつきが大
きくなり、インク吐出の際にインク速度、インク量がば
らつく。
ものであって、その目的とするところはアイランド部の
形成精度を高めて、弾性板のコンプライアンスのばらつ
きを小さくすることによってインク吐出のばらつきをお
さえ、またインクと接するところでは耐インク性を有す
る材料を用い弾性板に耐インク性を持たせたインクジェ
ット式記録ヘッドを提供することである。
ット式記録ヘッドに適した弾性板の製造方法を提案する
ことである。
するために本発明においては、インク滴を吐出するノズ
ル開口と、ノズル開口に連通する圧力発生室と、外部よ
りインク供給路を介して供給を受けかつ圧力発生室へ供
給するインクを貯留する共通のインク室と、共通のイン
ク室と圧力発生室を連通させるインク供給口とを区画し
たスペーサと、スペーサの一面を封止して圧力発生室を
膨張、収縮させる弾性板と、弾性板に当接する縦振動
モードの圧電振動子と、該圧電振動子とスペーサ、及び
弾性板を固定するヘッドケースと、からなるインクジェ
ット式記録ヘッドであって、インク供給路は、ヘッドフ
レームと、弾性板に設けられた貫通孔とにより構成され
ており、弾性板は、圧電振動子に当接する領域に設けら
れたアイランド部と、アイランド部を取り囲むように形
成されて弾性変形領域となる薄肉部と、薄肉部を取り囲
む第1の厚肉部と、第1の厚肉部のさらに外側に形成さ
れ貫通孔が設けられた第2の厚肉部とにより構成され、
アイランド部、第1の厚肉部は感光性樹脂材料にて形成
され、第2の厚肉部は耐アルカリ性を有する材料にて形
成されていることを特徴とする。また、本発明のインク
ジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法は、薄肉部と
して機能できる厚さのフィルムに耐アルカリ性を有する
金属層を形成する工程と、金属層に第2の厚肉部となる
領域と一致するエッチング保護膜を形成する工程と、エ
ッチングにより第2の厚肉部を形成する工程と、エッチ
ング保護膜を除去し、アイランド部、第1の厚肉部に適
した厚みの感光性フィルムを積層する工程と、薄肉部の
領域を除去可能にするために感光性フィルムを露光する
工程と、露光により除去可能となった領域の感光性フィ
ルムを除去する工程と、からなることを特徴とする。
の厚肉部を形成精度の高い感光性フィルムで形成するこ
とによって弾性板のコンプライアンスのばらつきを小さ
くしインクの吐出バラツキをおさえ、またインク供給路
が形成されていることによってインクと触れる第2の厚
肉部を耐アルカリ性を有する材料で形成することによっ
て弾性板に耐インク性をもたせることができる。
した実施例に基づいて説明する。図1(イ)は、本発明
の一実施例を示すものであって図中符号1は、弾性板で
圧力発生室2、インク供給口3、共通のインク室4を区
画するスペーサ5の一方の面を封止して、ノズルプレー
ト6とともに流路ユニット7を構成し、その他方の面を
ヘッドケース8に固定されている。
圧力発生室2、2を区画する隔壁9を備え、各圧力発生
室2に対向する領域の弾性板1に広い弾性変形可能な領
域を確保して、ノズル開口14からインク滴を効率よく
吐出させるように構成されている。
2に対向する領域に、圧力発生室2の長手方向に延びる
アイランド部10が形成され、これを取り囲むように弾
性変形領域となる薄肉部11が形成されている。薄肉部
11の外周には第1の厚肉部12が形成されさらにその
外側に第2の厚肉部13が形成されている。ケース8は
第1の厚肉部12と第2の厚肉部13とに接着されて形
成されている。
電材料21と2つの極をなす電極22、23とを交互に
積層して縦振動、つまり長手方向に変位するように構成
される。
は、アイランド部10の配列ピッチに一致するように固
定基板24に固定されて振動子ユニット25として構成
される。その先端20aを前述のアイランド部10に接
着剤で固定し、固定基板24を介してヘッドケースにも
固定することにより記録ヘッドが完成する。
12は感光性樹脂材料で形成されている。感光性樹脂材
料を用いて形成する場合、不要領域にマスクをして、光
を当て必要領域を硬化させ、硬化していない部分を取り
除く。この時光に直進性があるため、マスクのエッジ部
で光がマスク面に対し垂直に感光性樹脂材料を透過する
ため、必要領域のエッジ部の形成精度が高く、形成誤差
を±3〜5μmにすることができる。従来は金属を等方
性のエッチングし形成していたため形成誤差は±10〜
15μmであった。このため従来に比べコンプライアン
スのばらつきをおさえることができる。
周辺16において、第2の厚肉部はインクに触れるため
に材料がインク中のアルカリイオンなどにより侵される
危険がある。このため、第2の厚肉部には耐アルカリな
ど耐薬品性に優れたSUSなどの金属材料かフッ素系高
分子材料を用いることによりヘッドの耐久性を向上させ
ることができる。
例を図4に基づいて説明する。
40と耐インク性を備えた第2の厚肉部13となりうる
金属板41を接着剤層42を介して積層する(I)。金属
板41の表面に第2の厚肉部13となる領域にエッチン
グ保護膜43を形成して、エッチングを行う(II)。こ
れにより金属板41には残部が薄肉部11として機能で
きる程度の深さ、この実施例では接着層42に到達する
凹部44が形成される。
ド部10、第1の厚肉部12に適した厚みの感光性ドラ
イフィルム45を積層し(III)、薄肉部11が除去可
能なように露光し、アイランド部10と第1の厚肉部1
2以外のドライフィルム46を除去する(IV)。
に残留したドライフィルム45を紫外線照射や電子線照
射によって硬化させる(V)。
インク滴を吐出するノズル開口と、ノズル開口に連通す
る圧力発生室と、外部よりインク供給路を介して供給を
受けかつ圧力発生室へ供給するインクを貯留する共通の
インク室と、共通のインク室と圧力発生室を連通させる
インク供給口とを区画したスペーサと、スペーサの一面
を封止して圧力発生室を 膨張、収縮させる弾性板と、
弾性板に当接する縦振動モードの圧電振動子と、該圧電
振動子とスペーサ、及び弾性板を固定するヘッドケース
と、からなるインクジェット式記録ヘッドであって、イ
ンク供給路は、ヘッドフレームと、弾性板に設けられた
貫通孔とにより構成されており、弾性板は、圧電振動子
に当接する領域に設けられたアイランド部と、アイラン
ド部を取り囲むように形成されて弾性変形領域となる薄
肉部と、薄肉部を取り囲む第1の厚肉部と、第1の厚肉
部のさらに外側に形成され貫通孔が設けられた第2の厚
肉部とにより構成され、アイランド部、第1の厚肉部は
感光性樹脂材料にて形成され、第2の厚肉部は耐アルカ
リ性を有する材料にて形成されていることにより、圧電
振動子の変位を受けるアイランド部と第1の厚肉部を形
成精度の高い感光性フィルムで形成することによって弾
性板のコンプライアンスのばらつきを小さくしインクの
吐出バラツキをおさえ、またインク供給路が形成されて
いることによってインクと触れる第2の厚肉部を耐アル
カリ性を有する材料で形成することによって弾性板に耐
インク性をもたせることができる。
録ヘッドの一実施例を示す、圧力発生室の長手方向及び
圧力発生室の配列方向の圧力発生室近傍の断面図であ
る。
示す斜視図である。
実施例を示す図である。
の一実施例を示す図である。
ット式記録ヘッド、及び弾性板の一例を示す断面図と上
面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 インク滴を吐出するノズル開口と、前記
ノズル開口に連通する圧力発生室と、外部よりインク供
給路を介して供給を受けかつ前記圧力発生室へ供給する
インクを貯留する共通のインク室と、前記共通のインク
室と前記圧力発生室を連通させるインク供給口とを区画
したスペーサと、 前記スペーサの一面を封止して前記圧力発生室を 膨
張、収縮させる弾性板と、 前記弾性板に当接する縦振動モードの圧電振動子と、 該圧電振動子と前記スペーサ、及び弾性板を固定するヘ
