JP3430862B2 - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
- Publication number
- JP3430862B2 JP3430862B2 JP16015397A JP16015397A JP3430862B2 JP 3430862 B2 JP3430862 B2 JP 3430862B2 JP 16015397 A JP16015397 A JP 16015397A JP 16015397 A JP16015397 A JP 16015397A JP 3430862 B2 JP3430862 B2 JP 3430862B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- probe
- present
- screw
- holes
- Prior art date
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はICの検査に使用す
るプローブカードに関する。 【0002】 【従来の技術】プローブカードの反りまたは複数ある探
針の個別摩耗により、各探針が適正な高さでなく、IC
ウェハに所望の接触圧力をかけられない場合、問題とな
る探針を位置固定している半田付けをはずして調整修理
する方法をとっていた。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかし従来の方法で
は、探針を位置固定している半田付けをはずして調整・
再固定する作業に専門技能が必要で、早急な量産再使用
は困難であった。そこで本発明は、このような問題を解
決するもので、その目的とするところは、簡便な探針調
整機構の搭載により早急な量産再使用を可能とすること
である。 【0004】 【課題を解決するための手段】本願発明にかかるプロー
ブカードは、ICウエハの検査に使用するプローブカー
ドにおいて、前記プローブカードの調整手段として前記
プローブカード上に、対向して設けられた穴を有する2
個1組の金具部と、前記金具部の穴を通して保持される
ネジと、を有し、前記金具部にナットが配置されること
を特徴とする 【0005】 【作用】本発明のプローブカード反り矯正機構の作用に
ついて説明すると、あらかじめ別の方法で接触圧力の過
不足を検出しておいた上で、プローブカード上の2点間
の距離をネジを締め付けたり緩めたりすることよって強
制的に可変させ、適正な状態に矯正または調整する。 【0006】 【発明の実施の形態】以下本発明をその実施例を示す図
面に基づき詳細する。 【0007】図1は本発明に係わるプローブカード平面
図、図2はその断面図を示す。11、21はプローブカ
ード、12、22はプローブカードに設置された探針、
13、23はネジ、14、24は穴の開いた金具、1
5、25はナット、16、26は水準器または水平ゲー
ジをそれぞれ示す。 【0008】プローブカード上には穴の開いた金具が2
個1組で対向して固定されており、ネジは2個の金具の
穴を通して保持されているものとする。さらに金具部に
は、ネジの長さを固定するナットがついているものとす
る。 【0009】ネジを締めると2個の金具の距離が引っ張
られることにより、プローブカードは上に窪んだ状態に
反り、また探針については2個の金具を結ぶ中央付近に
比べ、端にある探針ほどボードの反りに伴って持ち上が
る。逆にネジを緩める方向に回転させ、2個の金具の距
離を引き離すとプローブカードは下に窪んだ状態に反
り、また探針については2個の金具を結ぶ中央付近に比
べ、端にある探針ほどボードの反りに伴って下がる。 【0010】 【発明の効果】前述の如く本発明のプローブカード反り
矯正機構によれば、複数の探針の相対的な高さを調整す
るために、探針をはずす必要はなくなり、プローブカー
ド上に搭載したネジにより、簡便な方法で高さを調整で
きることが見込まれる。また同じ作用でプローブカード
の反りを矯正することが容易になる。
るプローブカードに関する。 【0002】 【従来の技術】プローブカードの反りまたは複数ある探
針の個別摩耗により、各探針が適正な高さでなく、IC
ウェハに所望の接触圧力をかけられない場合、問題とな
る探針を位置固定している半田付けをはずして調整修理
する方法をとっていた。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかし従来の方法で
は、探針を位置固定している半田付けをはずして調整・
再固定する作業に専門技能が必要で、早急な量産再使用
は困難であった。そこで本発明は、このような問題を解
決するもので、その目的とするところは、簡便な探針調
整機構の搭載により早急な量産再使用を可能とすること
である。 【0004】 【課題を解決するための手段】本願発明にかかるプロー
ブカードは、ICウエハの検査に使用するプローブカー
ドにおいて、前記プローブカードの調整手段として前記
プローブカード上に、対向して設けられた穴を有する2
個1組の金具部と、前記金具部の穴を通して保持される
ネジと、を有し、前記金具部にナットが配置されること
を特徴とする 【0005】 【作用】本発明のプローブカード反り矯正機構の作用に
ついて説明すると、あらかじめ別の方法で接触圧力の過
不足を検出しておいた上で、プローブカード上の2点間
の距離をネジを締め付けたり緩めたりすることよって強
制的に可変させ、適正な状態に矯正または調整する。 【0006】 【発明の実施の形態】以下本発明をその実施例を示す図
面に基づき詳細する。 【0007】図1は本発明に係わるプローブカード平面
図、図2はその断面図を示す。11、21はプローブカ
ード、12、22はプローブカードに設置された探針、
13、23はネジ、14、24は穴の開いた金具、1
5、25はナット、16、26は水準器または水平ゲー
ジをそれぞれ示す。 【0008】プローブカード上には穴の開いた金具が2
個1組で対向して固定されており、ネジは2個の金具の
穴を通して保持されているものとする。さらに金具部に
は、ネジの長さを固定するナットがついているものとす
る。 【0009】ネジを締めると2個の金具の距離が引っ張
られることにより、プローブカードは上に窪んだ状態に
反り、また探針については2個の金具を結ぶ中央付近に
比べ、端にある探針ほどボードの反りに伴って持ち上が
る。逆にネジを緩める方向に回転させ、2個の金具の距
離を引き離すとプローブカードは下に窪んだ状態に反
り、また探針については2個の金具を結ぶ中央付近に比
べ、端にある探針ほどボードの反りに伴って下がる。 【0010】 【発明の効果】前述の如く本発明のプローブカード反り
矯正機構によれば、複数の探針の相対的な高さを調整す
るために、探針をはずす必要はなくなり、プローブカー
ド上に搭載したネジにより、簡便な方法で高さを調整で
きることが見込まれる。また同じ作用でプローブカード
の反りを矯正することが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるプローブカード平面図である。
【図2】本発明に係わるプローブカード断面図である。
【符号の説明】
11・・・プローブカード
12・・・探針
13・・・ネジ
14・・・穴の開いた金具
15・・・ナット
16・・・水準器または水平ゲージ
21・・・プローブカード
22・・・探針
23・・・ネジ
24・・・穴の開いた金具
25・・・ナット
26・・・水準器または水平ゲージ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
G01R 1/06 - 1/073
H01L 21/66
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 ICウエハの検査に使用するプローブカ
ードにおいて、 前記プローブカードの調整手段として前記プローブカー
ド上に、対向して設けられた穴を有する2個1組の金具部
と、 前記金具部の穴を通して保持されるネジと、 を有し、 前記金具部にナットが配置されることを特徴とするプロ
ーブカード
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16015397A JP3430862B2 (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16015397A JP3430862B2 (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH116845A JPH116845A (ja) | 1999-01-12 |
JP3430862B2 true JP3430862B2 (ja) | 2003-07-28 |
Family
ID=15709029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16015397A Expired - Fee Related JP3430862B2 (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3430862B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7667472B2 (en) * | 2005-05-23 | 2010-02-23 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Probe assembly, method of producing it and electrical connecting apparatus |
-
1997
- 1997-06-17 JP JP16015397A patent/JP3430862B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH116845A (ja) | 1999-01-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030422 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080523 Year of fee payment: 5 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |