JP3442260B2 - Wire saw and work cutting method - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤを用いて、
半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料の切削
を行うワイヤソー及びワークの切削方法に関するもので
ある。TECHNICAL FIELD The present invention uses a wire to
Semiconductor material, in which relates magnetic material, the Waiyaso chromatography and cutting method of a workpiece to perform a cutting of hard and brittle materials such as ceramic.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ワイヤソーにおいては、複数の加工用ロ
ーラが所定間隔おきに配設され、それらのローラの外周
には複数の環状溝が所定ピッチで形成されている。ま
た、各加工用ローラ間において、環状溝には１本のワイ
ヤが順に巻回されている。そして、ワイヤが走行されな
がら、そのワイヤ上に遊離砥粒を含む水性または油性の
スラリが供給され、この状態でワイヤに対しワークが押
し付け接触されて、そのワークが切削されてスライス状
に加工される。2. Description of the Related Art In a wire saw, a plurality of processing rollers are arranged at predetermined intervals, and a plurality of annular grooves are formed at a predetermined pitch on the outer circumference of these rollers. Further, between the processing rollers, one wire is sequentially wound around the annular groove. Then, while the wire is running, an aqueous or oily slurry containing loose abrasive grains is supplied onto the wire, and in this state, the work is pressed against the wire and brought into contact therewith, and the work is cut into slices. It

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図９（ａ）
に示すようにワーク１０１の断面が円形状の場合、ワー
ク１０１の切削開始部Ｓ（ワーク１０１の最下部）から
ワーク１０１の断面中心位置近傍までの切削において
は、ワーク１０１とワイヤ１０２との接点における接線
Ｔとワイヤ１０２とのなす角θが鋭角であるため、スラ
リ供給機構１０３から供給されたスラリがワーク１０１
とワイヤ１０２との間の切削加工部Ｋに導かれ、同部に
滞留し易い。By the way, FIG. 9 (a)
When the cross section of the work 101 is circular as shown in FIG. 3, in the cutting from the cutting start portion S (the lowermost part of the work 101) of the work 101 to the vicinity of the center position of the cross section of the work 101, the contact point between the work 101 and the wire 102. Since the angle θ between the tangent line T and the wire 102 at is an acute angle, the slurry supplied from the slurry supply mechanism 103 is
Is easily guided to the cutting portion K between the wire 102 and the wire 102 and stays in the same portion.

【０００４】そして、ワーク１０１の切削が進行し、図
９（ｂ）（ｃ）に示すようにワーク１０１の断面中心部
Ｐ、或いは断面中心部Ｐから切削終了部Ｅ（ワーク１０
１の最上部）にワイヤ１０２が達すると、ワーク１０１
とワイヤ１０２との接点における接線Ｔとワイヤ１０２
とのなす角θが直角、或いは鈍角になる。このため、ス
ラリ供給機構１０３から供給されたスラリがワーク１０
１とワイヤ１０２との間に滞留しにくい。すなわち、ス
ラリ供給機構１０３から供給されたスラリの大部分がス
ラリがワーク１０１の上面側の外周円弧に沿って流動
し、切削加工部Ｋに導かれにくい。Then, the cutting of the work 101 progresses, and as shown in FIGS. 9B and 9C, the cross-section center portion P of the work 101, or the cutting end portion E (work piece 10).
When the wire 102 reaches the uppermost part 1), the work 101
Tangent line T at the contact point between the wire 102 and the wire 102
The angle θ formed by and becomes a right angle or an obtuse angle. Therefore, the slurry supplied from the slurry supply mechanism 103 is the work 10
It is hard to stay between the wire 1 and the wire 102. That is, most of the slurry supplied from the slurry supply mechanism 103 flows along the outer peripheral arc on the upper surface side of the work 101 and is hardly guided to the cutting portion K.

【０００５】従って、ワーク１０１の断面中心部Ｐから
切削終了部Ｅまでの切削効率が低下するばかりでなく、
切削精度も低下し、後工程における研磨に手間がかかる
ものであった。Therefore, not only the cutting efficiency from the center P of the cross section of the workpiece 101 to the end E of cutting decreases, but also
The cutting accuracy was also lowered, and it took much time to polish in the subsequent process.

【０００６】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたもので、その目的は、切削
効率を向上させることが可能なワイヤソー及びワークの
切削方法を提供することにある。[0006] The present invention has been made in view of the problems existing in the conventional art, and its object is the cutting efficiency can be improved a Waiyaso over and work
It is to provide a cutting method .

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
おいては、複数の加工用ローラ間に所定ピッチで巻回さ
れた状態で走行するワイヤにワークが接触されるととも
に、スラリ供給機構から遊離砥粒を含むスラリがワイヤ
上に供給され、ワイヤのラッピング作用によりワークを
切削するワイヤソーにおいて、ワークとワイヤとの間の
切削加工部からスラリが逃げるのを防止するためのスラ
リ逃避防止手段を備え、そのスラリ逃避防止手段は、ワ
ークの断面中心部より上方の外周面をすべて覆う把持手
段から構成され、断面中心部から切削終了部にかけて把
持手段の側壁とワイヤの走行方向とのなす角が鋭角であ
る。According to a first aspect of the present invention, a work is brought into contact with a wire running in a state of being wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers, and at the same time from a slurry supply mechanism. In a wire saw in which a slurry containing loose abrasive grains is supplied onto the wire and the work is cut by the lapping action of the wire, a slurry escape prevention means is provided to prevent the slurry from escaping from the cutting portion between the work and the wire. The slurry escape prevention means
Gripper that covers the entire outer peripheral surface above the center of the cross section
It is composed of steps, and is gripped from the center of the cross section to the end of cutting.
The angle between the side wall of the holding means and the running direction of the wire is an acute angle.
It

【０００８】[0008]

【０００９】請求項２に記載の発明においては、請求項
１に記載のワイヤソーにおいて、把持手段は、ワイヤに
て切断可能な部材である。請求項３に記載の発明におい
ては、請求項１に記載のワイヤソーにおいて、把持手段
は、カーボンである。According to a second aspect of the invention, in the wire saw according to the first aspect, the holding means is a wire.
It is a member that can be cut . In the invention according to claim 3 , in the wire saw according to claim 1 , the gripping means is carbon .

