JP3442363B2 - 有機発光デバイスのための自己組織化移送層 - Google Patents

有機発光デバイスのための自己組織化移送層

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は、有機発光デバイスのための改良
された製造方法、およびこれにより形成される構造に関
する。
【0002】ケンブリッジ・ディスプレイ・テクノロジ
ー社(Cambridge Display Technology Limited)に譲渡
された先の米国特許第5,247,190号、またはVa
n Slykeらによる米国特許第4,539,507号(参
考および例としてこれらの内容をここに援用する)に記
載されたような有機発光デバイス(organic light-emit
ting devices (OLEDs))は、大面積のフラットパネルデ
ィスプレイのような多様なディスプレイ用途で使用する
ための大きな可能性を有する。OLEDは、主として、
正の電荷担体(charge carriers)を注入する陽極と、
負の電荷担体を注入する陰極と、2つの電極の間に介装
された少なくとも1つの有機エレクトロルミネセント層
とよりなる。陽極に対して順バイアスを印加した状態
で、陽極から正孔が注入され、陰極から電子が注入され
る。これらの担体が有機エレクトロルミネセント層内で
再結合し、光が生ずる。
【0003】典型的には、必ずしも必然的なものではな
いが、陽極は、例えば、インジウムスズ酸化物(IT
O)により形成される薄膜であり、これは半透明の導電
性の酸化物であって、既に容易に市販のものが入手可能
であり、ガラスまたはプラスチックの基板上に成膜され
ている。有機層(1または複数)は、典型的には共役高
分子の薄い(100〜1000 nm)層であり、通常
は、例えば、蒸着、またはスピンコート、ブレードコー
ト、ディップコート、もしくはメニスカスコートのいず
れかによってITO被覆基板上に成膜される。典型的に
は低い仕事関数の金属電極である陰極層を有機層の上に
形成させる最終工程は、通常は適切な陰極金属の熱蒸着
またはスパッタリングによって行われる。Al、Ca、
またはMg:AgもしくはMg:Inの合金、またはA
l合金の層が、陰極材料としてしばしば使用される。
【0004】OLED技術の鍵となる利点の1つは、適
切なエレクトロルミネセント有機層、並びに正および負
の電荷担体の注入のための良好な効率を有する電極を使
用することを条件として、低いデバイス電圧でデバイス
を動作させることができるというものである。
【0005】高分子LEDの性能についての鍵となる性
能パラメータは、量子効率(quantum efficiency、回路
内を流れる電荷担体当たりの放射されたフォトンの
数)、および与えられた光出力を達成するために要求さ
れる駆動電圧である。他の重要なパラメータとして、電
力効率(power efficiency、電力入力に対する光パワー
出力の比率)がある。高い電力効率を得るためには、高
い量子効率と低い駆動電圧の両者が必要である。高分子
LEDsにおけるさらに重要なパラメータは、達成可能
な最大の明るさ、製造が容易で再現性があること、およ
び動作寿命である。
【0006】OLEDsにおける良好な性能を達成する
ためには、個々の層、陽極、陰極、および有機層(1ま
たは複数)、並びに層の間の界面を最適化することが極
めて重要である。
【0007】陰極または陽極のいずれか1つと有機層、
いわゆる界面層(interfacial layer)との間に薄く、
極めて良好に特定された高分子層を設けることにより、
デバイスの性能を改良することができる。しかしなが
ら、改良された性能を達成するためには、この種の層
が、極めて良好に制御された条件下で製造されることが
必須である。デバイスの性能を最適化するためには、ナ
ノメータの状態で厚さを制御することが重要である。
【0008】良好に特定された高分子層を構築するため
に、自己組織化(self-assembly)として知られている
技術を使用することができる。高分子自己組織化の技術
は、溶液から高分子層を順次吸着させることによって高
分子膜を構築することからなる。この技術は、順次の層
の間の誘引性の相互作用に基づくものであり、形成され
るそれぞれの層が、先に形成された層と非類似であるこ
とが必要である。典型的には、高分子層の繰り返し配列
を使用することができ、例えば、ABAB…、またはA
BCDABCD…とし、この場合、A、B、C、および
Dはそれぞれの非類似の層を示す。
【0009】自己組織化プロセスを使用して製造された
高分子発光デバイスは、A. C. Fou、O. Onitsuka、M. F
erreiraおよびM. F. Rubner、「自己組織化ポリ(フェ
ニレンビニレン)多重層ヘテロ構造における層間相互作
用:発光および光整流ダイオードとの関係」、Mat. Re
s. Soc. Symp. Proc., Vol. 369, pp. 575-580, 1995、
およびA. C. Fou、O. Onitsuka、M. Ferreira、M. F. R
ubnerおよぴB. R. Hsieh、「ポリ(フェニレンビニレ
ン)の自己組織化多重層に基づく発光ダイオードの製造
および性質」、J. Appl. Phys., Vol. 79, pp. 7501-75
09, 1996に記載されている。
【0010】これらの参考文献においては、G. Deche
r、J. D. HongおよびJ. Schmitt、「自己組織化プロセ
スによる超薄型多重層膜の構築3、帯電した表面上での
陰イオン性および陽イオン性高分子電解質の連続的交互
吸着」、Thin Solid Films(薄い固体膜),Vol. 210, p
p. 831-835, 1992に記載された高分子陽イオンおよび高
分子陰イオンを使用する技術が利用されている。このよ
うな構造においては、PPV前駆体またはその誘導体
が、高分子陽イオンとして使用され、ポリスチレンスル
ホン酸またはスルホン化されたポリアニリンのような種
々の高分子陰イオンが用いられている。ポリ(p-ピリジ
ルビニレン)およびその誘導体も、自己組織化LEDs
を作製するために使用されている。
【0011】動作可能なLEDを得るための、十分な厚
さを有する膜を自己組織化によって製造するプロセス
は、多数の浸漬およびリンス工程を伴うことから、極め
て時間のかかるものである。前記した研究においては、
デバイス全体を自己組織化によって完成させていること
から、多くの浸漬工程の問題が残されたままである。こ
の方法は、商業的に実行できる見込みはない。
【0012】したがって、本発明の目的は、標準的な商
業的製造プロセスを過度に阻害することなく、十分に特
定された薄い高分子界面層をOLEDの電極とエレクト
ロルミネセント材料との間に設けることのできる構造お
よび製造プロセスを提供することにある。
【0013】よって、本発明の第1の観点によれば、有
機発光デバイスを製造する方法であって、基板上にデバ
イスのための第1の電極を形成し、第1の電極上に少な
くとも1つの高分子層を自己組織化によって形成し、こ
の少なくとも1つの高分子層の上に少なくとも1つの有
機発光材料の層を自己組織化以外によって形成し、この
少なくとも1つの有機発光材料の層の上にデバイスのた
めの第2の電極を形成する工程からなることを特徴とす
る有機発光デバイスの製造方法が提供される。
【0014】また、本発明の第1の観点によれば、有機
発光デバイスを製造する方法であって、基板上にデバイ
スのための第1の電極を形成し、第1の電極上に少なく
とも1つの有機発光材料の層を自己組織化以外によって
形成し、この少なくとも1つの有機発光材料の層の上に
少なくとも高分子層を自己組織化によって形成し、この
少なくとも1つの高分子層の上にデバイスのための第2
の電極を形成する工程からなることを特徴とする有機発
光デバイスの製造方法が提供される。
【0015】よって、本発明の第1の観点においては、
自己組織化を使用して、電極/発光層界面において、少
なくとも1つの付加的な高分子の層を形成する。その
後、スピンコートのような標準的な技術を使用してデバ
イスの残りの部分を完成させる。本発明のこの第1の観
点は、高分子界面における十分に制御された層の増強を
伴う迅速な処理の利点を有する。
【0016】よって、本発明の第1の観点によれば、全
て自己組織化によって製造される従来技術のデバイスと
比較して、処理時間およびコストの低減が得られる。
【0017】界面層のないデバイスと比較すると、量子
効率、駆動電圧、電力効率、および/または最大輝度に
おける有意義な改良が得られるのみならず、デバイス寿
命の改良が達成される。
【0018】量子効率は、所定範囲の界面層の厚さに渡
って有意義に増強されるのに対し、駆動電圧は、層が厚
くなるのに応じて増加し始める。したがって、最適な電
力効率は、中間的な厚さにおいて得られる。この厚さ
は、スピンコートによる界面層により典型的に達成する
ことのできるものより小さい。自己組織化によって、こ
の厚さの状態で、薄く連続的で十分に特定された膜が提
供される。これは、この厚さの状態におけるピンホール
のない膜を製造するための理想的な技術である。
【0019】少なくとも1つの自己組織化高分子層は、
好ましくは1以上の協働サブ層(co-operating sub-lay
er)の対合からなり、少なくとも1つの有機発光層は、
全体に渡って同一の組成を有する連続層からなる。
【0020】少なくとも1つの自己組織化高分子層は、
絶縁性高分子、半導体性高分子、または導電性高分子の
いずれかとすることができる。OLEDsにおける絶縁
性、半導体性、または導電性高分子の自己組織化による
形成によって、デバイス性能の更なる最適化が可能とな
る。
【0021】協働サブ層の対合は、引き付け力(attrac
tive forces)によって相互作用し、それぞれの層は互
いに非類似である。好ましくは、対合のサブ層の一方は
正に帯電するものとし、対合のサブ層の他方は負に帯電