ッドケースと、 からなるインクジェット式記録ヘッドであって、 前記インク供給路は、前記ヘッドフレームと、前記弾性
板に設けられた貫通孔とにより構成されており、 前記弾性板は、前記圧電振動子に当接する領域に設けら
れたアイランド部と、前記アイランド部を取り囲むよう
に形成されて弾性変形領域となる薄肉部と、前記薄肉部
を取り囲む第1の厚肉部と、前記第1の厚肉部のさらに
外側に形成され前記貫通孔が設けられた第2の厚肉部と
により構成され、 前記アイランド部、前記第1の厚肉部は感光性樹脂材料
にて形成され、前記第2の厚肉部は耐アルカリ性を有す
る材料にて形成されていることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッド。 - 【請求項2】 薄肉部として機能できる厚さのフィルム
に耐アルカリ性を有する金属層を形成する工程と、前記
金属層に第2の厚肉部となる領域と一致するエッチング
保護膜を形成する工程と、エッチングにより第2の厚肉
部を形成する工程と、前記エッチング保護膜を除去し、
アイランド部、第1の厚肉部に適した厚みの感光性フィ
ルムを積層する工程と、薄肉部の領域を除去可能にする
ために感光性フィルムを露光する工程と、前記露光によ
り除去可能となった領域の感光性フィルムを除去する工
程と、 からなるインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21663597A JP3467563B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21663597A JP3467563B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1158731A JPH1158731A (ja) | 1999-03-02 |
JP3467563B2 true JP3467563B2 (ja) | 2003-11-17 |
Family
ID=16691534
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21663597A Expired - Fee Related JP3467563B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3467563B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5045824B2 (ja) | 2010-03-26 | 2012-10-10 | パナソニック株式会社 | インクジェットヘッド及びそれを具備するインクジェット装置 |
-
1997
- 1997-08-11 JP JP21663597A patent/JP3467563B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1158731A (ja) | 1999-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0616890B1 (en) | Ink jet head and method of manufacturing ink jet head | |
JPH07195689A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JP3601239B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びそれを用いたインクジェット式記録装置 | |
JP3231523B2 (ja) | オンデマンド型インクジェットヘッド | |
JP2000006397A (ja) | インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 | |
JP3467563B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッド用弾性板の製造方法 | |
WO1999001283A1 (fr) | Tete d'impression a jets d'encre et procede de fabrication de cette tete | |
JP3089765B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JPH07178908A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP2003019805A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP2001347659A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JP3191557B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP3070625B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、及びその駆動方法 | |
JPH1110892A (ja) | ノズル形成部材及びその製造方法 | |
JPH1158747A (ja) | ノズル形成部材及びその製造方法並びにインクジェットヘッド | |
JP3384305B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP3267412B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP3804415B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JPH09327911A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
JP3189575B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JPH11129475A (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェット式記録ヘッドの弾性板の製造方法 | |
JPH10146967A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP2005305827A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP3182915B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JPH08118618A (ja) | インクジェット記録ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030722 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090905 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090905 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100905 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100905 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110905 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120905 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |