JP3406497B2 - 電気光学プローブの信号処理回路 - Google Patents
電気光学プローブの信号処理回路Info
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- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
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- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、測定時間の短縮
を図った電気光学プローブの信号処理回路に関する。
を図った電気光学プローブの信号処理回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報通信システムの高速化に伴
い、システムで使用されるハードウエアに極めて高速の
処理が要求される。そして、このような高速処理のプリ
ント基板の試験に必要となるサンプリングオッシロスコ
ープのプローブとして、ハイインピーダンスの電気光学
プローブ（ＥＯＳ(Electro-Optic Sampling)プローブ）
が開発されている。図５は、この電気光学プローブのヘ
ッド部Ｈの構成を示す図である。この図において、符号
１は電気光学結晶（例えば、ＢＳＯ；Ｂｉ12ＳｉＯ20）
であり、その下面にレーザ光を効率よく反射させる誘電
体多層膜ミラー２が蒸着され、また、金属ピン３が接着
されている。そして、これらの電気光学結晶１および金
属ピン３が絶縁体４によって保持されている。
い、システムで使用されるハードウエアに極めて高速の
処理が要求される。そして、このような高速処理のプリ
ント基板の試験に必要となるサンプリングオッシロスコ
ープのプローブとして、ハイインピーダンスの電気光学
プローブ（ＥＯＳ(Electro-Optic Sampling)プローブ）
が開発されている。図５は、この電気光学プローブのヘ
ッド部Ｈの構成を示す図である。この図において、符号
１は電気光学結晶（例えば、ＢＳＯ；Ｂｉ12ＳｉＯ20）
であり、その下面にレーザ光を効率よく反射させる誘電
体多層膜ミラー２が蒸着され、また、金属ピン３が接着
されている。そして、これらの電気光学結晶１および金
属ピン３が絶縁体４によって保持されている。
【０００３】このヘッド部Ｈの金属ピン３を基板５の信
号線６に接触させると、配線を伝搬する信号によって金
属ピン３から電界が発生し、電気光学結晶１に結合す
る。一次電気光学効果であるポッケルス効果により、結
合した電界強度に応じて電気光学結晶１の複屈折率が変
化するので、この状態の電気光学結晶１にレーザ光を入
射すると、レーザ光の偏光状態が変化する。偏光変化を
受けたレーザ光は誘電体多層膜ミラー２で反射され、プ
ローブ内の偏光検出光学系（図示略）へ導かれる。
号線６に接触させると、配線を伝搬する信号によって金
属ピン３から電界が発生し、電気光学結晶１に結合す
る。一次電気光学効果であるポッケルス効果により、結
合した電界強度に応じて電気光学結晶１の複屈折率が変
化するので、この状態の電気光学結晶１にレーザ光を入
射すると、レーザ光の偏光状態が変化する。偏光変化を
受けたレーザ光は誘電体多層膜ミラー２で反射され、プ
ローブ内の偏光検出光学系（図示略）へ導かれる。
【０００４】偏光検出光学系においては、ヘッド部Ｈか
ら出力されたレーザ光が２個の偏光ビームスプリッタに
より互いに直交する偏光成分に分けられ、それぞれの偏
光成分がフォトダオードによって電気信号に変換され、
信号処理回路へ出力される。
ら出力されたレーザ光が２個の偏光ビームスプリッタに
より互いに直交する偏光成分に分けられ、それぞれの偏
光成分がフォトダオードによって電気信号に変換され、
信号処理回路へ出力される。
【０００５】図６は従来の信号処理回路の構成を示すブ
