JPH10146967A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH10146967A JPH10146967A JP32234896A JP32234896A JPH10146967A JP H10146967 A JPH10146967 A JP H10146967A JP 32234896 A JP32234896 A JP 32234896A JP 32234896 A JP32234896 A JP 32234896A JP H10146967 A JPH10146967 A JP H10146967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure generating
- generating chamber
- recording head
- ink jet
- nozzle plate
- Prior art date
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流路形成基板を構成するシリコン単結晶基板
全体の強度の低下を招くこと無く、圧力発生室を区画す
る隔壁の剛性を選択的に高めること。 【解決手段】 ノズルプレート７の圧力発生室３に対向
する領域に、圧力発生室３に嵌入可能で、かつメンブレ
ム部２との間に所定の空間Ｇを確保できる程度の凸部９
を形成し、この凸部９により隔壁１ａを両側から補強す
る。
全体の強度の低下を招くこと無く、圧力発生室を区画す
る隔壁の剛性を選択的に高めること。 【解決手段】 ノズルプレート７の圧力発生室３に対向
する領域に、圧力発生室３に嵌入可能で、かつメンブレ
ム部２との間に所定の空間Ｇを確保できる程度の凸部９
を形成し、この凸部９により隔壁１ａを両側から補強す
る。
Description
【０００１】
【発明が属する技術の分野】本発明は、ノズル開口に連
通する圧力発生室の一部をたわみ振動するアクチュエー
タにより膨張、収縮させて、ノズル開口からインク滴を
吐出させるインクジェット式記録ヘッドに関する。
通する圧力発生室の一部をたわみ振動するアクチュエー
タにより膨張、収縮させて、ノズル開口からインク滴を
吐出させるインクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドには、圧力
発生室を機械的に変形させてインクを加圧する圧電振動
型と、圧力発生室の中に発熱素子を設け、発熱素子の熱
で発生した気泡の圧力によりインクを加圧するバブルジ
ェット型との２種類のものが存在する。そして圧電振動
型の記録ヘッドは、さらに軸方向に変位する圧電振動子
を使用した第１の記録ヘッドと、たわみ変位する圧電振
動子を使用した第２の記録ヘッドとの２種類に分類され
る。
発生室を機械的に変形させてインクを加圧する圧電振動
型と、圧力発生室の中に発熱素子を設け、発熱素子の熱
で発生した気泡の圧力によりインクを加圧するバブルジ
ェット型との２種類のものが存在する。そして圧電振動
型の記録ヘッドは、さらに軸方向に変位する圧電振動子
を使用した第１の記録ヘッドと、たわみ変位する圧電振
動子を使用した第２の記録ヘッドとの２種類に分類され
る。
【０００３】第１の記録ヘッドは、高速駆動が可能でか
つ高い密度での記録が可能である反面、圧電振動子の加
工に切削作業が伴ったり、また圧電振動子を圧力発生室
に固定する際に３次元的組立作業を必要として、製造の
工程数が多くなるという問題がある。これに対して、第
２の記録ヘッドは、圧電振動子が膜状であるため、圧力
発生室を構成する弾性膜と一体的に焼成して作り付ける
ことが可能で、製造工程の簡素化を図ることができると
いう特徴を有するものの、たわみ振動できる程度の面積
を必要とするため、圧力発生室の幅が大きくなって配列
密度が低下するという問題を抱えている。
つ高い密度での記録が可能である反面、圧電振動子の加
工に切削作業が伴ったり、また圧電振動子を圧力発生室
に固定する際に３次元的組立作業を必要として、製造の
工程数が多くなるという問題がある。これに対して、第
２の記録ヘッドは、圧電振動子が膜状であるため、圧力
発生室を構成する弾性膜と一体的に焼成して作り付ける
ことが可能で、製造工程の簡素化を図ることができると
いう特徴を有するものの、たわみ振動できる程度の面積
を必要とするため、圧力発生室の幅が大きくなって配列
密度が低下するという問題を抱えている。
【０００４】このようなたわみ振動を利用した記録ヘッ
ドが抱える問題点を克服するため、例えば特許出願公表
平5-504740号公報には、格子面（１１０）のシリコン単
結晶基板を異方性エッチングして圧力発生室、インク供
給口、リザーバが形成された流路形成基板と、圧力発生
室に連通するノズル開口が複数形成されたノズルプレー
トとを備え、流路形成基板の他面を酸化シリコンにより
弾性変形可能なメンブレムとして構成したインクジェッ
ト式記録ヘッドが提案されている。
ドが抱える問題点を克服するため、例えば特許出願公表
平5-504740号公報には、格子面（１１０）のシリコン単
結晶基板を異方性エッチングして圧力発生室、インク供
給口、リザーバが形成された流路形成基板と、圧力発生
室に連通するノズル開口が複数形成されたノズルプレー
トとを備え、流路形成基板の他面を酸化シリコンにより
弾性変形可能なメンブレムとして構成したインクジェッ
ト式記録ヘッドが提案されている。
【０００５】これによれば、メンブレム部の圧力発生室
に対向する領域に造膜法により圧電体膜を形成して駆動