【００１０】請求項４に記載の発明においては、請求項
１に記載のワイヤソーにおいて、把持手段は、ガラスで
ある。請求項５に記載の発明においては、複数の加工用
ローラ間に所定ピッチで巻回された状態で走行するワイ
ヤにワークが接触されるとともに、スラリ供給機構から
遊離砥粒を含むスラリがワイヤ上に供給され、ワイヤの
ラッピング作用によりワークを切削するワイヤソーにお
いて、ワークとワイヤとの間の切削加工部からスラリが
逃げるのを防止するためのスラリ逃避防止手段を備え、
そのスラリ逃避防止手段は、ワークとワイヤとの間にス
ラリを滞留させるスラリ滞留手段から構成され、そのス
ラリ滞留手段は滞留堰を備える。According to the invention of claim 4 ,
In the wire saw according to item 1 , the gripping means is glass . In the invention described in claim 5 , for a plurality of processing
A wire that runs while being wound at a certain pitch between the rollers
When the work comes into contact with the jar, the slurry supply mechanism
A slurry containing loose abrasive is fed onto the wire,
For wire saws that cut the work by wrapping action
The slurry from the cutting part between the work and the wire.
Slurry escape prevention means to prevent escape,
The slurry escape prevention means is provided between the work and the wire.
It consists of slurry retention means for retaining the slurry.
Slurry staying means Ru provided with a retention dam.

【００１１】請求項６に記載の発明においては、請求項
５に記載のワイヤソーにおいて、滞留堰の下面が傾斜し
ている。In the invention described in claim 6 ,
In the wire saw according to 5 , the lower surface of the retention weir is inclined.
It is

【００１２】請求項７に記載の発明においては、請求項
５または請求項６に記載のワイヤソーにおいて、スラリ
滞留手段は、ワーク支持機構に支持されるとともに、駆
動手段に連結され、駆動手段の動作によりワーク支持機
構に従ってワークの外周円弧に沿って移動する。[0012] In the invention of claim 7, claim
In the wire saw according to claim 5 or claim 6, the slurry retaining means is supported by the work supporting mechanism and is driven.
Work support machine connected to the moving means and operated by the driving means
According to the structure, the workpiece moves along the outer circumferential arc .

【００１３】請求項８に記載の発明においては、複数の
加工用ローラ間に所定ピッチで巻回された状態で走行す
るワイヤに断面円形状のワークが接触されるとともに、
遊離砥粒を含むスラリがワイヤ上に供給され、ワイヤの
ラッピング作用によりワークを切削するワークの切削方
法において、ワークの断面中心部より上方の外周面を覆
うようにワークを把持手段で把持し、断面中心部から切
削終了部にかけて把持手段の側壁とワイヤの走行方向と
のなす角が鋭角となるようにワークを切削する。 なお、
以下に述べる発明の実施の形態において、特許請求の範
囲または課題を解決するための手段に記載の「スラリ逃
避防止手段」は把持手段、接着手段或いはスラリ滞留手
段、制御手段に相当し、同じく「把持手段」はカーボン
２４に相当し、同じく「スラリ滞留手段」はスラリ滞留
機構７０に相当し、同じく「コンピュータ」は制御部６
１に相当する。In the invention described in claim 8 , a plurality of
It runs while being wound at a specified pitch between the processing rollers.
The workpiece with a circular cross section is brought into contact with the wire
A slurry containing loose abrasive is fed onto the wire,
How to cut a work by cutting the work by lapping action
Method, cover the outer peripheral surface above the center of the cross section of the workpiece.
Hold the work with the gripping means and cut from the center of the cross section.
The side wall of the gripping means and the traveling direction of the wire
The work is cut so that the angle formed by is sharp. Your name,
In the embodiments of the invention described below, the "slurry escape prevention means" described in the claims or means for solving the problem corresponds to a gripping means, an adhering means or a slurry retention means, a control means, and also " The “grasping means” corresponds to the carbon 24, the “slurry retention means” corresponds to the slurry retention mechanism 70, and the “computer” also corresponds to the control unit 6.
Equivalent to 1.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

［第１の実施形態］以下、本発明を具体化した第１の実
施形態について図面を用いて説明する。[First Embodiment] A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【００１５】図１及び図２に示すように、切断機構１０
は装置基台１１上に立設されたコラム１２に装設されて
いる。この切断機構１０は平行に延びる加工用駆動ロー
ラ１３及び加工用被動ローラ１４，１５を備え、それら
の外周には環状溝１３ａ〜１５ａが所定ピッチで形成さ
れている。なお、図面においては理解を容易にするため
に、環状溝１３ａ〜１５ａの数を実際よりも少なく描い
てある。As shown in FIGS. 1 and 2, the cutting mechanism 10
Are mounted on a column 12 standing on a device base 11. The cutting mechanism 10 includes a processing driving roller 13 and processing driven rollers 14 and 15 extending in parallel, and annular grooves 13a to 15a are formed at a predetermined pitch on the outer circumference thereof. In the drawings, the number of annular grooves 13a to 15a is smaller than the actual number for easy understanding.

【００１６】１本の線材よりなるワイヤ１６は前記加工
用ローラ１３〜１５の各環状溝１３ａ〜１５ａに連続的
に巻回されている。ワイヤ走行用モータ１７は装置基台
１１上に配設され、このモータ１７により加工用駆動ロ
ーラ１３が直接回転されるとともに、ワイヤ１６を介し
て加工用被動ローラ１４，１５が回転される。そして、
これらの加工用ローラ１３〜１５の回転によって、ワイ
ヤ１６が所定の走行速度で走行される。このワイヤ１６
の走行は、一定量前進（例えば１０ｍ）及び一定量後退
（例えば９ｍ）を繰り返し、全体として歩進的に前進す
るように行われる。The wire 16 made of one wire is continuously wound around the annular grooves 13a to 15a of the working rollers 13 to 15. The wire traveling motor 17 is arranged on the apparatus base 11, and the machining driving roller 13 is directly rotated by the motor 17 and the machining driven rollers 14 and 15 are rotated through the wire 16. And
The wire 16 travels at a predetermined traveling speed by the rotation of the processing rollers 13 to 15. This wire 16
The traveling is performed by advancing a fixed amount (for example, 10 m) and retreating by a fixed amount (for example, 9 m) so as to advance stepwise as a whole.

【００１７】ワーク支持機構２０は前記切断機構１０の
上方に位置するように、コラム１２に上下動可能に支持
され、その下部には硬脆材料よりなるワーク２１が着脱
自在にセットされる。ワーク昇降用モータ２２はコラム
１２上に配設され、このモータ２２により図示しないボ
ールスクリュー等を介してワーク支持機構２０が上下動
される。The work supporting mechanism 20 is supported by the column 12 so as to be vertically movable so as to be located above the cutting mechanism 10, and a work 21 made of a hard and brittle material is detachably set on the lower portion thereof. A work lifting motor 22 is disposed on the column 12, and the work supporting mechanism 20 is vertically moved by the motor 22 via a ball screw or the like (not shown).