ロック図である。この図において、１１はサンプリング
パルス発生回路であり、図７に示すように、ファストラ
ンプ発生回路１１ａと、スローランプ発生回路１１ｂ
と、コンパレータ１１ｃとから構成されている。ファス
トランプ発生回路１１ａは、図８（ロ）に示すように、
外部から供給され、被測定信号に同期したトリガパルス
Ｔ（図８（イ））を受けて一定の傾斜で立ち上がり、オ
ッシロスコープの表示画面の幅によって決まるタイミン
グで急速に立ち下がる信号ＦＬを発生する回路である。
スローランプ発生回路１１ｂは、図８（ハ）に示すよう
に、トリガ信号Ｔのタイミングで、予め決められた一定
レベルずつ立ち上がる階段状の信号ＳＬを発生する。コ
ンパレータ１１ｃは、図８（ニ）に示すように、上述し
た信号ＦＬと信号ＳＬが一致した時点でサンプリングパ
ルスＳＰを図６の光パルス発生回路１２へ出力する。光
パルス発生回路１２は、サンプリングパルス発生回路１
１から出力されたパルス信号を半導体レーザによってレ
ーザ光パルスに変換し、光ファイバアンプ、光バンドパ
スフィルタ、偏波コントローラ等を通して電気光学プロ
ーブＤＰのヘッド部Ｈ（図５）へ出力する。この光パル
スがヘッド部Ｈの電気光学結晶１を通過し、次いで、電
気光学プローブＤＰ内の上述した偏光検出光学系によっ
て電気信号に変換され、受光増幅回路１４（図６）へ入
力される。
ロック図である。この図において、１１はサンプリング
パルス発生回路であり、図７に示すように、ファストラ
ンプ発生回路１１ａと、スローランプ発生回路１１ｂ
と、コンパレータ１１ｃとから構成されている。ファス
トランプ発生回路１１ａは、図８（ロ）に示すように、
外部から供給され、被測定信号に同期したトリガパルス
Ｔ（図８（イ））を受けて一定の傾斜で立ち上がり、オ
ッシロスコープの表示画面の幅によって決まるタイミン
グで急速に立ち下がる信号ＦＬを発生する回路である。
スローランプ発生回路１１ｂは、図８（ハ）に示すよう
に、トリガ信号Ｔのタイミングで、予め決められた一定
レベルずつ立ち上がる階段状の信号ＳＬを発生する。コ
ンパレータ１１ｃは、図８（ニ）に示すように、上述し
た信号ＦＬと信号ＳＬが一致した時点でサンプリングパ
ルスＳＰを図６の光パルス発生回路１２へ出力する。光
パルス発生回路１２は、サンプリングパルス発生回路１
１から出力されたパルス信号を半導体レーザによってレ
ーザ光パルスに変換し、光ファイバアンプ、光バンドパ
スフィルタ、偏波コントローラ等を通して電気光学プロ
ーブＤＰのヘッド部Ｈ（図５）へ出力する。この光パル
スがヘッド部Ｈの電気光学結晶１を通過し、次いで、電
気光学プローブＤＰ内の上述した偏光検出光学系によっ
て電気信号に変換され、受光増幅回路１４（図６）へ入
力される。
【０００６】受光増幅回路１４は、電気光学プローブＤ
Ｐの出力信号を差動増幅し、Ａ／Ｄ変換回路１５へ出力
する。Ａ／Ｄ変換回路１５は、サンプリングパルスＳＰ
に基づいて、光パルスの立ち上がりから一定時間経過し
た時点における受光増幅回路１４の出力をサンプリング
し、サンプリングしたアナログ信号をディジタルデータ
に変換して画像表示回路１６へ出力する。画像表示回路
１６はＡ／Ｄ変換回路１５の出力に基づいて画像表示処
理を行う。
Ｐの出力信号を差動増幅し、Ａ／Ｄ変換回路１５へ出力
する。Ａ／Ｄ変換回路１５は、サンプリングパルスＳＰ
に基づいて、光パルスの立ち上がりから一定時間経過し
た時点における受光増幅回路１４の出力をサンプリング
し、サンプリングしたアナログ信号をディジタルデータ
に変換して画像表示回路１６へ出力する。画像表示回路
１６はＡ／Ｄ変換回路１５の出力に基づいて画像表示処
理を行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のサンプリングパルス発生回路１１は、図８からも明
らかなように、１トリガパルス毎にサンプリングパルス
を１パルス発生するようになっており、このため、特に
トリガパルスの周期が希望サンプリングレートより長い
場合、測定に、必要以上の時間がかかる問題があった。
そこでこの発明は、トリガパルスの周期が長い場合にお
いて、従来より測定時間を短縮することができる電気光
学プローブの信号処理回路を提供することを目的とす
る。
来のサンプリングパルス発生回路１１は、図８からも明
らかなように、１トリガパルス毎にサンプリングパルス
を１パルス発生するようになっており、このため、特に
トリガパルスの周期が希望サンプリングレートより長い
場合、測定に、必要以上の時間がかかる問題があった。
そこでこの発明は、トリガパルスの周期が長い場合にお
いて、従来より測定時間を短縮することができる電気光
学プローブの信号処理回路を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、サンプリングパルスを発生し、該サンプリングパル
スに基づくレーザ光線を電気光学プローブに供給し、前
記電気光学プローブの出力信号に基づいて画面表示を行
う電気光学プローブの信号処理回路において、外部から
トリガパルスを受けた時点から一定の傾斜で順次増加す
る信号を出力する第１ランプ発生手段と、前記トリガパ
ルスを受けた時点以後一定電圧の出力信号を出力し、前
記サンプリングパルスに基づくタイミングで前記出力信
号に一定電圧を加算して出力することにより、前記第１
ランプ発生手段の出力信号の１周期間に複数段からなる
階段波信号を出力する第２ランプ発生手段と、前記第１
ランプ発生手段の出力と前記第２ランプ発生手段の出力
とが一致した時点でパルス信号を形成し、該パルス信号
を前記サンプリングパルスとして出力する比較手段とを
具備してなる電気光学プローブの信号処理回路である。
は、サンプリングパルスを発生し、該サンプリングパル
スに基づくレーザ光線を電気光学プローブに供給し、前
記電気光学プローブの出力信号に基づいて画面表示を行
う電気光学プローブの信号処理回路において、外部から
トリガパルスを受けた時点から一定の傾斜で順次増加す
る信号を出力する第１ランプ発生手段と、前記トリガパ
ルスを受けた時点以後一定電圧の出力信号を出力し、前
記サンプリングパルスに基づくタイミングで前記出力信
号に一定電圧を加算して出力することにより、前記第１
ランプ発生手段の出力信号の１周期間に複数段からなる
階段波信号を出力する第２ランプ発生手段と、前記第１
ランプ発生手段の出力と前記第２ランプ発生手段の出力
とが一致した時点でパルス信号を形成し、該パルス信号
を前記サンプリングパルスとして出力する比較手段とを
具備してなる電気光学プローブの信号処理回路である。
【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の電気光学プローブの信号処理回路において、前記サン
プリングパルスを受けて閉となり、閉となった時点から
一定時間が経過した時点で開となるマスク手段を前記比
較手段の出力回路に設けたことを特徴とする。
の電気光学プローブの信号処理回路において、前記サン
プリングパルスを受けて閉となり、閉となった時点から
一定時間が経過した時点で開となるマスク手段を前記比
較手段の出力回路に設けたことを特徴とする。
【００１０】請求項３に記載の発明は、サンプリングパ
ルスを発生し、該サンプリングパルスに基づくレーザ光
線を電気光学プローブに供給し、前記電気光学プローブ
の出力信号に基づいて画面表示を行う電気光学プローブ
の信号処理回路において、外部からトリガパルスを受け
た時点から一定の傾斜で順次増加する信号を出力する第
１ランプ発生手段と、前記トリガパルスを受けた時点以
後一定電圧の出力信号を出力し、前記サンプリングパル
スに基づくタイミングで前記出力信号に一定電圧を加算
して出力することにより、前記第１ランプ発生手段の出
力信号の１周期間に複数段からなる階段波信号を出力
し、さらに、前記トリガパルスを受ける毎に一定電圧ず
つ増加するベース電圧を前記階段波信号に加算して出力
する第２ランプ発生手段と、前記第１ランプ発生手段の
出力と前記第２ランプ発生手段の出力とが一致した時点
でパルス信号を形成し、該パルス信号を前記サンプリン
グパルスとして出力する比較手段と、前記電気光学プロ
ーブの出力信号をディジタルデータに変換して記憶し、
該記憶したデータの順序を並べ替えて表示する画像表示
手段とを設けてなる電気光学プローブの信号処理回路で
ある。
ルスを発生し、該サンプリングパルスに基づくレーザ光
線を電気光学プローブに供給し、前記電気光学プローブ
の出力信号に基づいて画面表示を行う電気光学プローブ
の信号処理回路において、外部からトリガパルスを受け
た時点から一定の傾斜で順次増加する信号を出力する第
１ランプ発生手段と、前記トリガパルスを受けた時点以
後一定電圧の出力信号を出力し、前記サンプリングパル
スに基づくタイミングで前記出力信号に一定電圧を加算
して出力することにより、前記第１ランプ発生手段の出
力信号の１周期間に複数段からなる階段波信号を出力
し、さらに、前記トリガパルスを受ける毎に一定電圧ず
つ増加するベース電圧を前記階段波信号に加算して出力
する第２ランプ発生手段と、前記第１ランプ発生手段の
出力と前記第２ランプ発生手段の出力とが一致した時点
でパルス信号を形成し、該パルス信号を前記サンプリン
グパルスとして出力する比較手段と、前記電気光学プロ
ーブの出力信号をディジタルデータに変換して記憶し、
該記憶したデータの順序を並べ替えて表示する画像表示
手段とを設けてなる電気光学プローブの信号処理回路で
ある。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しこの発明の一
実施形態について説明する。なお、以下に説明する実施
形態の全体構成(ブロック構成)は従来のもの(図６)と同
じであるので記載を省略する。この実施形態が従来のも
のと違う点は、図６におけるサンプリングパルス発生回
路１１と画像表示回路１６である。図１は、同実施形態
によるサンプリングパルス発生回路の構成を示すブロッ
ク図、図２は同回路の各部の波形を示す波形図である。
図１において、２０は第１ランプ発生回路であり、図２
（ロ）に示すように、外部から供給され、被測定信号に
同期したトリガパルスＴ（図２（イ））を受けて一定の
傾斜で立ち上がり、表示画面の幅で決まるタイミングで
急速に立ち下がる信号ＦＬ１を出力する。
実施形態について説明する。なお、以下に説明する実施
形態の全体構成(ブロック構成)は従来のもの(図６)と同
じであるので記載を省略する。この実施形態が従来のも
のと違う点は、図６におけるサンプリングパルス発生回
路１１と画像表示回路１６である。図１は、同実施形態
によるサンプリングパルス発生回路の構成を示すブロッ
ク図、図２は同回路の各部の波形を示す波形図である。
図１において、２０は第１ランプ発生回路であり、図２
（ロ）に示すように、外部から供給され、被測定信号に
同期したトリガパルスＴ（図２（イ））を受けて一定の
傾斜で立ち上がり、表示画面の幅で決まるタイミングで
急速に立ち下がる信号ＦＬ１を出力する。
【００１２】２１はタイミング信号発生回路であり、サ
ンプリングパルスＳＰ１から一定時間が経過した時点
で、第２ランプトリガ信号ＳＴを出力し、また、上記サ
ンプリングパルスＳＰ１を受けて立ち下がり、一定時間
後に立ち上がるマスク信号ＭＳ（図２（ホ））を出力す
る。第２ランプ発生回路２２は、図２（ハ）に示すよう
に、上記第２ランプトリガ信号ＳＴのタイミングで一定
レベルずつ順次立ち上がる階段状の信号ＳＬ１を出力す
る。コンパレータ２３は、上述した信号ＦＬ１と信号Ｓ
Ｌ１とが一致した時点で、図２（ニ）に示すパルス信号
Ｐ１をマスク回路２４へ出力する。マスク回路２４はア