部を作り付けて、エッチングと膜形成により記録ヘッド
を構成することができるため、印刷密度の高い記録ヘッ
ドを高い歩留まりで製造することができる。
に対向する領域に造膜法により圧電体膜を形成して駆動
部を作り付けて、エッチングと膜形成により記録ヘッド
を構成することができるため、印刷密度の高い記録ヘッ
ドを高い歩留まりで製造することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、シリコ
ン単結晶基板を、一方の面からエッチングして他方の面
を残すようにしてメンブレム部を形成する関係上、圧電
振動子の変位によりメンブレム部が弾性変形できる厚さ
までエッチングが行われ、このため圧力発生室を区画す
る隔壁の剛性が相対的に低下してクロストークを生じる
という問題がある。
ン単結晶基板を、一方の面からエッチングして他方の面
を残すようにしてメンブレム部を形成する関係上、圧電
振動子の変位によりメンブレム部が弾性変形できる厚さ
までエッチングが行われ、このため圧力発生室を区画す
る隔壁の剛性が相対的に低下してクロストークを生じる
という問題がある。
【０００７】このような問題を解消するためには、シリ
コン単結晶基板の厚みを薄くして、圧力発生室を区画す
る隔壁の剛性を相対的に高めることも考えられるが、こ
んどは流路形成基板全体の剛性が低下してハンドリング
に困難を来す等の新たな問題を招くことになる。
コン単結晶基板の厚みを薄くして、圧力発生室を区画す
る隔壁の剛性を相対的に高めることも考えられるが、こ
んどは流路形成基板全体の剛性が低下してハンドリング
に困難を来す等の新たな問題を招くことになる。
【０００８】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは流路形成基板を
構成するシリコン単結晶基板全体の強度の低下を招くこ
と無く、圧力発生室を区画する隔壁の剛性を選択的に高
めることができるインクジェット式記録ヘッドを提供す
ることである。
ものであって、その目的とするところは流路形成基板を
構成するシリコン単結晶基板全体の強度の低下を招くこ
と無く、圧力発生室を区画する隔壁の剛性を選択的に高
めることができるインクジェット式記録ヘッドを提供す
ることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、複数のノズル開口が穿設さ
れたノズルプレートと、一方の面に、外部からインクの
供給を受けるリザーバ、該リザーバとインク供給口を介
して接続するとともに前記ノズル開口の各々に連通する
複数の圧力発生室とをシリコン単結晶基板の異方性エッ
チングにより形成し、圧電振動子を備えた弾性膜により
他方の面が封止された流路形成基板とを接合したインク
ジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレートの圧力発
生室に対向する領域に、前記圧力発生室に嵌入可能で、
かつ前記弾性膜との間に所定の空間を確保できる程度の
凸部を形成するようにした。
るために本発明においては、複数のノズル開口が穿設さ
れたノズルプレートと、一方の面に、外部からインクの
供給を受けるリザーバ、該リザーバとインク供給口を介
して接続するとともに前記ノズル開口の各々に連通する
複数の圧力発生室とをシリコン単結晶基板の異方性エッ
チングにより形成し、圧電振動子を備えた弾性膜により
他方の面が封止された流路形成基板とを接合したインク
ジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレートの圧力発
生室に対向する領域に、前記圧力発生室に嵌入可能で、
かつ前記弾性膜との間に所定の空間を確保できる程度の
凸部を形成するようにした。
【００１０】
【作用】凸部が各圧力発生室の隔壁を両側から挟むか
ら、隔壁が補強されて剛性が高くなる。
ら、隔壁が補強されて剛性が高くなる。
【００１１】
【発明の実施の態様】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例の基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示す組立斜視図であり、また図２は１つの圧力発
生室の長手方向における断面構造を示す図であって、図
中符号１は、流路形成基板で、一方の面が開口面とな
り、また他方の面が酸化シリコンからなるメンブレム部
２を形成するようにシリコン単結晶基板を異方性エッチ
ングして圧力発生室３、リザーバ４を形成、さらにこれ
ら圧力発生室３とリザーバ４とを一定の流体抵抗で連通
させる凹部からなるインク供給口５を形成して構成され
ている。
した実施例の基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示す組立斜視図であり、また図２は１つの圧力発
生室の長手方向における断面構造を示す図であって、図
中符号１は、流路形成基板で、一方の面が開口面とな
り、また他方の面が酸化シリコンからなるメンブレム部
２を形成するようにシリコン単結晶基板を異方性エッチ
ングして圧力発生室３、リザーバ４を形成、さらにこれ
ら圧力発生室３とリザーバ４とを一定の流体抵抗で連通
させる凹部からなるインク供給口５を形成して構成され
ている。
【００１２】メンブレム部２の各圧力発生室３に対向す
る領域には、各圧力発生室３毎に独立させて膜形成方法
で作り付けられた圧電振動子６が設けらている。
る領域には、各圧力発生室３毎に独立させて膜形成方法
で作り付けられた圧電振動子６が設けらている。