するものとする。
【0022】好ましくは、対合の正に帯電したサブ層
は、高分子陽イオン電解質溶液に基板を浸すことによっ
て形成し、対合の負に帯電したサブ層は、高分子陰イオ
ン溶液に基板を浸すことによって形成する。
【0023】高分子が絶縁性の高分子である場合は、高
分子陰イオン電解質溶液は、好ましくは図2(a)の構
造からなるものとし、高分子陽イオン溶液は、好ましく
は図2(b)の構造からなるものとする。
【0024】高分子が半導体性の高分子である場合は、
高分子陰イオン電解質溶液は、好ましくは図2(c)の
構造からなるものとし、高分子陽イオン溶液は、好まし
くは図2(d)の構造からなるものとする。
【0025】高分子が導電性の高分子である場合は、高
分子陰イオン電解質溶液は、好ましくは図2(e)の構
造の非プロトン化した形態からなるものとし、高分子陽
イオン溶液は、好ましくは図2(f)の構造からなるも
のとする。
【0026】協働するサブ層は、代替的な例において
は、受容体/供与体相互作用によって相互作用を行うこ
とができる。好ましくは、この種の受容体/供与体相互
作用は、水素結合によって与えられる。
【0027】水素結合の技術は、例えば、W. B. Stockt
onとM. F. Rubiner、「共役高分子の分子レベル加工
4、水素結合相互作用を介するポリアニリンの層−層加
工」、Macromolecules, 1997, 30, 2717-2725に一般的
に論じられている。
【0028】好ましくは、サブ層の協働する対合のそれ
ぞれのサブ層は、0.3〜2nmの厚さとし、好ましく
は1nmの厚さとする。
【0029】少なくとも1つの高分子層は、好ましくは
複数の対合、例えば2、4、または10の対合のサブ層
からなる。
【0030】少なくとも1つの高分子層は、代替的に、
3以上の協働するサブ層からなるものとすることがで
き、それぞれのサブ層は互いに非類似とすることができ
る。少なくとも1つの高分子層は、3以上のサブ層の複
数からなるものとすることができる。
【0031】好ましくは、少なくとも1つの高分子層
は、約0.3〜20nmの厚さとすることができる。
【0032】有機材料は、共役高分子、または低分子量
化合物とすることができる。少なくとも1つの有機材料
の層は、少なくとも1つの共役高分子の層と、少なくと
も1つの低分子量化合物の層とを含む複合構造からなる
ものとすることができる。
【0033】少なくとも1つの有機材料の層が高分子で
ある場合は、これは好ましくは半導体性の共役高分子と
する。半導体性の共役高分子は、好ましくはPPVまた
はその誘導体とする。
【0034】少なくとも1つの有機発光材料の層は、ス
ピンコート、ブレードコート、メニスカスコート、また
はディップコートのいずれかによって形成することがで
きる。
【0035】少なくとも1つの有機材料の層は、好まし
くは約30nm〜1000nmの範囲、好ましくは約9
0nmの厚さを有する。
【0036】この方法は、少なくとも1つの高分子層を
形成する工程の前に、基板の表面から物理吸着した(ph
ysisorbed)水を除去する工程をさらに含み得る。表面
から物理吸着した水を除去する工程は、好ましくは表面
を加熱することからなる。
【0037】この方法は、少なくとも1つの高分子層を
形成する工程の前に、カップリング層を形成する工程を
さらに含み得る。カップリング層を形成する工程は、好
ましくは第1の電極をシリル化することからなる。物理
吸着した水を除去する工程を行う場合は、カップリング
層を形成する工程をその後に行う。
【0038】基板は、pH依存性の表面電荷を有するこ
とができ、またこの方法は、表面電荷をpH非依存性と
することによって、自己組織化の前に基板の表面を調製
することをさらに含む。
【0039】この方法は、自己組織化の前に基板の表面
を調製することをさらに含むことができ、この場合は表
面はアミノ基からなり、この方法にはアミノ基を4級化
する工程が含まれる。4級化した表面は正に帯電する。
【0040】この方法は、自己組織化の前に、基板の表
面を調製することをさらに含むことができ、この場合は
表面はチオール基からなり、この方法にはチオール基を
酸化する工程が含まれる。酸化された表面は負に帯電す
る。
【0041】第1の電極を形成する前においては、出発
基板は、ガラスまたはプラスチック材料の内の1つから
なるものとすることができる。基板は、ポリエステル、
ポリカーボネート、ポリイミド、またはポリエーテルイ
ミドからなるものとすることができる。
【0042】この方法は、第2の電極上に導電性の材料
の層を形成する工程をさらに含み得る。導電性の材料
は、好ましくはアルミニウムまたはその合金からなるも
のとする。導電性の材料は、スパッタリングによる形成
によって、好ましくはDCマグネトロンもしくはRFス
パッタリングによって形成させるか、または好ましくは
抵抗もしくは電子ビーム熱蒸着によって蒸着させること
ができる。
【0043】第1の電極を陰極とし、第2の電極を陽極
とすることができ、または第1の電極を陽極とし、第2
の電極を陰極とすることができる。
【0044】陰極は、発光性で導電性の酸化物、好まし
くはインジウムスズ酸化物、酸化スズ、または酸化亜鉛
からなるものとすることができる。陰極は、スパッタリ
ングにより形成または蒸着させることができる。
【0045】陽極は、発光性で導電性の酸化物、好まし
くはインジウムスズ酸化物、酸化スズ、または酸化亜鉛
からなるものとすることができる。陽極は、スパッタリ
ングにより形成または蒸着させることができる。
【0046】また、本発明の第1の観点によれば、有機
発光デバイスであって、第1の電極と第2の電極との間
の少なくとも1つの有機発光材料の層であって、自己組
織化以外によって形成された少なくとも1つの有機発光
材料と、第1および第2の電極の内の1つと少なくとも
1つの有機発光材料との間の少なくとも1つの高分子層
であって、自己組織化によって形成された少なくとも1
つの高分子層とからなることを特徴とする有機発光デバ
イスが提供される。
【0047】好ましくは、少なくとも1つの高分子層
は、少なくとも1つの対合の協働するサブ層からなり、
少なくとも1つの有機材料の層は、全体に渡って一貫し
た組成を有する連続層である。
【0048】少なくとも1つの高分子層は、好ましくは
複数の協働する層の対合からなる。
【0049】本発明の好適な態様では、高分子電解質
(polyelectrolyte)の自己組織化の技術を使用して、
LEDsにおける好ましくはITO−電極と発光性高分
子との間に、絶縁性、半導体性、または導電性の高分子
の薄い、十分に特定された層を形成させる。この技術で
は、高分子陽イオンおよび高分子陰イオン溶液中に基板
を交互に浸漬し、静電的誘引によって交互の層を形成さ
せる。自己組織化技術によって薄い界面層のみを形成さ
せ、デバイスの残りの部分は、好ましくはスピンコート
によって形成させる。これにより、自己組織化によって
全体が作製される従来技術のデバイスと比較して、処理
時間が有意義に低減される。
【0050】それぞれの自己組織化層は、薄く隣接する
ものであることから、界面層の厚さをナノメータの状態
で制御しつつ、本発明のこの観点によって良好に特定さ
れた構造を構築することができる。また、本発明によれ
ば、高分子LEDsの量子効率および電力効率を最適化
するために、これらの界面層のための最適な材料および
厚さが提供される。本発明を使用することによって、有
意義に増強された電力効率および有意義に増強された最
大の明るさが達成される。
【0051】自己組織化プロセスには、好ましくは十分
に特定された表面電荷を有する出発表面が必要である。
これは、典型的にはシリル化剤を用いた表面処理によっ
て、自己組織化の前に表面上にカップリング層を形成す
ることによって典型的に達成される。
【0052】本発明の第2の目的は、有機LEDまたは
その一部を製造するに際し、自己組織化プロセスのため
の改良された出発表面を提供することにある。
【0053】本発明の第2の観点によれば、有機発光デ
バイスを製造する方法であって、基板上にデバイスのた
めの第1の電極を形成し、第1の電極の表面から物理吸
着した水を除去し、カップリング層を形成し、第1の電
極上に少なくとも1つの高分子層を自己組織化によって
形成し、この少なくとも1つの高分子層上に少なくとも
1つの有機発光材料の層を形成し、この少なくとも1つ
の発光材料の層上にデバイスのための第2の電極を形成
する工程からなることを特徴とする有機発光デバイスの
製造方法が提供される。
【0054】このカップリング層を形成する工程は、好
ましくは基板をシリル化することを含む。
【0055】また、本発明の第2の観点によれば、有機
発光デバイスを製造する方法であって、基板上にデバイ
スのための第1の電極を形成し、第1の電極上に少なく
とも1つの有機発光材料の層を形成し、この少なくとも
1つの有機発光材料の表面から物理吸着した水を除去
し、カップリング層を形成し、この少なくとも1つの発
光材料の層上に少なくとも1つの高分子層を自己組織化
によって形成し、この少なくとも1つの高分子層上にデ
バイスのための第2の電極を形成する工程からなること
を特徴とする有機発光デバイスの製造方法が提供され
る。
【0056】表面シリル化およびLEDの製造の前に、
ITO基板を真空中で加熱することによって表面から物
理吸着した水除去することは、自己組織化の前に十分に
特定された表面を製造することに帰着し、さらに結果的
には界面層の品質の改良された制御に帰着する。この発
明のこの第2の観点によっても、界面層の近傍から水を
除去することによって、デバイス劣化の低減がもたらさ
れる。物理吸着した水を除去しなければ、カップリング
層は形成に際してゲルを形成し、表面上を浮遊すること
となる。よって、この発明のこの第2の観点により、電
極に対するカップリング層の結合の改良がもたらされ
る。
【0057】本発明の第3の目的は、自己組織化プロセ
スの実施が多様性を有するよう、自己組織化プロセスの
ための改良された出発表面を提供することにある。
【0058】本発明の第3の観点によれば、自己組織化
の前にpH依存性の表面電荷を有する表面を調製する方
法であって、表面電荷をpH非依存性とする工程からな
ることを特徴とする、pH依存性の表面電荷を有する表
面の調製方法が提供される。この表面は、好ましくは発
光デバイスの基板とする。発光デバイスは、好ましくは
有機発光デバイスとする。
【0059】また、本発明の第3の観点によれば、自己
組織化の前にアミノ基からなる表面を調製する方法であ
って、アミノ基を4級化する工程からなることを特徴と
する、アミノ基からなる表面の調整方法が提供される。
この表面は、好ましくは発光デバイスの基板とする。発
光デバイスは、好ましくは有機発光デバイスとする。4
級化された表面は正に帯電する。
【0060】さらに、本発明の第3の観点によれば、自
己組織化の前にチオール基からなる表面を調製する方法
であって、チオール基を酸化する工程からなることを特
徴とする、チオール基からなる表面の調製方法が提供さ
れる。この表面は、好ましくは発光デバイスの基板とす
る。発光デバイスは、好ましくは有機発光デバイスとす
る。酸化された表面は負に帯電する。酸化の後、好まし
くはアルカリを用いて表面を脱プロトン化する。
【0061】多くの高分子イオンは、所定のpH値のみ
において安定であるため、4級化および酸化工程によ
り、カップリング剤を変更することなく従来可能であっ
た場合と比較すると、より広い範囲の高分子イオンをL
ED構造においてそれぞれ形成させることが可能とな
る。これにより、所定の範囲の高分子陽イオンおよび高
分子陰イオンに対して(これらは、溶液中でイオンとし
て安定であるためには異なるpH値を要求する)、同じ
カップリング剤を使用して自己組織化を行うことが可能
となる。
【0062】4級化および酸化技術は、例えば、J. Mar
ch、「最新有機化学:反応、機構および構造(Advanced
Organic Chemistry: Reactions, Mechanisms and Stru
cture)」、第3版、John Wiley & Sons, New York, 19
85, Chapters 10および19に記載されている。
【0063】本発明の第3の観点による4級化または酸
化プロセスのいずれかによる結果、結果的に得られるカ
ップリング剤は、デバイスにおける問題となり得るプロ
セスである酸化に対する感受性が、有利に大幅に低減さ
れる。
【0064】添付図面を参照して、本発明をここに説明
する。
【0065】第1の実施例では、市販の1×1cm2
ITO(インジウムスズ酸化物)−ガラス基板(Balzer
s)上でデバイスを製造する。図1を参照すると、この
種の例示的な基板が示されており、この場合、ITO層
4は、ガラス基板2の上に形成されている。この第1の
実施例における全ての化学的処理工程に際し、基板は、
PTFE基板ホルダ上に垂直な配置で保持される。別に
示さない限り、この実施例で使用する溶剤は、HPLC
等級またはそれ以上のものとする。使用する試薬は、A
R等級またはそれ以上のものとする。
【0066】第1の工程では、ITO層をパターン化し
て浄化する。ITO表面は、市販のフォトレジストを用
いて選択的に被覆した後、オーブン内で45℃で10分
間焼成する。露呈した領域は、200mlの5wt%H
Cl中で60〜65℃にて45分間エッチング除去す
る。その後、フォトレジストを2×100mlのアセト
ン中で剥離除去する。
【0067】その後、パターン化したITO基板は、R
CA処方(10:2:0.6のH2O−H22−NH3
200ml)を使用して浄化し、55〜60℃で穏やか
に75分間攪拌する。
【0068】第2の工程では、層6として図1に示すカ
ップリング層を、層−層(layer-by-layer)自己組織化
のための調製の際に形成する。好ましくは、また有利に
は、真空オーブン内で動的真空中(dynamic vacuum)で
165〜170℃で2〜3時間基板を加熱し、表面シリ
ル化の前に物理吸着したH2Oを除去する。
【0069】その後、空気中において短時間で100℃
に基板を冷却した後、5vol%の3−アミノプロピル
トリメトキシシランを含有する200mLのトルエン浴
に浸す。湿分を排除するよう注意しながら、反応浴を9
5〜97℃に2時間加温した。これにより、短いC3
ルキル鎖の末端に連結されたアミノ(−NH2)基によ
り官能化されたITO表面が得られる。
【0070】シリル化したITO膜(カップリング層)
は、2×100mlのトルエンおよび1×MeOH中で
この順に洗浄し、N2の噴流下で乾燥させる。この時点
でのITO基板の鏡面反射の目視による検査により、光
学的に清浄で均一な表面が示され、ピンホールのないI
TO膜には散乱粒子は殆ど認められない。
【0071】その後、有利かつ好ましくは、pH非感受
性のトリメチルアンモニウム(−NMe3 +)部分へとア
ミノ基を4級化するが、これを達成するために、5vo
l%のCH3Iおよび0.6vol%のEt3Nを含有す
る200mLのN,N−ジメチルホルムアミド中に3時
間基板を浸す。反応浴は、暗所で室温(24℃)に保持
する。
【0072】4級化した基板は、2×100mlのMe
OH、1×100mlの0.45μmフィルタ処理した
2O、およびその後に1×100mlの0.45μm
フィルタ処理したIPA中でこの順に洗浄し、N2の噴
流中でブロー乾燥する。この時点における目視による検
査により、表面は光学的に清浄で均一に維持されている
ことが示される。
【0073】第3の工程では、層8として図1に示され
る界面層を、層−層自己組織化を使用して構成する。
【0074】自己組織化製造工程は、どのような種類の
自己組織化技術によっても実施することができる。1つ
の代替的な態様では、協働するサブ層の対合が相互作用
するための引き付け力は、受容体/供与体相互作用によ
って、特に水素結合によって与えるものとする。
【0075】ここに記載する実施例に関連して使用する
好適な技術においては、協働するサブ層の対合が相互作
用するための引き付け力は、各対合のサブ層のそれぞれ
について反対に帯電した層を使用して与えるものとす
る。
【0076】第1の実施例では、層−層自己組織化の第
3の工程は、室温において層流キャビネット内で、誘導
化したITO基板上で行う。
【0077】それぞれの集成サイクルは、協働サブ層の
対合である二重層を集成するものであり、次の工程より
なる。
【0078】(i) 高分子陰イオン電解質浴(静的)中
での14分の浸漬、(ii) 新鮮なH2O(ミリポア)浴
(穏やかに攪拌)中での10秒のリンス、(iii) 高
分子陽イオン浴(静的)中での14分の浸漬、(iv)
新鮮なH2O(ミリポア)浴(穏やかに攪拌)中での1
0秒のリンス。
【0079】集成した膜は、好ましくは順次の工程の間
で乾燥させないようにする。慎重な取り扱いおよびリン
スによって、溶液の持ち込みおよび相互混入を最小とし
た。
【0080】高分子陰イオン電解質浴は、界面層が絶縁
性の高分子であるこの実施例では、20mlのH2
(ミリポア)、21mgのポリ(スチレンスルホン酸N
a塩)(アルドリッチ、MW70k)、30mgのNa
Cl、およびpHを約3に調整するためのHCl水溶液
を含有する。高分子陽イオン浴は、界面層が絶縁性の高
分子であるこの実施例では、20mlのH2O(ミリポ
ア)、8mgのポリ(アリルアミン塩酸塩)(アルドリ
ッチ、MW50−65k)、30mgのNaCl、およ
びpHを約3に調整するためのHCl水溶液を含有す
る。自己組織化工程(i)〜(iv)の後に、二重層
は、図2(a)の構造の1つのサブ層と、図2(b)の
構造の1つのサブ層とを有する。
【0081】この第1の実施例の第1の例示において
は、工程(i)〜(iv)は2回行い、2つの二重層、
または2つの対合のサブ層を有する構造を集成した。
【0082】その後、2×40mlのH2O(ミリポ
ア)中で2分間基板をリンスする。その後、動的真空下
で5時間基板を乾燥させる。
【0083】第3の工程の4級化工程は、正に帯電した
表面を得ることができるので有利であり、これにより、
その後の自己組織化の際に、塩基性溶液または酸性溶液
中に表面を浸漬することができる。4級化により、この
種の記載したデバイスの表面電荷がpH非依存性となる
ので、塩基性または酸性溶液の使用が可能となるからで
ある。
【0084】代替的な形態では、チオール基を用いてI
TO表面を官能化するが、この種の表面をpH非依存性
とするためには異なる工程が必要である。この代替的な
形態では、第2の工程において、層6として図1に示す
カップリング層を、層−層自己組織化のための調製の際
に再度形成する。真空オーブン中で2〜3時間165〜
170℃に動的真空下で基板を再度加熱し、表面シリル
化の前に、物理吸着したH2Oを除去する。
【0085】その後、空気中で短時間100℃に基板を
再度冷却した後、5vol%の3−メルカプトプロピル
トリメトキシシランを含有する200mLのトルエン浴
に浸す。湿分を排除するよう注意しながら、反応浴を9
5〜97℃に2時間加温した。これにより、短いC3
ルキル鎖の末端に連結されたチオール(−SH)基によ
り官能化されたITO表面が与えられる。
【0086】シリル化したITO膜(カップリング層)
は、2×100mlのトルエンおよび1×MeOH中で
この順に洗浄し、N2の噴流下で乾燥させる。この時点
でのITO基板の鏡面反射の目視による検査により、光
学的に清浄で均一な表面が示され、ピンホールのないI
TO膜には散乱粒子は殆ど認められない。
【0087】その後、この代替的な第2の工程では、有
利かつ好ましくは、pH非感受性のスルホネート(−S
3)部分へとチオール基を酸化するが、これを達成す
るために、10mlのHCOOHおよび30mlのH2
2を含有する200mLのH2O中に室温(24℃)で
30分間基板を浸す。
【0088】酸化したITO膜(カップリング層)は、
