JPH10166353A - Equipment and method for reducing tensile force in wire saw - Google Patents
Equipment and method for reducing tensile force in wire sawInfo
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- JPH10166353A JPH10166353A JP33114396A JP33114396A JPH10166353A JP H10166353 A JPH10166353 A JP H10166353A JP 33114396 A JP33114396 A JP 33114396A JP 33114396 A JP33114396 A JP 33114396A JP H10166353 A JPH10166353 A JP H10166353A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークを切断加工するためのワイヤソーに関する
もので、特にワイヤの張力低減装置及び方法に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire saw for cutting a work made of a hard and brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, and a ceramic using a wire. It is about.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種のワイヤソーにおいては、
複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、それら
のローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形成さ
れている。また、リール機構の繰出し側のリールから１
本のワイヤが繰り出され、このワイヤが各加工用ローラ
間において、それらの環状溝に多数回順に巻かれて走行
した後、リール機構の巻取りリール側に巻き取られてい
る。2. Description of the Related Art In a conventional wire saw of this type,
A plurality of processing rollers are arranged at predetermined intervals, and a plurality of annular grooves are formed on the outer periphery of the rollers at a predetermined pitch. Also, one reel from the reel on the payout side of the reel mechanism.
The book wire is unwound, the wire is wound around the annular groove many times in sequence between the processing rollers, travels, and then wound up on the take-up reel side of the reel mechanism.
【０００３】そして、前記加工用ローラ、両リールの回
転が制御されることにより、ワイヤが一定量前進（例え
ば１０ｍ）及び一定量後退（例えば９ｍ）を繰り返し
て、トータルとして歩進的に前進されながら、加工用ロ
ーラ部の上方からワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリが供
給される。この状態で、ワイヤに対しワークが押し付け
接触されて、そのワークがワイヤに運ばれた砥粒により
スライス状に切断加工される。[0003] By controlling the rotation of the processing roller and the reels, the wire is repeatedly advanced forward (for example, 10 m) and retracted (for example, 9 m) by a fixed amount, so as to be progressively advanced as a whole. Meanwhile, a slurry containing loose abrasive particles is supplied onto the wire from above the processing roller portion. In this state, the work is pressed against the wire and is brought into contact with the wire, and the work is cut into slices by the abrasives carried on the wire.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
ワイヤソーでは、ワイヤの走行方向が切替られる際、モ
ータから加工用ローラ、両リールへの各伝達系における
応答性の違い等により、ワイヤの繰出し量と巻取り量と
の間に差が生じて、ワイヤの張力変動が発生することが
あった。このような張力変動が生じると、加工精度が低
下し、特にワイヤの張力が大きくなった場合には、ワイ
ヤが断線したり、ガイド機構のガイドローラが早期に摩
耗したりするという問題があった。However, in this conventional wire saw, when the running direction of the wire is switched, the wire is fed out due to a difference in responsiveness in each transmission system from the motor to the processing roller and both reels. In some cases, a difference was generated between the amount and the winding amount, and the tension of the wire fluctuated. When such a tension variation occurs, there is a problem that the processing accuracy is reduced, and particularly when the tension of the wire is increased, the wire is disconnected or the guide roller of the guide mechanism is worn out early. .
【０００５】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ワイヤの走行方向が切替される際、ワイ
ヤに張力変動が発生するのを抑制することができ、加工
精度を向上できるとともに、ワイヤ張力の増大によって
ワイヤが断線したり、ガイド機構のガイドローラが早期
に摩耗したりするのを抑制することができるワイヤソー
を提供することにある。[0005] The present invention has been made by paying attention to such problems existing in the prior art. The purpose is to suppress the occurrence of tension fluctuation in the wire when the traveling direction of the wire is switched, improve the processing accuracy, and increase the wire tension, and the wire breaks, It is an object of the present invention to provide a wire saw capable of suppressing a guide roller of a guide mechanism from being worn out early.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、前記ワイヤの走行中
の適時に、ワイヤの張力を低減させるように制御する制
御手段を設けたものである。In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a control means for controlling the wire tension to be reduced at an appropriate time during the running of the wire. It is a thing.
【０００７】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、制御手段は、ワイヤ張力の低
減がワイヤの走行方向切替時に行われるように制御する
ものである。According to a second aspect of the present invention, in the wire saw according to the first aspect, the control means controls the reduction of the wire tension so as to be performed when the traveling direction of the wire is switched.