【００１８】スラリ供給機構３０は切断機構１０の上方
に対向配置され、加工用ローラ１４，１５の軸心と平行
に延び、ワーク２１の前後両側に位置している。そし
て、このワイヤソーの運転時には、ワイヤ１６が切断機
構１０の加工用ローラ１３〜１５間で走行されながら、
ワーク支持機構２０が切断機構１０に向かって下降され
る。このとき、スラリ供給機構３０からワイヤ１６上
へ、遊離砥粒を含む水性または油性のスラリが供給され
るとともに、そのワイヤ１６に対しワーク２１が押し付
け接触され、遊離砥粒のラッピング作用によってワーク
２１がウェハ状にスライス加工される。The slurry supply mechanism 30 is disposed above the cutting mechanism 10 so as to face it, extends in parallel with the axes of the processing rollers 14 and 15, and is located on both front and rear sides of the work 21. Then, when the wire saw is in operation, the wire 16 travels between the processing rollers 13 to 15 of the cutting mechanism 10,
The work supporting mechanism 20 is lowered toward the cutting mechanism 10. At this time, an aqueous or oily slurry containing loose abrasive grains is supplied from the slurry supply mechanism 30 onto the wire 16, and the work 21 is pressed against the wire 16 to come into contact therewith, and the work 21 is lapped by the loose abrasive grains. Is sliced into a wafer.

【００１９】リール機構４０は前記装置基台１１上に装
設され、ワイヤ１６を繰り出すための繰出しリール４１
と、ワイヤ１６を巻き取るための巻取りリール４２とを
備えている。回転方向及び回転速度を変更可能なサーボ
モータよりなる一対のリール回転用モータ４３，４４は
装置基台１１に配設され、それらのモータ軸には図示し
ない伝達機構を介してリール４１，４２が連結されてい
る。The reel mechanism 40 is mounted on the apparatus base 11 and has a feeding reel 41 for feeding the wire 16.
And a winding reel 42 for winding the wire 16. A pair of reel rotation motors 43 and 44, which are servo motors capable of changing the rotation direction and the rotation speed, are arranged on the device base 11, and the reels 41 and 42 are attached to their motor shafts via a transmission mechanism (not shown). It is connected.

【００２０】トラバース機構５０は前記リール機構４０
に隣接して装置基台１１上に装設され、繰出しリール４
１からのワイヤ１６の繰出し及び巻取りリール４２への
ワイヤ１６の巻取りを、トラバース用モータ５１，５２
により、上下にトラバースしながらワイヤ１６を案内す
る。そして、前記リール機構４０の両リール４１，４２
の回転により、繰出しリール４１から切断機構１０へワ
イヤ１６が繰り出されるとともに、加工後のワイヤ１６
が巻取りリール４２に巻き取られる。The traverse mechanism 50 is the reel mechanism 40.
Installed on the device base 11 adjacent to the
The winding of the wire 16 from the first winding wire 16 and the winding of the wire 16 onto the winding reel 42 are performed by the traverse motors 51, 52.
Guides the wire 16 while traversing up and down. Then, both reels 41, 42 of the reel mechanism 40
Of the wire 16 is fed from the feed reel 41 to the cutting mechanism 10, and the processed wire 16 is
Is taken up by the take-up reel 42.

【００２１】張力付与機構６０は、前記リール機構４０
と切断機構１０との間に配設されている。そして、切断
機構１０の加工用ローラ１３〜１５間に巻回されたワイ
ヤ１６の両端が、各ガイドローラ６１を介して張力付与
機構６０に掛装されている。この状態で、張力付与機構
６０の張力付与モータ６２，６３により、加工用ローラ
１３〜１５間のワイヤ１６に所定の張力が付与される。The tension applying mechanism 60 is the reel mechanism 40.
And the cutting mechanism 10. Both ends of the wire 16 wound between the processing rollers 13 to 15 of the cutting mechanism 10 are hooked on the tension applying mechanism 60 via the guide rollers 61. In this state, the tension applying motors 62 and 63 of the tension applying mechanism 60 apply a predetermined tension to the wire 16 between the processing rollers 13 to 15.

【００２２】図３に示すように、ワーク２１の上面に
は、カーボン２４を介して絶縁体としてのガラス２３が
一体に接着されている。そのガラス２３がクランプ機構
（図示略）を介してワーク支持機構２０の下部に取り付
けられている。このカーボン２４は、ワーク２１の断面
中心より上方の外周面をすべてを覆っている。また、カ
ーボン２４の両側壁２４ａが斜壁状をなし、その両側壁
２４ａとワイヤ１６とのなす角ＡＬ，ＡＲが鋭角になっ
ている。As shown in FIG. 3, glass 23 as an insulator is integrally bonded to the upper surface of the work 21 via carbon 24. The glass 23 is attached to the lower portion of the work supporting mechanism 20 via a clamp mechanism (not shown). The carbon 24 covers the entire outer peripheral surface of the work 21 above the center of the cross section. Further, both side walls 24a of the carbon 24 are slanted, and the angles AL and AR formed between the both side walls 24a and the wire 16 are acute angles.

【００２３】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作を説明する。さて、このワイヤソーにおいては、
ワイヤ１６がリール機構４０の繰出しリール４１から繰
り出され、切断機構１０の加工用ローラ１４，１５間に
おいて歩進的に走行された後、巻取りリール４２に巻き
取られる。そして、スラリ供給機構３０から、加工用ロ
ーラ１４，１５間のワイヤ１６上に、遊離砥粒を含むス
ラリが供給されながら、ワーク支持機構２０の下降によ
り、ワイヤ１６に対してワーク２１が押し付け接触され
る。これにより、ワーク２１が所定の厚さに切削加工さ
れるとともに、カーボン２４も同時に切削加工される。Next, the operation of the wire saw constructed as described above will be described. Now, in this wire saw,
The wire 16 is unwound from the unwinding reel 41 of the reel mechanism 40, is run stepwise between the processing rollers 14 and 15 of the cutting mechanism 10, and is then wound around the winding reel 42. While the slurry supply mechanism 30 supplies the slurry containing loose abrasive grains onto the wire 16 between the processing rollers 14 and 15, the work support mechanism 20 descends to press the work 21 against the wire 16. To be done. As a result, the work 21 is cut to a predetermined thickness and the carbon 24 is cut at the same time.