【００１３】７はノズルプレートで、圧力発生室３の一
端側で連通するようにノズル開口８を穿設するととも
に、圧力発生室３の隔壁１ａに可及的に密着するピッチ
で、かつメンブレム２との間に圧力発生室３としての容
積を確保できる程度の間隙ΔＧを形成する凸部９を形成
して構成されている。なお、図中符号１０は、圧電振動
子８に駆動信号を供給するフレキシブルケーブルを、ま
た１１はヘッドケースを示す。
端側で連通するようにノズル開口８を穿設するととも
に、圧力発生室３の隔壁１ａに可及的に密着するピッチ
で、かつメンブレム２との間に圧力発生室３としての容
積を確保できる程度の間隙ΔＧを形成する凸部９を形成
して構成されている。なお、図中符号１０は、圧電振動
子８に駆動信号を供給するフレキシブルケーブルを、ま
た１１はヘッドケースを示す。
【００１４】図３（イ）、（ロ）は、それぞれ上述のノ
ズルプレート７の一実施例を示すものであって、図３
（イ）に示すノズルプレート７は、不錆鋼やシリコン単
結晶基板により形成されたノズルプレート本体７の圧力
発生室側に、感光性フィルムを凸部９として機能できる
程度の厚みになるように積層して、圧力発生室３をエッ
チングするのと同様なパターンのマスクを使用してエッ
チングしたり、または熱可塑性樹脂を射出成形して凸部
９を作り付けたものである。
ズルプレート７の一実施例を示すものであって、図３
（イ）に示すノズルプレート７は、不錆鋼やシリコン単
結晶基板により形成されたノズルプレート本体７の圧力
発生室側に、感光性フィルムを凸部９として機能できる
程度の厚みになるように積層して、圧力発生室３をエッ
チングするのと同様なパターンのマスクを使用してエッ
チングしたり、または熱可塑性樹脂を射出成形して凸部
９を作り付けたものである。
【００１５】また図３（ロ）に示すノズルプレート７
は、ノズルプレートとして機能する板厚よりも凸部９の
分だけ厚めの不錆鋼やシリコン単結晶基板を用意し、ノ
ズル開口８をエッチングする工程に合わせて、凸部１４
が残るようにエッチングして構成したものである。
は、ノズルプレートとして機能する板厚よりも凸部９の
分だけ厚めの不錆鋼やシリコン単結晶基板を用意し、ノ
ズル開口８をエッチングする工程に合わせて、凸部１４
が残るようにエッチングして構成したものである。
【００１６】このように構成されたノズルプレート７
は、流路形成基板の１の開口面側にエポキシ樹脂等の有
機系接着剤を塗布したり、熱溶着性フィルムを介装し、
ノズルプレート７の各凸部９、１４を流路形成基板１の
対応する圧力発生室３のそれぞれに填め込んで圧着した
り、また静電吸着法により接合されている。
は、流路形成基板の１の開口面側にエポキシ樹脂等の有
機系接着剤を塗布したり、熱溶着性フィルムを介装し、
ノズルプレート７の各凸部９、１４を流路形成基板１の
対応する圧力発生室３のそれぞれに填め込んで圧着した
り、また静電吸着法により接合されている。
【００１７】この実施例において、外部駆動回路からフ
レキシブルケーブル１０を介して圧電振動子６に信号を
印加すると、圧電振動子６がたわんで圧力発生室３を収
縮させる。
レキシブルケーブル１０を介して圧電振動子６に信号を
印加すると、圧電振動子６がたわんで圧力発生室３を収
縮させる。
【００１８】圧力発生室３の収縮によりで加圧された圧
力発生室３のインクは、一部がノズル開口８からインク
滴として吐出する。インク滴の吐出が終了して圧電振動
子６が元の状態に戻ると、圧力発生室３が膨張してイン
ク供給口５を介してリザーバ４のインクが圧力発生室３
に流れ込む。
力発生室３のインクは、一部がノズル開口８からインク
滴として吐出する。インク滴の吐出が終了して圧電振動
子６が元の状態に戻ると、圧力発生室３が膨張してイン
ク供給口５を介してリザーバ４のインクが圧力発生室３
に流れ込む。
【００１９】このように圧電振動子６のたわみ変位は、
メンフレム部２のみならず圧力発生室３を区画している
隔壁１ａをたわませようとするが、ノズルプレート７に
固定されたり、またノズルプレート７と一体に形成され
た凸部９が各隔壁１ａのノズルプレート７側を両側から
挟んで補強しているから、隔壁１ａはその剛性が大きく
なり、圧電振動子６のたわみ変位による変形量を可及的
に小さく抑えられ、クロストークの発生が防止される。
メンフレム部２のみならず圧力発生室３を区画している
隔壁１ａをたわませようとするが、ノズルプレート７に
固定されたり、またノズルプレート７と一体に形成され
た凸部９が各隔壁１ａのノズルプレート７側を両側から
挟んで補強しているから、隔壁１ａはその剛性が大きく
なり、圧電振動子６のたわみ変位による変形量を可及的
に小さく抑えられ、クロストークの発生が防止される。
【００２０】また、凸部９の厚みを変更することにより
圧力発生室３の容積を、さらにはインク供給口５との距
離Ｌを変更することによってインク流路のイナータンス
をそれぞれ調整することができるから、流路形成基板１
のエッチングパターンや、エッチング工程を変更するこ
となく、仕様を比較的簡単に変更することができるノズ
ルプレートの仕様を変更するだけで、インクや圧電振動
子の特性に応じて記録ヘッドの特性を調整することが可
能となる。
圧力発生室３の容積を、さらにはインク供給口５との距
離Ｌを変更することによってインク流路のイナータンス
をそれぞれ調整することができるから、流路形成基板１
のエッチングパターンや、エッチング工程を変更するこ
となく、仕様を比較的簡単に変更することができるノズ
ルプレートの仕様を変更するだけで、インクや圧電振動