ンドゲートによって構成され、マスク信号ＭＳが“Ｈ
（ハイ）”レベルの時パルス信号Ｐ１を通過させ、ま
た、“Ｌ（ロー）”レベルの時はパルス信号Ｐ１を遮断
する。このマスク回路２４の出力がサンプリングパルス
ＳＰ１として光パルス発生回路（図６参照）へ出力され
ると共に、タイミング信号発生回路２１へ出力される。
ンプリングパルスＳＰ１から一定時間が経過した時点
で、第２ランプトリガ信号ＳＴを出力し、また、上記サ
ンプリングパルスＳＰ１を受けて立ち下がり、一定時間
後に立ち上がるマスク信号ＭＳ（図２（ホ））を出力す
る。第２ランプ発生回路２２は、図２（ハ）に示すよう
に、上記第２ランプトリガ信号ＳＴのタイミングで一定
レベルずつ順次立ち上がる階段状の信号ＳＬ１を出力す
る。コンパレータ２３は、上述した信号ＦＬ１と信号Ｓ
Ｌ１とが一致した時点で、図２（ニ）に示すパルス信号
Ｐ１をマスク回路２４へ出力する。マスク回路２４はア
ンドゲートによって構成され、マスク信号ＭＳが“Ｈ
（ハイ）”レベルの時パルス信号Ｐ１を通過させ、ま
た、“Ｌ（ロー）”レベルの時はパルス信号Ｐ１を遮断
する。このマスク回路２４の出力がサンプリングパルス
ＳＰ１として光パルス発生回路（図６参照）へ出力され
ると共に、タイミング信号発生回路２１へ出力される。
【００１３】次に、上述したサンプリングパルス発生回
路の動作を説明する。まず、トリガパルスＴが外部から
供給されると、第１ランプ発生回路２０が駆動され、以
後、信号ＦＬ１のレベルが一定の傾斜で徐々に増大す
る。また、第２ランプ発生回路２２も同時に駆動され、
信号ＳＬ１が、まず、一定レベルｄに立ち上がる。そし
て、信号ＦＬ１のレベルがｄとなり、信号ＦＬ１と信号
ＳＬ１とが一致すると、コンパレータ２３からパルス信
号Ｐ１（図２におけるパルスＰ１−１参照）が出力さ
れ、マスク回路２４へ供給される。この時、タイミング
信号発生回路２１から出力されているマスク信号ＭＳは
“Ｈ”レベルにあり(図２（ホ）)、この結果、パルス信
号Ｐ１がマスク回路２４を通過し、サンプリングパルス
ＳＰ１として出力される（図２（ヘ））の符号ＳＰ１−
１参照）。
路の動作を説明する。まず、トリガパルスＴが外部から
供給されると、第１ランプ発生回路２０が駆動され、以
後、信号ＦＬ１のレベルが一定の傾斜で徐々に増大す
る。また、第２ランプ発生回路２２も同時に駆動され、
信号ＳＬ１が、まず、一定レベルｄに立ち上がる。そし
て、信号ＦＬ１のレベルがｄとなり、信号ＦＬ１と信号
ＳＬ１とが一致すると、コンパレータ２３からパルス信
号Ｐ１（図２におけるパルスＰ１−１参照）が出力さ
れ、マスク回路２４へ供給される。この時、タイミング
信号発生回路２１から出力されているマスク信号ＭＳは
“Ｈ”レベルにあり(図２（ホ）)、この結果、パルス信
号Ｐ１がマスク回路２４を通過し、サンプリングパルス
ＳＰ１として出力される（図２（ヘ））の符号ＳＰ１−
１参照）。
【００１４】このサンプリングパルスＳＰ１がマスク回
路２４から出力されると、タイミングパルス発生回路２
１がこのパルスＳＰ１を受け、まず、マスク信号ＭＳを
“Ｌ”レベルとし、次いで、第２ランプトリガ信号ＳＴ
を第２ランプ発生回路２２へ出力する。第２ランプ発生
回路２２はこのトリガ信号ＳＴを受け、その出力信号Ｓ
Ｌ１のレベルを２ｄとする。
路２４から出力されると、タイミングパルス発生回路２
１がこのパルスＳＰ１を受け、まず、マスク信号ＭＳを
“Ｌ”レベルとし、次いで、第２ランプトリガ信号ＳＴ
を第２ランプ発生回路２２へ出力する。第２ランプ発生
回路２２はこのトリガ信号ＳＴを受け、その出力信号Ｓ
Ｌ１のレベルを２ｄとする。
【００１５】次いで、第１ランプ発生回路２０の出力信
号ＦＬ１のレベルが２ｄになると、コンパレータ２３か
ら再びパルス信号Ｐ１（図２（ニ）のＳＰ１−２）が出
力され、マスク回路２４を介してサンプリングパルスＳ
Ｐ１として出力される。以下、同様の動作が繰り返さ