【００２４】このとき、図４に示すようにワーク２１の
切削に伴って、ワイヤ１６がワーク２１の断面中心より
も上部に位置した場合でも、カーボン２４の両側壁２４
ａとワイヤ１６とのなす角が鋭角になって両側壁２４ａ
とワイヤ１６との間に、スラリを滞留させることができ
る。その結果、ワイヤ１６とワーク２１との切削加工部
へ、十分にスラリを供給することができ、良好な切削加
工を行うことができる。そして、スライス加工されたワ
ーク２１からカーボン２４を取り除くと、スライスされ
たワーク２１となる。At this time, as shown in FIG. 4, even when the wire 16 is located above the center of the cross section of the work 21 due to the cutting of the work 21, both side walls 24 of the carbon 24 are formed.
The angle formed by a and the wire 16 becomes an acute angle, and both side walls 24a
The slurry can be retained between the wire 16 and the wire 16. As a result, the slurry can be sufficiently supplied to the cutting portion between the wire 16 and the work 21, and good cutting can be performed. Then, when the carbon 24 is removed from the sliced work 21, the sliced work 21 is obtained.

【００２５】以上、詳述したように第１の実施形態によ
れば、次のような効果を得ることができる。・ワーク２
１の切削に伴って、ワイヤ１６の切削位置がワーク２１
の断面中心位置よりも上部に移動した場合であっても、
カーボン２４の両側壁２４ａとワイヤ１６とのなす角Ａ
Ｌ，ＡＲが鋭角である。このため、カーボン２４の両側
壁２４ａとワイヤ１６との間には、スラリ供給機構３０
から供給されるスラリが滞留し易くなる。従って、ワー
ク２１の断面中心位置よりも上部の切削においても、カ
ーボン２４の両側壁２４ａとワイヤ１６との間の切削加
工部にスラリが滞留して、ワイヤ１６に対して確実にス
ラリが供給される。よって、ワーク２１の切削能力が低
下することなく、ワーク２１の切削に要する時間を短縮
することができるとともに、ワーク２１のスライス面の
切削精度が低下することもない。As described above, according to the first embodiment, the following effects can be obtained.・ Work 2
Along with the cutting of No. 1, the cutting position of the wire 16 is
Even if it moves above the center position of the cross section of
Angle A between both side walls 24a of the carbon 24 and the wire 16
L and AR are acute angles. Therefore, between the side walls 24 a of the carbon 24 and the wire 16, the slurry supply mechanism 30 is provided.
Slurry supplied from the tank is likely to stay. Therefore, even when cutting above the center position of the cross section of the work 21, the slurry stays in the cutting portion between the side walls 24 a of the carbon 24 and the wire 16, and the slurry is reliably supplied to the wire 16. It Therefore, the cutting ability of the work 21 does not decrease, the time required for cutting the work 21 can be shortened, and the cutting accuracy of the sliced surface of the work 21 does not decrease.

【００２６】・カーボン２４はワーク２１の上半部分全
体を覆って固定されているため、ワーク２１との接触す
る面積をより大きくすることができる。従って、カーボ
ン２４にワーク２１を確実に取付固定することができ
る。Since the carbon 24 is fixed so as to cover the entire upper half of the work 21, the contact area with the work 21 can be increased. Therefore, the work 21 can be securely attached and fixed to the carbon 24.

【００２７】・カーボン２４によりワーク２１が接着固
定されている。このため、ワイヤ１６によってカーボン
２４を切削しても、ワイヤ１６が劣化することを抑制す
ることができる。The work 21 is adhered and fixed by the carbon 24. Therefore, even if the carbon 24 is cut by the wire 16, the deterioration of the wire 16 can be suppressed.

【００２８】［第２の実施形態］次に、本発明を具体化
した第２の実施形態について、図５〜図８を用いて説明
する。なお、この第２の実施形態において、第１の実施
形態と同様の部材については、同一の符号を付して説明
を省略する。なお、ワイヤソーの構成については、前記
第１の実施形態と同様である。[Second Embodiment] Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, in this 2nd Embodiment, about the member similar to 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted. The structure of the wire saw is the same as that of the first embodiment.

【００２９】まず、スラリ滞留機構７０について説明す
る。図５及び図６（ａ）（ｂ）に示すように、スラリ滞
留機構７０は、ステップモータ７１，７２，７７，７８
と、ボールスクリュー７３〜７６と、滞留堰７９と、第
１及び第２近接センサ８１，８２とから構成されてい
る。First, the slurry retention mechanism 70 will be described. As shown in FIGS. 5 and 6A and 6B, the slurry retention mechanism 70 includes step motors 71, 72, 77, 78.
The ball screws 73 to 76, the retention weir 79, and the first and second proximity sensors 81 and 82.

【００３０】ワーク支持機構２０の下部２０ａにはステ
ップモータ７１，７２が配置され、水平方向に延びるボ
ールスクリュー７３，７４がそれぞれ連結されている。
このボールスクリュー７３，７４には、垂直方向に延び
るボールスクリュー７５，７６を備えたステップモータ
７７，７８が、そのナット部７７ａ，７８ａに取り付け
られている。ボールスクリュー７５，７６の下端には、
スラリを滞留させるための滞留堰７９がスラスト軸受け
８３を介して設けられ、この滞留堰７９はワーク２１の
軸線と平行に延びている。滞留堰７９の下面には、ワイ
ヤ１６との間で鋭角をなすように傾斜した堰板７９ａが
取り付けられている。また、ワーク支持機構２０の下面
には、ワイヤ１６が所定距離に近接したことを検出する
第１近接センサ８１及び第２近接センサ８２が設けられ
ている。Step motors 71 and 72 are arranged on the lower portion 20a of the work supporting mechanism 20, and ball screws 73 and 74 extending in the horizontal direction are connected thereto.
Step motors 77 and 78 having ball screws 75 and 76 extending in the vertical direction are attached to the nuts 77a and 78a of the ball screws 73 and 74, respectively. At the lower ends of the ball screws 75 and 76,
A retention weir 79 for retaining the slurry is provided via a thrust bearing 83, and the retention weir 79 extends parallel to the axis of the work 21. A weir plate 79 a that is inclined so as to form an acute angle with the wire 16 is attached to the lower surface of the retention weir 79. In addition, a first proximity sensor 81 and a second proximity sensor 82 that detect that the wire 16 has approached a predetermined distance are provided on the lower surface of the work support mechanism 20.

【００３１】そして、ステップモータ７７，７８の回転
によってボールスクリュー７５，７６が回転されると、
滞留堰７９が垂直方向に上下動する。また、ステップモ
ータ７１，７２の回転によってボールスクリュー７３，
７４が回転されると、滞留堰７９が水平方向に移動され
る。When the ball screws 75 and 76 are rotated by the rotation of the step motors 77 and 78,
The retention weir 79 moves up and down in the vertical direction. Further, the rotation of the step motors 71, 72 causes the ball screw 73,
When 74 is rotated, the retention weir 79 is moved horizontally.