【０００８】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は２に記載のワイヤソーにおいて、前記制御手段は、ワ
イヤの繰出し量と巻取り量との少なくともいずれか一方
を調整することにより、ワイヤの張力を低減させるよう
にしたものである。According to a third aspect of the present invention, in the wire saw according to the first or second aspect, the control means adjusts at least one of a feeding amount and a winding amount of the wire to thereby control the wire. This is to reduce the tension.
【０００９】請求項４に記載の発明では、請求項２また
は３に記載のワイヤソーにおいて、前記制御手段は、ワ
イヤの走行方向の切替後に、低減されたワイヤの張力を
復元制御するようにしたものである。According to a fourth aspect of the present invention, in the wire saw according to the second or third aspect, after the switching of the running direction of the wire, the control means controls the restoration of the reduced wire tension. It is.
【００１０】請求項５に記載の発明では、複数の加工用
ローラ間にワイヤを所定ピッチで巻回し、そのワイヤを
前進及び後退の繰り返しにより歩進的に一方向へ走行さ
せながら、ワイヤに対しワークを接触させて、切断加工
を行うようにしたワイヤソーにおいて、前記ワイヤの走
行方向切替時に、ワイヤの張力を低減させるようにす
る。According to the fifth aspect of the present invention, a wire is wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers, and the wire is moved in one direction in a stepwise manner by repeating forward and backward movements. In a wire saw configured to perform a cutting process by contacting a workpiece, the tension of the wire is reduced when the traveling direction of the wire is switched.
【００１１】さて、請求項１に記載のワイヤソーにおい
ては、ワイヤが前進及び後退の繰り返しにより歩進的に
走行されながら、そのワイヤに対しワークが接触され
て、ワークがスライス状に切断加工される。このワーク
の切断加工中の適時において、制御手段によりワイヤの
張力が低減される。In the wire saw according to the first aspect of the present invention, the wire comes into contact with the wire while the wire is traveling step by step by repeatedly moving forward and backward, and the work is cut into a slice. . At an appropriate time during the cutting of the work, the tension of the wire is reduced by the control means.
【００１２】このため、ワイヤに張力変動が発生するの
を抑制することができる。従って、加工精度を向上でき
るとともに、ワイヤ張力の増大によってワイヤが断線し
たり、ガイド機構のガイドローラが早期に摩耗したりす
るのが抑制される。For this reason, it is possible to suppress the occurrence of tension fluctuation in the wire. Therefore, the processing accuracy can be improved, and the breakage of the wire due to the increase in the wire tension and the early wear of the guide roller of the guide mechanism can be suppressed.
【００１３】請求項２及び５に記載のワイヤソーにおい
ては、ワイヤの走行が前進方向と後退方向との間で切替
えられる際に、ワイヤに張力変動が発生するのを抑制す
ることができる。[0013] In the wire saw according to the second and fifth aspects, when the traveling of the wire is switched between the forward direction and the backward direction, it is possible to suppress the occurrence of tension fluctuation in the wire.
【００１４】請求項３に記載のワイヤソーにおいては、
ワイヤの走行方向の切替時に、制御手段により、ワイヤ
の繰出し量と巻取り量との少なくともいずれか一方が調
整されて、ワイヤの張力が低減される。このため、ワイ
ヤの走行切替時に、ワイヤの張力を容易にかつ確実に低
減させることができる。[0014] In the wire saw according to the third aspect,
When the running direction of the wire is switched, at least one of the wire feeding amount and the winding amount is adjusted by the control means, and the wire tension is reduced. For this reason, the tension of the wire can be easily and reliably reduced when the traveling of the wire is switched.
【００１５】請求項４に記載のワイヤソーにおいては、
ワイヤの走行方向の切替後に、制御手段により、ワイヤ
の張力が低減前の状態に復元される。このため、ワイヤ
の走行方向の切替時に低減されたワイヤの張力を、走行
方向の切替後に、速やかに復元することができる。[0015] In the wire saw according to the fourth aspect,
After the switching of the traveling direction of the wire, the control unit restores the tension of the wire to the state before the reduction. For this reason, the wire tension reduced when the traveling direction of the wire is switched can be quickly restored after the switching of the traveling direction.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、この発明のワイヤソーの一
実施形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２に示
すように、切断機構１１は装置基台１２上に装設されて
いる。この切断機構１１は平行に延びる加工用駆動ロー
ラ１３及び加工用被動ローラ１４を備え、それらの外周
には多数の環状溝１３ａ，１４ａが所定ピッチで形成さ
れている。なお、図面においては理解を容易にするため
に、環状溝１３ａ，１４ａの数を実際よりも少なく描い
てある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the wire saw according to the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, the cutting mechanism 11 is mounted on an apparatus base 12. The cutting mechanism 11 includes a processing drive roller 13 and a processing driven roller 14 extending in parallel, and a large number of annular grooves 13a and 14a are formed at a predetermined pitch on the outer periphery thereof. In the drawings, the number of the annular grooves 13a and 14a is less than the actual number for easy understanding.