2×100mlのH2O、1×100mlの薄いNaO
H(0.02M)、2×100mLの0.45μmフィ
ルタ処理したH2O、およびその後に1×100mlの
0.45μmフィルタ処理したイソプロピルアルコール
(IPA)中でこの順に洗浄し、N2の噴流中でブロー
乾燥する。この時点における目視による検査により、表
面は光学的に清浄で均一に維持されていることが示され
る。
【0089】この代替的な形態では、層8によって図1
に示される界面層を、界面層の層−層自己組織化を使用
して再度構成するものであるが、第3の工程が変更され
ている。集成は、室温において層流キャビネット内で、
誘導化したITO基板上で行う。
【0090】それぞれの集成サイクルは、協働するサブ
層の対合である二重層を集成するものであり、この代替
的な形態では次の工程よりなる。
【0091】(i) 高分子陽イオン浴(静的)中での1
4分の浸漬、(ii) 新鮮なH2O(ミリポア)浴(穏や
かに攪拌)中での10秒のリンス、(iii) 高分子陰
イオン電解質浴(静的)中での14分の浸漬、(iv)
新鮮なH2O(ミリポア)浴(穏やかに攪拌)中での1
0秒のリンス。
【0092】集成した膜は、好ましくは順次の工程の間
で乾燥させないようにする。慎重な取り扱いおよびリン
スによって、溶液の持ち込みおよび相互混入を最小とし
た。
【0093】高分子陰イオン電解質浴は、界面層が再度
絶縁性の高分子であるこの代替的な実施例では、20m
lのH2O(ミリポア)、21mgのポリ(スチレンス
ルホン酸Na塩)(アルドリッチ、MW70k)、30
mgのNaCl、およびpHを約3に調整するためのH
Cl水溶液を再度含有する。高分子陽イオン浴は、界面
層が再度絶縁性の高分子であるこの代替的な実施例で
は、20mlのH2O(ミリポア)、8mgのポリ(ア
リルアミン塩酸塩)(アルドリッチ、MW50−65
k)、30mgのNaCl、およびpHを約3に調整す
るためのHCl水溶液を再度含有する。自己組織化工程
(i)〜(iv)の後に、二重層は、図2(a)の構造
の1つのサブ層と、図2(b)の構造の1つのサブ層と
を再度有する。
【0094】第4の工程では、層10として図1に示す
発光性のMEH−PPV層をデバイス上にスピンコート
する。90−nmのポリ(2−メトキシ,5−(2’−
エチル)−ヒドロキシ−p−フェニレンビニレン)[M
EH−PPV]を、MEH−PPVの0.5重量%CH
Cl3溶液を2000rpmで1分間スピンコートする
ことにより、基板−高分子集成体上に形成させる。
【0095】第5の工程では、このように構成されたデ
バイスを熱処理する。半完成のデバイスを、動的真空
(P<10-4mbar)下に100℃で1時間焼成して
遊離のH2Oを除去する。その後、依然として真空中で
2時間かけて基板を徐々に50℃に冷却する。
【0096】第6の工程は、金属電極の形成工程であ
る。真空状態を継続して、200−nm厚のCa層を、
6×10-6mbarのベース圧力でマスクを介してME
H−PPVへと熱蒸着させ、4.4mm2のデバイスを
得る。その後、100−nm厚のAl層を最終蒸着して
Ca電極を保護する。
【0097】以上により、本発明によるOLEDの第1
の実施例が完了する。対照として、本発明の概念を実施
するここに記載する実施例によって達成される有利な性
能の特徴と比較するために、MEH−PPVをRCA浄
化したITO上に同様にして直接スピン処理する。RC
A浄化したITOから調製されるデバイスは、以下に記
載する「従来のデバイス」のように設計する。
【0098】絶縁性の高分子界面層を有する第1の実施
例によるデバイスについては、従来のデバイスについて
の7Vで0.16cd/Aと比較すると、7Vで0.9
2cd/Aの最大効率が得られ、5.8の率の改良が示
されている。絶縁性の高分子界面層を有する第1の実施
例によるデバイスは、従来のデバイスについての930
mA/cm2と比較すると、170mA/cm2の電流密
度を有し、5の率の減少が示されている。絶縁性の高分
子界面層を有する第1の実施例によるデバイスは、従来
のデバイスについての7Vで0.079lm/Wと比較
すると、6Vで0.45lm/Wの最大電力効率を有
し、5.8の率の増加が示されている。絶縁性の高分子
界面層を有する第1の実施例によるデバイスは、従来の
デバイスについての7Vで1300cd/m2と比較す
ると、8Vで2100cd/m2の最大輝度を有し、
1.6の率の増加が示されている。
【0099】本発明によって集成したOLEDの有利な
性能を示すために、ここで図3、4、および5を参照す
る。図3、4、および5は、従来のデバイスを用いて達
成された結果に対して、本発明によって集成したデバイ
スによって達成された実験結果を示している。図3、
4、および5は、デバイスの効率、電力効率、および輝
度をそれぞれ示す。
【0100】第3の工程で形成させる二重層の数を変化
させる以外は、第1の実施例に記載したようにして多数
のデバイスを製造する。1、2、4、および10の二重
層またはサブ層の対合を有するデバイスを、工程(i)
〜(iv)を1回、2回、4回、および10回それぞれ
行うことによって集成した。図2〜4において、ポイン
トIP−1、IP−2、IP−4、およびIP−10
は、それぞれ1、2、4、および10の二重層を用いて
第1の実施例により集成したデバイスについての結果を
示す。これらの結果は、電力効率が、図2(a)および
(b)に示される絶縁性高分子の2つの二重層により最
適化されることを示している。
【0101】第2の実施例では、第3の工程において、
高分子陰イオン浴が、20mlのH2O(ミリポア)、
22mgのポリ(スチレンスルホン酸Na塩)(アルド
リッチ、MW70k)、30mgのNaCl、およびp
Hを約3に調整するためのHCl水溶液を含有し、高分
子陽イオン浴が、20mlのH2O(ミリポア)、0.
76gの、ポリ(フェニレンビニレン)への塩化テトラ
ヒドロチオフェニウム前駆体の3.0wt%MeOH溶
液、30mgのNaCl、およびpHを約3に調整する
ためのHCl水溶液を含有する以外は、前記第1の実施
例に記載したようにしてデバイスを製造する。自己組織
化工程(i)〜(iv)の後に、二重層は、図2(c)
の構造の1つのサブ層と、図2(d)の構造の1つのサ
ブ層とを再度有する。第5の熱処理工程は、半導体性の
高分子を与えるよう、PPV−前駆体高分子において短
い共役長さを与えることが認められる。
【0102】半導体性の高分子界面層を有する第2の実
施例によるデバイスについては、6.5Vで0.73c
d/Aの最大効率が得られ、従来のデバイスと比較する
と、4.6の率の改良が示される。半導体性の高分子界
面層を有する第2の実施例によるデバイスは、従来のデ
バイスと類似する、970mA/cm2の電流密度を有
する。半導体性の高分子界面層を有する第2の実施例に
よるデバイスは、6Vで0.364lm/Wの最大電力
効率を有し、従来のデバイスと比較すると、4.6の率
の増加が示されている。半導体性の高分子界面層を有す
る第2の実施例によるデバイスは、従来のデバイスと比
較すると、7.5Vで7900cd/m2の最大輝度を
有し、6.0の率の増加が示されている。
【0103】第2の実施例において、第3の工程で形成
させる二重層の数を変化させる以外は、前記第1の実施
例に記載したようにして多数のデバイスを製造する。
1、2、4、および10の二重層を有するデバイスを再
度形成した。これらのデバイスについての効率、電力効
率、および最大輝度の値をそれぞれ図3、4、および5
に示す。図3〜5において、ポイントSP−1、SP−
2、SP−4、およびSP−10は、それぞれ1、2、
4、および10の二重層について第2の実施例により集
成したデバイスについての結果を示す。これらの結果
は、効率、電力効率、および最大輝度が、図2(c)お
よび(d)の半導体性の高分子の2つの二重層または2
つの対合のサブ層により全て最適化されることを示して
いる。
【0104】第3の実施例では、第3の工程において、
高分子陰イオン浴が、20mlのH2O(ミリポア)、
16mgのスルホン化したポリアニリン、30mgのN
aCl、およびpHを約11に調整するための濃NH3
を含有し、高分子陽イオン浴が、20mlのH2O(ミ
リポア)、17mgの臭化ヘキサジメトリン(アルドリ
ッチ)、30mgのNaCl、およびpHを約11に調
整するための濃いNH3を含有する以外は、第1の実施
例に前記記載したようにしてデバイスを製造する。界面
層を形成させた後、0.2MのHCl溶液に基板を手短
に浸漬して界面層をプロトン化し、導電性の形態のポリ
アニリンを得る。よって、第3の実施例により、界面層
が導電性の高分子である構造が集成され、二重層は、図
2(e)の構造の1つのサブ層と、図2(f)の構造の
1つのサブ層とを有するものとなる。
【0105】導電性の高分子界面層を備える第3の実施
例により集成したデバイスは、6.5Vで0.44cd
/Aの最大効率を有し、従来のデバイスと比較すると、
2.8の率の改良が示される。導電性の高分子界面層を
備える第3の実施例により集成したデバイスは、143
0mA/cm2の電流密度を有し、従来のデバイスと比
較すると、1.5の率の増加が示される。導電性の高分
子界面層を備える第3の実施例により集成したデバイス
は、6Vで0.23lm/Wの最大電力効率を有し、従
来のデバイスと比較すると、3.0の率の増加が示され
ている。導電性の高分子界面層を備える第3の実施例に
よるデバイスは、従来のデバイスと比較すると、7Vで
7300cd/m2の最大輝度を有し、従来のデバイス
と比較すると、5.6の率の増加が示されている。
【0106】第3の工程で形成させる二重層の数を再度
変化させる以外は、第1の実施例に記載したようにして
多数のデバイスを製造する。1、2、4、および10の
二重層またはサブ層の対合を有するデバイスを再度使用
した。図3〜5において、ポイントCP−1、CP−
2、CP−4、およびCP−10は、それぞれ1、2、