【００３２】次に、スラリ滞留機構７０の制御回路につ
いて説明する。図７に示すように、制御回路９０は制御
部９１、操作部９２、表示部９３、ステップモータ７
１，７２，７７，７８、第１近接センサ８１及び第２近
接センサ８２から構成されている。Next, the control circuit of the slurry retention mechanism 70 will be described. As shown in FIG. 7, the control circuit 90 includes a control unit 91, an operation unit 92, a display unit 93, and a step motor 7.
1, 72, 77, 78, a first proximity sensor 81 and a second proximity sensor 82.

【００３３】制御部９１は、ＣＰＵ９１ａ、ＲＯＭ９１
ｂ、ＲＡＭ９１ｃから構成されている。ＣＰＵ９１ａは
制御回路９０全体の制御を行う。ＲＯＭ９１ｂは制御回
路９０の制御を行うためのプログラムを記憶している。
ＲＡＭ９１ｃはフラッシュメモリ等で構成され、プログ
ラム実行時に発生する一時的なデータを記憶する。操作
部９２は入力に必要なテンキー９２ａやワーク２１の切
削を開始させるためのスタートキー９２ｂ等を備えてい
る。表示部９３はＬＣＤから構成され、ＣＰＵ９１ａか
らのメッセージやテンキー９２ａから入力された数値等
を表示する。The control section 91 includes a CPU 91a and a ROM 91.
b, RAM 91c. The CPU 91a controls the entire control circuit 90. The ROM 91b stores a program for controlling the control circuit 90.
The RAM 91c is composed of a flash memory or the like and stores temporary data generated when the program is executed. The operation unit 92 includes a numeric keypad 92a necessary for input, a start key 92b for starting cutting of the work 21, and the like. The display unit 93 is composed of an LCD and displays a message from the CPU 91a, a numerical value input from the ten-key pad 92a, and the like.

【００３４】ステップモータ７１，７２，７７，７８
は、ＣＰＵ９１ａからの制御信号に基づいてボールスク
リュー７３〜７６を正回転方向及び逆回転方向に回転さ
せる。第１近接センサ８１は、ワーク２１の切削に伴っ
て、ワーク支持機構２０がワイヤ１６に向かって下方に
移動される。そして、第１近接センサ８１とワイヤ１６
との距離が所定距離（例えばワイヤ１６がワーク２１の
中央に位置したときの距離）になったとき、検出信号を
ＣＰＵ９１ａに出力する。Step motors 71, 72, 77, 78
Rotates the ball screws 73 to 76 in the forward rotation direction and the reverse rotation direction based on the control signal from the CPU 91a. In the first proximity sensor 81, the work support mechanism 20 is moved downward toward the wire 16 as the work 21 is cut. Then, the first proximity sensor 81 and the wire 16
When the distance between and becomes a predetermined distance (for example, the distance when the wire 16 is located at the center of the work 21), a detection signal is output to the CPU 91a.

【００３５】第２近接センサ８２は、第１近接センサ８
１と同様に、ワーク２１の切削に伴って、ワーク支持機
構２０がワイヤ１６に向かって下方に移動される。そし
て、第２近接センサ８２とワイヤ１６との距離が所定距
離（例えばワイヤ１６がワーク２１の切削を終了した位
置の距離）になったとき、検出信号をＣＰＵ９１ａに出
力する。The second proximity sensor 82 is the first proximity sensor 8
Similar to 1, the work support mechanism 20 is moved downward toward the wire 16 as the work 21 is cut. Then, when the distance between the second proximity sensor 82 and the wire 16 reaches a predetermined distance (for example, the distance at the position where the wire 16 has finished cutting the work 21), a detection signal is output to the CPU 91a.

【００３６】次に、スラリ滞留機構７０の動作につい
て、図８に示すフローチャートを用いて説明する。な
お、このフローチャートは制御部９１のＲＯＭ９１ｂに
記憶されているプログラムに基づいて、ＣＰＵ９１ａの
制御のもとに進行する。Next, the operation of the slurry retention mechanism 70 will be described with reference to the flowchart shown in FIG. Note that this flowchart proceeds under the control of the CPU 91a based on the program stored in the ROM 91b of the control unit 91.

【００３７】Ｓ１においては、作業者によって、ワーク
２１がワーク支持機構２０に取り付けられる。Ｓ２にお
いては、作業者によって、ワーク２１に関する入力指示
情報（例えば直径、材質等）が表示部９３に表示され
る。作業者が表示部９３の入力指示に従って操作部９２
のテンキー９２ａを入力操作すると、その内容が表示部
９３に表示される。In S1, the worker mounts the work 21 on the work supporting mechanism 20. In S2, the operator displays the input instruction information (for example, diameter, material, etc.) regarding the work 21 on the display unit 93. The operator operates the operation unit 92 according to the input instruction on the display unit 93.
When the numeric keypad 92a is input, the content is displayed on the display unit 93.

【００３８】Ｓ３においては、作業者によって、操作部
９２のスタートキー９２ｂが押下されるまで待たれる。
そして、スタートキー９２ｂの押下されると、ワーク２
１の切削が開始される。In S3, the operator waits until the start key 92b of the operation unit 92 is pressed.
When the start key 92b is pressed, the work 2
Cutting of 1 is started.

【００３９】Ｓ４においては、第１近接センサ８１から
の検出信号が検出されるまで待たれる。第１近接センサ
８１からの検出信号が検出されない場合は、ワーク２１
の断面中央より下方の部分の切削が行われていると判断
される。一方、検出された場合は、Ｓ５に移行する。In S4, the process waits until the detection signal from the first proximity sensor 81 is detected. When the detection signal from the first proximity sensor 81 is not detected, the work 21
It is judged that the portion below the center of the cross section is being cut. On the other hand, if detected, the process proceeds to S5.

【００４０】Ｓ５においては、ワーク２１の切削がワー
ク２１の断面中央まで進行したと判断して、前記Ｓ２に
おいて入力されたワーク２１に関する情報に基づいて、
ワーク２１の円周の方程式が算出される。In S5, it is judged that the cutting of the work 21 has proceeded to the center of the cross section of the work 21, and based on the information on the work 21 input in S2,
The equation of the circumference of the work 21 is calculated.

【００４１】つまり、円の方程式は、 Ｘ＊＊２＋Ｙ＊＊２＝Ｒ＊＊２ （式１） ここで、＊＊２は２乗を示し（以下、同じ）、Ｒは半径
を示す。で示される。That is, the equation of the circle is as follows: X ** 2 + Y ** 2 = R ** 2 (Equation 1) where ** 2 indicates the square (hereinafter the same), and R indicates the radius. Indicated by.