【００１７】１本の線材よりなるワイヤ１５は前記加工
用ローラ１３，１４の各環状溝１３ａ，１４ａに連続的
に巻回されている。正逆回転可能なワイヤ走行用モータ
１６は装置基台１２上に配設され、このモータ１６によ
り加工用駆動ローラ１３が直接回転されるとともに、ワ
イヤ１５を介して加工用被動ローラ１４が回転される。
そして、これらの加工用ローラ１３，１４の回転によっ
て、ワイヤ１５が走行される。このワイヤ１５の走行
は、図４に示すように、一定量前進（例えば１０ｍ）及
び一定量後退（例えば９ｍ）を繰り返し、トータルとし
て歩進的に前進するように行われる。A wire 15 made of a single wire is continuously wound around each of the annular grooves 13a and 14a of the processing rollers 13 and 14. A forward / reverse rotatable wire traveling motor 16 is provided on the apparatus base 12. The motor 16 directly rotates the processing drive roller 13 and rotates the processing driven roller 14 via the wire 15. You.
Then, the wire 15 is run by the rotation of the processing rollers 13 and 14. As shown in FIG. 4, the traveling of the wire 15 is repeated so as to advance forward by a fixed amount (for example, 10 m) and retreat by a fixed amount (for example, 9 m) so as to advance in a stepwise manner as a whole.
【００１８】ワーク支持機構１９は前記切断機構１１の
上方に位置するように、装置基台１２上に立設されたコ
ラム２０に上下動可能に支持され、その下部には硬脆材
料よりなるワーク２１が着脱自在にセットされる。ワー
ク昇降用モータ２２はコラム２０上に配設され、このモ
ータ２２により図示しないボールスクリュー等を介して
ワーク支持機構１９が上下動される。A work support mechanism 19 is supported by a column 20 erected on the apparatus base 12 so as to be vertically movable so as to be located above the cutting mechanism 11, and a work support made of a hard and brittle material is provided below the work support mechanism 19. 21 is set detachably. The work elevating motor 22 is disposed on the column 20, and the work support mechanism 19 is vertically moved by the motor 22 via a ball screw (not shown) or the like.
【００１９】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１５が切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間で
走行されながら、ワーク支持機構１９が切断機構１１に
向かって下降される。このとき、図示しないスラリ供給
機構により、ワイヤ１５上へ遊離砥粒を含む水性または
油性のスラリが供給されるとともに、そのワイヤ１５に
対しワーク２１が押し付け接触され、砥粒のラッピング
作用によってワーク２１がスライス状に切断加工され
る。During operation of the wire saw, the work supporting mechanism 19 is lowered toward the cutting mechanism 11 while the wire 15 is traveling between the processing rollers 13 and 14 of the cutting mechanism 11. At this time, an aqueous or oily slurry containing free abrasive grains is supplied onto the wire 15 by a slurry supply mechanism (not shown), and the work 21 is pressed against the wire 15 to be brought into contact therewith, and the work 21 is wrapped by the abrasive grains. Is cut into slices.
【００２０】リール機構２３は前記装置基台１２上に装
設され、ワイヤ１５を繰り出すための繰出しリール２４
と、ワイヤ１５を巻き取るための巻取りリール２５とを
備えている。回転方向及び速度が変更可能なサーボモー
タよりなるそれぞれリール回転用モータ２６，２７は装
置基台１２に一対配設され、それらのモータ軸には図示
しない伝達機構を介してリール２４，２５が回動可能に
連結されている。そして、ワイヤ１５が前進されるとき
には、繰出しリール２４が繰出し側になるとともに、巻
取りリール２５が巻取り側になり、後退されるときに
は、繰出しリール２４が巻取り側になるとともに、巻取
りリール２５が繰出し側になる。A reel mechanism 23 is mounted on the apparatus base 12, and is a feed reel 24 for feeding the wire 15.
And a winding reel 25 for winding the wire 15. A pair of reel rotation motors 26 and 27 each composed of a servo motor whose rotation direction and speed can be changed are provided in a pair on the apparatus base 12, and the reels 24 and 25 are rotated around their motor shafts via a transmission mechanism (not shown). It is movably connected. When the wire 15 is advanced, the pay-out reel 24 is on the pay-out side, and the take-up reel 25 is on the take-up side. When the wire 15 is retracted, the pay-out reel 24 is on the take-up side. 25 is the payout side.