4、および10の二重層について第3の実施例により集
成したデバイスについての結果を示す。これらの結果
は、効率、電力効率、および最大輝度が、従来のデバイ
スと比較して、全て改良されることを示している。効率
および電力効率は、1〜10の範囲において、図2
(e)および(f)の導電性高分子の二重層の数に対し
て比較的非感受性であるが、最大輝度は、薄い界面層に
ついて与えられた駆動電圧における電流密度の増加のた
めに、薄い界面層によって最適化される。
【0107】高分子層の性質をその厚さに渡って徐々に
変化させることを含む方法をここに説明する。
【0108】この実施例は、発光材料50としての5B
TF8配合物(図7も参照)、カルシウム−アルミニウ
ム陰極51、およびITO陽極53に隣接するPEDO
T:PSSおよびPPVに基づく介在層(interlayer)
からなる有機発光デバイス(OLED)(概略的に断面
図で図6に示す)の製造を記載するものである。PED
OT:PSS/PPV52とITO53との間には、シ
リルカップリング層54(図8も参照)が存在する。こ
のデバイスは、ガラス基板55上に形成され、動作に際
しては、陽極と陰極との間に電圧が印加されると、一般
的に矢印56で示すようにガラスを介して光が放射され
る。
【0109】高分子電解質自己組織化プロセスは、介在
層52を構築するために用いられる。このプロセスは、
一方の符号の正味の電荷を担持する一方の高分子電解質
の後に、他方の符号の正味の電荷を担持する他方の高分
子電解質を順次吸着(形成)させることにより、超薄型
で連続的で共形の(conformal)高分子多重層膜を(好
ましくは適切に処理された基板上に)形成する一般的な
多用途の方法として特に魅力のあるものである。多重層
膜は、工程のサイクルを繰り返すことによって形成する
ことができる。各集成サイクルは、2つの高分子電解質
溶液のそれぞれに基板を順に浸漬して、溶液から一対の
一連のサブ層を形成させることよりなり、その間に広範
なリンス工程を行うものである。よって、各集成サイク
ルにより、多重層膜の1つの二重層が集成される。
【0110】以下に記載するプロセスにより、従来の文
献に報告されたものを超える実質的な増強が与えられ
る。第1に、本プロセスにより、発光層全体よりも、寧
ろ介在層の製造が可能となり、これにより、従来は可能
ではなかったある程度の独立制御が可能となる。第2
に、本プロセスは、成長方向における介在層の組成/性
質(1または複数)の階調化(gradation)に向けられ
ており、この階調化を特に操作して、LED性能の有意
義な改良を達成することができる。
【0111】この実施例では、3−アミノプロピルトリ
メトキシシランを用いた表面シリル化によって、適切に
処理されたITO表面を調製した。高分子電解質の自己
組織化は、層流キャビネット内でダストのない条件下で
実施した。市販のp−ドープしたPEDOT:PSS
(バイエルAGから入手可能)を高分子陰イオンとして
作用させる。この材料は、密接に組み合わせたPEDO
TおよびPSS高分子対からなり、正に帯電したチオフ
ェン環(PEDOT上)に対する負に帯電したスルホネ
ート基(PSS上)の比率は約3であり、これにより高
分子対は全体として負に帯電している。その自己組織化
の相手としては、ポリ(塩化p−キシリレンテトラヒド
ロチオフェニウム)(PPV−THT)を使用した。こ
の高分子は、昇温下でテトラヒドロチオフェンおよび塩
酸が脱離し、共役p−フェニレンビニレン(PPV)配
列を与えるものであり、これにより電荷移送(ここでは
正孔移送)および形成層を介する1方向の注入が有利に
支持され得るが、層および/または隣接層との一方また
は両方のその界面を介する反対方向の電子の漏れは妨げ
られ得る。このデバイスは、その後スピンコートによっ
て厚さ860Åの5BTF8発光高分子層を形成させた
後、厚さ2000Åのカルシウム陰極および厚さ100
0Åのアルミニウムキャッピング層を熱蒸着により形成
させることによって完成する。
【0112】この発明を例示するために、幾つかの異な
る種類のデバイスを作製した。デバイスIは、スピンコ
ートによってITO基板上に直接形成させた厚さ320
ÅのPEDOT:PSSの正孔移送層からなる対照デバ
イスであり、PEDOT:PSS上にスピン処理した発
光体層を有する。デバイスIIは、高分子電解質自己組
織化によってシリル化したITO基板上に形成させたP
EDOT:PSS/PPVの6つの二重層の膜からな
る。その後、スピンコートによってこの介在層の上に5
BTF8を形成させる。介在層中のPEDOTは、実質
的に完全にドープする(すなわち、高度に導電性であ
る)。
【0113】デバイスIIIは、PEDOT:PSS/
PPVの6つの二重層の膜からなるが、集成の際にPE
DOTドーピングレベルを次第に低減させた。これによ
り最終的な二重層中のPEDOTは、主としてドープさ
れていない(すなわち、導電性は乏しい)。デバイスI
Vは、ポリスチレンスルホネート/PPVの付加的な二
重層が、PEDOT:PSS/PPVフィルム上のキャ
ッピング層として集成されている以外は、デバイスII
Iと同様にして構築する。デバイスVは、PEDOTが
実質的にドープされていない以外は、デバイスIIと同
様に構築する。
【0114】集成溶液におけるPEDOTのドープレベ
ルは、副生物としての無害のN2の形成を伴ってp−ド
ープされたPEDOTを還元するヒドラジンを用いた制
御された反応によって容易に調整される。この様式で、
減少する(または一般に徐々に変化する)ドープレベル
のPEDOTを介在層膜に集成することができる。同時
帯電および成長する介在層を介するイオン移送(ion-tr
ansport)によるドープレベルが急変することを抑制す
るために、全体に渡って塩基性溶液媒体を用いた。この
媒体では、より移動性のH+イオンの代わりに、NH4+
イオンが電荷の中立性を維持する。
【0115】5つの例示的なデバイス(デバイスI〜
V)の製造をここに説明する。
【0116】デバイスI〜Vの製造の詳細 (1)ITO表面誘導化 十分に特定された、pH非感受性でレドックス不活性な
4級アンモニウム官能性を用いてITO表面を調製する
ために、以下の手順を採用した。
【0117】ITO被覆したガラス基板(10Ω/平
方、Balzers)を最初にパターン化し、RCA処方(H2
O:H22:NH3、10:2:0.6、50〜60
℃、30分)により浄化した後、真空中で焼成して(1
65〜70℃、150分)物理吸着した水を除去し、グ
ローブバッグ内で乾燥窒素下に冷却した。
【0118】一方、グローブバッグ内で、シリル化浴
(95℃、2時間)中で基板を処理し、ITO表面に結
合する−CH2CH2CH2NH2基を形成した。シリル化
浴(20ml)は、4Åの分子篩により予め乾燥させた
HPLC等級のトルエン(アルドリッチ)中の5vol
%の3−アミノプロピルトリメトキシシラン(アルドリ
ッチ)よりなるものとした。その後、HPLC等級のト
ルエン(1×50ml)、HPLC等級のメタノール
(2×50ml)、およびHPLC等級のイソプロパノ
ール(2×50ml)中でこの順に基板を洗浄した。斜
め照明の下での観察による検査では、十分な注意がない
場合に起こり得るシリカゲル形成の兆候は認められなか
った。
【0119】続いて、メチル化浴中で暗所で基板を処理
し(25℃、3時間)、pH非感受性でレドックス不活
性のプロピルトリメチルアンモニウムイオン(−CH2
CH2CH2NMe3 +)へと−CH2CH2CH2NH2を4
級化した。メチル化浴(20ml)は、HPLC等級の
N,N−ジメチルホルムアミド(アルドリッチ)中の5
vol%のCH3I(アルドリッチ)および酸スキャベ
ンジャとしての0.5vol%のトリメチルアミンより
なるものとした。その後、脱イオン化したH2O(3×
50ml)およびHPLC等級のイソプロパノール(1
×50ml)中で基板を洗浄し、50℃で乾燥キャビネ
ット内で乾燥した。この段階での目視による検査によ
り、誘導化したITO表面は主として清浄なままである
ことが示された。
【0120】(2)制御されたPEDOTドープレベル
を有するPEDOT:PSS集成溶液の調製 市販の材料(バイエルAGの試供品Al14071)か
ら、減少するレベルのドーピングによるPEDOT:P
SSの4つの溶液(P1〜P4)を調製した。十分にド
ープしたPEDOT:PSSの暗青色の溶液2.0ml
(1.6w/v%全固体)と、以下の容積の55w/v
%ヒドラジン水和物(アルドリッチ)とを反応させた。
【0121】材料P1を調製するための0.00ml
(なし)、材料P2を調製するための0.20ml、材
料P3を調製するための1.0ml、材料P4を調製す
るための8.0ml。
【0122】それぞれ十分な蒸留水と共に封止したアン
バーバイアルに入れ、全反応容積を10.0mlとし
た。反応混合物を70℃に3時間加温し、その際にPE
DOTの脱ドーピング(dedoping)が生起した。その
後、溶液を一夜放置した。沈殿は認められなかった。こ
の結果得られた溶液のUV−可視吸収スペクトル測定に
より(図9に示す)、選択的な脱ドーピングが成功した
ことが示された。P1溶液のスペクトルが、十分にドー
プされたPEDOT(約30%のドープ)の特性を示す
のに対し、P4溶液は、ドープされていないPEDOT
(すなわち、約0%のドープ)の特性を示す。P2およ
びP3のスペクトルは、この2つの間の中間にあり、6
20nmにおけるπ−π*遷移の補正強度から推定した
ものとして、それぞれ約25%および20%に対応す
る。ガラス基板上に流延したミクロン厚の膜における4
つのインラインプローブにより測定したdc伝導率も、
減少するレベルのドーピングと一貫しており、P1につ
いて1.0S/cm、P2について0.01S/cm、
P3について0.008S/cm、およびP4について
0.004S/cmである。
【0123】PEDOT:PSS集成溶液を調製するた
めに、結果的に得られたP1〜P4溶液のそれぞれ9.
5mlと、10mlの50mMNaCl水溶液とを混合
して最終イオン強度を25mMに固定し、50μlの3
5w/v%NH3水溶液を添加することによりpHを1
1に調整した。したがって、これにより、集成溶液中の
約0.15w/v%の全高分子固体が与えられた。Na
Cl溶液は、脱イオン化した水を用いて作製した。溶液
のイオン強度は25mMに保持し、市販の高分子電解質
中の不純物の影響を排除すると共に、自己組織化のため
の一定のイオン的基盤を与えるものとした。
【0124】(3)PPV−THT集成溶液の調製 PPV−THT集成溶液を調製するために、メタノール
中の2.05gのポリ(p−キシリレンテトラヒドロチ
オフェニウム塩酸塩)溶液(1.1w/v%全固体、標
準的な文献的手順により調製、例えば、R. A. Wesslin
g、「キシリレンビスアルキルスルホニウム塩の重合(T
he polymerisation of xylylen bisalkylsulfonium sal
ts)」、ジャーナル・オブ・ポリマー・サイエンス・ポ
リマー・シンポジウム(Journal of Polymer Science P
olymer Symposium) 72, pp 55-66, 1985を参照するこ
とができる)と、18mlの25mMNaCl溶液とを
混合し、50μlの35w/v%NH3水溶液を添加す
ることによりpHを11に調整した。したがって、集成
溶液中のPPV−THT含有量は、約0.1w/v%で
あった。
【0125】(4)高分子電解質の自己組織化 介在層膜を形成するために、それぞれの高分子電解質溶
液を作製した後2時間以内に、層流キャビネット内で室
温(22℃)で高分子電解質の自己組織化を行った。
【0126】(a)デバイスIIのための介在層の1つ
の二重層を集成するために、誘導化したITO基板をP
1溶液に10分間浸し、合計で1分間2×30mlの新
鮮な脱イオン化した水で激しくリンスした後、PPV−
THT溶液に10分間浸し、最後に2×30mlの新鮮
な脱イオン化した水中で1分間リンスした。このサイク
ルを5回以上繰り返し、ITO陽極上に十分にドープし
たPEDOT:PSS/PPVの6つの二重層の膜を集
成した。
【0127】(b)デバイスIIIにおける介在層の最
初の3つの二重層は、デバイスIIについて前記した手
順に従って製造した。その後、次の集成サイクルのため
に、PEDOT:PSS集成溶液をP2に変え、次いで
P3および最後にP4とした。よって、結果的に得られ
る高分子多重層膜の理想的な組成は、30%ドープ(十
分なドープ)PEDOTの3つの二重層であり、25%
ドープPEDOTの1つの二重層が続き、次いで20%
ドーブPEDOTの1つの二重層であり、最後にドープ
していないPEDOTの1つの二重層である。
【0128】(c)デバイスIVにおける介在層膜の最
初の6つの二重層を、デバイスIIIについて前記した
ようにして製造した。その後、ポリ(スチレンスルホン
酸ナトリウム塩)の高分子陰イオン溶液中、次いでPP
V−THTの高分子陽イオン溶液による付加的な集成サ
イクルを使用し、PEDOT:PSS/PPV膜上のP
SS/PPVのキャッピング層を集成した。ポリ(スチ
レンスルホン酸)溶液は、24mgのポリ(スチレンス
ルホン酸ナトリウム塩)(分子量=70,000、アル
ドリッチより)を20mlの25mMNaCl溶液に添
加し、50μlの35w/v%NH3水溶液の添加によ
りpHを11に調整することにより作製した。
【0129】集成プロセスの終了に際し、グローブボッ
クス内の真空加熱リグに基板を移し、動的真空(10-6
mbar未満の圧力)で2時間70℃で焼成し、自己組
織化した高分子電解質膜から緩く結合した水分子を除去
し、PPV−THTの部分的変換を行って、オリゴ−p
−フェニレンビニレン配列の短い共役部分を得た。これ
より高い焼成温度では、低電圧でデバイスを駆動した際
に、相当な非生産的な漏れ電流を引き起こすことが認め
られた。後続する工程は、全てグローブボックス内で行
った。
【0130】(5)発光性高分子および金属陰極の形成 1.5w/v%p−キシレン溶液から、1400rpm
でのスピンコートによって、自己組織化した高分子膜の
頂部に860Åの5BTF8膜を形成させた。シャドウ
マスクを介して10-6mbarのベース圧力の下、20
Å/sにて2000Åのカルシウム層を熱蒸着し、それ
ぞれのデバイス基板上に8つの1.5mm2(公称)の
発光ダイオードを画成した。その後、カルシウム上に、
厚さ1000Åの薄いアルミニウム保護層を蒸着した。
【0131】(6)対照デバイス RCA浄化ITO基板を調製し、0.8w/v%の水溶
液から1850rpmの割合でこの上に320ÅのPE
DOT:PSS膜をスピンコートすることにより、二重
層対照デバイスIを製造した。その後、(4)の部分に
記載したようにして膜を70℃で焼成し、その後860
Åの5BTF8膜、続いて2000Åのカルシウム層お
よび1000Åのアルミニウム保護層を、(5)の部分
に記載したようにして形成させた。
【0132】製造プロセスにおける変動による散らばり
を低減するために、5つのデバイスの全てを1つのバッ
チで製造した。
【0133】図10〜14は、デバイスI〜Vの代表的
な性能をそれぞれ示す。それぞれの図の上側の図は、印
加電圧に対するデバイスの明るさ並びにデバイスを介す
る電流密度を示す。それぞれの図の下側の図は、印加電
圧に対するデバイスの電力効率並びに量子効率を示す。
【0134】以下の表に、選択された明るさにおけるデ
バイスの駆動電圧および電力効率をまとめる。データ
は、それぞれの種類のデバイスの3〜4個を平均して得
たものである。
【0135】
【表1】
【0136】これらの結果は、層状にしたPEDOT:
PSS/PPV介在層により、PEDOT:PSS単独
で構築した対照デバイスを超えるほどに、デバイスの電
力効率が有意義に改良されることを示す。前記した表か
ら、3〜4Vの中程度に低い駆動および約10cd/m
2の明るさにおける電力効率の30倍〜40倍の改良
が、介在層デバイスII〜Vについて達成される。さら
に低い電圧であっても、これらのデバイスはより効率的
である。20〜30lm/Wに至る電力効率は、デバイ
スのターンオン直後に容易に達成される。(明るさに対
してデバイスの電力効率をプロットした図15を参照)
電力効率は、駆動電圧および明るさが増加するとともに
減少する。しかしながら、1000cd/m2の中程度
に高い明るさであってなお、対照デバイスの2倍〜3倍
を超える程度に増強されている。高いlm/W値をより
高い明るさにシフトさせる1つの手法は、5BTF8層
の厚さを増加させることである。特に、約1000、1
200、1500、または約2000Åまでも厚さを増
加させることができる。
【0137】PEDOT:PSS/PPV介在層の構成
は、正孔を移送するが電子を遮断する作用を与えると考
えられ、これにより、電荷の再結合が促進されが、発光
体層に対する励起の遮断が助成される。層状にしたPE
DOT:PSS/PPV集成体における、特に終止層と
しての半導体性PPV層の存在は、この点において重要
な役割を果たすと考えられる。半変換された(semi-con
verted)PPVは、PEDOT、F8BT、およびF8
の場合(図16a参照)より数十エレクトロンボルト高
い、電子移送についてのLUMO準位を有することが予
期され、これにより、反対方向から界面を横切る電子に
対して遮断効果を及ぼし得るものである。遮断された電
子は、デバイス内の電界を有利に再分布させ、デバイス
に注入される電子と正孔とのバランスが改善される。ま
た、PPV層は、さらに後続して形成される励起を、幾
分かの非放射性の損失に至るITO陽極との直接接触か
ら隔離するよう補助する。一方、PEDOTは、介在層
に対して正孔移送作用を与え、発光体層による界面を横
切る正孔の注入を補助する。よって、正味の効果は、改
良された電子−正孔捕捉に関連した改良された電子−正
孔バランス、および高い割合の放射再結合ということに
なろう。これは、介在層デバイスにおいて観察される大
幅に改良された電力効率に至ると考えられる。
【0138】この結果、移送層について、選択された光
出力を生成するために必要な駆動電圧は、これらの介在
層デバイスについては相当に低減される。動作の際のデ
バイスにおける電気的応力が低減され、これにより、通
常はより長い動作寿命に至ることから、このことは極め
て望ましい。駆動電圧の低減は、徐々に変化させた介在
層のデバイスIIIおよびVについて最も顕著である。
例えば、1000cd/m2をもたらすのに必要な電圧
は、対照デバイスIについての7.1Vから、介在層デ
バイスIIにおける6.3Vまで、さらに徐々に変化さ
せた介在層デバイスIIIおよびIVについての5.5
Vまで低下する。電子的に階調化した(electronically
-graded)介在層を有するデバイスにおける改良は、そ
の電力効率の増強が弱いことに起因する少ない寄与と相
俟って、電流注入の容易性が増加したことに帰するとこ
ろが大きい。これは、印加電圧に対する、異なるデバイ
スを介しての電流密度をプロットした図17、および明
るさに対する、種々のデバイスについての駆動電流をプ
ロットした図18に、より明瞭に示されている。すなわ
ち、電子的性質における階調化を介在層内に構築するこ
とができ、このような階調化を利用してOLEDsの性
能を改良することができることが明瞭に示されている。
【0139】導電性における階調化または正孔移送につ
いてのHOMO準位は、図16bに概略的に示す図式に
至るものと考えられる。正孔移送または電子移送の状態
が、その間に階調を有する隣接する層におけるものとエ
ネルギー的に(および/または分子的性質において)よ
り密接に整合する介在層を製造することにより、隣接す
る層の間の電荷移送についての熱力学的エネルギーの不
整合が低減される。注入界面における熱力学的障壁は、
例えば、発光高分子との間に電子的に急峻な界面を与え
る十分にドープされたPEDOT層を利用する従来の二
重層デバイスにおける場合と比較すると、階調化した介
在層デバイスにおいては、より小さくなると共により急
峻でないようになる。さらに、このような階調化によっ