子の特性に応じて記録ヘッドの特性を調整することが可
能となる。
【００２１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、
一方の面に、外部からインクの供給を受けるリザーバ、
リザーバとインク供給口を介して接続するとともにノズ
ル開口の各々に連通する複数の圧力発生室とをシリコン
単結晶基板の異方性エッチングにより形成し、圧電振動
子を備えた弾性膜により他方の面が封止された流路形成
基板とを接合したインクジェットヘッドにおいて、ノズ
ルプレートの圧力発生室に対向する領域に、圧力発生室
に嵌入可能で、かつ弾性膜との間に所定の空間を確保で
きる程度の凸部を形成したので、凸部により各圧力発生
室の隔壁を両側から挟んで隔壁を補強することができ
て、隔壁の剛性が高くなり、クロストークを防止するこ
とができる。
は、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、
一方の面に、外部からインクの供給を受けるリザーバ、
リザーバとインク供給口を介して接続するとともにノズ
ル開口の各々に連通する複数の圧力発生室とをシリコン
単結晶基板の異方性エッチングにより形成し、圧電振動
子を備えた弾性膜により他方の面が封止された流路形成
基板とを接合したインクジェットヘッドにおいて、ノズ
ルプレートの圧力発生室に対向する領域に、圧力発生室
に嵌入可能で、かつ弾性膜との間に所定の空間を確保で
きる程度の凸部を形成したので、凸部により各圧力発生
室の隔壁を両側から挟んで隔壁を補強することができ
て、隔壁の剛性が高くなり、クロストークを防止するこ
とができる。
【００２２】また、凸部の厚みを変更することにより圧
力発生室の容積を任意に調整できるから、流路形成基板
を構成するシリコン単結晶基板として、ハンドリングが
容易な厚みのものを使用することができる。
力発生室の容積を任意に調整できるから、流路形成基板
を構成するシリコン単結晶基板として、ハンドリングが
容易な厚みのものを使用することができる。
【００２３】さらには、凸部の厚みを変更することによ
り圧力発生室の容積を、さらには凸部とインク供給口と
の距離を変更することによりインク流路のイナータンス
を簡単に調整することができるから、仕様を比較的簡単
に変更することができるノズルプレートの設計変更によ
りインクや圧電振動子の特性に応じて記録ヘッドの特性
を調整することができる。
り圧力発生室の容積を、さらには凸部とインク供給口と
の距離を変更することによりインク流路のイナータンス
を簡単に調整することができるから、仕様を比較的簡単
に変更することができるノズルプレートの設計変更によ
りインクや圧電振動子の特性に応じて記録ヘッドの特性
を調整することができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組立斜視図である。
例を示す組立斜視図である。
【図２】図（イ）、（ロ）、（ハ）は、ぞれぞれ同上記
録ヘッドの１つの圧力発生室の長手方向の断面構造、及
びＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線での断面構造を示す図である。
録ヘッドの１つの圧力発生室の長手方向の断面構造、及
びＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線での断面構造を示す図である。
【図３】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上記録ヘッド
のノズルプレートの一実施例を示す図である。
のノズルプレートの一実施例を示す図である。
１ 流路形成基板 ２ メンブレム部 ３ 圧力発生室 ４ リザーバ ５ インク供給口 ６ 圧電振動子 ７ ノズルプレート ８ ノズル開口 ９ 凸部
Claims (4)
- 【請求項１】 複数のノズル開口が穿設されたノズルプ
レートと、一方の面に、外部からインクの供給を受ける
リザーバ、該リザーバとインク供給口を介して接続する
とともに前記ノズル開口の各々に連通する複数の圧力発
生室とをシリコン単結晶基板の異方性エッチングにより
形成し、圧電振動子を備えた弾性膜により他方の面が封
止された流路形成基板とを接合したインクジェットヘッ
ドにおいて、 前記ノズルプレートの圧力発生室に対向する領域に、前
記圧力発生室に嵌入可能で、かつ前記弾性膜との間に所
定の空間を確保できる程度の凸部を形成してなるインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記凸部が、感光性ドライフィルムのエ
ッチングにより形成されている請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記凸部が、熱可塑性樹脂により形成さ
れている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項４】 前記凸部が、前記ノズル開口のエッチン
グに合わせて前記ノズルプレートと一体に形成されてい
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32234896A JPH10146967A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32234896A JPH10146967A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10146967A true JPH10146967A (ja) | 1998-06-02 |