【００４２】Ｓ６においては、ワーク２１の円周よりも
一回り大きな円の方程式が算出される（図５に示す２点
鎖線）。 （Ｘ＋ｄｘ）＊＊２＋（Ｙ＋ｄｙ）＊＊２＝（Ｒ＋ｄｒ）＊＊２ （式２） ここで、ｄｘ，ｄｙ，ｄｒは、増加値を示し、ｄｒは滞
留堰７９とワーク２１との隙間を示す値であって、スラ
リの流動性に応じてテンキー９２ａから入力によって、
各ステップモータ７１，７２，７７，７８の動作を任意
に設定することができる。In S6, the equation of a circle that is slightly larger than the circumference of the work 21 is calculated (two-dot chain line shown in FIG. 5). (X + dx) ** 2+ (Y + dy) ** 2 = (R + dr) ** 2 (Equation 2) Here, dx, dy, and dr indicate increased values, and dr indicates a gap between the retention weir 79 and the work 21. It is a value shown by inputting from the ten key 92a according to the fluidity of the slurry,
The operation of each step motor 71, 72, 77, 78 can be set arbitrarily.

【００４３】Ｓ７においては、各ステップモータ７１，
７２，７７，７８の動作が制御される。すなわち、式２
で算出された円の方程式で示される円の軌跡上を滞留堰
７９が移動するように制御される。このため、滞留堰７
９はワーク２１の切削に伴って、図５において２点鎖線
で示すように、ワーク２１よりも一回り大きな円の軌跡
を描きながら移動される。なお、滞留堰７９の移動する
速度は、ワーク２１がワイヤ１６によって切削される速
度と同じである。At S7, the step motors 71,
The operations of 72, 77 and 78 are controlled. That is, equation 2
The retention weir 79 is controlled so as to move on the locus of the circle represented by the equation of the circle calculated in (1). Therefore, the retention weir 7
As the work 21 is cut, the work 9 is moved while drawing a locus of a circle that is slightly larger than the work 21, as indicated by a chain double-dashed line in FIG. The moving speed of the retention weir 79 is the same as the speed at which the work 21 is cut by the wire 16.

【００４４】Ｓ８においては、第２近接センサ８２から
の検出信号が検出されたか否かが判断される。検出信号
が検出されない場合は、ワーク２１の切削が終了してい
ないと判断されて、ワーク２１の切削が継続して実行さ
れるとともに、滞留堰７９が式２で算出された円の軌跡
上を移動する。検出信号が検出された場合は、ワーク２
１が切削終了位置に達したと判断されて、ワーク２１の
下降及び滞留堰７９の円弧移動が停止されるとともに、
この処理が終了される。In S8, it is determined whether or not the detection signal from the second proximity sensor 82 is detected. When the detection signal is not detected, it is determined that the cutting of the work 21 is not completed, the cutting of the work 21 is continuously executed, and the retention weir 79 moves on the locus of the circle calculated by the equation 2. Moving. If the detection signal is detected, the work 2
1 is determined to have reached the cutting end position, the descent of the work 21 and the arc movement of the retention weir 79 are stopped, and
This process ends.

【００４５】以上、詳述したように第２の実施形態によ
れば、第１の実施形態の効果に加えて、次のような効果
を得ることができる。 ・ワーク２１の断面中心より上部の切削においては、滞
留堰７９がワーク２１の円周よりも一回り大きい円の軌
跡上を移動する。このため、ワーク２１とワイヤ１６と
のなす角が鈍角であっても、滞留堰７９の堰板７９ａが
障壁となってワーク２１の上面側にスラリが移動するこ
とを防止する。従って、ワーク２１とワイヤ１６との間
にスラリが滞留し易くなり、ワーク２１の切削効率が低
下することもない。よって、スライス面の精度が低下す
ることもない。As described in detail above, according to the second embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects of the first embodiment. -In cutting above the center of the cross section of the work 21, the retention weir 79 moves on a locus of a circle slightly larger than the circumference of the work 21. Therefore, even if the angle formed by the work 21 and the wire 16 is an obtuse angle, the dam plate 79a of the retention dam 79 serves as a barrier to prevent the slurry from moving to the upper surface side of the work 21. Therefore, the slurry is likely to stay between the work 21 and the wire 16, and the cutting efficiency of the work 21 does not decrease. Therefore, the accuracy of the slice plane does not decrease.

【００４６】・滞留堰７９は、ワーク２１の円周よりも
僅かに大きい円の軌跡上の一部を移動する。換言すれ
ば、ワーク２１の円周とほぼ同一の円上を移動する。こ
のため、ワーク２１に表面に傷がついたりすることはな
い。また、ワーク２１と滞留堰７９との間に僅かな離間
があっても、スラリの表面張力によって、ワーク２１と
ワイヤ１６との間にスラリを確実に滞留させることがで
きる。The retention weir 79 moves on a part of a locus of a circle slightly larger than the circumference of the work 21. In other words, the workpiece 21 moves on the same circle as the circumference of the workpiece 21. Therefore, the surface of the work 21 is not scratched. Further, even if there is a slight separation between the work 21 and the retention dam 79, the slurry can be reliably retained between the work 21 and the wire 16 due to the surface tension of the slurry.

【００４７】・滞留堰７９の移動する速度は、ワーク２
１の切削速度と同期をとりながら移動する。このため、
スラリをワーク２１とワイヤ１６との間に確実に滞留さ
せることができる。The moving speed of the retention weir 79 depends on the work 2
It moves in synchronization with the cutting speed of 1. For this reason,
The slurry can be reliably retained between the work 21 and the wire 16.

【００４８】・ワーク２１の断面中央まで切削される
と、第１近接センサ８１によりワイヤ１６が検出され、
滞留堰７９の移動が開始される。また、ワーク２１の切
削が終了位置に達すると、第２近接センサ８２によりワ
イヤ１６が検出され、滞留堰７９の移動が停止されると
ともに、ワーク２１の切削が終了される。このため、確
実にワーク２１に追従して滞留堰７９の移動及び停止を
行うことができる。When the work 21 is cut to the center of its cross section, the wire 16 is detected by the first proximity sensor 81,
The movement of the retention weir 79 is started. When the cutting of the work 21 reaches the end position, the wire 16 is detected by the second proximity sensor 82, the movement of the retention dam 79 is stopped, and the cutting of the work 21 is ended. Therefore, the retention weir 79 can be moved and stopped reliably following the work 21.