れ、これにより、トリガパルスＴの１周期の間におい
て、複数のサンプリングパルスＳＰ１が出力される。こ
の場合、パルス間隔は信号ＳＬ１のレベル差ｄによって
決まる。ここで、マスク回路２４の作用について説明す
る。第２ランプ発生回路２２の出力信号ＳＬ１の波形
は、厳密には完全な矩形波ではなく、図３に示すよう
に、立ち上がりに振動が発生する。このため、コンパレ
ータ２３の出力パルスＰ１には、図２の（ニ）に示すよ
うに、不要のパルスＰ１−ａ、Ｐ１−ｂ…が含まれてし
まう。マスク回路２４はこの不要パルスを除去するため
のものであり、マスク信号ＭＳはこの不要パルスを通過
させず、必要なパルスのみを通過させるタイミングでマ
スク回路２４を開閉制御する。
号ＦＬ１のレベルが２ｄになると、コンパレータ２３か
ら再びパルス信号Ｐ１（図２（ニ）のＳＰ１−２）が出
力され、マスク回路２４を介してサンプリングパルスＳ
Ｐ１として出力される。以下、同様の動作が繰り返さ
れ、これにより、トリガパルスＴの１周期の間におい
て、複数のサンプリングパルスＳＰ１が出力される。こ
の場合、パルス間隔は信号ＳＬ１のレベル差ｄによって
決まる。ここで、マスク回路２４の作用について説明す
る。第２ランプ発生回路２２の出力信号ＳＬ１の波形
は、厳密には完全な矩形波ではなく、図３に示すよう
に、立ち上がりに振動が発生する。このため、コンパレ
ータ２３の出力パルスＰ１には、図２の（ニ）に示すよ
うに、不要のパルスＰ１−ａ、Ｐ１−ｂ…が含まれてし
まう。マスク回路２４はこの不要パルスを除去するため
のものであり、マスク信号ＭＳはこの不要パルスを通過
させず、必要なパルスのみを通過させるタイミングでマ
スク回路２４を開閉制御する。
【００１６】次に、画像表示回路について説明する。上
述したサンプリングパルスＳＰ１に基づく電気光学プロ
ーブＤＰの出力信号は、図６において説明したように、
受光増幅回路１４によって増幅され、Ａ／Ｄ変換回路１
５によってディジタルデータに変換され、画像表示回路
へ入力される。画像表示回路はこのデータを一旦内部の
メモリに記憶する。いま、図４（イ）を被測定波形、
（ロ）をトリガパルスＴ、（ハ）をサンプリングパルス
ＳＰ１とすると、トリガパルスＴの第１周期Ｔ１におい
て、点Ａ１〜Ａ７のデータがサンプリングされ、記憶さ
れる。
述したサンプリングパルスＳＰ１に基づく電気光学プロ
ーブＤＰの出力信号は、図６において説明したように、
受光増幅回路１４によって増幅され、Ａ／Ｄ変換回路１
５によってディジタルデータに変換され、画像表示回路
へ入力される。画像表示回路はこのデータを一旦内部の
メモリに記憶する。いま、図４（イ）を被測定波形、
（ロ）をトリガパルスＴ、（ハ）をサンプリングパルス
ＳＰ１とすると、トリガパルスＴの第１周期Ｔ１におい
て、点Ａ１〜Ａ７のデータがサンプリングされ、記憶さ
れる。
【００１７】そして、次のトリガパルスＴが発生する
と、第２ランプ発生回路２２は、出力信号にΔｄ（Δｄ
≪ｄ）を加算して出力する。すなわち、まず、Δｄ＋ｄ
を出力し、以後、第２ランプトリガ信号ＳＴを受ける度
にΔｄ＋２ｄ，Δｄ＋３ｄ…なる信号ＳＬ１を出力す
る。これにより、図４に示すトリガパルスＴの第２周期
Ｔ２においてサンプリングされるデータＢ１〜Ｂ７はデ
ータＡ１〜Ａ７より位相が僅かに遅れた位置のデータと
なる。同様に、トリガパルスＴの第３周期Ｔ３において
は、第２ランプ発生回路２２が、出力信号に２Δｄを加
算して出力する。すなわち、２△ｄ＋ｄ、２△ｄ＋２
ｄ、２△ｄ＋３ｄ…を出力する。これによりトリガパル
スＴの第３周期Ｔ３においてサンプリングされるデータ
Ｃ１〜Ｃ７はデータＢ１〜Ｂ７より位相が僅かに遅れた
位置のデータとなる。
と、第２ランプ発生回路２２は、出力信号にΔｄ（Δｄ
≪ｄ）を加算して出力する。すなわち、まず、Δｄ＋ｄ
を出力し、以後、第２ランプトリガ信号ＳＴを受ける度