て、介在層自体を介して徐々に変化することを可能にす
ると、電界が界面において急激に発生することも回避さ
れる。これにより、通常はデバイスの劣化が増強される
に至る、界面における電荷の蓄積を低減させることがで
きる。総括すると、介在層の電子的性質がこのように空
間的に徐々に変化することにより、OLEDsにおい
て、よりバランスのとれた電子−正孔注入を、より低い
駆動電圧で達成することが可能となる。
【0140】上記したように、少なくとも1つの高分子
層は、層の厚さ方向に沿って変化する電子的および/ま
たは光学的性質を有する。本方法のこの観点の幾つかの
好適な(必須ではないが)一般的特徴をここに記載す
る。
【0141】好ましくは、高分子層が一連の二重層から
なる場合は、それぞれの二重層は2つの構成部分により
形成され、その一方は好ましくは半導体(例えばPP
V)であり、他方は好ましくは導電性(例えばPEDO
T−PSS)である。半導体は(存在する場合)、デバ
イスの導電性材料(存在する場合)と発光材料との間の
中間的なエネルギー準位を好適に与える。好ましくは、
発光材料と当接する(または最も隣接する)サブ層は、
半導体よりなるサブ層とする。最後のサブ層と発光材料
との間に、他の層(例えば導電性の層)が存在してもよ
い。順次の二重層の構成材料は同一である必要はなく、
例えば、それぞれの層において異なる導電性材料を使用
することができる。1以上の二重層を、2以上のサブ層
を有する層によって置換するようにしてもよい。それぞ
れのサブ層は、適切には高分子材料により形成され、好
ましくは1つの高分子鎖の深さとする(正確な厚さは、
鎖の立体配座によって決定される)。幾つかの好適な態
様では、導電性材料の伝導エネルギー準位は、一連の二
重層の間で変動し、好ましくは、発光材料へと向かう方
向において、発光材料のHOMOまたはLUMO準位へ
と向かって、一連の二重層の間で増加または減少する。
特に、導電性材料の性質がこの様式で変動する場合は、
他の層を省略し、二重層を単一層により実質的に置換す
ることができる。このプロセスは、発光デバイス以外の
デバイス、特に電荷の注入を改良すべき場合に適用する
ことができる。
【0142】PSSはPPVをある程度ドープし得ると
考えられ、PPVが、例えば100℃より高い高温での
焼成により変換される場合は、ドープの程度は増加する
と考えられる。
【0143】介在層デバイスは、単一層5BTF8デバ
イスと対比される、従来の二重層デバイスのような鋭い
(ダイオードのような)ターンオン特性を示すことを銘
記すべきである。
【0144】重要なことは、本方法により、特に電子的
性質(例えばドーピング)の階調化に対する微細な制御
が可能となり、またこのような階調化の利点が得られる
ということである。
【0145】この製造方法により、層−層形成技術を利
用して、エネルギー準位またはエネルギー準位の分布
(特に、電荷担体移送に対応するもの)、有効な仕事関
数、電子親和力、イオン化エネルギー、および/または
介在層の厚さ方向に沿うバンドギャップのような1以上
の電子的および/または光学的パラメータが制御された
介在層を構築する手段が提供される。完成したデバイス
において、これらの1以上を、介在層に隣接する1以上
の材料の特性と整合させることにより、障壁(例えばエ
ネルギー障壁)の高さおよび幅の有利な操作を達成する
ことができる。よって、これにより、付加的な制御パラ
メータが与えられ、これを利用して、明るさ、効率、寿
命、駆動電圧、および/または色に関する発光デバイス
(特に有機発光デバイス)の性能を最適化することがで
きる。
【0146】また、この方法は、分子相互作用パラメー
タと介在層の両側の材料との合致を図る手段として組成
の階調化を利用するものであり、これにより介在層に接
触する2つの材料の間で、所望のレベルの形成を維持す
ることができる。また、これにより、デバイスの性能を
さらに最適化することが可能となる。
【0147】PEDOT−PSS層の厚さを介する階調
化に対するこの手法は、他の材料、特に高分子(オリゴ
マーを含む)に適用することができる。この手法を使用
して、層の厚さを介する1以上の以下の特性、すなわ
ち、組成、ドーピングのレベル、電子親和力、イオン化
電位、仕事関数、バンドギャップ、および電荷注入およ
び/または形成を制御する分子相互作用を変化させるこ
とができる。好ましくは、この変化は、異なる組成の複
数のサブ層からなるPEDOT−PSS層により与えら
れる。デバイスにおいて、前記した原理を具体化する代
替的な材料を使用することができる。例えば、スルホン
化されたもしくは他の適切な誘導体とされたポリアニリ
ン、ポリチオフェン、ポリ(ビニルカルバゾール)、ポ
リ(ビニルナフタレン)あるいはこれらに基づく材料、
または他の材料を使用することができる。
【0148】発光デバイスにおいては、階調化された徐
々に変化する層は、適切には発光材料に隣接して存在さ
せることができ、これは陽極または陽極に接触する層
(例えばPEDOT)と発光材料との間の界面、および
/または陰極または陰極に接触する層と発光高分子との
間の界面、および/または2つの発光材料の間の界面と
することができる。階調化された徐々に変化する層の厚
さは、適切には5〜1000Å以上の範囲、好ましくは
5〜200Å以上の範囲である。
【0149】階調化された層は、適切には高分子層、好
ましくは高分子介在層とする。階調化された層は、適切
には一連の異なる性質(例えば組成)のサブ層を形成さ
せることによって、または所定の層(または一連のサブ
層)を形成させることによって形成され、形成工程の幾
つかもしくは全てまたは単に最終形成工程に続いて、少
なくとも最後に形成された層/サブ層の性質を改変する
工程を行うものとする。層またはサブ層は、膜の形態と
することができる。
【0150】完成した階調化層は、適切にはその厚さの
方向において、組成の変化を有する。これにより、適切
には、その厚さを横切る電子的または分子的性質の変化
が導かれる。この組成の空間的な変化は、散漫なものま
たは急峻なものとすることができ、層の厚さの全部また
は一部に渡って延在するものとすることができる。例え
ば、この変化は、順次の様式で互いに配置された2以上
の完全に別個の化学的実体(例えば、デバイスIにおけ
るようなPEDOTとPPV)から、または介在層材料
のドープまたは脱ドープのレベルの連続的な変化(例え
ば、デバイスII〜IVにおけるような骨格帯電(back
bone charging)の程度が異なるPEDOT)から誘導
することができる。組成の変動は、層を最初に製造する
場合に存在させることができ、またはその製造の後の物
理的および/または化学的処理によって、例えば、電磁
気放射(例えばUV照射)またはプラズマに含まれるよ
うな高エネルギー粒子に露呈することによって、または
拡散、化学量論、時間、反応性、および濃度の1以上に
より限定される化学反応によって誘導することができ
る。
【0151】本発明の利点を示すために、本発明におい
て具体化した超薄型の高分子介在層および階調化した移
送介在層の一般的原理に基づいて、自己組織化において
用いる材料の変形態様を使用し、比較的大きい16mm
2のデバイスを構築した。
【0152】以下のデバイスは全て、スピンコートによ
り形成させた発光体層としての800オングストローム
の5BTF8、および保護のための5000オングスト
ロームのAgを重ね合わせた1000オングストローム
のCaの陰極コンタクトを有する。全体で24ピクセル
のそれぞれの種類を製造した。
【0153】デバイスX:ITO/4級化アンモニウム
プロピルシリルカップリング層/(PEDOT:PSS
/PPV−THT)5/(PSS/PPV−THT)1
5F8BT/Ca/Ag。このデバイスは、十分にドー
プされたPEDT:PSSにより与えられる介在層にお
ける均一な導電性の高分子から製造され、PPV−TH
Tにより与えられる超薄型(10オングストローム)の
半導体層でキャップされたITO陽極界面における超薄
型の(100オングストローム未満)の電荷注入介在層
を有する。
【0154】デバイスY:ITO/4級化アンモニウム
プロピルシリルカップリング層/(PEDOT:PSS
/PVV−THT)5/(PSS/PPV−THT)1
5F8BT/Ca/Ag。このデバイスは、成長の際の
PEDOT:PSSの順次の脱ドーピングによって製造
され、PPV−THTによって与えられる超薄型の半導
体層により最終的にキャップされた階調化された移送の
側面を有する超薄型の電荷注入介在層を有する。
【0155】デバイスZ:ITO/PEDOT:PSS
/5BTF8/Ca/Ag。これは対照デバイスであ
り、これに対してデバイスXおよびYの性能を比較す
る。
【0156】厚さ500オングストロームのPEDO
T:PSS層をスピンコートによって形成させた。
【0157】図19〜21は、デバイスX〜Zの代表的
な性能をそれぞれ示す。
【0158】データは、交互の高分子電解質の吸着によ
って形成させたPEDOT:PSS/PPVの超薄型正
孔移送層(100オングストローム未満)を有するよう
に製造されたデバイスXが、一般的なスピンコートによ
って製造した遙かに厚いPEDOT:PSS正孔移送層
を有するように製造された対照デバイスと類似する性能
を与えることを明らかに示している。デバイスXの最大
輝度効率は5lm/Wであり、これは対照デバイスZと
極めて類似して、4.0Vの駆動電圧および20cd/
2の光出力において生ずる。相対的に遅いターンオン
特性が得られる。100cd/m2に必要な駆動電圧
も、両者の場合について類似しており(5.0V)この
場合、デバイスを介して通過した電流密度約10mA/
cm2である。より高い電圧であっても、デバイスの抵
抗を増加させ、よって駆動電流を制限する超薄型(10
オングストローム)PSS/PPVキャッピング層の効
果が明らかである。
【0159】デバイスXと比較すると、デバイスYは、
達成される輝度効率および選択された電圧についてデバ
イスを通過し得る駆動電流の両者において、顕著な改良
を示す。これにより、他の2つのデバイスに対して、そ
の光出力が顕著に増強される。最大輝度効率は、約3.
0Vで約13lm/Wである。2.1Vにおいて、デバ
イス性能の鋭いターンオンが認められる。4.5Vで1
00cd/m2の光出力が達成され、これは10mA/
cm2の電流密度を与える。
【0160】これらの結果は、この発明の設計原理に固
有の有意義な柔軟性を利用して、適切な材料の選択、お
よび超薄型の電荷注入介在層の製造、そしてこの層の厚
さ方向における移送特性の特に制御された階調化によっ
て、OLEDsの性能を改良することができることを示
す。 [図面の簡単な説明]
【図1】本発明により製造されるOLEDを示す。
【図2】図1の構造の特定の層の組成の例を示す。
【図3】本発明による記載されたデバイスの例によって
得られる効率を示す。
【図4】本発明による記載されたデバイスの例によって
得られる電力効率を示す。
【図5】本発明による記載されたデバイスの例によって
得られる輝度を示す。
【図6】発光材料として5BTF8(5%F8BTを用
いてドープしたF8)を有するデバイスの概略断面図で
ある。
【図7】ポリ(スチレンスルホン酸)ドープポリ(エチ
レンジオキシチオフェン)(PEDOT−PSS)、ポ
リ(2,7−(9,9−ジ−n−オクチルフルオレ
ン))(F8)、およびポリ(2,7−(9,9−ジ−
n−オクチルフルオレン)−3,6−ベンゾチアジアゾ
ール)(F8BT)の化学構造を示す。
【図8】シリルカップリング層の化学構造を示す。
【図9】デバイスI〜IVについて、集成溶液のUV−
可視吸収スペクトル測定を示す。
【図10】デバイスIの電圧に対する光−出力性能、効
率を示す。
【図11】デバイスIIの電圧に対する光−出力性能、
効率を示す。
【図12】デバイスIIIの電圧に対する光−出力性
能、効率を示す。
【図13】デバイスIVの電圧に対する光−出力性能、
効率を示す。
【図14】デバイスVの電圧に対する光−出力性能、効
率を示す。
【図15】明るさに対するデバイスI〜Vの電力効率を
示す。
【図16】図16aおよび16bは、2つの例のデバイ
スにおけるエネルギー準位を示す。
【図17】印加電圧に対してデバイスI〜Vについて電
流密度をプロットしたものである。
【図18】明るさに対してデバイスI〜Vについて駆動
電圧をプロットしたものである。
【図19】デバイスXの代表的な性能を示す。
【図20】デバイスYの代表的な性能を示す。
【図21】デバイスZの代表的な性能を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 9811014.1 (32)優先日 平成10年5月21日(1998.5.21) (33)優先権主張国 イギリス(GB) (72)発明者 ホー、ピーター イギリス国、ケンブリッジ シービー2 1ティーティー セント ジョンズ カレッジ (72)発明者 グリーンハム、ネイル クレメント イギリス国、ケンブリッジ シービー2 1ティーエル クレア カレッジ (72)発明者 フレンド、リチャード ヘンリー イギリス国、ケンブリッジ シービー3 9エルジー バートン ロード 37 (72)発明者 バロウズ、ジェレミー イギリス国、ケンブリッジ シービー1 3キューティー ラスタット ロード 36 (72)発明者 ブライト、クリス イギリス国、ハンティンドン ピーイー 17 6エックスユー セント アイヴズ ヴァン ゴフ プレース 3 (56)参考文献 特開 平8−88402(JP,A) 特開 平4−202394(JP,A) 特開 平10−319872(JP,A) 特開 平10−244616(JP,A) 特開 平10−100306(JP,A) 特開 平6−5365(JP,A) 特開 平8−250283(JP,A) 特表2000−515578(JP,A) Mat.Res.Soc.Sym p.,1995年,Vol.369,pp.575 −580 Synthetic Metals, 1997年,84,pp.621−622 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05B 33/00 - 33/28

Claims (44)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】有機発光デバイスを製造する方法であっ
    て、 1の電極を具備する基板を準備し、 第1の電極上に少なくとも1つの高分子層を自己組織化
    によって形成し、この少なくとも1つの高分子層の上に
    少なくとも1つの有機発光材料の層を自己組織化以外に
    よって形成し、この少なくとも1つの有機発光材料の層
    の上にデバイスのための第2の電極を形成する工程から
    なることを特徴とする有機発光デバイスの製造方法。
  2. 【請求項2】請求項1記載の方法において、少なくとも
    1つの高分子層を形成する前に、基板の表面から物理吸
    着した水を除去することをさらに含むことを特徴とする
    製造方法。
  3. 【請求項3】請求項2記載の方法において、物理吸着し
    た水を加熱によって除去することを特徴とする製造方
    法。
  4. 【請求項4】請求項1乃至3のいずれか1項に記載の方
    法において、少なくとも1つの高分子層を形成する前
    に、カップリング層を形成することをさらに含むことを
    特徴とする製造方法。
  5. 【請求項5】請求項4記載の方法において、第1の電極
    をシリル化することによってカップリング層を形成する
    ことを特徴とする製造方法。
  6. 【請求項6】請求項1乃至5のいずれか1項に記載の方
    法において、第1の電極の表面電荷がpH非依存性とな
    るよう、第1の電極の表面を調製することをさらに含む
    ことを特徴とする製造方法。
  7. 【請求項7】請求項記載の方法において、カップリン
    グ層がアミノ基を有する場合、アミノ基を4級化して表
    面上に正に帯電した4級化した化学種を形成することを
    さらに含むことを特徴とする製造方法。
  8. 【請求項8】請求項記載の方法において、カップリン
    グ層がチオール基を有する場合、チオール基を酸化して
    表面上に負に帯電した化学種を形成する工程をさらに含
    むことを特徴とする製造方法。
  9. 【請求項9】請求項1乃至8のいずれか1項に記載の方
    法において、基板は、ガラスまたはプラスチック材料か
    らなることを特徴とする製造方法。
  10. 【請求項10】請求項9記載の方法において、プラスチ
    ック材料は、1以上のポリエステル、ポリカーボネー
    ト、またはポリ(エーテルアミド)からなることを特徴
    とする製造方法。
  11. 【請求項11】請求項1乃至10のいずれか1項に記載
    の方法において、少なくとも1つの自己組織化した高分
    子層は、1以上の協働するサブ層の対合からなることを
    特徴とする製造方法。
  12. 【請求項12】請求項11記載の方法において、1以上
    の協働するサブ層の対合は引き付け力によって相互作用
    し、それぞれのサブ層は互いに非類似であることを特徴
    とする製造方法。
  13. 【請求項13】請求項12記載の方法において、対合の
    一方のサブ層は負に帯電し、対合の他方のサブ層は正に
    帯電することを特徴とする製造方法。
  14. 【請求項14】請求項11記載の方法において、1以上
    の協働するサブ層の対合は、供与体/受容体相互作用に
    よって相互作用することを特徴とする製造方法。
  15. 【請求項15】請求項14記載の方法において、供与体
    /受容体相互作用は、水素結合によって与えられること
    を特徴とする製造方法。
  16. 【請求項16】請求項11乃至15のいずれか1項に記
    載の方法において、協働するサブ層の対合のそれぞれの
    サブ層は、0.3〜2nmの厚さであることを特徴とす
    る製造方法。
  17. 【請求項17】請求項11乃至15のいずれか1項に記
    載の方法において、少なくとも1つの高分子層は、0.
    3〜20nmの厚さであることを特徴とする製造方法。
  18. 【請求項18】請求項1乃至17のいずれか1項に記載
    の方法において、有機材料は、共役高分子および/また
    は低分子量化合物からなることを特徴とする製造方法。
  19. 【請求項19】請求項18記載の方法において、有機材
    料は、半導体性共役高分子からなることを特徴とする製
    造方法。
  20. 【請求項20】請求項19記載の方法において、有機材
    料は、PPVまたはその誘導体からなることを特徴とす
    る製造方法。
  21. 【請求項21】請求項1乃至20のいずれか1項に記載
    の方法において、少なくとも1つの有機発光材料の層
    は、30〜1000nmの厚さであることを特徴とする
    製造方法。
  22. 【請求項22】有機発光デバイスを製造する方法であっ
    て、 基板上にデバイスのための第1の電極を形成し、 第1の電極の表面から物理吸着した水を除去し、第1の
    電極の表面にカップリング層を形成し、カップリング層
    上に少なくとも1つの高分子層を自己組織化によって形
    成し、この少なくとも1つの高分子層上に少なくとも1
    つの有機発光材料の層を形成し、 の少なくとも1つの発光材料の層上にデバイスのため
    の第2の電極を形成する工程からなることを特徴とする
    有機発光デバイスの製造方法。
  23. 【請求項23】請求項1乃至22のいずれか1項に記載
    の方法において、少なくとも1つの高分子層は、層の厚
    さ方向に沿って変動する電子的性質を有することを特徴
    とする製造方法。
  24. 【請求項24】請求項23記載の方法において、少なく
    とも1つの高分子層を処理して、電子的性質の空間的変
    動を形成する工程をさらに含むことを特徴とする製造方
    法。
  25. 【請求項25】請求項24記載の方法において、少なく
    とも1つの高分子層は、共役材料からなり、電子的性質
    の空間的変動を形成する工程は、共役材料の共役の程度
    を低減させることからなることを特徴とする製造方法。
  26. 【請求項26】請求項24または25記載の方法におい
    て、少なくとも1つの高分子層を処理する工程は、反応
    性の試薬に対して高分子層を露呈して、移送層における
    化学反応を促進させることからなることを特徴とする製
    造方法。
  27. 【請求項27】請求項26記載の方法において、反応
    は、酸化または還元反応であることを特徴とする製造方
    法。
  28. 【請求項28】請求項26または27記載の方法におい
    て、反応性の試薬は酸化剤であることを特徴とする製造
    方法。
  29. 【請求項29】請求項26乃至28のいずれか1項に記
    載の方法において、試薬は酸素であることを特徴とする
    製造方法。
  30. 【請求項30】請求項26乃至29のいずれか1項に記
    載の方法において、試薬はプラズマの形態であることを
    特徴とする製造方法。
  31. 【請求項31】請求項23記載の方法において、少なく
    とも1つの高分子層を形成する工程は、電子的性質がそ
    の厚さ方向に沿って変動する状態で高分子層を形成する
    ことからなることを特徴とする製造方法。
  32. 【請求項32】請求項31記載の方法において、高分子
    層は、一連のサブ層に形成されることを特徴とする製造
    方法。
  33. 【請求項33】請求項31または32記載の方法におい
    て、高分子層は、一連の二重層の形態で形成され、それ
    ぞれが異なる材料の2つのサブ層を含むことを特徴とす
    る製造方法。
  34. 【請求項34】請求項31乃至33のいずれか1項に記
    載の方法において、高分子層は、それぞれ電子的性質
    異なる材料の一連のサブ層からなるよう形成されること
    を特徴とする製造方法。
  35. 【請求項35】請求項34記載の方法において、所定の
    材料のサブ層は、高分子層の厚さ方向に沿って前記性質
    が徐々に変化することを特徴とする製造方法。
  36. 【請求項36】請求項34または35記載の方法におい
    て、材料は、ポリ(スチレンスルホン酸)からなること
    を特徴とする製造方法。
  37. 【請求項37】請求項34乃至36のいずれか1項に記
    載の方法において、サブ層は、電子的性質の差を達成す
    るようドープされることを特徴とする製造方法。
  38. 【請求項38】請求項36または37記載の方法におい
    て、サブ層の少なくとも幾つかにおいて、ポリ(スチレ
    ンスルホン酸)がポリ(エチレンジオキシチオフェン)
    によりドープされていることを特徴とする製造方法。
  39. 【請求項39】請求項23乃至38のいずれか1項に記
    載の方法において、前記性質は、エネルギー準位または
    エネルギー準位の分布であることを特徴とする製造方
    法。
  40. 【請求項40】請求項39記載の方法において、前記性
    質は、イオン化電位であることを特徴とする製造方法。
  41. 【請求項41】請求項23乃至40のいずれか1項に記
    載の方法において、第1の電極から発光層へと向かう方
    向において、高分子層のイオン化電位が、第1の電極の
    伝導帯から離れる方向に変動することを特徴とする製造
    方法。
  42. 【請求項42】請求項23乃至41のいずれか1項に記
    載の方法において、第1の電極から発光層へと向かう方
    向において、高分子層のイオン化電位が、発光層のHO
    MO準位へと向かって変動することを特徴とする製造方
    法。
  43. 【請求項43】有機発光デバイスであって、第1の電極
    と第2の電極との間の少なくとも1つの有機発光材料の
    層であって、自己組織化以外によって形成された少なく
    とも1つの有機発光材料と、第1および第2の電極の内
    の1つと少なくとも1つの有機発光材料との間の少なく
    とも1つの高分子層であって、自己組織化によって形成
    された少なくとも1つの高分子層とからなることを特徴
    とする有機発光デバイス。
  44. 【請求項44】請求項43記載の有機発光デバイスにお
    いて、少なくとも1つの高分子層は、層の厚さ方向に沿
    って変動する電子的性質を有することを特徴とする有機
    発光デバイス。
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