【００２１】トラバース機構２８は前記リール機構２３
に隣接して装置基台１２上に装設され、繰出しリール２
４及び巻取りリール２５に対するワイヤ１５の出し入れ
を上下にトラバースしながら案内する。The traverse mechanism 28 includes the reel mechanism 23
Is mounted on the device base 12 adjacent to the
4 and the take-up reel 25 are guided while traversing the wire 15 in and out.
【００２２】張力付与機構２９及びガイド機構３０は、
前記リール機構２３と切断機構１１との間に配設されて
いる。張力付与機構２９はウェイト３１ａを備えた一対
のダンサアーム３１と、エンコーダよりなるワイヤ張力
検出器３２とを備えている。そして、切断機構１１の加
工用ローラ１３，１４間に巻回されたワイヤ１５の両端
が、ガイド機構３０の各ガイドローラを介して張力付与
機構２９のダンサアーム３１の先端のローラ３１ｂに掛
装されている。この状態で、張力付与機構２９により、
加工用ローラ１３，１４間のワイヤ１５に所定の張力が
付与されるようになっている。The tension applying mechanism 29 and the guide mechanism 30
It is arranged between the reel mechanism 23 and the cutting mechanism 11. The tension applying mechanism 29 includes a pair of dancer arms 31 each having a weight 31a, and a wire tension detector 32 including an encoder. Then, both ends of the wire 15 wound between the processing rollers 13 and 14 of the cutting mechanism 11 are mounted on the roller 31 b at the tip of the dancer arm 31 of the tension applying mechanism 29 via each guide roller of the guide mechanism 30. ing. In this state, the tension applying mechanism 29
A predetermined tension is applied to the wire 15 between the processing rollers 13 and 14.
【００２３】張力低減機構３４は前記リール機構２３と
張力付与機構２９との間に配設され、一対の回転ローラ
３５を備えている。そして、これらの回転ローラ３５に
はワイヤ１５が掛装され、両回転ローラ３５が回転制動
力を付与することによって、張力付与機構２９からリー
ル機構２３の各リール２４，２５側へ直接波及するワイ
ヤ１５の張力が低減されるようになっている。The tension reducing mechanism 34 is disposed between the reel mechanism 23 and the tension applying mechanism 29, and includes a pair of rotating rollers 35. The wires 15 are wound around these rotating rollers 35, and the two rotating rollers 35 apply a rotational braking force, so that the wires 15 directly spread from the tension applying mechanism 29 to the reels 24 and 25 of the reel mechanism 23. Fifteen tensions are reduced.
【００２４】次に、前記切断機構１１及びリール機構２
３等に関連した制御装置について説明する。図２及び図
３に示すように、制御手段としての制御装置４１は前記
装置基台１２の近傍に配設され、その内部には中央処理
装置（ＣＰＵ）４２及びメモリ４３が実装されている。
このＣＰＵ４２は装置全体の動作を制御するとともに、
メモリ４３にはプログラム、各種の入力データや検出デ
ータを記憶する。Next, the cutting mechanism 11 and the reel mechanism 2
Control devices related to 3 etc. will be described. As shown in FIGS. 2 and 3, a control device 41 as a control means is disposed near the device base 12, and a central processing unit (CPU) 42 and a memory 43 are mounted therein.
This CPU 42 controls the operation of the entire apparatus,
The memory 43 stores programs, various input data and detection data.
【００２５】操作パネル４４は前記制御装置４１の前面
に取り付けられ、この操作パネル４４上にはスタートス
イッチ等の各種スイッチや、表示ランプが配設されてい
る。キーボード４５は制御装置４１の前部に配置され、
その上面には多数の入力キー４６が配列されている。そ
して、このキーボード４６からＣＰＵ４２やメモリ４３
に対して、ワイヤ１５の走行方向切替時におけるワイヤ
張力の低減率等の各種データが入力される。An operation panel 44 is mounted on the front of the control device 41. On the operation panel 44, various switches such as a start switch and an indicator lamp are provided. The keyboard 45 is disposed in front of the control device 41,
A number of input keys 46 are arranged on the upper surface. The keyboard 46 and the CPU 42 and the memory 43
In response to this, various data such as a reduction rate of the wire tension when the traveling direction of the wire 15 is switched is input.