にΔｄ＋２ｄ，Δｄ＋３ｄ…なる信号ＳＬ１を出力す
る。これにより、図４に示すトリガパルスＴの第２周期
Ｔ２においてサンプリングされるデータＢ１〜Ｂ７はデ
ータＡ１〜Ａ７より位相が僅かに遅れた位置のデータと
なる。同様に、トリガパルスＴの第３周期Ｔ３において
は、第２ランプ発生回路２２が、出力信号に２Δｄを加
算して出力する。すなわち、２△ｄ＋ｄ、２△ｄ＋２
ｄ、２△ｄ＋３ｄ…を出力する。これによりトリガパル
スＴの第３周期Ｔ３においてサンプリングされるデータ
Ｃ１〜Ｃ７はデータＢ１〜Ｂ７より位相が僅かに遅れた
位置のデータとなる。
【００１８】画像表示回路は、このようにして得られた
データＡ１〜Ａ７、データＢ１〜Ｂ７、Ｃ１〜Ｃ７…を
順次内部のメモリに記憶する。次に、記憶したデータの
順序を、Ａ１、Ｂ１、Ｃ１…Ａ２、Ｂ２、Ｃ２…Ａ３、
Ｂ３、Ｃ３…なる順序に入れ替え、そして、表示画面に
表示する。
データＡ１〜Ａ７、データＢ１〜Ｂ７、Ｃ１〜Ｃ７…を
順次内部のメモリに記憶する。次に、記憶したデータの
順序を、Ａ１、Ｂ１、Ｃ１…Ａ２、Ｂ２、Ｃ２…Ａ３、
Ｂ３、Ｃ３…なる順序に入れ替え、そして、表示画面に
表示する。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、トリガパルスの周期より短い周期でサンプリングす
ることができ、したがって、特にトリガパルスの周期が
長い場合において、従来より測定時間を短縮することが
できる効果が得られる。また、この発明によれば、第２
ランプ発生手段が、サンプリングパルスが発生する毎に
一定電圧を加算して出力するので、サンプリング間隔が
ほぼ一定に保たれる効果が得られる。
ば、トリガパルスの周期より短い周期でサンプリングす
ることができ、したがって、特にトリガパルスの周期が
長い場合において、従来より測定時間を短縮することが
できる効果が得られる。また、この発明によれば、第２
ランプ発生手段が、サンプリングパルスが発生する毎に
一定電圧を加算して出力するので、サンプリング間隔が
ほぼ一定に保たれる効果が得られる。
【図１】 この発明の一実施形態による電気光学プロー
ブの信号処理回路の構成を示すブロック図である。
ブの信号処理回路の構成を示すブロック図である。
【図２】 同信号処理回路の各部の波形を示す波形図で
ある。
ある。
【図３】 図２における第２ランプ発生回路２２の出力
信号ＳＬ１の波形図である。
信号ＳＬ１の波形図である。
【図４】 同信号処理回路の動作を説明するための波形
図である。
図である。
【図５】 電気光学プローブのヘッド部の構成を示す概
略構成図である。
略構成図である。
【図６】 従来の電気光学プローブの信号処理回路の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図７】 図６におけるサンプリングパルス発生回路１
１の構成を示すブロック図である。
１の構成を示すブロック図である。
【図８】 図７の各部の波形を示す波形図である。
２０…第１ランプ発生回路、２１…タイミング信号発生
回路、２２…第２ランプ発生回路、２３…コンパレー
タ、２４…マスク回路。
回路、２２…第２ランプ発生回路、２３…コンパレー
タ、２４…マスク回路。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 菊池 潤
東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤
電気株式会社内
(72)発明者 遠藤 善雄
東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤
電気株式会社内
(72)発明者 品川 満
東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日
本電信電話株式会社内
(72)発明者 永妻 忠夫