【００４９】なお、前記各実施形態は次のように変更し
て具体化することも可能である。 ・ワーク２１とワイヤ１６とのなす角ＡＬ，ＡＲは、同
一の角度でなくても良い。すなわち、ＡＬ，ＡＲはワイ
ヤ１６に対して鋭角であれば良い。The above-described respective embodiments can be modified and embodied as follows. The angles AL and AR formed by the work 21 and the wire 16 do not have to be the same. That is, AL and AR may have an acute angle with respect to the wire 16.

【００５０】・滞留堰７９の形状は、下面に堰板７９ａ
を取り付けた構成に限らず、滞留堰７９自身の下面形状
を傾斜面にしても良い。また、スラリをワークとワイヤ
との間に滞留させることができる端面楕円形や逆三角形
等をなすものであっても良い。さらに、堰板７９ａの傾
斜は、より水平に近い傾斜面であっても良い。The retention weir 79 has a weir plate 79a on the lower surface.
However, the lower surface of the retention weir 79 itself may be an inclined surface. Alternatively, the slurry may have an elliptical end surface or an inverted triangle that allows the slurry to be retained between the work and the wire. Furthermore, the slope of the dam plate 79a may be an inclined surface that is more horizontal.

【００５１】・滞留堰７９をコラム１２等の装置フレー
ムから延びる支持部材に装備させて、ワーク２１の速度
と同じ速度で移動するように構成しても良い。 ・カーボン２４部分もガラスで一体化して形成しても良
い。The retention weir 79 may be mounted on a support member extending from the apparatus frame such as the column 12 so that it moves at the same speed as the work 21. The carbon 24 portion may also be integrally formed of glass.

【００５２】さらに、前記各実施形態から把握される請
求項以外の技術的思想について、その効果とともに以下
に記載する。 ・請求項７に記載のワイヤソーにおいて、滞留堰が端面
逆三角形であるワイヤソー。Further, technical ideas other than the claims understood from each of the embodiments will be described below together with their effects. -The wire saw according to claim 7, wherein the retention weir has an inverted triangular end surface.

【００５３】このように構成しても、ワークとスラリと
の間にスラリが滞留し易くなり、ワークの切削効率を向
上させることができる。ところで、本明細書において、
記録媒体とは、読み出しが可能な半導体記憶装置、磁気
記憶装置の記録媒体、光磁気記憶装置の記録媒体など、
コンピュータのプログラムを記録できるものならどのよ
うなものでもよい。具体的には、半導体ＲＯＭ、フロッ
ピーディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気デ
ィスク、相変化ディスク、磁気テープなどを含むものと
する。Even with this structure, the slurry is likely to stay between the work and the slurry, and the cutting efficiency of the work can be improved. By the way, in this specification,
The recording medium includes a readable semiconductor storage device, a recording medium of a magnetic storage device, a recording medium of a magneto-optical storage device, and the like.
Anything that can record a computer program may be used. Specifically, it includes a semiconductor ROM, a floppy disk, a hard disk, an optical disk, a magneto-optical disk, a phase change disk, a magnetic tape and the like.

【００５４】[0054]

【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ため、次のような効果を奏する。請求項１または請求項
５に記載の発明によれば、スラリ逃避防止手段によっ
て、ワークとワイヤとの間の切削加工部からスラリが逃
げることを確実に防止することができる。従って、ワー
クの切削効率を向上させることができる。また、請求項
１に記載の発明によれば、把持手段の両側壁とワイヤと
の間にスラリが滞留するため、確実にワイヤにスラリを
供給することができる。 Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. Claim 1 or Claim
According to the invention described in 5 , it is possible to reliably prevent the slurry from escaping from the cutting portion between the work and the wire by the slurry escape prevention means. Therefore, the work cutting efficiency can be improved. Also, the claims
According to the invention described in 1, the side walls of the gripping means and the wire are
The slurry stays between the
Can be supplied.

【００５５】[0055]

【００５６】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の効果に加えて、ワイヤが必要以上に劣化
することを防止することができる。請求項３または請求
項４に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の効
果に加えて、把持手段をワイヤで切削することができる
ため、ワークに対する切削能力を低下させることはな
い。According to the invention of claim 2 , claim 1
In addition to the effect of the invention described in (1), the wire can be prevented from being deteriorated more than necessary. According to the invention described in claim 3 or 4 , in addition to the effect of the invention described in claim 1 , since the gripping means can be cut by the wire, the cutting ability for the work is not reduced. .

【００５７】請求項６に記載の発明によれば、請求項５
に記載の発明の効果に加えて、滞留堰の下面が傾斜して
いるため、確実にワークとワイヤとの間にスラリを滞留
させることができる。According to the invention of claim 6 , claim 5
In addition to the effects of the invention described in 1,
Because there can be reliably retained slurry between the workpiece and the wire.

【００５８】請求項７に記載の発明によれば、請求項５
または請求項６に記載の発明の効果に加えて、滞留堰が
ワークの円周とほぼ同一の円上を移動する。このため、
ワークの切削位置に応じて、確実にワークとワイヤとの
間にスラリを滞留させることができる。[0058] According to the invention described in claim 7, claim 5
Or in addition to the effect of the invention according to claim 6, the residence weir moves substantially the same circle and the circumference of the workpiece. For this reason,
The slurry can be reliably retained between the work and the wire depending on the cutting position of the work.

【００５９】請求項８に記載の発明によれば、断面中心
部から切削終了部にかけて把持手段の側壁とワイヤの走
行方向とのなす角が鋭角となる。このため、把持手段の
側壁とワイヤとの間には、スラリが滞留し易くなる。従
って、ワークの切削効率を向上させることができる。 According to the invention described in claim 8 , the center of the cross section
From the end to the end of cutting
The angle formed with the row direction is an acute angle. Therefore, the gripping means
Slurry easily accumulates between the side wall and the wire. Servant
Thus, the cutting efficiency of the work can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】第１の実施形態におけるワイヤソーの正面図。FIG. 1 is a front view of a wire saw according to a first embodiment.

【図２】同じく、ワイヤソーの平面図。FIG. 2 is likewise a plan view of the wire saw.

【図３】同じく、ワーク支持機構の正面図。FIG. 3 is a front view of the work supporting mechanism.

【図４】同じく、ワーク支持機構の正面図。FIG. 4 is a front view of a work supporting mechanism.

【図５】第２の実施形態におけるスラリ滞留機構を示す
説明図。FIG. 5 is an explanatory view showing a slurry retention mechanism in the second embodiment.

【図６】（ａ）同じく、ボールスクリューと滞留堰とを
示す断面図。（ｂ）同じく、ボールスクリューと滞留堰
とを示す平面図。FIG. 6 (a) is a sectional view showing a ball screw and a retention weir in the same manner. (B) Similarly, the top view which shows a ball screw and a retention weir.