【００２６】また、ＣＰＵ４２には前記ワイヤ張力検出
器３２からワイヤ１５の張力検出信号が入力される。さ
らに、ＣＰＵ４２からは駆動回路４７，４８，４９を介
して、前記ワイヤ走行用モータ１６、繰出しリール回転
用モータ２６及び巻取りリール回転用モータ２７に、駆
動制御信号が出力される。これによって、各モータ１
６，２６，２７の回転方向及び回転速度が制御されて、
ワイヤ１５の走行が行われる。A tension detection signal of the wire 15 is input to the CPU 42 from the wire tension detector 32. Further, a drive control signal is output from the CPU 42 to the motor 16 for wire running, the motor 26 for feeding reel rotation, and the motor 27 for winding reel rotation via drive circuits 47, 48, and 49. Thereby, each motor 1
The rotation direction and rotation speed of 6, 26, 27 are controlled,
The traveling of the wire 15 is performed.
【００２７】さて、このワイヤソーの運転時には、ワイ
ヤ１５が切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間にお
いて走行方向を周期的に切替えながら歩進的に前進走行
される。このため、リール機構２３の繰出しリール２４
及び巻取りリール２５が巻取り及び繰出し作用を交互に
繰り返しながら、トータルとして、ワイヤ１５が繰出し
リール２４から繰り出された後、巻取りリール２５に巻
き取られる。そして、図示しないスラリ供給機構によ
り、加工用ローラ１３，１４間のワイヤ１５上に遊離砥
粒を含むスラリが供給されながら、ワーク支持機構１９
の下降により、ワイヤ１５に対してワーク２１が押し付
けられる。これにより、ワーク２１が所定の厚さにスラ
イス加工される。During the operation of the wire saw, the wire 15 is moved forward stepwise between the processing rollers 13 and 14 of the cutting mechanism 11 while periodically switching the running direction. For this reason, the feeding reel 24 of the reel mechanism 23
While the take-up reel 25 alternately repeats the take-up and take-out operations, the wire 15 is taken out from the take-out reel 24 as a whole, and then taken up by the take-up reel 25. Then, while a slurry containing loose abrasive particles is supplied onto the wire 15 between the processing rollers 13 and 14 by a slurry supply mechanism (not shown), the work supporting mechanism 19 is provided.
As a result, the work 21 is pressed against the wire 15. Thereby, the work 21 is sliced into a predetermined thickness.
【００２８】このワーク２１の切断加工時には、ＣＰＵ
４２の制御により、図７に示すルーチンが実行される。
すなわち、図４に示すように、ワイヤ１５の走行方向の
切替時になると（図６のステップＳ１）、巻取り状態に
あるリール２４，２５のうちのいずれか、繰出し状態に
あるリール２５，２４のうちのいずれかの少なくとも一
方の回転用モータ２６，２７の回転速度が制御されて、
ワイヤ１５の張力がメモリ４３に記憶された張力低減率
に基づいて低減される（ステップＳ２）。At the time of cutting the work 21, the CPU
The control shown in FIG. 7 executes the routine shown in FIG.
That is, as shown in FIG. 4, when the traveling direction of the wire 15 is switched (step S1 in FIG. 6), one of the reels 24, 25 in the winding state or the reels 25, 24 in the unwinding state. The rotation speed of at least one of the rotation motors 26 and 27 is controlled,
The tension of the wire 15 is reduced based on the tension reduction rate stored in the memory 43 (Step S2).
【００２９】その後、ワイヤ１５の走行方向切替えが終
了して、一定時間経過すると（ステップＳ３）、少なく
と一方の回転用モータ２６，２７の回転が制御されて、
ワイヤ１５の張力が低減前の定常状態に復元される（ス
テップＳ４〜Ｓ５）。このとき、ワイヤ張力検出器３２
からの検出信号により、ワイヤ１５の張力の復元状態が
検出される。Thereafter, when the switching of the traveling direction of the wire 15 is completed and a predetermined time has elapsed (step S3), the rotation of at least one of the rotation motors 26 and 27 is controlled, and
The tension of the wire 15 is restored to the steady state before the reduction (steps S4 to S5). At this time, the wire tension detector 32
, The restoration state of the tension of the wire 15 is detected.
【００３０】図５は、前述したワイヤ１５の張力低減動
作の一例を示すものである。すなわち、ワイヤ１５の走
行方向の切替時になると、あらかじめ設定されたプログ
ラムに従い、繰出し状態にあるリール２４または２５の
回転用モータ２６または２７の回転速度が制御されて、
繰出し側のリール２４または２５の周速度が巻取り側の
それよりも高くなって、繰出し量が多くなる。このた
め、ワイヤ１５の張力が低減する。そして、ワイヤ１５
の走行方向が切替られた後は、巻取り側のリール２４ま
たは２５の周速度が繰出し側よりも一時的に高くなっ
て、ワイヤ１５の余分に繰出された部分が巻取られ、ワ
イヤ張力が復元する。FIG. 5 shows an example of the operation of reducing the tension of the wire 15 described above. That is, when the traveling direction of the wire 15 is switched, the rotation speed of the rotation motor 26 or 27 of the reel 24 or 25 in the extended state is controlled according to a preset program,
The peripheral speed of the reel 24 or 25 on the pay-out side is higher than that on the winding side, and the pay-out amount increases. Therefore, the tension of the wire 15 is reduced. And the wire 15
After the running direction of the wire 15 is switched, the peripheral speed of the reel 24 or 25 on the winding side temporarily becomes higher than that on the paying side, so that the extra fed portion of the wire 15 is wound and the wire tension is reduced. Restore.
【００３１】図６は、前記図５とは別の動作を示す。す
なわち、ワイヤ１５の走行方向切替時に、巻取り状態に
あるリール２４または２５の周速度が繰出し側のそれよ
りも低くなって、巻取り量が低下する。このため、ワイ
ヤ１５の張力が低減する。そして、ワイヤ１５の走行方
向が切替が終了した後は、繰出し側のリール２４または
２５の周速度が巻取り側よりも一時的に低くなって、ワ
イヤ張力が復元する。FIG. 6 shows an operation different from that of FIG. That is, when the traveling direction of the wire 15 is switched, the peripheral speed of the reel 24 or 25 in the winding state is lower than that on the payout side, and the winding amount is reduced. Therefore, the tension of the wire 15 is reduced. After the switching of the traveling direction of the wire 15 is completed, the peripheral speed of the reel 24 or 25 on the payout side is temporarily lower than that on the winding side, and the wire tension is restored.
【００３２】以上のように、ワイヤ１５の走行方向の切
替時に繰出し状態にあるリール２４または２５の周速度
が高くされたり、巻取り状態にあるリール２４または２
５の周速度が低くされたりして、ワイヤ張力が低減さ
れ、走行方向切替え後に、張力が復元される。もちろ
ん、繰出し側及び巻取り側のリール２４，２５の周速度
を同時に変化させることにより、ワイヤの走行方向切替
え時及び切替え後における繰出し量の増加と、巻取り量
の低下とを同時に行って、ワイヤ張力の低減に続く復元
を行うようにしてもよい。あるいは、図５の制御におい
て、ワイヤ走行方向の切替え後に繰出し側のリールの周
速度を一時的に遅くしたり、図６の制御において、ワイ
ヤ走行方向切替え後に、巻取り側のリールの周速度を一
時的に早くしたりしてもよい。As described above, when the traveling direction of the wire 15 is switched, the peripheral speed of the reel 24 or 25 in the extended state is increased, or the reel 24 or 2 in the wound state is increased.
For example, the peripheral speed of the wire 5 is reduced, and the wire tension is reduced, and the tension is restored after the traveling direction is switched. Of course, by simultaneously changing the peripheral speeds of the reels 24 and 25 on the pay-out side and the take-up side, an increase in the pay-out amount and a decrease in the take-up amount at the time of switching the running direction of the wire and after the switching are simultaneously performed. The restoration following the reduction of the wire tension may be performed. Alternatively, in the control of FIG. 5, the peripheral speed of the reel on the pay-out side is temporarily reduced after the switching of the wire traveling direction. In the control of FIG. 6, the peripheral speed of the reel on the winding side is reduced after the switching of the wire traveling direction. It may be temporarily faster.
【００３３】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 （ａ） この実施形態のワイヤソーにおいては、ワイヤ
１５の走行方向が切替られる際に、制御手段としての制
御装置４１により、ワイヤ１５の張力が低減されるよう
になっている。このため、ワイヤ１５の走行方向の切替
時に、ワイヤ１５の張力が緊張方向に変動するのを抑制
することができる。従って、加工精度が低下したり、ワ
イヤ張力の増大によりワイヤ１５が断線したり、ガイド
機構３０のガイドローラ３３が早期に摩耗したりするの
を抑制することができる。The effects that can be expected from the above embodiment will be described below. (A) In the wire saw of this embodiment, when the traveling direction of the wire 15 is switched, the tension of the wire 15 is reduced by the control device 41 as a control means. For this reason, when the traveling direction of the wire 15 is switched, it is possible to suppress the tension of the wire 15 from fluctuating in the tension direction. Therefore, it is possible to suppress the processing accuracy from being lowered, the wire 15 from being broken due to the increase in the wire tension, and the guide roller 33 of the guide mechanism 30 being worn out early.
【００３４】（ｂ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、ワイヤ１５の走行方向の切替時に、制御装置４１
により、ワイヤ１５の繰出し量と巻取り量との少なくと
もいずれか一方が調整されて、ワイヤ１５の張力が低減
されるようになっている。このため、ワイヤ１５の走行
切替時に、ワイヤ１５の張力を容易にかつ確実に低減さ
せることができる。(B) In the wire saw of this embodiment, when the traveling direction of the wire 15 is switched, the control device 41
Thereby, at least one of the feeding amount and the winding amount of the wire 15 is adjusted, and the tension of the wire 15 is reduced. For this reason, when the traveling of the wire 15 is switched, the tension of the wire 15 can be easily and reliably reduced.
【００３５】（ｃ） この実施形態のワイヤソーにおい
ては、ワイヤ１５の走行方向の切替後に、制御装置４１
により、ワイヤ１５の張力が低減前の状態に復元される
ようになっている。このため、ワイヤ１５の走行方向の
切替時に低減されたワイヤ１５の張力を、走行方向の切
替後に、速やかに復元することができる。(C) In the wire saw of this embodiment, after switching the traveling direction of the wire 15, the control device 41
Thereby, the tension of the wire 15 is restored to the state before the reduction. Therefore, the tension of the wire 15 reduced when the traveling direction of the wire 15 is switched can be quickly restored after the switching of the traveling direction.
【００３６】なお、ワイヤの走行方向切替時以外の定常
走行時、例えば、切断開始時、切断終了時のように、例
えばワイヤ張力が大きく変動するような時に、ワイヤ１
５の張力低減を行うことも可能である。この場合も前記
実施形態のような効果を享受できる。It is to be noted that, when the wire travels in a steady state other than when the traveling direction of the wire is switched, for example, when the wire tension greatly fluctuates, for example, at the start of cutting or at the end of cutting.
It is also possible to reduce the tension by 5. Also in this case, the effects as in the above embodiment can be enjoyed.
【００３７】[0037]
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、ワイヤに張力変動が発生するのを抑制する
ことができる。従って、加工精度の低下を防止できると
ともに、ワイヤ張力の増大によりワイヤが断線したり、
ガイド機構のガイドローラが早期に摩耗したりするのを
抑制することができる 請求項２及び５に記載の発明によれば、ワイヤに張力変
動が生じやすいワイヤ走行の切替時に、ワイヤに張力変
動が発生するのを抑制することができる。The present invention is configured as described above, and has the following effects. According to the first aspect of the invention, it is possible to suppress the occurrence of tension fluctuation in the wire. Therefore, a decrease in processing accuracy can be prevented, and the wire breaks due to an increase in wire tension,
The guide roller of the guide mechanism can be prevented from being worn out at an early stage. According to the invention as set forth in claims 2 and 5, when the wire running is apt to cause a variation in tension, the variation in tension on the wire is reduced. This can be suppressed.
【００３８】請求項３に記載の発明によれば、ワイヤの
繰出し量と巻取り量との少なくともいずれか一方を調整
することにより、ワイヤの張力を容易に低減させること
ができる。According to the third aspect of the invention, the tension of the wire can be easily reduced by adjusting at least one of the feeding amount and the winding amount of the wire.
【００３９】請求項４に記載の発明によれば、ワイヤの
走行方向の切替時に低減されたワイヤの張力を、走行方
向の切替後に、速やかに復元することができる。According to the fourth aspect of the present invention, the wire tension reduced when the traveling direction of the wire is switched can be quickly restored after the switching of the traveling direction.
【図１】 この発明を具体化したワイヤソーを示す正面
図。FIG. 1 is a front view showing a wire saw embodying the present invention.
【図２】 そのワイヤソーの平面図。FIG. 2 is a plan view of the wire saw.
【図３】 そのワイヤソーの制御回路を示すブロック
図。FIG. 3 is a block diagram showing a control circuit of the wire saw.
【図４】 ワイヤの走行方向の切替動作を説明するため
の線図。FIG. 4 is a diagram for explaining a switching operation of a traveling direction of a wire.
【図５】 ワイヤの走行方向の切替動作を示す線図。FIG. 5 is a diagram illustrating a switching operation of a traveling direction of a wire.
【図６】 同じくワイヤの走行方向の切替動作を示す線
図。FIG. 6 is a diagram showing a switching operation of the traveling direction of the wire.
【図７】 ワイヤ張力低減のためのフローチャート。FIG. 7 is a flowchart for reducing wire tension.