東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日
本電信電話株式会社内
(72)発明者 山田 順三
東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日
本電信電話株式会社内
(56)参考文献 特開 平８−262117（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−74634（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−71499（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−82606（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/28 - 31/3193
G01R 13/00 - 13/42
H03M 1/00 - 1/88
Claims (3)
- 【請求項１】 サンプリングパルスを発生し、該サンプ
リングパルスに基づくレーザ光線を電気光学プローブに
供給し、前記電気光学プローブの出力信号に基づいて画
面表示を行う電気光学プローブの信号処理回路におい
て、 外部からトリガパルスを受けた時点から一定の傾斜で順
次増加する信号を出力する第１ランプ発生手段と、 前記トリガパルスを受けた時点以後一定電圧の出力信号
を出力し、前記サンプリングパルスに基づくタイミング
で前記出力信号に一定電圧を加算して出力することによ
り、前記第１ランプ発生手段の出力信号の１周期間に複
数段からなる階段波信号を出力する第２ランプ発生手段
と、 前記第１ランプ発生手段の出力と前記第２ランプ発生手
段の出力とが一致した時点でパルス信号を形成し、該パ
ルス信号を前記サンプリングパルスとして出力する比較
手段と、 を具備してなる電気光学プローブの信号処理回路。 - 【請求項２】 前記サンプリングパルスを受けて閉とな
り、閉となった時点から一定時間が経過した時点で開と
なるマスク手段を前記比較手段の出力回路に設けてなる
請求項１に記載の電気光学プローブの信号処理回路。 - 【請求項３】 サンプリングパルスを発生し、該サンプ
リングパルスに基づくレーザ光線を電気光学プローブに
供給し、前記電気光学プローブの出力信号に基づいて画
面表示を行う電気光学プローブの信号処理回路におい
て、 外部からトリガパルスを受けた時点から一定の傾斜で順
次増加する信号を出力する第１ランプ発生手段と、 前記トリガパルスを受けた時点以後一定電圧の出力信号
を出力し、前記サンプリングパルスに基づくタイミング
で前記出力信号に一定電圧を加算して出力することによ
り、前記第１ランプ発生手段の出力信号の１周期間に複
数段からなる階段波信号を出力し、さらに、前記トリガ
パルスを受ける毎に一定電圧ずつ増加するベース電圧を
前記階段波信号に加算して出力する第２ランプ発生手段
と、 前記第１ランプ発生手段の出力と前記第２ランプ発生手
段の出力とが一致した時点でパルス信号を形成し、該パ
ルス信号を前記サンプリングパルスとして出力する比較
手段と、 前記電気光学プローブの出力信号をディジタルデータに
変換して記憶し、該記憶したデータの順序を並べ替えて
表示する画像表示手段と、 を具備してなる電気光学プローブの信号処理回路。
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-
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- 1998-11-10 EP EP98309173A patent/EP0918224A3/en not_active Withdrawn
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