【図７】同じく、制御回路。FIG. 7 is likewise a control circuit.

【図８】スラリ滞留機構の動作を示すフローチャート。FIG. 8 is a flowchart showing the operation of the slurry retention mechanism.

【図９】従来の技術におけるワークの切削を説明するた
めの説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining cutting of a work according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１３…加工用ローラとしての加工用駆動ローラ、１４，
１５…加工用ローラとしての加工用被動ローラ、１６…
ワイヤ、２１…ワーク、２４…スラリ逃避防止手段を構
成する把持手段としてのカーボン、２４ａ…両側壁、２
０…ワーク支持機構、３０…スラリ供給機構、７０…逃
避防止手段を構成するスラリ滞留手段としてのスラリ滞
留機構、７９…滞留堰、９１…スラリ逃避防止手段を構
成する制御手段及びコンピュータとしての制御部。13 ... Machining drive roller as a machining roller, 14,
15 ... Driven roller for processing as processing roller, 16 ...
Wires, 21 ... Workpieces, 24 ... Carbon as gripping means constituting slurry escape prevention means, 24a ... Both side walls, 2
0 ... Work support mechanism, 30 ... Slurry supply mechanism, 70 ... Slurry retention mechanism as slurry retention means that constitutes escape prevention means, 79 ... Retention weir, 91 ... Control means that constitutes slurry escape prevention means and control as computer Department.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−316162（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−11047（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−106286（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−242958（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−216759（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 27/06 B24B 57/02 B28D 5/04 B28D 7/02 ─────────────────────────────────────────────────── --Continued from the front page (56) References JP-A-1-316162 (JP, A) JP-A 8-11047 (JP, A) JP-A 51-106286 (JP, A) JP-A 60- 242958 (JP, A) JP-A 1-216759 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. ⁷ , DB name) B24B 27/06 B24B 57/02 B28D 5/04 B28D 7/02

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に所定ピッチで巻
回された状態で走行するワイヤにワークが接触されると
ともに、スラリ供給機構から遊離砥粒を含むスラリがワ
イヤ上に供給され、ワイヤのラッピング作用によりワー
クを切削するワイヤソーにおいて、 ワークとワイヤとの間の切削加工部からスラリが逃げる
のを防止するためのスラリ逃避防止手段を備え、 そのスラリ逃避防止手段は、ワークの断面中心部より上
方の外周面をすべて覆う把持手段から構成され、断面中
心部から切削終了部にかけて把持手段の側壁とワイヤの
走行方向とのなす角が鋭角である ワイヤソー。1. A work is brought into contact with a wire running in a state of being wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers, and a slurry containing loose abrasive grains is supplied onto the wire from a slurry supply mechanism. in the wire saw for cutting a workpiece by lapping action of, includes a slurry withdrawal prevention means for preventing the escape of the slurry from the cutting unit between the workpiece and the wire, the slurry escape preventing means, the cross-sectional center portion of the workpiece Above
It consists of gripping means that covers all the outer peripheral surface of
From the core to the end of cutting, the side wall of the gripping means and the wire
A wire saw with an acute angle to the running direction . 【請求項２】 請求項１に記載のワイヤソーにおいて、把持手段は、ワイヤにて切断可能な部材である ワイヤソ
ー。2. The wire saw according to claim 1, wherein the gripping means is a member that can be cut with a wire . 【請求項３】 請求項１に記載のワイヤソーにおいて、 把持手段は、カーボンであるワイヤソー。3. The wire saw according to claim 1 , wherein the gripping means is carbon . 【請求項４】 請求項１に記載のワイヤソーにおいて、 把持手段は、ガラスであるワイヤソー。4. The wire saw according to claim 1 , wherein the gripping means is glass . 【請求項５】 複数の加工用ローラ間に所定ピッチで巻
回された状態で走行するワイヤにワークが接触されると
ともに、スラリ供給機構から遊離砥粒を含むスラリがワ
イヤ上に供給され、ワイヤのラッピング作用によりワー
クを切削するワイヤソーにおいて、 ワークとワイヤとの間の切削加工部からスラリが逃げる
のを防止するためのスラリ逃避防止手段を備え、 そのスラリ逃避防止手段は、ワークとワイヤとの間にス
ラリを滞留させるスラリ滞留手段から構成され、そのス
ラリ滞留手段は滞留堰を備え るワイヤソー。5. Wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers.
When the work comes into contact with the wire traveling in the rotated state
In both cases, the slurry containing loose abrasive grains was discharged from the slurry supply mechanism.
Supplied on the ear and the wire wrapping action
In a wire saw that cuts scraps, the slurry escapes from the cutting part between the work and the wire.
Slurry escape prevention means is provided to prevent this, and the slurry escape prevention means is provided between the work and the wire.
It consists of slurry retention means for retaining the slurry.
The wire retention device is a wire saw equipped with a retention weir . 【請求項６】 請求項５に記載のワイヤソーにおいて、滞留堰の下面が傾斜している ワイヤソー。6. The wire saw according to claim 5 , wherein the lower surface of the retention weir is inclined . 【請求項７】 請求項５または請求項６に記載のワイヤ
ソーにおいて、 スラリ滞留手段は、ワーク支持機構に支持されるととも
に、駆動手段に連結され、駆動手段の動作によりワーク
支持機構に従ってワークの外周円弧に沿って移 動するワ
イヤソー。7. The wire saw according to claim 5 or 6, wherein the slurry retaining means is supported by a work supporting mechanism.
Is connected to the drive means, and the work is driven by the operation of the drive means.
Wa <br/> Iyaso to move along the outer circumference arc of the workpiece according to the support mechanism. 【請求項８】 複数の加工用ローラ間に所定ピッチで巻
回された状態で走行するワイヤに断面円形状のワークが
接触されるとともに、遊離砥粒を含むスラリがワイヤ上
に供給され、ワイヤのラッピング作用によりワークを切
削するワークの切削方法において、 ワークの断面中心部より上方の外周面を覆うようにワー
クを把持手段で把持し、断面中心部から切削終了部にか
けて把持手段の側壁とワイヤの走行方向とのなす角が鋭
角となるようにワークを切削するワークの切削方法。 8. A winding method for winding a plurality of processing rollers at a predetermined pitch.
A work with a circular cross section is attached to the wire running in the rotated state.
Slurry containing loose abrasive grains on the wire
Is supplied to the machine and the work is cut by the wire wrapping action.
In the cutting method of the work to be cut, the work is to
Grip the grip with gripping means and move from the center of the cross section to the end of cutting.
The angle between the side wall of the gripping means and the running direction of the wire is sharp.
A method of cutting a work that cuts the work so that it becomes a corner.