１１…切断機構、１３…加工用駆動ローラ、１４…加工
用被動ローラ、１３ａ，１４ａ…環状溝、１５…ワイ
ヤ、１６…ワイヤ走行用モータ、１９…ワーク支持機
構、２１…ワーク、２３…リール機構、２４…繰出しリ
ール、２５…巻取りリール、２６，２７…リール回転用
モータ、３２…ワイヤ張力検出器、４１…制御手段とし
ての制御装置、４２…ＣＰＵ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Cutting mechanism, 13 ... Processing drive roller, 14 ... Processing driven roller, 13a, 14a ... Annular groove, 15 ... Wire, 16 ... Wire running motor, 19 ... Work support mechanism, 21 ... Work, 23 ... Reel A mechanism, 24 ... a feeding reel, 25 ... a take-up reel, 26, 27 ... a motor for rotating a reel, 32 ... a wire tension detector, 41 ... a control device as control means, 42 ... a CPU.
Claims (5)
ッチで巻回し、そのワイヤを前進及び後退の繰り返しに
より歩進的に一方向へ走行させながら、ワイヤに対しワ
ークを接触させて、切断加工を行うようにしたワイヤソ
ーにおいて、 前記ワイヤの走行中の適時に、ワイヤの張力を低減させ
るように制御する制御手段を設けたワイヤソーにおける
張力低減装置。A wire is wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers, and while the wire is traveling in one direction step by step by repetition of forward and backward movement, a workpiece is brought into contact with the wire to cut the wire. A tension reducing device for a wire saw, comprising a control means for controlling the tension of the wire to be reduced at an appropriate time during the travel of the wire.
の走行方向切替時に行われるように制御する請求項１に
記載のワイヤソーにおける張力低減装置。2. The tension reducing device for a wire saw according to claim 1, wherein the control means controls the reduction of the wire tension so as to be performed when the traveling direction of the wire is switched.
取り量との少なくともいずれか一方を調整することによ
り、ワイヤの張力を低減させる請求項１または２に記載
のワイヤソー。3. The wire saw according to claim 1, wherein the control unit adjusts at least one of a wire feeding amount and a winding amount to reduce the wire tension.
替後に、低減されたワイヤの張力を復元するように制御
する請求項２または３に記載のワイヤソー。4. The wire saw according to claim 2, wherein the control means controls to restore the reduced wire tension after switching the traveling direction of the wire.
ッチで巻回し、そのワイヤを前進及び後退の繰り返しに
より歩進的に一方向へ走行させながら、ワイヤに対しワ
ークを接触させて、切断加工を行うようにしたワイヤソ
ーにおいて、 前記ワイヤの走行方向切替時に、ワイヤの張力を低減さ
せるワイヤソーにおける張力低減方法。5. A cutting method in which a wire is wound at a predetermined pitch between a plurality of processing rollers, and the workpiece is brought into contact with the wire while traveling in one direction stepwise by repeating forward and backward movements. A tension reducing method for a wire saw, wherein the tension of the wire is reduced when the running direction of the wire is switched.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33114396A JPH10166353A (en) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | Equipment and method for reducing tensile force in wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33114396A JPH10166353A (en) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | Equipment and method for reducing tensile force in wire saw |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10166353A true JPH10166353A (en) | 1998-06-23 |
Family
ID=18240360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33114396A Pending JPH10166353A (en) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | Equipment and method for reducing tensile force in wire saw |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10166353A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6837778B2 (en) | 2000-11-24 | 2005-01-04 | Neomax Co., Ltd | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth magnet, and wire-saw machine |
| US6945242B2 (en) | 2001-10-17 | 2005-09-20 | Neomax Co., Ltd. | Cutting method using wire saw, wire saw device, and method of manufacturing rare-earth magnet |
| CN102267197A (en) * | 2011-08-25 | 2011-12-07 | 湖州金科光伏科技有限公司 | Method for cutting silicon materials |
-
1996
- 1996-12-11 JP JP33114396A patent/JPH10166353A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6837778B2 (en) | 2000-11-24 | 2005-01-04 | Neomax Co., Ltd | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth magnet, and wire-saw machine |
| US6896595B2 (en) | 2000-11-24 | 2005-05-24 | Neomax Co., Ltd. | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth magnet, and wire-saw machine |
| DE10157433B4 (en) * | 2000-11-24 | 2019-05-29 | Hitachi Metals, Ltd. | A method of cutting a rare earth alloy, a method of manufacturing a rare earth magnet, and a wire saw apparatus |
| US6945242B2 (en) | 2001-10-17 | 2005-09-20 | Neomax Co., Ltd. | Cutting method using wire saw, wire saw device, and method of manufacturing rare-earth magnet |
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