Family
ID=18142646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32234896A Withdrawn JPH10146967A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10146967A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001072519A1 (fr) * | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre a buses multiples et procede de fabrication de celle-ci |
| JPWO2003084758A1 (ja) * | 2002-04-09 | 2005-08-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
-
1996
- 1996-11-18 JP JP32234896A patent/JPH10146967A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001072519A1 (fr) * | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre a buses multiples et procede de fabrication de celle-ci |
| US6877843B2 (en) | 2000-03-27 | 2005-04-12 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Multi-nozzle ink jet head and manufacturing method thereof |
| US7743477B2 (en) | 2000-03-27 | 2010-06-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method of manufacturing a multi-nozzle ink jet head |
| US7425058B2 (en) | 2000-03-27 | 2008-09-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Multi-nozzle ink jet head and manufacturing method thereof |
| US7517061B2 (en) | 2000-03-27 | 2009-04-14 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Multi-nozzle ink jet head and manufacturing method thereof |
| US7607764B2 (en) | 2000-03-27 | 2009-10-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Multi-nozzle ink jet head and manufacturing method thereof |
| US7708388B2 (en) | 2002-04-09 | 2010-05-04 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejection head |
| JPWO2003084758A1 (ja) * | 2002-04-09 | 2005-08-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
| JP4604490B2 (ja) * | 2002-04-09 | 2011-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| US7997693B2 (en) | 2002-04-09 | 2011-08-16 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejection head |
| US8182074B2 (en) | 2002-04-09 | 2012-05-22 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejection head |
| US8449085B2 (en) | 2002-04-09 | 2013-05-28 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejection head |
| US8740358B2 (en) | 2002-04-09 | 2014-06-03 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejection head |
| US8840228B2 (en) | 2002-04-09 | 2014-09-23 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejection head |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040203 |